JPH0850855A - 放電バルブ用アークチューブの製造方法 - Google Patents
放電バルブ用アークチューブの製造方法Info
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- JPH0850855A JPH0850855A JP6185841A JP18584194A JPH0850855A JP H0850855 A JPH0850855 A JP H0850855A JP 6185841 A JP6185841 A JP 6185841A JP 18584194 A JP18584194 A JP 18584194A JP H0850855 A JPH0850855 A JP H0850855A
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- electrodes
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
- H01J61/125—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having an halogenide as principal component
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/39—Degassing vessels
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 電極の表面に付着している酸化物等のガラス
球内の不純物を確実に除去することによって、光束維持
率の高いアークチューブを製造する。 【構成】 アークチューブ1のガラス球1aに排気管2
を接続して排気したガラス球内に不活性ガスを封入し、
対向電極にアーク放電用回路20を接続して、不活性ガ
ス雰囲気下で電極間をアーク放電させた後、ガラス球内
を排気するボンバード処理を行い、次いで加熱しつつガ
ラス球内を排気する脱ガス処理を行った後、排気管を介
してガラス球内に発光物質である金属ハロゲン化物と水
銀および希ガスを順次封入後、排気管をチップオフす
る。ボンバード処理における電極への供給電流の電流密
度を30〜100A/mm2 として、電極間をアーク放
電させて、光束維持率低下につながる電極表面に付着し
た不純物を除去する。
球内の不純物を確実に除去することによって、光束維持
率の高いアークチューブを製造する。 【構成】 アークチューブ1のガラス球1aに排気管2
を接続して排気したガラス球内に不活性ガスを封入し、
対向電極にアーク放電用回路20を接続して、不活性ガ
ス雰囲気下で電極間をアーク放電させた後、ガラス球内
を排気するボンバード処理を行い、次いで加熱しつつガ
ラス球内を排気する脱ガス処理を行った後、排気管を介
してガラス球内に発光物質である金属ハロゲン化物と水
銀および希ガスを順次封入後、排気管をチップオフす
る。ボンバード処理における電極への供給電流の電流密
度を30〜100A/mm2 として、電極間をアーク放
電させて、光束維持率低下につながる電極表面に付着し
た不純物を除去する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車用の放電バルブ
であるメタルハライドランプの光源体であるアークチュ
ーブの製造方法に関する。
であるメタルハライドランプの光源体であるアークチュ
ーブの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】自動車用の放電バルブは、密閉ガラス球
内に発光物質である水銀や金属ハロゲン化物が希ガスと
ともに封止されたアークチューブ(図19参照)を備え
た構造で、フィラメント式のバルブに比べて断線のおそ
れがなく、しかも発光量が大きいことから自動車用の光
源として近年特に注目されている。なお図19におい
て、符号1は、ガラス管の両端部がピンチシールされ、
ガラス管の中央に発光物質である金属ハロゲン化物(ヨ
ウ化スカンジウム:ScI3 およびヨウ化ナトリウム:
NaI等)と水銀および希ガス(Xe,Ar等)を封止
した密閉ガラス球1aが形成されたアークチューブで、
ピンチシール部1bには、リード線a、モリブデン箔b
および電極(棒)cの一体化された電極アッシーが封着
されて、密閉ガラス球1a内に電極(棒)c,cが対向
配置された構造となっている。
内に発光物質である水銀や金属ハロゲン化物が希ガスと
ともに封止されたアークチューブ(図19参照)を備え
た構造で、フィラメント式のバルブに比べて断線のおそ
れがなく、しかも発光量が大きいことから自動車用の光
源として近年特に注目されている。なお図19におい
て、符号1は、ガラス管の両端部がピンチシールされ、
ガラス管の中央に発光物質である金属ハロゲン化物(ヨ
ウ化スカンジウム:ScI3 およびヨウ化ナトリウム:
NaI等)と水銀および希ガス(Xe,Ar等)を封止
した密閉ガラス球1aが形成されたアークチューブで、
ピンチシール部1bには、リード線a、モリブデン箔b
および電極(棒)cの一体化された電極アッシーが封着
されて、密閉ガラス球1a内に電極(棒)c,cが対向
配置された構造となっている。
【0003】そしてアークチューブ1を製造するには、
図20に示されるように、アークチューブ1の密閉ガラ
ス球1aに排気管2が一体に接続されたT字型のガラス
管体Wを用い、排気管2に接続ヘッド10を介して排気
装置(図示せず)を取り付け、まずガラス球1aを加熱
しながら排気することでガラス球1a内の不純物を除去
するという脱ガス処理を行う。次いで排気管2を介して
密閉ガラス球1aに不活性ガスを導入するとともに、電
極をグロー放電回路6に接続し、電極に電流を供給して
電極間で放電させ、電極cの表面に付着している不純物
を気体化し、かつ排気するというボンバード処理を行っ
た後、排気管2を介して金属ハロゲン化物(ScI3 お
よびNaI等),水銀および希ガスをガラス球1a内に
順次封入し、排気管2をチップオフするようになってい
る。
図20に示されるように、アークチューブ1の密閉ガラ
ス球1aに排気管2が一体に接続されたT字型のガラス
管体Wを用い、排気管2に接続ヘッド10を介して排気
装置(図示せず)を取り付け、まずガラス球1aを加熱
しながら排気することでガラス球1a内の不純物を除去
するという脱ガス処理を行う。次いで排気管2を介して
密閉ガラス球1aに不活性ガスを導入するとともに、電
極をグロー放電回路6に接続し、電極に電流を供給して
電極間で放電させ、電極cの表面に付着している不純物
を気体化し、かつ排気するというボンバード処理を行っ
た後、排気管2を介して金属ハロゲン化物(ScI3 お
よびNaI等),水銀および希ガスをガラス球1a内に
順次封入し、排気管2をチップオフするようになってい
る。
【0004】なおグロー放電回路6は、アークチューブ
の電極が電流制限用コイルL1 を介して昇降トランスT
1 の二次側に接続され、昇降トランスT1 の一次側には
スイッチSW1 を介して交流電源(200V)が接続さ
れた構造となっている。
の電極が電流制限用コイルL1 を介して昇降トランスT
1 の二次側に接続され、昇降トランスT1 の一次側には
スイッチSW1 を介して交流電源(200V)が接続さ
れた構造となっている。
【0005】
【発明の解決しようとるする課題】前記した様に、金属
ハロゲン化物(ScI3 およびNaI等)や水銀や希ガ
スの封入に先立って行われるボンバード処理は、電極に
付着している不純物(主に酸化物)を除去し光束維持率
を向上させる上で有効なことから、アークチューブの製
造方法においては不可欠な工程である。即ち、ガラス球
1a内に不純物(酸素)が存在すると、「4ScI3 +
4SiO2 +3O2 +6Hg→2Sc2 Si 2 O7 +6
HgI2 」なる反応式で示されるように、ScI3 が消
失して光束が低下すると推測され、光束の低下を抑制す
るには、金属ハロゲン化物(ScI3およびNaI等)
や水銀や希ガスの封入に先立って、ガラス球1a内の不
純物(特に酸素)を除去してやることが望ましい。しか
し、従来より行われているボンバード処理は、グロー放
電用回路6によって電極c,cに数mA/mm2 〜数十
mA/mm2 という比較的電流密度の低い電流を通電さ
せるため、電極c,c間の放電はグロー放電であり、電
極表面の活性化、即ち電極表面に付着している不純物の
除去が十分にできず、高い光束維持率が得られないとい
う問題があった。
ハロゲン化物(ScI3 およびNaI等)や水銀や希ガ
スの封入に先立って行われるボンバード処理は、電極に
付着している不純物(主に酸化物)を除去し光束維持率
を向上させる上で有効なことから、アークチューブの製
造方法においては不可欠な工程である。即ち、ガラス球
1a内に不純物(酸素)が存在すると、「4ScI3 +
4SiO2 +3O2 +6Hg→2Sc2 Si 2 O7 +6
HgI2 」なる反応式で示されるように、ScI3 が消
失して光束が低下すると推測され、光束の低下を抑制す
るには、金属ハロゲン化物(ScI3およびNaI等)
や水銀や希ガスの封入に先立って、ガラス球1a内の不
純物(特に酸素)を除去してやることが望ましい。しか
し、従来より行われているボンバード処理は、グロー放
電用回路6によって電極c,cに数mA/mm2 〜数十
mA/mm2 という比較的電流密度の低い電流を通電さ
せるため、電極c,c間の放電はグロー放電であり、電
極表面の活性化、即ち電極表面に付着している不純物の
除去が十分にできず、高い光束維持率が得られないとい
う問題があった。
【0006】さらに従来の方法では、脱ガス処理を行っ
た後にボンバード処理を行っているため、ボンバード処
理における放電時に電極表面から剥がされて飛散した酸
化物がガラス球1aの管壁に付着し、ボンバード処理後
においてもそのままの状態で残っているおそれがあり、
これが光束維持率を低下させる原因となることも考えら
れる。
た後にボンバード処理を行っているため、ボンバード処
理における放電時に電極表面から剥がされて飛散した酸
化物がガラス球1aの管壁に付着し、ボンバード処理後
においてもそのままの状態で残っているおそれがあり、
これが光束維持率を低下させる原因となることも考えら
れる。
【0007】本発明は前記従来技術の問題点に鑑みなさ
れたもので、その目的は、電極の表面に付着している酸
化物等のガラス球内の不純物を確実に除去することによ
って、光束維持率の高いアークチューブを製造すること
のできる方法を提供することにある。
れたもので、その目的は、電極の表面に付着している酸
化物等のガラス球内の不純物を確実に除去することによ
って、光束維持率の高いアークチューブを製造すること
のできる方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明に係わる放電バルブ用アークチューブの製造
方法においては、電極の対設されたアークチューブのガ
ラス球に排気管を接続し、この排気管に排気装置を取り
付け、排気管を介して排気したガラス球内に不活性ガス
を封入するとともに、対向電極に放電用回路を接続し
て、不活性ガス雰囲気下で電極間を放電させた後、ガラ
ス球内を排気するボンバード処理を行い、次いで加熱し
つつガラス球内を排気する脱ガス処理を行い、次いで、
排気管を介してガラス球内に発光物質である金属ハロゲ
ン化物と水銀および希ガスを順次封入した後、排気管を
チップオフする放電バルブ用アークチューブの製造方法
であって、前記ボンバード処理における電極への供給電
流の電流密度を、電極間でアーク放電する30〜100
A/mm2 とするようにしたものである。
に、本発明に係わる放電バルブ用アークチューブの製造
方法においては、電極の対設されたアークチューブのガ
ラス球に排気管を接続し、この排気管に排気装置を取り
付け、排気管を介して排気したガラス球内に不活性ガス
を封入するとともに、対向電極に放電用回路を接続し
て、不活性ガス雰囲気下で電極間を放電させた後、ガラ
ス球内を排気するボンバード処理を行い、次いで加熱し
つつガラス球内を排気する脱ガス処理を行い、次いで、
排気管を介してガラス球内に発光物質である金属ハロゲ
ン化物と水銀および希ガスを順次封入した後、排気管を
チップオフする放電バルブ用アークチューブの製造方法
であって、前記ボンバード処理における電極への供給電
流の電流密度を、電極間でアーク放電する30〜100
A/mm2 とするようにしたものである。
【0009】請求項2では、請求項1記載の放電バルブ
用アークチューブの製造方法において、ボンバード処理
における電極への通電時間を0.5秒以上1秒以内にす
るようにしたものである。請求項3では、請求項1又は
2記載の放電バルブ用アークチューブの製造方法におい
て、ガラス球に封入する不活性ガスをアルゴンとすると
ともに、ガラス球内の圧力を800Torr〜1200
Torrの範囲として、ボンバード処理するようにした
ものである。
用アークチューブの製造方法において、ボンバード処理
における電極への通電時間を0.5秒以上1秒以内にす
るようにしたものである。請求項3では、請求項1又は
2記載の放電バルブ用アークチューブの製造方法におい
て、ガラス球に封入する不活性ガスをアルゴンとすると
ともに、ガラス球内の圧力を800Torr〜1200
Torrの範囲として、ボンバード処理するようにした
ものである。
【0010】
【作用】ボンバード処理において電極に供給される電流
の電流密度は30〜100A/mm2 で、従来のボンバ
ード処理における電流密度(数mA/mm2 〜数十mA
/mm2 )に比べ非常に高いため、電極間ではグロー放
電より高温度となるアーク放電が行われて、電極表面に
付着している不純物(主として酸化物)は確実に気体化
されて排気管から排気されるので、電極表面に付着して
いる酸化物等がボンバード処理によって確実に除去され
る。またボンバード処理におけるアーク放電の際に電極
表面から飛散した不純物の一部は、ガラス球の管壁に付
着し、ボンバード処理後も管壁に付着したまま残るおそ
れがあるが、管壁に付着している不純物は、ボンバード
処理後に行われるガラス球を加熱しつつ排気する脱ガス
処理によって確実に除去される。
の電流密度は30〜100A/mm2 で、従来のボンバ
ード処理における電流密度(数mA/mm2 〜数十mA
/mm2 )に比べ非常に高いため、電極間ではグロー放
電より高温度となるアーク放電が行われて、電極表面に
付着している不純物(主として酸化物)は確実に気体化
されて排気管から排気されるので、電極表面に付着して
いる酸化物等がボンバード処理によって確実に除去され
る。またボンバード処理におけるアーク放電の際に電極
表面から飛散した不純物の一部は、ガラス球の管壁に付
着し、ボンバード処理後も管壁に付着したまま残るおそ
れがあるが、管壁に付着している不純物は、ボンバード
処理後に行われるガラス球を加熱しつつ排気する脱ガス
処理によって確実に除去される。
【0011】また電極への通電時間が0.5秒未満で
は、アーク放電時間が短いため、電極に付着している酸
化物の除去が不十分で、一方、通電時間が1秒を超える
と、アーク放電時間が長すぎるため、過熱により電極が
変形するおそれがある。不活性ガスのうちアルゴンは安
価で、取扱も容易である。電極球形部における酸化物の
除去には、ガラス球内のガス圧が高いほどよいが、電極
軸部の酸化物を除去するには、ガス圧は800〜120
0Torrの範囲で有効である。
は、アーク放電時間が短いため、電極に付着している酸
化物の除去が不十分で、一方、通電時間が1秒を超える
と、アーク放電時間が長すぎるため、過熱により電極が
変形するおそれがある。不活性ガスのうちアルゴンは安
価で、取扱も容易である。電極球形部における酸化物の
除去には、ガラス球内のガス圧が高いほどよいが、電極
軸部の酸化物を除去するには、ガス圧は800〜120
0Torrの範囲で有効である。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は本発明方法によって製造されたアークチュ
ーブの断面図、図2は本発明の方法を説明するための説
明図である。これらの図において、符号1は、放電バル
ブ用のアークチューブで、その外観構造は図19に示す
従来のアークチューブの構造と同一であり、同一の符号
を付すことによりその重複した説明は省略する。但し、
アークチューブの密閉ガラス球1a内の不純物(積極的
に封止されている金属ハロゲン化物,水銀および希ガス
以外の不純物)の量は、図19に示す従来のアークチュ
ーブに比べて少ない構造となっている。即ち、電極c,
cは、レーザにより先端部が球形となるように加工され
た後、モリブデン箔bおよびリード線aに一体化された
電極アッシーとされてアークチューブにピンチシールさ
れるが、このレーザ加工の際に電極表面に酸化膜が形成
される。しかし電極はアークチューブにピンチシールさ
れる前に2000℃の真空処理が施されて、電極表面に
付着している酸化物が除去される。さらに電極アッシー
としてアークチューブにピンチシールされた後に、従来
方法とは異なる条件でボンバード処理されて、電極cの
表面に付着した酸化物等のガラス球1a内の不純物が確
実に除去された状態で、ガラス球1aに金属ハロゲン化
物,水銀および希ガスが封入された構造となっている。
する。図1は本発明方法によって製造されたアークチュ
ーブの断面図、図2は本発明の方法を説明するための説
明図である。これらの図において、符号1は、放電バル
ブ用のアークチューブで、その外観構造は図19に示す
従来のアークチューブの構造と同一であり、同一の符号
を付すことによりその重複した説明は省略する。但し、
アークチューブの密閉ガラス球1a内の不純物(積極的
に封止されている金属ハロゲン化物,水銀および希ガス
以外の不純物)の量は、図19に示す従来のアークチュ
ーブに比べて少ない構造となっている。即ち、電極c,
cは、レーザにより先端部が球形となるように加工され
た後、モリブデン箔bおよびリード線aに一体化された
電極アッシーとされてアークチューブにピンチシールさ
れるが、このレーザ加工の際に電極表面に酸化膜が形成
される。しかし電極はアークチューブにピンチシールさ
れる前に2000℃の真空処理が施されて、電極表面に
付着している酸化物が除去される。さらに電極アッシー
としてアークチューブにピンチシールされた後に、従来
方法とは異なる条件でボンバード処理されて、電極cの
表面に付着した酸化物等のガラス球1a内の不純物が確
実に除去された状態で、ガラス球1aに金属ハロゲン化
物,水銀および希ガスが封入された構造となっている。
【0013】そしてこのボンバード処理の条件として
は、ガラス球1a内にアルゴンガスが封入され、そのガ
ス圧が800〜1200Torrの範囲で、電極c,c
には電流密度30〜100A/mm2 の電流が供給され
て、電極を0.5秒〜1秒間アーク放電させるという条
件である。即ち、電流密度が30A/mm2 以下では、
電極間にアーク放電が起きず、酸化物を十分に除去する
ことができない。一方、電流密度が100A/mm2 以
上では、過熱によって電極が変形してしまう。従って電
極へ供給する電流の強さは、電流密度が30〜100A
/mm2 の範囲であることが望ましい。また放電時間が
1秒を超えると、電極が変形したり、さらにはガラス球
1aの管壁が黒化する。これはタングステン電極cが飛
散したものと考えられ、通電時間(放電時間)が1秒を
超えることは好ましくない。また逆に通電時間が0.5
秒未満では、酸化物を十分に除去できない。従って電極
への通電時間、即ち、電極におけるアーク放電時間は
0.5秒〜1秒が望ましい。
は、ガラス球1a内にアルゴンガスが封入され、そのガ
ス圧が800〜1200Torrの範囲で、電極c,c
には電流密度30〜100A/mm2 の電流が供給され
て、電極を0.5秒〜1秒間アーク放電させるという条
件である。即ち、電流密度が30A/mm2 以下では、
電極間にアーク放電が起きず、酸化物を十分に除去する
ことができない。一方、電流密度が100A/mm2 以
上では、過熱によって電極が変形してしまう。従って電
極へ供給する電流の強さは、電流密度が30〜100A
/mm2 の範囲であることが望ましい。また放電時間が
1秒を超えると、電極が変形したり、さらにはガラス球
1aの管壁が黒化する。これはタングステン電極cが飛
散したものと考えられ、通電時間(放電時間)が1秒を
超えることは好ましくない。また逆に通電時間が0.5
秒未満では、酸化物を十分に除去できない。従って電極
への通電時間、即ち、電極におけるアーク放電時間は
0.5秒〜1秒が望ましい。
【0014】図2において、アークチューブ1のガラス
球1aには、ガラス球1aと連通する排気管2が接続一
体化されて、T字型のガラス管体Wが構成されている。
符号10は、アークチューブ1の排気管2に排気装置を
接続するための排気管接続ヘッドで、このヘッド10内
には、上下に延びる垂直管路12と、この垂直管路12
の途中から水平に延びる水平管路13とからなるT字状
管路が形成されている。垂直管路12の上下の開口端に
は、ヘッド本体11の円筒部11a(11b)内に収容
されたベース14a(14b)、円筒形状のゴム製ブッ
シング15a(15b)、鍔付円筒体16a(16b)
及び円筒部11a(11b)の雄ねじ部に螺着され、鍔
付円筒体16a(16b)を保持する締結ナット17a
(17b)からなるチャック機構が設けられている。そ
してブッシング15aの挿入孔にT字型管体Wの排気管
2を挿通して締結ナット17aを締めると、ブッシング
15aが軸方向に圧縮されて半径方向に押し拡げられ、
垂直管路12と排気チューブ2間の気密性が確保され
る。なお符号18は垂直管路12の上端部に挿着され、
垂直管路上方を閉塞するための盲栓である。
球1aには、ガラス球1aと連通する排気管2が接続一
体化されて、T字型のガラス管体Wが構成されている。
符号10は、アークチューブ1の排気管2に排気装置を
接続するための排気管接続ヘッドで、このヘッド10内
には、上下に延びる垂直管路12と、この垂直管路12
の途中から水平に延びる水平管路13とからなるT字状
管路が形成されている。垂直管路12の上下の開口端に
は、ヘッド本体11の円筒部11a(11b)内に収容
されたベース14a(14b)、円筒形状のゴム製ブッ
シング15a(15b)、鍔付円筒体16a(16b)
及び円筒部11a(11b)の雄ねじ部に螺着され、鍔
付円筒体16a(16b)を保持する締結ナット17a
(17b)からなるチャック機構が設けられている。そ
してブッシング15aの挿入孔にT字型管体Wの排気管
2を挿通して締結ナット17aを締めると、ブッシング
15aが軸方向に圧縮されて半径方向に押し拡げられ、
垂直管路12と排気チューブ2間の気密性が確保され
る。なお符号18は垂直管路12の上端部に挿着され、
垂直管路上方を閉塞するための盲栓である。
【0015】符号20は、対向電極c,c間にアーク放
電を発生させるためのアーク放電用回路で、放電維持回
路部Aと、放電を惹起するトリガー回路部Bとから構成
されている。放電維持回路部Aは、一方の電極に二次端
子の一端が接続された電流制限用コイルL2 と、このコ
イルL2 の二次端子の他端とノルマルオープン接点の一
端が接続されたスイッチSW2 と、このスイッチSW2
の他端と他方の電極との間に接続された交番電源ACと
から構成されていて、交番電源ACは、正弦波ないしは
矩形波状の電圧、例えば、200Vの交流電圧を供給す
る。
電を発生させるためのアーク放電用回路で、放電維持回
路部Aと、放電を惹起するトリガー回路部Bとから構成
されている。放電維持回路部Aは、一方の電極に二次端
子の一端が接続された電流制限用コイルL2 と、このコ
イルL2 の二次端子の他端とノルマルオープン接点の一
端が接続されたスイッチSW2 と、このスイッチSW2
の他端と他方の電極との間に接続された交番電源ACと
から構成されていて、交番電源ACは、正弦波ないしは
矩形波状の電圧、例えば、200Vの交流電圧を供給す
る。
【0016】トリガー回路部Bは、コイルL2 の一次側
端子間にスイッチSW2 のノルマルオープン接点を介し
て接続されたコンデンサCと、このコンデンサCの両端
にスイッチSW2 のノルマルクローズ接点を介して接続
された直流電源Eとから構成されている。このトリガー
回路部Bでは、コンデンサCを予め直流電源Eで充電し
ている。
端子間にスイッチSW2 のノルマルオープン接点を介し
て接続されたコンデンサCと、このコンデンサCの両端
にスイッチSW2 のノルマルクローズ接点を介して接続
された直流電源Eとから構成されている。このトリガー
回路部Bでは、コンデンサCを予め直流電源Eで充電し
ている。
【0017】以上のように構成された電気回路では、ス
イッチSW2 を操作すると、一対の電極間に、交番電源
ACの電圧が加えられるとともに、コイルL2 を介して
トリガー回路部Bの電圧も重畳される。このトリガー回
路Bの電圧は、コンデンサCに充電されていた電荷がコ
イルL2 を介して放電されることによって発生するもの
であり、非常に短い時間だけ発生し、このような重畳電
圧が電極間に印加されると、電極間に流れる電流密度が
初期において非常に大きくなり、電極間には、アーク放
電が発生する。このようにして発生したアーク放電は、
その後は、交番電源ACの供給電圧によって維持され
る。
イッチSW2 を操作すると、一対の電極間に、交番電源
ACの電圧が加えられるとともに、コイルL2 を介して
トリガー回路部Bの電圧も重畳される。このトリガー回
路Bの電圧は、コンデンサCに充電されていた電荷がコ
イルL2 を介して放電されることによって発生するもの
であり、非常に短い時間だけ発生し、このような重畳電
圧が電極間に印加されると、電極間に流れる電流密度が
初期において非常に大きくなり、電極間には、アーク放
電が発生する。このようにして発生したアーク放電は、
その後は、交番電源ACの供給電圧によって維持され
る。
【0018】次に図1に示すアークチューブの製造方法
について説明する。まずアークチューブ1の排気管2
に、図2に示す接続ヘッド10を介して図示しない排気
装置を取り付ける。次に排気装置によってガラス球1a
内を排気した後、ガラス球1a内にアルゴンガスを導入
し、ガラス球1a内を800〜1200Torrに保持
するとともに、アーク放電回路20によって電極c,c
に通電(電流密度30〜100A/mm2 )し、電極
c,c間でアーク放電を行わせて電極表面に付着してい
る酸化物を気体化し、排気管2を介してガラス球1a内
を排気するというボンバード処理を行うことで、電極c
に付着している不純物を確実に除去する。さらにこのボ
ンバード処理後に、ガラス球1aの内部を1100℃に
加熱しつつ排気する脱ガス処理を行って、ガラス球1a
の管壁に付着している不純物も確実に除去する。そして
ガラス球1a内にアルゴンガスを導入しつつペレット状
の金属ハロゲン化物(ScI3 及びNaI等)を投入す
る。次いで垂直管路上方を盲栓18で閉塞し、密閉ガラ
ス球1aを金属ハロゲン化物が十分に溶融状態となる4
00〜800℃に加熱してガラス球1a内の金属ハロゲ
ン化物をベーキング処理する。次に、垂直管路12の上
方を開口し、不活性ガス(Arガス)を水平管路13を
介してガラス球1a内に供給しつつ水銀粒をガラス球1
a内に投下供給する。次に、盲栓18によって垂直管路
12の上方を閉塞するとともに、水平管路13を介して
不活性ガス(Xeガス)をガラス球1aに供給する。そ
してガラス球1aの外周囲を液体窒素で冷却しつつ、ガ
ラス球1aの上方位置で排気チューブ2を一次チップオ
フし、さらにガラス球1aの近傍位置で排気チューブ2
を二次チップオフして、ガラス球1a内に水銀及び金属
ハロゲン化物をXeガスとともに封止状態とする。
について説明する。まずアークチューブ1の排気管2
に、図2に示す接続ヘッド10を介して図示しない排気
装置を取り付ける。次に排気装置によってガラス球1a
内を排気した後、ガラス球1a内にアルゴンガスを導入
し、ガラス球1a内を800〜1200Torrに保持
するとともに、アーク放電回路20によって電極c,c
に通電(電流密度30〜100A/mm2 )し、電極
c,c間でアーク放電を行わせて電極表面に付着してい
る酸化物を気体化し、排気管2を介してガラス球1a内
を排気するというボンバード処理を行うことで、電極c
に付着している不純物を確実に除去する。さらにこのボ
ンバード処理後に、ガラス球1aの内部を1100℃に
加熱しつつ排気する脱ガス処理を行って、ガラス球1a
の管壁に付着している不純物も確実に除去する。そして
ガラス球1a内にアルゴンガスを導入しつつペレット状
の金属ハロゲン化物(ScI3 及びNaI等)を投入す
る。次いで垂直管路上方を盲栓18で閉塞し、密閉ガラ
ス球1aを金属ハロゲン化物が十分に溶融状態となる4
00〜800℃に加熱してガラス球1a内の金属ハロゲ
ン化物をベーキング処理する。次に、垂直管路12の上
方を開口し、不活性ガス(Arガス)を水平管路13を
介してガラス球1a内に供給しつつ水銀粒をガラス球1
a内に投下供給する。次に、盲栓18によって垂直管路
12の上方を閉塞するとともに、水平管路13を介して
不活性ガス(Xeガス)をガラス球1aに供給する。そ
してガラス球1aの外周囲を液体窒素で冷却しつつ、ガ
ラス球1aの上方位置で排気チューブ2を一次チップオ
フし、さらにガラス球1aの近傍位置で排気チューブ2
を二次チップオフして、ガラス球1a内に水銀及び金属
ハロゲン化物をXeガスとともに封止状態とする。
【0019】従来の方法では、ガラス球を加熱しつつ排
気する脱ガス処理工程がボンバード処理工程の前に行わ
れているのに対し、本発明方法では、ボンバード処理工
程の後で脱ガス処理工程を行っており、電極に付着して
いる不純物および管壁に付着している不純物等ガラス球
内の不純物を確実に除去することができる。即ち、ボン
バード処理工程におけるアーク放電によって確かに電極
に付着している酸化物の除去は可能であるが、アーク放
電の際に電極表面から飛散した酸化物がガラス球の管壁
に付着しそのまま残存するおそれがあり、ボンバード処
理だけでは、この管壁に付着した不純物の除去という点
では十分とはいえない。しかるに、本発明方法では、ボ
ンバード処理後に行う脱ガス処理においてガラス球の管
壁に付着している不純物をも除去することから、ガラス
球内の不純物は確実に除去されることとなる。なおこの
脱ガス処理工程の内容は従来方法における脱ガス処理工
程と全く同一であり、さらに金属ハロゲン化物,水銀お
よびXeガスのそれぞれの封入工程も従来方法における
それぞれの工程と何ら異なるものではないので、特に異
なるボンバード処理工程だけを説明し、その他の工程に
ついては前記した説明に留める。
気する脱ガス処理工程がボンバード処理工程の前に行わ
れているのに対し、本発明方法では、ボンバード処理工
程の後で脱ガス処理工程を行っており、電極に付着して
いる不純物および管壁に付着している不純物等ガラス球
内の不純物を確実に除去することができる。即ち、ボン
バード処理工程におけるアーク放電によって確かに電極
に付着している酸化物の除去は可能であるが、アーク放
電の際に電極表面から飛散した酸化物がガラス球の管壁
に付着しそのまま残存するおそれがあり、ボンバード処
理だけでは、この管壁に付着した不純物の除去という点
では十分とはいえない。しかるに、本発明方法では、ボ
ンバード処理後に行う脱ガス処理においてガラス球の管
壁に付着している不純物をも除去することから、ガラス
球内の不純物は確実に除去されることとなる。なおこの
脱ガス処理工程の内容は従来方法における脱ガス処理工
程と全く同一であり、さらに金属ハロゲン化物,水銀お
よびXeガスのそれぞれの封入工程も従来方法における
それぞれの工程と何ら異なるものではないので、特に異
なるボンバード処理工程だけを説明し、その他の工程に
ついては前記した説明に留める。
【0020】以下、具体的なボンバード処理の条件を説
明する。ガラス球1aにアルゴンガスを封入し、その封
入圧を400,800,1200Torrとした3種類
のアークチューブ(以下、試験サンプルという)につい
て、電流密度80A/mm2 の電流で1秒間電極を放電
させた後、排気するというボンバード処理を行った。そ
してその試験サンプルを電子マイクロアナライザ(島津
EPMA−8705)を使って点分析と線分析とを行っ
たところ、図4〜図9に示すような点分析データと、図
10〜図14に示すような線分析データが得られた。な
お図3に示すように、点分析は電極球形部c1 の略中心
位置P1 における酸素の点分析であり、線分析は電極軸
部c2 と球形部c1 との境界からの軸部長さ方向位置に
おける酸素の線分析である。
明する。ガラス球1aにアルゴンガスを封入し、その封
入圧を400,800,1200Torrとした3種類
のアークチューブ(以下、試験サンプルという)につい
て、電流密度80A/mm2 の電流で1秒間電極を放電
させた後、排気するというボンバード処理を行った。そ
してその試験サンプルを電子マイクロアナライザ(島津
EPMA−8705)を使って点分析と線分析とを行っ
たところ、図4〜図9に示すような点分析データと、図
10〜図14に示すような線分析データが得られた。な
お図3に示すように、点分析は電極球形部c1 の略中心
位置P1 における酸素の点分析であり、線分析は電極軸
部c2 と球形部c1 との境界からの軸部長さ方向位置に
おける酸素の線分析である。
【0021】図4〜図9はいずれも点分析データである
が、図4は標準サンプル(電極球形部)の点分析データ
図、図5はボンバード処理しないサンプル(電極球形
部)の点分析データ図、図6は400Torrで1秒間
ボンバード処理したサンプル(電極球形部)の点分析デ
ータ図、図7は800Torrで1秒間ボンバード処理
したサンプル(電極球形部)の点分析データ図、図8は
1200Torrで1秒間ボンバード処理したサンプル
(電極球形部)の点分析データ図、図9は標準サンプル
の分析ピークに対する各試験サンプルの分析ピークの強
度より定量した結果を示す図表である。
が、図4は標準サンプル(電極球形部)の点分析データ
図、図5はボンバード処理しないサンプル(電極球形
部)の点分析データ図、図6は400Torrで1秒間
ボンバード処理したサンプル(電極球形部)の点分析デ
ータ図、図7は800Torrで1秒間ボンバード処理
したサンプル(電極球形部)の点分析データ図、図8は
1200Torrで1秒間ボンバード処理したサンプル
(電極球形部)の点分析データ図、図9は標準サンプル
の分析ピークに対する各試験サンプルの分析ピークの強
度より定量した結果を示す図表である。
【0022】図4〜図9から解かるように、電極球形部
の残存酸素量は、ボンバード処理しない場合が0.74
wt%,1200Torrで1秒間ボンバード処理した
場合が0.06wt%で、400Torrまたは800
Torrで1秒間ボンバード処理した場合の残存酸素量
(0.17wt%)に比べて少ない。従って、アルゴン
ガス封入圧が高い程、残存酸素量が少ない、即ち、酸化
物除去効果が高いといえる。
の残存酸素量は、ボンバード処理しない場合が0.74
wt%,1200Torrで1秒間ボンバード処理した
場合が0.06wt%で、400Torrまたは800
Torrで1秒間ボンバード処理した場合の残存酸素量
(0.17wt%)に比べて少ない。従って、アルゴン
ガス封入圧が高い程、残存酸素量が少ない、即ち、酸化
物除去効果が高いといえる。
【0023】また図10〜図14はいずれも線分析デー
タであるが、図10はボンバード処理しないサンプル
(電極軸部)の線分析データ図、図11は400Tor
rで1秒間ボンバード処理したサンプル(電極軸部)の
線分析データ図、図12は800Torrで1秒間ボン
バード処理したサンプル(電極軸部)の線分析データ
図、図13は1200Torrで1秒間ボンバード処理
したサンプル(電極軸部)の線分析データ図、図14は
標準サンプルの分析ピークの強度(目盛上に示す)に対
する試験サンプルの分析ピークの強度により定量した結
果(電極球形部との境界より150μm毎に読み取っ
た)を示す図表である。
タであるが、図10はボンバード処理しないサンプル
(電極軸部)の線分析データ図、図11は400Tor
rで1秒間ボンバード処理したサンプル(電極軸部)の
線分析データ図、図12は800Torrで1秒間ボン
バード処理したサンプル(電極軸部)の線分析データ
図、図13は1200Torrで1秒間ボンバード処理
したサンプル(電極軸部)の線分析データ図、図14は
標準サンプルの分析ピークの強度(目盛上に示す)に対
する試験サンプルの分析ピークの強度により定量した結
果(電極球形部との境界より150μm毎に読み取っ
た)を示す図表である。
【0024】各分析位置における残存酸素量は、図14
に示す通りで、800Torr,1200Torrで1
秒間ボンバード処理した(アーク放電させた)場合の電
極軸部の残存酸素量の平均値は2.21wt%,3.0
8wt%で、400Torrで1秒間ボンバード処理し
た(アーク放電させた)場合の電極軸部の残存酸素量の
平均値3.76wt%に比べて少ない。従って、電極軸
部の酸化物の除去には、アルゴン封入圧が800Tor
r〜1200Torrが良好であることがわかる。
に示す通りで、800Torr,1200Torrで1
秒間ボンバード処理した(アーク放電させた)場合の電
極軸部の残存酸素量の平均値は2.21wt%,3.0
8wt%で、400Torrで1秒間ボンバード処理し
た(アーク放電させた)場合の電極軸部の残存酸素量の
平均値3.76wt%に比べて少ない。従って、電極軸
部の酸化物の除去には、アルゴン封入圧が800Tor
r〜1200Torrが良好であることがわかる。
【0025】また図15〜図18は、本発明におけるボ
ンバード処理(アルゴンガス1000Torr雰囲気下
で、電流密度80A/mm2 で1秒間放電)を行ったア
ークチューブと、従来のボンバード処理(アルゴンガス
400Torr雰囲気下で、電流密度数mA/mm2 で
0.2秒間放電)をおこなったアークチューブとの寿命
試験結果を示す図で、各図において(a)は従来例、
(b)は本発明をそれぞれ示しており、図15は管電圧
についての働程性能特性を示す図、図16は光束維持率
についての働程性能特性を示す図、図17は色温度につ
いての働程性能特性を示す図、図18はRaについての
働程性能特性を示す図である。
ンバード処理(アルゴンガス1000Torr雰囲気下
で、電流密度80A/mm2 で1秒間放電)を行ったア
ークチューブと、従来のボンバード処理(アルゴンガス
400Torr雰囲気下で、電流密度数mA/mm2 で
0.2秒間放電)をおこなったアークチューブとの寿命
試験結果を示す図で、各図において(a)は従来例、
(b)は本発明をそれぞれ示しており、図15は管電圧
についての働程性能特性を示す図、図16は光束維持率
についての働程性能特性を示す図、図17は色温度につ
いての働程性能特性を示す図、図18はRaについての
働程性能特性を示す図である。
【0026】図15(a),(b)から、1000時間
経過時の管電圧は、従来例が+9.9V(112.8
%)であるのに対し、本発明が+8.8V(109.5
%)で、略同等である。即ち、本発明では、電極に高電
流密度の電流を作用させるボンバード処理を行ったが、
管電圧には全く影響していない。図16(a),(b)
から、1000時間経過時の光束維持率は、従来例では
83.0%であるのに対し、本発明では86.6%で、
本発明方法の方が光束維持率の変化量(低下量)が少な
い。また100時間経過時の光束値を100%としたと
きの1000時間経過時の光束維持率は、従来例が8
9.0%であるのに対し、本発明では89.9%で、い
ずれの場合も100時間経過時における差に比べればわ
ずかで、略同等である。また2000時間を達成した本
発明のサンプルの光束維持率は82.1%で、2000
時間を達成した従来例のサンプルの76.1%よりも6
%も高い。
経過時の管電圧は、従来例が+9.9V(112.8
%)であるのに対し、本発明が+8.8V(109.5
%)で、略同等である。即ち、本発明では、電極に高電
流密度の電流を作用させるボンバード処理を行ったが、
管電圧には全く影響していない。図16(a),(b)
から、1000時間経過時の光束維持率は、従来例では
83.0%であるのに対し、本発明では86.6%で、
本発明方法の方が光束維持率の変化量(低下量)が少な
い。また100時間経過時の光束値を100%としたと
きの1000時間経過時の光束維持率は、従来例が8
9.0%であるのに対し、本発明では89.9%で、い
ずれの場合も100時間経過時における差に比べればわ
ずかで、略同等である。また2000時間を達成した本
発明のサンプルの光束維持率は82.1%で、2000
時間を達成した従来例のサンプルの76.1%よりも6
%も高い。
【0027】これは、本発明が従来例に比べて100時
間経過時付近での光束維持率の低下量が少なく、その後
は本発明も従来例も略同様の低下率で変化することを意
味する。これは、寿命初期において、アークチューブ
(ガラス球)内の酸素が「4ScI3 +4Sio2 +3
O2 +6Hg→2Sc2 Si2 O7 +6HgI2 」で示
す反応によって発光に寄与するScI3 が消失するため
と推測されるが、本発明では、アークチューブ(ガラス
球)内に残存する酸化物が少ないため、前記した反応に
よるScI3 の消失が少なく、寿命初期における急激な
光束の低下がないためと推定される。
間経過時付近での光束維持率の低下量が少なく、その後
は本発明も従来例も略同様の低下率で変化することを意
味する。これは、寿命初期において、アークチューブ
(ガラス球)内の酸素が「4ScI3 +4Sio2 +3
O2 +6Hg→2Sc2 Si2 O7 +6HgI2 」で示
す反応によって発光に寄与するScI3 が消失するため
と推測されるが、本発明では、アークチューブ(ガラス
球)内に残存する酸化物が少ないため、前記した反応に
よるScI3 の消失が少なく、寿命初期における急激な
光束の低下がないためと推定される。
【0028】図17(a),(b)から、色温度は、従
来例が+310K(107.2%)であるのに対し、本
発明が+482K(111.8%)で略同等で、色温度
にも全く影響していない。また図18(a),(b)か
ら、平均演色評価数(Ra)は、従来例が+4.7%
(106.9%)であるのに対し、本発明が+4.2
(106.0%)で略同等で、Raにも全く影響してい
ない。
来例が+310K(107.2%)であるのに対し、本
発明が+482K(111.8%)で略同等で、色温度
にも全く影響していない。また図18(a),(b)か
ら、平均演色評価数(Ra)は、従来例が+4.7%
(106.9%)であるのに対し、本発明が+4.2
(106.0%)で略同等で、Raにも全く影響してい
ない。
【0029】なお前記実施例では、排気管接続ヘッド1
0を介してアークチューブの接続管2に排気装置を取り
付ける構造となっているが、特開昭63−128519
号に示すように、排気管2に排気装置を直接取り付ける
ようにしてもよい。
0を介してアークチューブの接続管2に排気装置を取り
付ける構造となっているが、特開昭63−128519
号に示すように、排気管2に排気装置を直接取り付ける
ようにしてもよい。
【0030】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る放電バルブ用アークチューブの製造方法によれ
ば、ボンバード処理において電極に供給される電流の電
流密度は30〜100A/mm2 で、従来のボンバード
処理における電流密度(数mA/mm2 〜数十mA/m
m2 )に比べ非常に高く、電極間では高温度となるアー
ク放電が行われて、電極表面に付着している不純物(主
として酸化物)を確実に除去でき、さらにボンバード処
理後に行われる加熱脱ガス工程によってガラス球に付着
している不純物も確実に除去されるので、光束維持率の
良いアークチューブを製造することができる。
に係る放電バルブ用アークチューブの製造方法によれ
ば、ボンバード処理において電極に供給される電流の電
流密度は30〜100A/mm2 で、従来のボンバード
処理における電流密度(数mA/mm2 〜数十mA/m
m2 )に比べ非常に高く、電極間では高温度となるアー
ク放電が行われて、電極表面に付着している不純物(主
として酸化物)を確実に除去でき、さらにボンバード処
理後に行われる加熱脱ガス工程によってガラス球に付着
している不純物も確実に除去されるので、光束維持率の
良いアークチューブを製造することができる。
【0031】また請求項2によれば、電極でのアーク放
電時間が、酸化物の除去に有効な0.5秒以上で、電極
の熱変形しない1秒以下とされているので、電極に付着
している酸化物が十分に除去されるとともに、過熱によ
り電極が変形するおそれもない。また請求項3によれ
ば、不活性ガスのうちアルゴンは安価かつ取扱も容易で
あり、電極球形部および軸部に付着した酸化物の除去に
有効なガス圧800〜1200Torrの範囲でボンバ
ード処理されるため、さらに光束維持率の良いアークチ
ューブが得られることとなる。
電時間が、酸化物の除去に有効な0.5秒以上で、電極
の熱変形しない1秒以下とされているので、電極に付着
している酸化物が十分に除去されるとともに、過熱によ
り電極が変形するおそれもない。また請求項3によれ
ば、不活性ガスのうちアルゴンは安価かつ取扱も容易で
あり、電極球形部および軸部に付着した酸化物の除去に
有効なガス圧800〜1200Torrの範囲でボンバ
ード処理されるため、さらに光束維持率の良いアークチ
ューブが得られることとなる。
【図1】本発明方法によって製造されたアークチューブ
の縦断面図
の縦断面図
【図2】本発明方法によるアークチューブの製造方法を
説明する説明図
説明する説明図
【図3】電極における点分析位置および線分析位置を示
す図
す図
【図4】標準サンプル(電極球形部)の点分析データ図
【図5】ボンバード処理しないサンプル(電極球形部)
の点分析データ図
の点分析データ図
【図6】400Torrで1秒間ボンバード処理したサ
ンプル(電極球形部)の点分析データ図
ンプル(電極球形部)の点分析データ図
【図7】800Torrで1秒間ボンバード処理したサ
ンプル(電極球形部)の点分析データ図
ンプル(電極球形部)の点分析データ図
【図8】1200Torrで1秒間ボンバード処理した
サンプル(電極球形部)の点分析データ図
サンプル(電極球形部)の点分析データ図
【図9】標準サンプルの分析ピークに対する各試験サン
プルの分析ピークの強度より定量した結果を示す図表
プルの分析ピークの強度より定量した結果を示す図表
【図10】ボンバード処理しないサンプル(電極軸部)
の線分析データ図
の線分析データ図
【図11】400Torrで1秒間ボンバード処理した
サンプル(電極軸部)の線分析データ図
サンプル(電極軸部)の線分析データ図
【図12】800Torrで1秒間ボンバード処理した
サンプル(電極軸部)の線分析データ図
サンプル(電極軸部)の線分析データ図
【図13】1200Torrで1秒間ボンバード処理し
たサンプル(電極軸部)の線分析データ図
たサンプル(電極軸部)の線分析データ図
【図14】標準サンプルの分析ピークの強度に対する試
験サンプルの分析ピークの強度より定量した結果を示す
図表
験サンプルの分析ピークの強度より定量した結果を示す
図表
【図15】(a)従来方法によって製造されたアークチ
ューブ(グロー放電によるボンバード処理の行われたア
ークチューブ)の管電圧特性図 (b)本発明方法によって製造されたアークチューブ
(アーク放電によるボンバード処理の行われたアークチ
ューブ)の管電圧特性図
ューブ(グロー放電によるボンバード処理の行われたア
ークチューブ)の管電圧特性図 (b)本発明方法によって製造されたアークチューブ
(アーク放電によるボンバード処理の行われたアークチ
ューブ)の管電圧特性図
【図16】(a)従来方法によって製造されたアークチ
ューブ(グロー放電によるボンバード処理の行われたア
ークチューブ)の光束維持率特性図 (b)本発明方法によって製造されたアークチューブ
(アーク放電によるボンバード処理の行われたアークチ
ューブ)の光束維持率特性図
ューブ(グロー放電によるボンバード処理の行われたア
ークチューブ)の光束維持率特性図 (b)本発明方法によって製造されたアークチューブ
(アーク放電によるボンバード処理の行われたアークチ
ューブ)の光束維持率特性図
【図17】(a)従来方法によって製造されたアークチ
ューブ(グロー放電によるボンバード処理の行われたア
ークチューブ)の色温度特性図 (b)本発明方法によって製造されたアークチューブ
(アーク放電によるボンバード処理の行われたアークチ
ューブ)の色温度特性図
ューブ(グロー放電によるボンバード処理の行われたア
ークチューブ)の色温度特性図 (b)本発明方法によって製造されたアークチューブ
(アーク放電によるボンバード処理の行われたアークチ
ューブ)の色温度特性図
【図18】(a)従来方法によって製造されたアークチ
ューブ(グロー放電によるボンバード処理の行われたア
ークチューブ)のRa特性図 (b)本発明方法によって製造されたアークチューブ
(アーク放電によるボンバード処理の行われたアークチ
ューブ)のRa特性図
ューブ(グロー放電によるボンバード処理の行われたア
ークチューブ)のRa特性図 (b)本発明方法によって製造されたアークチューブ
(アーク放電によるボンバード処理の行われたアークチ
ューブ)のRa特性図
【図19】従来のアークチューブの縦断面図
【図20】従来のアークチューブの製造方法を説明する
説明図
説明図
1 アークチューブ 1a ガラス球 2 排気管 10 排気管接続ヘッド 20 アーク放電用回路 c,c 電極
Claims (3)
- 【請求項1】 電極の対設されたアークチューブのガラ
ス球に排気管を接続し、この排気管に排気装置を取り付
け、排気管を介して排気したガラス球内に不活性ガスを
封入するとともに、対向電極に放電用回路を接続して、
不活性ガス雰囲気下で電極間を放電させた後、ガラス球
内を排気するボンバード処理を行い、次いで加熱しつつ
ガラス球内を排気する脱ガス処理を行い、次いで、排気
管を介してガラス球内に発光物質である金属ハロゲン化
物と水銀および希ガスを順次封入した後、排気管をチッ
プオフする放電バルブ用アークチューブの製造方法であ
って、前記ボンバード処理における電極への供給電流の
電流密度が、電極間でアーク放電する30〜100A/
mm2 とされたことを特徴とする放電バルブ用アークチ
ューブの製造方法。 - 【請求項2】 前記ボンバード処理における電極への通
電時間が0.5秒〜1秒であることを特徴とする請求項
1記載の放電バルブ用アークチューブの製造方法。 - 【請求項3】 前記ボンバード処理の際に、ガラス球に
封入される不活性ガスはアルゴンであって、ガラス球内
の圧力が800Torr〜1200Torrであること
を特徴とする請求項1又は2記載の放電バルブ用アーク
チューブの製造方法。
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