JPH04149943A - パターン検査用走査電子顕微鏡 - Google Patents
パターン検査用走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH04149943A JPH04149943A JP2274849A JP27484990A JPH04149943A JP H04149943 A JPH04149943 A JP H04149943A JP 2274849 A JP2274849 A JP 2274849A JP 27484990 A JP27484990 A JP 27484990A JP H04149943 A JPH04149943 A JP H04149943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- marker
- cursor
- pattern
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、半導体集積回路の製造工程における検査装置
として好適なパターン検査用走査電子顕微鏡に関する。
として好適なパターン検査用走査電子顕微鏡に関する。
（従来の技術）
半導体集積回路の製造工程における検査装置として、走
査電子顕微鏡の利用が進んでいる。特に、ウェハ上に形
成されたパターンの幅、長さなどは、走査電子顕微鏡に
おける重要な検査項目の一つとなっている。このような
検査を容易とする目的から、走査電子顕微鏡の観察画像
に重ねて、平行な２本の直線（カーソル）を表示し、そ
のカーソルの幅や位置を調節し、測定対象に一致させる
ことにより、走査電子顕微鏡像の倍率に応じて、カーソ
ルに対応する幅や長さが表示やプリントされるという機
能が従来より使用されている。
査電子顕微鏡の利用が進んでいる。特に、ウェハ上に形
成されたパターンの幅、長さなどは、走査電子顕微鏡に
おける重要な検査項目の一つとなっている。このような
検査を容易とする目的から、走査電子顕微鏡の観察画像
に重ねて、平行な２本の直線（カーソル）を表示し、そ
のカーソルの幅や位置を調節し、測定対象に一致させる
ことにより、走査電子顕微鏡像の倍率に応じて、カーソ
ルに対応する幅や長さが表示やプリントされるという機
能が従来より使用されている。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、パターンの幅や長さの検査においては、許容
誤差が設定されている場合が多く、測定値の設定値から
のずれがこの許容誤差を越える場合に検査対象の試料（
半導体集積回路）は不合格と判定される。この検査を前
述した走査電子顕微鏡の機能を用いて行うと、表示され
た検査結果が、許容範囲に含まれるかどうかを数値的に
判定しなければならない。そのため、実開昭８４−９３
５３号に記載された考案においては、設計線幅およびそ
れに対する許容範囲を３本の直線を画像上に明瞭に表示
することで、測定対象の幅かこの範囲に入っているか否
かの判断や検査の合否の判定を容易にしている。この方
法は、検査対象が単一の幅で、その対象が許容誤差の範
囲かどうかの検査を行う上では非常に簡便で有用である
が、被検ウェハ上の測定対象が数種の幅を持つときには
、設計線幅および許容誤差を改めて入力せねばならず、
手間がかかる欠点を有する。
誤差が設定されている場合が多く、測定値の設定値から
のずれがこの許容誤差を越える場合に検査対象の試料（
半導体集積回路）は不合格と判定される。この検査を前
述した走査電子顕微鏡の機能を用いて行うと、表示され
た検査結果が、許容範囲に含まれるかどうかを数値的に
判定しなければならない。そのため、実開昭８４−９３
５３号に記載された考案においては、設計線幅およびそ
れに対する許容範囲を３本の直線を画像上に明瞭に表示
することで、測定対象の幅かこの範囲に入っているか否
かの判断や検査の合否の判定を容易にしている。この方
法は、検査対象が単一の幅で、その対象が許容誤差の範
囲かどうかの検査を行う上では非常に簡便で有用である
が、被検ウェハ上の測定対象が数種の幅を持つときには
、設計線幅および許容誤差を改めて入力せねばならず、
手間がかかる欠点を有する。
また、前記カーソルの幅および位置合わせには、一つの
移動手段を切り替えて、左右（または上下）のカーソル
それぞれを動かすことで行うことが多い。しかし、上記
考案では、２本のカーソルが同一種類の線となっている
ので、現在どちらのカーソルか移動できるかが画面上で
は明確でなく、操作を誤り易い。
移動手段を切り替えて、左右（または上下）のカーソル
それぞれを動かすことで行うことが多い。しかし、上記
考案では、２本のカーソルが同一種類の線となっている
ので、現在どちらのカーソルか移動できるかが画面上で
は明確でなく、操作を誤り易い。
本発明は、このような点に鑑みてなされたもので、その
目的は、異なった幅や長さに対しても、簡単に合否の検
査を行うことができる検査用走査電子顕微鏡を実現する
にある。
目的は、異なった幅や長さに対しても、簡単に合否の検
査を行うことができる検査用走査電子顕微鏡を実現する
にある。
（課題を解決するための手段）
本発明に基づく検査用走査電子顕微鏡は、電子ビームを
試料上に集束する集束手段と、試料上で電子ビームを２
次元的に走査するための走査手段と、試料への電子ビー
ムの照射に基づいて発生した信号を検出する検出器と、
検出器がらの検出信号が輝度信号として供給される陰極
線管と、検査すべきパターン範囲を決定する第１と第２
のカーソルの位置を設定する位置設定手段と、第１と第
２のカーソル位置の差と許容誤差率とに基づいて許容幅
マーカ位置を自動的に演算するマーカ位置演算部と、第
１と第２のカーソル位置とマーカ位置とに基づいて、第
１と第２のカーソル信号およびマーカ信号を発生し、こ
れらカーソル信号とマーカ信号に基づくカーソルとマー
カを前記検出信号に基づいて陰極線管に表示される試料
像に重畳して表示するための手段とを備えたことを特徴
としている。
試料上に集束する集束手段と、試料上で電子ビームを２
次元的に走査するための走査手段と、試料への電子ビー
ムの照射に基づいて発生した信号を検出する検出器と、
検出器がらの検出信号が輝度信号として供給される陰極
線管と、検査すべきパターン範囲を決定する第１と第２
のカーソルの位置を設定する位置設定手段と、第１と第
２のカーソル位置の差と許容誤差率とに基づいて許容幅
マーカ位置を自動的に演算するマーカ位置演算部と、第
１と第２のカーソル位置とマーカ位置とに基づいて、第
１と第２のカーソル信号およびマーカ信号を発生し、こ
れらカーソル信号とマーカ信号に基づくカーソルとマー
カを前記検出信号に基づいて陰極線管に表示される試料
像に重畳して表示するための手段とを備えたことを特徴
としている。
（作用）
本発明に基づく検査用走査電子顕微鏡においては、画面
上に検査すべきパターンの幅を規定する２本のカーソル
と、許容範囲を示すマーカとを表示し、第１と第２のカ
ーソル位置の差と、許容誤差率とに基づいて自動的にマ
ーカ位置を演算する。
上に検査すべきパターンの幅を規定する２本のカーソル
と、許容範囲を示すマーカとを表示し、第１と第２のカ
ーソル位置の差と、許容誤差率とに基づいて自動的にマ
ーカ位置を演算する。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。第１図は本発明の一実施例を示したもので、１は電子
銃である。該電子銃１から発生した電子ビームは、対物
レンズ２によって試料３上に細く集束される。該試料３
上の電子ビーム照射位置は、偏向コイル４に供給される
信号に応じて変化させられる。該偏向コイル４には、走
査信号発生回路５から走査信号が供給される。該試料３
への電子ビームの照射によって発生した２次電子は、２
次電子検出器６によって検出される。該検出器６によっ
て検出された信号は、増幅器７によって増幅された後、
加算器８に供給される。加算器８は、増幅器７からの検
出信号と、カーソルマーカ信号作成部９からの信号とを
加算し、加算した信号を陰極線管１０に映像の輝度信号
として供給する。
。第１図は本発明の一実施例を示したもので、１は電子
銃である。該電子銃１から発生した電子ビームは、対物
レンズ２によって試料３上に細く集束される。該試料３
上の電子ビーム照射位置は、偏向コイル４に供給される
信号に応じて変化させられる。該偏向コイル４には、走
査信号発生回路５から走査信号が供給される。該試料３
への電子ビームの照射によって発生した２次電子は、２
次電子検出器６によって検出される。該検出器６によっ
て検出された信号は、増幅器７によって増幅された後、
加算器８に供給される。加算器８は、増幅器７からの検
出信号と、カーソルマーカ信号作成部９からの信号とを
加算し、加算した信号を陰極線管１０に映像の輝度信号
として供給する。
１１はジョイスティックの如きカーソル移動手段であり
、このカーソル移動手段を操作することにより、スイッ
チ１２を介してカーソル位置が第１のカーソル位置カウ
ンタ１３が第２のカーソル位置カウンタ１４にセットさ
れる。第１と第２のカーソル位置カウンタ１３，１４に
記憶された値に基づいて、前記カーソルマーカ信号作成
部９は、カーソル信号を作成する。第１と第２の位置カ
ウンタの値は、許容線幅算出手段１５にも供給されてお
り、許容線幅算出手段１５は、第１と第２の位置カウン
タの値と、誤差率メモリー１６にセットされた誤差率と
から、許容線幅を算出し、その値をカーソルマーカ信号
作成部９に供給する。このような構成の走査電子顕微鏡
の動作は次の通りである。
、このカーソル移動手段を操作することにより、スイッ
チ１２を介してカーソル位置が第１のカーソル位置カウ
ンタ１３が第２のカーソル位置カウンタ１４にセットさ
れる。第１と第２のカーソル位置カウンタ１３，１４に
記憶された値に基づいて、前記カーソルマーカ信号作成
部９は、カーソル信号を作成する。第１と第２の位置カ
ウンタの値は、許容線幅算出手段１５にも供給されてお
り、許容線幅算出手段１５は、第１と第２の位置カウン
タの値と、誤差率メモリー１６にセットされた誤差率と
から、許容線幅を算出し、その値をカーソルマーカ信号
作成部９に供給する。このような構成の走査電子顕微鏡
の動作は次の通りである。
走査信号発生回路５から偏向コイル４には、試料３上の
特定範囲を２次元的に走査するための走査信号が供給さ
れ、その結果、試料３の検査すべきパターンを含む領域
は電子ビームによって走査される。この電子ビームの走
査に基づいて発生する２次電子は、検出器６によって検
出される。この検出信号は増幅器７によって増幅され、
加算器８を介して走査信号発生回路５から走査信号か供
給されている陰極線管１０に輝度信号として供給される
ことから、陰極線管１０の画面上には、試料３の特定領
域の２次電子像か表示される。第２図は陰極線管１０の
画面の一例を示しており、図中Ｐが検査対象となるパタ
ーンである。
特定範囲を２次元的に走査するための走査信号が供給さ
れ、その結果、試料３の検査すべきパターンを含む領域
は電子ビームによって走査される。この電子ビームの走
査に基づいて発生する２次電子は、検出器６によって検
出される。この検出信号は増幅器７によって増幅され、
加算器８を介して走査信号発生回路５から走査信号か供
給されている陰極線管１０に輝度信号として供給される
ことから、陰極線管１０の画面上には、試料３の特定領
域の２次電子像か表示される。第２図は陰極線管１０の
画面の一例を示しており、図中Ｐが検査対象となるパタ
ーンである。
上記したパターンＰの線幅が許容範囲かどうかの検査に
当たって、まず、陰極線管１０の画面上にパターンＰに
重畳して第１と第２のカーソルＣ１、Ｃ２が表示される
。このカーソルＣ１とＣ２の画面上の位置は、第１と第
２の位置カウンタ１３．１４にセットされる値によって
決まるように構成されている。第１のカーソルＣ１の位
置の決定は、スイッチ１２を実線のように切り替え、カ
ーソル移動手段１１を操作し、第１のカーソルＣ１が被
検査パターンＰの一方の端部とほぼ一致するように、第
１のカーソル位置カウンタの値をセットすることによっ
て行う。また、第２のカーソルＣ２の位置の決定は、ス
イッチ１２を点線のように切り替え、カーソル移動手段
１１を操作し、第２のカーソルＣ２が被検査パターンＰ
の他方の端部とほぼ一致するように、第２のカーソル位
置カウンタ１５の値をセットすることによって行う。
当たって、まず、陰極線管１０の画面上にパターンＰに
重畳して第１と第２のカーソルＣ１、Ｃ２が表示される
。このカーソルＣ１とＣ２の画面上の位置は、第１と第
２の位置カウンタ１３．１４にセットされる値によって
決まるように構成されている。第１のカーソルＣ１の位
置の決定は、スイッチ１２を実線のように切り替え、カ
ーソル移動手段１１を操作し、第１のカーソルＣ１が被
検査パターンＰの一方の端部とほぼ一致するように、第
１のカーソル位置カウンタの値をセットすることによっ
て行う。また、第２のカーソルＣ２の位置の決定は、ス
イッチ１２を点線のように切り替え、カーソル移動手段
１１を操作し、第２のカーソルＣ２が被検査パターンＰ
の他方の端部とほぼ一致するように、第２のカーソル位
置カウンタ１５の値をセットすることによって行う。
二のようにして、被検査パターンの端部の位置設定が行
われる。
われる。
一方、上記した誤差率メモリー１６には、パターンの幅
の誤差率Ｒかセットされる。このメモリ１６にセットさ
れた誤差率は、許容線幅算出手段１５に供給される。許
容線幅算出手段１５には、第１と第２のカーソル位置カ
ウンタ１．３．１４から２本のカーソルＣＬ、Ｃ２の位
置信号も供給されており、該算出手段は、誤差率とカー
ソル位置とから、許容線幅を算出する。該算出手段１５
によって求められた許容線幅に対応した信号は、カーソ
ルマーカ信号作成部９に供給され、該作成部でマーカ信
号が作成される。例えば、第２図に示すように、陰極線
管１０の画面上にパターンの各エツジに各２本のマーカ
Ｍ１〜Ｍ４を表示する場合、カーソルＣ１の位置をＸｌ
、カーソルＣ２の位置をＸ２とすると、各マーカＭ１〜
Ｍ４の座標は、次の通りとなる。
の誤差率Ｒかセットされる。このメモリ１６にセットさ
れた誤差率は、許容線幅算出手段１５に供給される。許
容線幅算出手段１５には、第１と第２のカーソル位置カ
ウンタ１．３．１４から２本のカーソルＣＬ、Ｃ２の位
置信号も供給されており、該算出手段は、誤差率とカー
ソル位置とから、許容線幅を算出する。該算出手段１５
によって求められた許容線幅に対応した信号は、カーソ
ルマーカ信号作成部９に供給され、該作成部でマーカ信
号が作成される。例えば、第２図に示すように、陰極線
管１０の画面上にパターンの各エツジに各２本のマーカ
Ｍ１〜Ｍ４を表示する場合、カーソルＣ１の位置をＸｌ
、カーソルＣ２の位置をＸ２とすると、各マーカＭ１〜
Ｍ４の座標は、次の通りとなる。
Ｍｌ −Ｘｉ −（Ｘ２−Ｘｉ ） （Ｒ／２）Ｍ
２−Ｘｉ ＋ （Ｘ２−Ｘｉ ） （Ｒ／２）Ｍ３−
Ｘ２− （Ｘ２−Ｘｉ ） （Ｒ／２）Ｍ４−Ｘ２
＋ （Ｘ２−Ｘｉ ） （Ｒ／２）このように、
第２図の例では、被検査パターンＰの両端に表示された
カーソルＣ１，Ｃ２を中心として、許容線幅を示すマー
カＭ１〜Ｍ４が表示され、オペレータは、このマーカと
パターン像を比較することによってパターンの幅が許容
範囲がどうかの検査を行うことができる。
２−Ｘｉ ＋ （Ｘ２−Ｘｉ ） （Ｒ／２）Ｍ３−
Ｘ２− （Ｘ２−Ｘｉ ） （Ｒ／２）Ｍ４−Ｘ２
＋ （Ｘ２−Ｘｉ ） （Ｒ／２）このように、
第２図の例では、被検査パターンＰの両端に表示された
カーソルＣ１，Ｃ２を中心として、許容線幅を示すマー
カＭ１〜Ｍ４が表示され、オペレータは、このマーカと
パターン像を比較することによってパターンの幅が許容
範囲がどうかの検査を行うことができる。
第３図は、被検査パターンの一方の端部に第１のカーソ
ルＣ１を一致させ、第２のカーソルＣ２に対して２本の
許容線幅を示すマーカＭｌ、Ｍ２を表示する例を示して
いる。この第３図の例におけるマーカＭ１．Ｍ２の座標
は、次の通りとなる。
ルＣ１を一致させ、第２のカーソルＣ２に対して２本の
許容線幅を示すマーカＭｌ、Ｍ２を表示する例を示して
いる。この第３図の例におけるマーカＭ１．Ｍ２の座標
は、次の通りとなる。
Ｍｌ ＝Ｘ２− （Ｘ２−Ｘｉ ） ・ＲＭ２−Ｘ２
＋ （Ｘ２−Ｘｉ ） ・Ｒまた、マーカの形状は
、陰極線管上で許容範囲が明確であれば、第２図や第３
図に示すような長い直線である必要はなく、第４図に示
すように、線分Ｍ１〜Ｍ６であっても良い。
＋ （Ｘ２−Ｘｉ ） ・Ｒまた、マーカの形状は
、陰極線管上で許容範囲が明確であれば、第２図や第３
図に示すような長い直線である必要はなく、第４図に示
すように、線分Ｍ１〜Ｍ６であっても良い。
なお、上記した第２図〜第４図の例では、第１のカーソ
ルＣ１を実線で表示し、第２のカーソルを点線で表示す
るようにしたので、移動させるカーソルの判別を簡単に
行うことができる。
ルＣ１を実線で表示し、第２のカーソルを点線で表示す
るようにしたので、移動させるカーソルの判別を簡単に
行うことができる。
以上本発明を説明したが、本発明は上記した実施例に限
定されない。例えば、２次電子像を表示したが、反射電
子像を表示しても良い。第１と第２のカーソルを実線と
点線とて区別して表示したが、カラー表示か可能であれ
ば、両者の表示色を変えることにより、２種のカーソル
の区別を行うようにしても良い。
定されない。例えば、２次電子像を表示したが、反射電
子像を表示しても良い。第１と第２のカーソルを実線と
点線とて区別して表示したが、カラー表示か可能であれ
ば、両者の表示色を変えることにより、２種のカーソル
の区別を行うようにしても良い。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明に基づくパターン検査用走
査電子顕微鏡においては、画面上に検査すべきパターン
の幅を規定する２本のカーソルと、許容範囲を示すマー
カとを表示し、第１と第２のカーソル位置の差と、許容
誤差率とに基づいて自動的にマーカ位置を演算するよう
に構成したので、検査線幅が数種類ある場合でも、カー
ソル幅を変えるたけで、自動的に許容線幅を示すマーカ
を表示することができ、簡単にパターンの合否の判定を
行うことができる。また、２本のカーソルを異なった形
状、あるいは、色などで区別して表示するようにしたの
で、カーソルを移動させる際の誤操作を防ぐことができ
る。
査電子顕微鏡においては、画面上に検査すべきパターン
の幅を規定する２本のカーソルと、許容範囲を示すマー
カとを表示し、第１と第２のカーソル位置の差と、許容
誤差率とに基づいて自動的にマーカ位置を演算するよう
に構成したので、検査線幅が数種類ある場合でも、カー
ソル幅を変えるたけで、自動的に許容線幅を示すマーカ
を表示することができ、簡単にパターンの合否の判定を
行うことができる。また、２本のカーソルを異なった形
状、あるいは、色などで区別して表示するようにしたの
で、カーソルを移動させる際の誤操作を防ぐことができ
る。
第１図は、本発明に基づく走査電子顕微鏡の構成図、
第２図〜第４図は、本発明による陰極線管の表示画面の
例を示す図である。 １・・・電子銃 ２・・・対物レンズ３・・・
試料 ４・・・偏向コイル５・・・走査信号
発生回路 ６・・・検出器 ７・・・増幅器８・・・加算
器 ９・・・カーソルマーカ信号作成部 １０・・陰極線管 １１・・・カーソル移動手段 １２・・・スイッチ １３．１４・・・カーソル位置カウンタ１５・・・許容
線幅算出手段 １６・・・誤差率メモリー
例を示す図である。 １・・・電子銃 ２・・・対物レンズ３・・・
試料 ４・・・偏向コイル５・・・走査信号
発生回路 ６・・・検出器 ７・・・増幅器８・・・加算
器 ９・・・カーソルマーカ信号作成部 １０・・陰極線管 １１・・・カーソル移動手段 １２・・・スイッチ １３．１４・・・カーソル位置カウンタ１５・・・許容
線幅算出手段 １６・・・誤差率メモリー
Claims (1)
- 電子ビームを試料上に集束する集束手段と、試料上で電
子ビームを２次元的に走査するための走査手段と、試料
への電子ビームの照射に基づいて発生した信号を検出す
る検出器と、検出器からの検出信号が輝度信号として供
給される陰極線管と、検査すべきパターン範囲を決定す
る第１と第２のカーソルの位置を設定する位置設定手段
と、第１と第２のカーソル位置の差と許容誤差率とに基
づいて許容幅マーカ位置を自動的に演算するマーカ位置
演算部と、第１と第２のカーソル位置とマーカ位置とに
基づいて、第１と第２のカーソル信号およびマーカ信号
を発生し、これらカーソル信号とマーカ信号に基づくカ
ーソルとマーカを前記検出信号に基づいて陰極線管に表
示される試料像に重畳して表示するための手段とを備え
たパターン検査用走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2274849A JPH04149943A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | パターン検査用走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2274849A JPH04149943A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | パターン検査用走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04149943A true JPH04149943A (ja) | 1992-05-22 |
Family
ID=17547438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2274849A Pending JPH04149943A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | パターン検査用走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04149943A (ja) |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP2274849A patent/JPH04149943A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7385196B2 (en) | Method and scanning electron microscope for measuring width of material on sample | |
| JP3934854B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| US20100019148A1 (en) | Inspection apparatus for circuit pattern | |
| US6724005B2 (en) | Substrate defect inspection method and substrate defect inspection system | |
| JP3602646B2 (ja) | 試料の寸法測定装置 | |
| US7214937B2 (en) | Electron microscope | |
| US20110286685A1 (en) | Image formation method and image formation device | |
| JP3836735B2 (ja) | 回路パターンの検査装置 | |
| JPH06347246A (ja) | 測長機能を備えた走査電子顕微鏡 | |
| JPH11167893A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPH04149943A (ja) | パターン検査用走査電子顕微鏡 | |
| JP2611260B2 (ja) | 試料像表示装置 | |
| JPS63266747A (ja) | 試料像表示装置 | |
| JPS59761B2 (ja) | 走査電子顕微鏡における距離測定装置 | |
| JP2539530B2 (ja) | 試料像表示装置 | |
| JP3221160B2 (ja) | 電子銃の検査装置 | |
| JP4104934B2 (ja) | 試料像測長方法及び試料像測長装置 | |
| JP2002056793A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JP5236615B2 (ja) | エッジ部分検出方法、測長方法、荷電粒子線装置 | |
| JPS63200448A (ja) | 走査型電子顕微鏡用の位置決め装置 | |
| JPS642201B2 (ja) | ||
| JPH11160054A (ja) | パターン測長方法 | |
| JPS63284747A (ja) | 試料像表示装置 | |
| JPH01120752A (ja) | 位置決め方法 | |
| JPH01191009A (ja) | 寸法測定用位置決め装置 |