JPH0414931Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0414931Y2
JPH0414931Y2 JP3477985U JP3477985U JPH0414931Y2 JP H0414931 Y2 JPH0414931 Y2 JP H0414931Y2 JP 3477985 U JP3477985 U JP 3477985U JP 3477985 U JP3477985 U JP 3477985U JP H0414931 Y2 JPH0414931 Y2 JP H0414931Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
box
floating
heater chip
pressurizing
link
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP3477985U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61151339U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP3477985U priority Critical patent/JPH0414931Y2/ja
Publication of JPS61151339U publication Critical patent/JPS61151339U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0414931Y2 publication Critical patent/JPH0414931Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔概要〕 ボンデイング装置のヒータチツプをフローテイ
ング状態にて加圧する構造であつて、箱型リンク
構造をとることにより、ヒータチツプの傾倒の防
止を可能とする。
〔産業上の利用分野〕
本考案はボンデイング装置のヒータチツプをフ
ローテイング可能に保持しながら該ヒータチツプ
の傾倒を防止し得る加圧構造に関するものであ
る。
ボンデイング装置において、ヒータチツプは、
はんだ付け作業の対象物に対し、所定の圧力の下
で、該対象物の表面に垂直に押し付けられること
を要する。ヒータチツプが対象物に対して左右い
ずれかに相対的に傾いた状態で加圧されると、当
該対象物が位置ずれしてはんだ付けされるか、ま
たは所要の接合面積のうち一部においてのみはん
だ付けに必要な圧力にて加圧される結果十分な機
械的強度の接合が得られないことになる。
このようにボンデイング性が失われることを防
止するために、ヒータチツプは、はんだ付けの対
象物の形状に対応した形状であるとともに、ヒー
タチツプまたははんだ付けの対象物のいずれかが
傾いている場合に該対象物の表面に沿つてヒータ
チツプの姿勢が自由に振れるような構造になつて
いることが必要である。
〔従来の技術〕
ボンデイング作業の加圧時にヒータチツプが対
象物の表面に沿つて姿勢を変更可能とするには、
従来は例えば第3図及び第4図に示すようなフロ
ーテイングリンク機構を採用している。第3図及
び第4図において加圧本体1は図示しない駆動源
及び上下移動の案内の下で矢印A方向に加圧力を
発揮する。加圧本体1の下向きの移動力は加圧ば
ね2を介してフローテイング本体3に伝達され
る。該フローテイング本体3には軸4が取り付け
られ、該軸4は上記加圧本体1に所定範囲内のス
ライドが可能であるように嵌合している。フロー
テイング本体3はほぼ倒立L字型をしており、フ
ローテイング本体3の下端部中央には軸5が横向
きに固定してあり、該軸5の端部にはベアリング
6を介してリンク7が矢印B方向に揺動自在に支
持されている。リンク7の上端部中央には軸8が
横向きに固定してあり。該軸8の端部にはベアリ
ング9を介してリンク10が矢印C方向に揺動自
在に支持されている。該リンク10の下端部には
ヒータチツプ11が固定されている。
従つて、ボンデイング作業時にヒータチツプと
対象物との位置合わせをおこなつたのち、加圧本
体1が矢印A方向に下降移動をすると、加圧ばね
2の弾発力の作用でフローテイング本体3が押し
下げられるから、ヒータチツプ11は対象物に所
定圧にて押し付けられ、はんだ付けが行われる。
ボンデイング対象物の表面が加圧本体1による
加圧方向Aに対して垂直でないときは、両リンク
7,10は該対象物にならつてフローテイングし
ながらヒータチツプ11を加圧する。従つて、こ
の場合も加圧本体1の加圧力はヒータチツプ11
と対象物との接触面に均一に且つ所定の圧力で作
用するので、所期のボンデイングを行うことがで
きる。
〔考案が解決しようとする問題点〕
この従来構造では第1に加圧本体1がフローテ
イング本体3に及ぼす力は第3図に示すようにヒ
ータチツプ11の下端部を支点12として作用す
るものであり、この力と支点との距離13が長い
ので、加圧力がヒータチツプ11に生ずるモーメ
ントも大きくなる。
また、この従来構造では第2に加圧本体1がフ
ローテイング本体3に及ぼす力は一旦フローテイ
ング本体3の側面3aに伝達されたのち、2つの
片持ちの軸5,8を経てヒータチツプ11に作用
する。このように片持ち支持の構造をとつている
から、ベアリング6,9にも大きなモーメントが
働き、該ベアリング6,9は使用に連れて狂いが
生じ易い。
上記第1及び第2の事情から、ヒータチツプ1
1は第3図の鎖線に示すごとく傾倒姿勢Dをとり
易い。従つて、予め位置合わせしておいたボンデ
イング対象物は位置ずれを生じ、すぐれた位置で
接合されるか又は充分な機械的強度が得られず、
ボンデイング不良となる。特にリード線に集積回
路など部品を接合する場合にヒータチツプ11が
傾斜姿勢Dをとると、該部品などの対象物がリー
ド線からずれ易く、また対象物の接合部位に変形
を生じることがある。
本考案はこのような点に鑑みて創作されたもの
で、コンパクトな構成で、フローテイング性を損
なうことなくヒータチツプが傾倒することを防止
し得るボンデイング装置におけるフローテイング
チツプの加圧構造を提供することを目的としてい
る。
〔問題点を解決するための手段〕
ボンデイング装置の加圧本体の下側にヒータチ
ツプをフローテイング状態で連結するためのフロ
ーテイングリンク機構において、本考案では該フ
ローテイングリンク機構のリンク構造を箱型リン
ク構造とする。
〔作用〕
フローテイングリンク機構のリンク構造を箱型
リンク構造とするから、第1に加圧本体がフロー
テイングリンク機構に及ぼす加圧力とヒータチツ
プとの距離を小さくして、該ヒータチツプの受け
るモーメントを小さくすることができる。また第
2にベアリングまわりの片持ち支持を回避するか
ら、ベアリングに狂いが生じない。
従つて、ヒータチツプは、フローテイング状態
にて加圧力を受けながら、傾倒を防止してボンデ
イング性を向上し得る。
〔実施例〕
第1図及び第2図は本考案の実施例であつて、
加圧本体1は図示しない駆動源及び上下移動の案
内の下で矢印A方向に加圧力を発揮する。加圧本
体1の下向きの移動力は加圧ばね2を介してフロ
ーテイング本体23に伝達される。該フローテイ
ング本体23には軸4が取り付けられ、該軸4は
上記加圧本体1に所定範囲内のスライドが可能で
あるように嵌合している。フローテイング本体2
3は正面及び側断面がいずれもほぼT字型をして
おり、フローテイング本体23の中央における垂
下部23aの下端近傍には軸25の中央部が横向
きに固定してある。該軸25の両端部にはベアリ
ング26を介して、フローテイング本体23の垂
下部23aを囲う箱型リンク27の両側面27a
が取り付けてあり、従つて、該箱型リンク27は
矢印B方向に揺動自在に支持されている。箱型リ
ンク27の該両側面27aの上端部中央には、フ
ローテイング本体23の垂下部23aに設けた穴
23bを可動的に貫通する軸28の中央部が横向
きに固定してある。該軸28の両端部には、ベア
リング29を介して、上記箱型リンク27を囲う
箱型リンク30の両側面30aが取り付けてあ
り、従つて箱型リンク30は矢印C方向に揺動自
在に支持されている。該箱型リンク30の下端部
にはヒータチツプ11が固定されている。なお、
フローテイング本体23に対する箱型リンク27
の揺動状態及び箱型リンク27に対する箱型リン
ク30の揺動状態は、いずれも、非加圧時には図
示しない弾発構造により中心を保持する機能があ
る。
従つて、ボンデイング作業時にヒータチツプと
対象物との位置合わせをおこなつたのち、加圧本
体1が矢印A方向に下降移動をすると、加圧ばね
2の弾発力の作用でフローテイング本体23が押
し下げられるから、ヒータチツプ11は対象物に
所定圧にて押し付けられ、はんだ付けが行われ
る。
ボンデイング対象物の表面が加圧本体1による
加圧方向Aに対して垂直でないときは、両箱型リ
ンク27,30は該対象物にならつてフローテイ
ングしながらヒータチツプ11を加圧する。更に
詳しく言えば、ヒータチツプ11が対象物に対し
傾いて当たると、ヒータチツプ11と対象物との
接触面における圧力が不均一になることから、箱
型リンク27はフローテイング本体23に対して
矢印B方向に若干揺動し且つこれを補償するため
に箱型リンク30が箱型リンク27に対して矢印
C方向で上記箱型リンク27の揺動とは逆向きに
揺動するので、ヒータチツプ11は、対象物に対
する接触位置をずらすことなく、且つ当該接触面
において横方向の力を生じることなく、対象物に
対するヒータチツプ11の接触方向が変化する。
従つて、ヒータチツプがこのようにフローテイン
グする構造となつているから、加圧本体1の加圧
力はヒータチツプ11と対象物との接触面に均一
に且つ所定の圧力で作用するので、所期のボンデ
イングを行うことができる。
この加圧構造は、このようにフローテイングす
るリンク機構として箱型リンク27と箱型リンク
30とからなる箱型リンク構造をとつているか
ら、第1に加圧本体1がフローテイング本体23
に及ぼす力とヒータチツプ11の支点12との距
離14は第1図に示すように充分に小さくするこ
とができる。従つて、加圧力がヒータチツプ11
に生じるモーメントは小さくなる。
また、このように箱型リンク構造をとつている
から、第2に加圧本体1からヒータチツプ11に
至るフローテイング機構において片持ち構造がな
く、ベアリング26,29や軸25,28の取り
付け部等にモーメントが作用しない。従つて、該
フローテイングリンク機構の各部に狂いまたはガ
タが生じることがない。
上記第1及び第2の事情から、ヒータチツプ1
1は第1図において横方向に傾斜姿勢をとること
がなく、その結果ボンデイング不良の防止が可能
である。
この加圧構造は、箱型リンク30の両側面に設
けた一対のベアリング29の相互間に箱型リンク
27及びフローテイング本体23の垂下部23a
を収めるから、一対のベアリング29間に必要な
スパンをとりながら箱型リンク30の厚みをコン
パクトにすることができる。ベアリング26につ
いても同様である。従つて、この加圧構造を小型
化、コンパクト化し得る。
〔考案の効果〕
以上述べてきたように、本考案によれば、箱型
リンク構造により加圧点と作用点とを接近させる
とともに両持ち構造として、ボンデイング性の阻
害要因であるヒータチツプの傾斜を排除し、ボン
デイング作業の品質向上を可能として、実用上に
は極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の実施例を示す側断面図、第2
図は第1図の構造の正面図、第3図は従来構造を
説明する側面図、第4図は第3図の構造の正面図
である。 第1図、第2図において、1は加圧本体、2は
加圧ばね、11はヒータチツプ、23はフローテ
イング本体、25,28は軸、26,29はベア
リング、27,30は箱型リンクである。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 加圧本体1の下側にフローテイング本体23、
    およびフローテイングリンク機構を介してヒータ
    チツプ11を連結しているボンデイング装置にお
    いて、 該フローテイングリンク機構は上記フローテイ
    ング本体の略中央における垂下部の下端近傍に揺
    動可能に軸支される第1の箱型部材と、該第1の
    箱型部材上端部中央に揺動可能に軸支されると共
    に当該第1の箱型部材を囲う第2の箱型部材とに
    より箱型リンク構造としてなることを特徴とする
    ボンデイング装置におけるフローテイングチツプ
    の加圧構造。
JP3477985U 1985-03-12 1985-03-12 Expired JPH0414931Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3477985U JPH0414931Y2 (ja) 1985-03-12 1985-03-12

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3477985U JPH0414931Y2 (ja) 1985-03-12 1985-03-12

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61151339U JPS61151339U (ja) 1986-09-18
JPH0414931Y2 true JPH0414931Y2 (ja) 1992-04-03

Family

ID=30538468

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3477985U Expired JPH0414931Y2 (ja) 1985-03-12 1985-03-12

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0414931Y2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2510593B2 (ja) * 1987-06-17 1996-06-26 株式会社日立製作所 半田リフロ−装置
US4851648A (en) * 1988-10-24 1989-07-25 Hughes Aircraft Company Heater bar assembly

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61151339U (ja) 1986-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW578246B (en) Electronic component bonder and bonding tool
JPH0414931Y2 (ja)
FR2756025A1 (fr) Structure de cardan pour la liaison articulee d'un hexapode
US5150827A (en) Self-leveling reflow solder head with double pivot
US3505726A (en) Bonding process which reduces workpiece displacement and backwelding
EP0294435A1 (en) Wire bonder with open center of motion
JPH10128583A (ja) 位置決めクランプ装置
EP0444328A1 (en) Improved hot-bar suspension system
JP2513076B2 (ja) 半導体装置の製造方法及びその装置
US5335842A (en) Self-aligning single point bonding tool
JP3263462B2 (ja) ワイヤボンディング用ワイヤの把持装置
JP2006128486A (ja) 電子部品の超音波実装方法
JPH03281137A (ja) クランプ構造
JPS5930698A (ja) ロボツトの手首装置
CN112033651B (zh) 用于配重测试的杠杆组件
JP2000216198A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP3617485B2 (ja) 電子部品のボンディング装置およびボンディングツール
US5996434A (en) Pressure head with dual horns
KR950702893A (ko) 용접될 판형 물체의 에지를 정렬시키는 수단(Means for aligning the edges of plate-like bodies to be welded)
JP2001060309A (ja) 静電破壊防止用の短絡部を有する薄膜磁気ヘッド装置、同短絡部の形成方法、および同短絡部の形成装置
JP3746714B2 (ja) ボンディングツール、ボンディングツールを備える電子部品の接合方法、および接合装置
JPH08236572A (ja) ワイヤボンダ
JPH0289212A (ja) 磁気ヘッドスライダ支持機構
JP2519758Y2 (ja) 被溶接材のクランブ装置
JPS631813U (ja)