JPH04147643A - 放電防止接点内蔵真空継ぎ手、パレット及びパレットへの給電方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は放電防止接点内蔵真空継ぎ手、パレット及びパ
レットへの給電方法に係る。

【関連する技術］ ウェハを平坦度良く保持することを可能たらしめる真空
チャック・静電チャック内蔵のパレットとしては、第２
図に示す技術が提案されている（特願平２−３７７９９
号）。

ところで、この技術では、大気中で真空チャック、静電
チャックを共に働かせて、そのままの状態で雰囲気を真
空に引いている。この真空に引いていく過程ではグロー
放電を起こし易い真空度の領域（数ｔｏｒｒ〜０．０１
ｔｏｒｒ）を必ず通過する。しがるに、パレット内の静
電チャックには数百Ｖの高電圧が印加されているので、
この真空度の領域を通過する際には、接点、端子や給電
線１１等の真空容器内に露出している部分の近傍（第２
図でハツチングで示した部分）でグロー放電が起きる。

グロー放電が起きると印加電圧が下がり静電チャックと
しての効果が無くなり、さらには高圧電源回路の故障等
を引き起こす。

したがって、グロー放電が起きないように確実に対策を
行う必要がある。

そこで、給電線１１にはセラミック溶着被覆電線等を用
い、貫通端子１３と給電線１１の接続部分はエポキシ系
等の充填剤でモールドするなどの放電対策を行うことが
試みられる。また、パレット２と給電線１１の接続部の
接点６のように、脱着しなければならない部分にはモー
ルドを実施することができないので第３図に示すような
グロー放電防止用の接点覆い９がついた接点６を使用す
ることが試みられる。

しかし、第２図あるいは第３図に示す技術では、充填剤
１５や溶着被覆型＃ｓ１１からのアウトガスが真空容器
内に直接放出され真空容器の真空度の低下・汚染が起こ
る。

また、第３図に示すような放電防止方法では、隙間のな
いように接点６を覆わなければならないが、このように
すると接点覆い９の内部が閉空間１７となり、この閉空
間１７内に大気が閉じ込められる。内部に大気が閉じ込
められると、真空容器内と閉空間１７との間の差圧によ
りパレット２の裏面に応力が掛かったり閉空間１７から
徐々にリークが生じて真空容器内の真空度低下の原因と
なる。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので
ある。

本発明は、真空チャック・静電チャックをグロー放電を
起こさないで機能させることが可能な放電防止用接点内
蔵真空継ぎ手、パレット及びパレットへの給電方法を提
供することを目的とする。

本発明は、真空容器の真空度を低下させたり、真空容器
内部を汚染することがない放電防止用接点内蔵真空継ぎ
手、パレット及びパレットへの給電方法を提供すること
を目的とする。

本発明は、給電線の着脱が容易に行える放電防止用接点
内蔵真空継ぎ手及びパレットを提供することを目的とす
る。

したがって２本発明は、例えば、電子ビーム描画装置等
の半導体製造装置に適用することが可能であり、精度の
向上ならびに機構の簡素化に寄与する。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するための本発明の第１の要旨は、開口
部を有する接点覆いと、該開口部内において付勢手段を
介して該接点覆いに取り付けられた接点と、該接点に電
気的に接続された給電線と、該開口部と連通させて該接
点覆いに接続された真空配管とを有し、該給電線を該真
空配管内に配したことを特徴とする放電防止接点内蔵真
空継ぎ手に存在する。

本発明の第２の要旨は、真空チャックと静電チャックと
を内蔵したパレットにおいて、真空チャック用溝の排気
口の近傍に静電チャック用接点を有することを特徴とす
る真空チャックと静電チャックを内蔵するパレットに存
在する。

本発明の第３の要旨は、グロー放電を起こし易い部分を
、グロー放電を起こし易い真空度より高い真空にした後
に静電チャック用給電を行うことを特徴とする真空チャ
ックと静電チャックを内蔵するパレットへの給電法に存
在する。

本発明の第４の要旨は、開口部を有する接点覆いと、該
開口部内において付勢手段を介して該接点覆いに取り付
けられた接点と、該接点に電気的に接続された給電線と
、該開口部と連通させて該接点覆いに接続された真空配
管とを有し、該給電線を該真空配管内に配した放電防止
電極内蔵真空継ぎ手を、真空チャック用溝の排気口の近
傍に静電チャック用接点を有するパレットに接続し、少
な（とも該真空配管内をグロー放電を起こし易い真空度
の領域より高い高真空にした後に静電チャックへの給電
を行うことを特徴とするパレット給電法に存在する。

［作用］ 真空・静電チャックにおいては、真空容器が大気圧の状
態で先ず真空チャックを働かせてウェハを固定し、この
真空チャックによる固定が安定した後、静電チャックを
働かせ、静電チャ・ンクが安定してから真空容器を真空
に引き始める。

本発明では、静電チャックを働かせる前に、グロー放電
を起こし易い部分を、グロー放電を起こし易い真空度よ
りも高真空に到達させ、その後に静電チャックへの給電
を行うためグロー放電を防止することができる。

かかるチャック法を可能たらしめる一つの手段として本
発明では、真空チャック用の真空配管内に静電チャック
用給電線を配置した継ぎ手を提供するものであり、また
、真空チャック用溝の排気口の近傍に静電チャック用接
点を有するパレットを提供するものである。

本発明に係るパレットの給電用接点を、本発明に係る真
空継ぎ手の接点覆いで覆って、真空継ぎ手をパレットに
接続し、真空配管内をグロー放電を起こし易い真空度の
領域より高い高真空にした後に静電チャックへの給電を
行えばグロー放電を防止することができる。

さらに、本発明に係る真空継ぎ手とパレットとを上記し
たように組み合わせて使用すれば、充填剤は不要であり
、また溶着被覆電線からのアウトガスは直接真空容器内
に放出されないので真空容器の真空度の低下・汚染が起
きない。

［実施例］ 以下に本発明の実施例を図面に基づき詳述する。

第１図は実施例の構成図である。第１図において１はウ
ェハ、２はパレット、３は真空チャック用溝、４は静電
チャック用電極、５は上側接点、６は下側接点、７は付
勢手段である接点押さえバネ、８は０リング、９は接点
覆い（絶縁体）、１０は真空チャック用真空配管、１１
は溶着被覆電線、１２は真空容器壁、１３は貫通端子、
１６は開口部である。

本例の真空継ぎ手は、開口部１６を有する接点覆い９と
、開口部１６内において接点押さえバネ７を介して接点
覆い９に取り付けられた接点６と、接点６に電気的に接
続された給電＋ｔｌｌｌと、開口部１６と連通させて接
点覆い９に接続された真空配管１０とを有し、給１を線
１１を真空配管内１゜に配しである。

一方、本例のパレットは、真空チャック用溝３の排気口
１８の近傍に静電チャック用接点５を有している。

以上のように構成された実施例についてその構造をより
詳細に説明する。

パレット２と接点覆い９の接続部はシール部材（Ｏリン
グ）８でシールされている。この０リングは、パレット
と接点覆い９との間の気密性を保持するためのものであ
り、かかる作用を有するものであれば０リングでなくと
もよい。また、接点覆い９と真空チャック用真空配管１
０は溶接で気密に接続されている。したがって、真空チ
ャック用真空配管１０に排気系を接続して排気すれば、
接点覆い９を介して真空チャック用溝３内の大気を排気
することができ、ウェハ１を真空チエツクできる。

静電チャック用電極４には、パレット２の裏面に埋め込
まれた上側接点５、接点押さえバネ７を介して接点覆い
９に取り付けられている下側接点６、給電線１１、貫通
端子１３を通じて電圧が印加される。

次に実施例についてその動作を説明する。

真空容器内が大気圧の状態で真空チャック用真空配管１
０に真空チャック用排気系を接続して排気すると、パレ
ット２の表面にウェハ１が吸着される。ウェハ１が吸着
されて一定時間が経過すると接点覆い９内部の開口部１
６および真空チャック用真空配管１０内の真空度がグロ
ー放電を起こし易い真空度よりも高真空になる。この後
、静電チャック接点５に印加する電圧を所望の値まで上
昇させる。上昇させた後、真空容器内を真空に引き始め
る。

以上によりグロー放電を起こさせることなく、静電チャ
ックを動作させたまま真空容器を真空に引くことができ
る。

また、主たるアウトガスの原因である充填剤は使用して
おらず、給電＃、Ｉｌｌは真空チャック用真空配管１０
により真空容器から隔離されているので真空容器の真空
度の低下・汚染は起こらない。

さらに、第３区と同ｉに接点５，６を用いてパレット２
に給電しているので、給電綿１１の脱着は容易である。

［発明の効果］ 本発明によれば、真空・静電チャックをグロー放電を起
こさないで機能させることが可能である。

しかも真空容器の真空度−を低下させたり、真空容器内
部を汚染することがない。

かつ、給電線の着脱が容易に行える。

したがって、本発明は、例えば、電子ビーム描画製雪等
の半導体製造装置に適用することが可能であり、精度の
向上ならびに機構の簡素化に寄与する。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の構成図である。第２図は関連技術に係
るパレットの構成図である。第３図は他ノ関連技術に係
るパレットの構成図である。 （符号の説明） １・・・ウェハ、２・・・パレット、３・・・真空チャ
ック用溝、４・・・静電チャック用電極、５・・・上側
接点、６・・・下側接点、７・・・付勢手段（接点押さ
えバネ）、８・・・シール部材（０リング）、９・・・
接点覆い（絶縁体）、１０・・・真空チャック用真空配
管、１１・・・給電線（溶着被覆Ｗ線）、１２・・・真
空容器壁、１３・・・貫通端子、１４・・・パレット架
台、１５・・・エポキシ系充填剤、１６・・・開口部、
１７・・・閉空間、１８・・・排気口。 第　１　　図 第２図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）開口部を有する接点覆いと、該開口部内において
   付勢手段を介して該接点覆いに取り付けられた接点と、
   該接点に電気的に接続された給電線と、該開口部と連通
   させて該接点覆いに接続された真空配管とを有し、該給
   電線を該真空配管内に配したことを特徴とする放電防止
   接点内蔵真空継ぎ手。
2. （２）真空チャックと静電チャックとを内蔵したパレッ
   トにおいて、真空チャック用溝の排気口の近傍に静電チ
   ャック用接点を有することを特徴とするパレット。
3. （３）グロー放電を起こし易い部分を、グロー放電を起
   こし易い真空度より高い真空にした後に静電チャック用
   給電を行うことを特徴とする真空チャックと静電チャッ
   クを内蔵するパレットへの給電法。
4. （４）開口部を有する接点覆いと、該開口部内において
   付勢手段を介して該接点覆いに取り付けられた接点と、
   該接点に電気的に接続された給電線と、該開口部と連通
   させて該接点覆いに接続された真空配管とを有し、該給
   電線を該真空配管内に配した放電防止電極内蔵真空継ぎ
   手を、真空チャック用溝の排気口の近傍に静電チャック
   用接点を有するパレットに接続し、少なくとも該真空配
   管内をグロー放電を起こし易い真空度の領域より高い高
   真空にした後に静電チャックへの給電を行うことを特徴
   とするパレット給電法。