JPH04154284A - 固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents
固体撮像装置の駆動方法Info
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- JPH04154284A JPH04154284A JP2279931A JP27993190A JPH04154284A JP H04154284 A JPH04154284 A JP H04154284A JP 2279931 A JP2279931 A JP 2279931A JP 27993190 A JP27993190 A JP 27993190A JP H04154284 A JPH04154284 A JP H04154284A
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- pickup apparatus
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
ス走査方式に対応可能な固体撮像装置に関する。
体撮像装置において、水平及び垂直方向にてマトリクス
状に2次元配列された複数画素の各画素毎に設けられた
受光部が、入射光量に応じて蓄積された信号電荷を増幅
する増幅素子を有することとし、水平ブランキング期間
において垂直方向の隣り合う2画素の各増幅出力を各々
保持し、これら保持出力を独立に読み出す構成とするこ
とにより、回路規模の縮小化を図り、固体撮像装置の小
型化を可能としたものである。
数の走査線によって構成されており、標準のテレビジョ
ン方式では、フリッカと称される画面のちらつきを少な
くするために、1ラインおきに飛び越して走査するイン
ターレース走査が95われでいる。
で1ラインおきに飛越し走査することによって1枚のフ
ィールド(奇数フィールド)画mを形成し、次の1/6
0秒では奇数フィールド了の走査ラインの間を埋める形
で1ラインおきに岸越し走査することによって次のフィ
ールド(偶艶フィールド)画面を形成し、この奇数及び
偶数にフィールド画面で1/30秒毎に1枚の合成両画
(フレーム画面)を完成するようになっている。
走査方式であることがら、テレビカメラに使用される固
体撮像装置においても、信号電荷の転送方式としてイン
ターレース走査方式に対応した転送方式を採っている。
ターレース走査方式の方が、垂直解像度の向上を図る上
で有利であり、しかも信号処理も簡単になるという利点
もある。
装置の従来例としては、第7図に示すように、入射光量
に応じて感光部70に蓄積された信号電荷を、1/30
秒周期で垂直ブランキング期間に、奇数ラインのものは
奇数フィールド垂直転送部71に、偶数ラインのものは
偶数フィールド垂直転送部72にそれぞれ同時に移し、
これら垂直転送部71.72で垂直方向に転送した後垂
直転送切替部73によって交互に選択して水平転送部7
4に送り、この水平転送部74の最終端に設けられた出
力部75から1水平走査期間で直列に読み出して1フレ
一ム分の映像信号として導出する構成のものが知られて
いる(特開昭64−49382号公報参照)。
部70の垂直方向の1列に対して垂直方向の転送部を2
列づつ設けた構成となっているので、回路規模が大型化
し、装置の小型化を図る上で妨げになるという問題点が
あった。
能で、しかも回路規模の縮小化により装置の小型化が可
能な固体撮像装置を提供することを目的とする。
トリクス状に2次元配列された複数画素の各画素毎に設
けられかつ入射光量に応じて蓄積された信号電荷を増幅
して出力する増幅素子を有する受光部と、水平ブランキ
ング期間において垂直方向の隣り合う2WJ素の各受光
部の増幅出力を各々保持する第1及び第2の信号保持手
段と、この第1及び第2の信号保持手段の各出力を独立
に読み出す信号読出手段とを具備する構成を採っている
。
において垂直方向の隣り合う2i!素の各受光部の増幅
出力を各々保持し、これら保持出力を独立に読み出すこ
とにより、ノンインターレースのテレビジョン信号を得
る。
。
のみを示す回路図である。この図では、説明の都合上、
水平及び垂直方向においてマトリクス状に2次元配列さ
れた複数画素のうち、隣り合うn番目及びn+1番目の
2ラインの各1画素のみの回路構成を示しているが、残
りの画素も全て同じ回路構成となっているものとする。
応じた信号電荷がストレージ(ST)1に貯えられる。
チ2により1ビツトのCOD (Charge Cou
pled Device)が構成されている。
FET3とソースホロワの増幅用MO3FET4とが作
られ、増幅用MO3−FET4のゲートがフローティン
グ・デイフュージョン(Fl。
ティング・デイフュージョン・アンプ(FDA)5を構
成している。
いて、出力ゲートスイッチ2のゲート電極が出力グー)
(QC)信号線6に接続され、又リセット用MO3−
FET3のゲート電極がリセットゲート(RG)信号線
7aに、リセット電極がリセットドレイン(RD)信号
線7bにそれぞれ接続されている。そして、垂直走査シ
フトレジスタ8から、出力ゲートスイッチ2のゲート電
極に出力ゲートパルスφ。。が、またリセット用MO3
−FET3のゲート電極にリセットゲートパルスφに、
が、ドレイン電極にリセットドレインパルスφ。がそれ
ぞれ印加されることにより水平ラインの選択を行うよう
になっている。また、増幅用MO3−FE74のドレイ
ン電極には電源電圧VDDが印加され、そのソース電極
が出力端■。ulとして垂直信号線9に接続されている
。そして、1の水平ラインが選択されると、その選択さ
れた水平ラインの画素の信号電荷が増幅用MO3−FE
74によって増幅されて垂直信号線9に出力される。
トランジスタ11が接続されており、垂直信号線9に出
力された各画素の増幅出力はノイズ除去用コンデンサC
0に貯えられる。このコンデンサC0の出力端にはクラ
ンプスイッチ12が接続されており、クランプスイッチ
12がそのゲート電極にクランプパルスφctが印加さ
れることによってオン状態となることにより、コンデン
サC0の出力端の電位がクランプレベルV ctpにク
ランプされる。このノイズ除去用コンデンサC0及びク
ランプスイッチ12により、増幅用MO3−FET4の
ソース出力に含まれるリセット雑音等の雑音を低減する
ためのCDS (相関二重サンプリング)回路15が構
成されている。
13を経た後切替えスイッチ14によって第1.第2の
信号保持手段であるサンプル/ホールド用コンデンサC
1,Czに択一的に供給され、これらコンデンサCI、
Ctによってサンプル/ホールドされる。切替えスイッ
チ14の切替え制御は、水平ブランキング期間において
発生されるサンプル/ホールドパルスφ、Hによって1
ライン毎に行われる。これにより、例えば、偶数ライン
の画素出力がコンデンサC1に、奇数ラインの画素出力
がコンデンサC2にそれぞれホールドされることになる
。
プ16−+、16−tを経た後水平ゲートスイッチl’
1..I’llによるスイッチングによって水平信号線
1 B−1,18−zに導出される。水平ゲートスイッ
チ16−、.16−zのスイッチング制御は、水平走査
シフトレジスタ19から出力される水平シフトパルスφ
□によって行われる。
2図に示す。なお、第2図は、1ユニツトセルにおける
5T−OG−RG−RD・・・FET4のドレイン電極
(Van)−ゲート電極−ソース電極(■。、、L)の
断面図である。同図から明らかなように、本発明による
固体撮像装置は、薄いシリコン基板200表面上にフロ
ーティング・デイフュージョン・アンプ(FDA)を構
成する電極素子群を配し、その上にさらにCV D (
ChesicalVapor Deposition)
等の方法により5iOzl!21を堆積させる一方、シ
リコン基板20の裏面に配されたSiO□)[22上に
第4図に示す如くXYママトリクス状パターン配線され
た水平アルミ線23及び垂直アルミ線24にリセットド
レイン(RD)及び増幅用MOS−FET4の出力端(
■。□)をそれぞれ接続し、シリコン基板20の裏面側
から照射光を取り込むいわゆる裏面照射型構造となって
いる。
とにより、シリコン基板20の裏面側には水平アルミ線
23及び垂直アルミ線24がパターン配線されているの
みであるため、開口率を飛躍的に向上できることになる
。
シフトレジスタ8及び水平走査シフトレジスタ19によ
って選択された1画素につき、第2図のセル断面図及び
第3図のポテンシャル分布図を参照しつつ第5図のタイ
ムチャートに従ってその動作を説明する。
うに、垂直方向において選択するn番目の水平ラインの
RD(リセットドレイン)に対してのみ、時点t1でリ
セットドレインパルスφ■による高レベル(例えば、5
V)のリセット雑音VIIIDを印加し、残りの水平ラ
インのRDには低レベル(例えば、1.5V)の電圧を
印加することにより、ライン選択を行う。このとき、選
択された水平ラインの画素のFDをリセットゲートパル
スφ1でリセットすれば、FDの電位が高レベルとなり
、これにより増幅用MOS−FET4のゲート電位も高
レベルとなる。一方、選択されなかった水平ラインの画
素においては、そのFD′を位を低レベルに保持するこ
とにより、増幅用MO3−FET4はそのゲート電位が
第3図に点線で示す如<FD電位よりスレッショールド
レベル■0分だけ低レベル(例えば、0,5V)となり
、カットオフ状態になる。
ベルに遷移することにより、リセット用MOS−FET
3がカントオフ状態となる。この状態では、クランプパ
ルスφ、によりクランプスイッチ12がオンとなってコ
ンデンサC0の出力端をクランプパルス n 点t 3でクランプパルスφc1が消滅することに
より、クランプスイッチ12がオフとなる。
プスイッチ12の作用により、キズを含む固定パターン
雑音(FPN)、ソースホロワの入力オフセントばらつ
きに起因する■いムラやソースホロワの低周波(1/f
)雑音及びFDAのリセット時に発生するリセット雑音
、さらには信号線やCODへの光の混入に起因するスミ
アをキャンセルできることになる。これにより、固体撮
像装置の出力信号の信号処理系において従来用いられて
いたFPN除去用のフレームメモリが不要となる。
ゲート(OG)2をオン状態とすることにより、ストレ
ージ(ST)1に貯えられた信号電荷をFDへ転送し、
出力ゲートパルスφQGが消滅する時点t、までの間に
全ての信号電荷をFDに移す。しかる後、サンプル/ホ
ールドパルスφ3Hにより時点t、で切替えスイッチ1
4をサンプル/ホールド用コンデンサC3側に切り替え
て信号電圧をコンデンサCIに入力し、サンプル/ホー
ルドパルスφ、Hが消滅する時点t、で切替えスイッチ
14をオフ状態(図の中立位置)としてコンデンサCI
の信号電圧をホールドする。
信号電荷を増幅用MO3−FET4で増幅し、CDS回
路15のコンデンサC1に貯えたなら、続けて同様の動
作タイミングによってn+1番目の水平ラインの信号電
荷を増幅用MO3−FET4で増幅し、CDS回路15
のコンデンサC3に貯える。これにより、水平走査シフ
トレジスタ19から発せられる水平シフトパルスφ9に
よる水平ゲートスイッチ17−1. 17−zのスイッ
チング制御によって垂直方向の隣り合う2画素の信号を
水平走査有効期間に独立に読み出すことができることに
なる。なお、水平走査有効期間では、リセットゲート(
RG)を高レベル、リセットドレイン(RD)を低レベ
ル(約1.5V)にする。
出力を順次に読み出すことにより、ノンインターレース
のテレビジョン信号を得ることができることになる。ま
た、コンデンサC,,C。
この場合には、読み出した信号を図示せぬ信号処理系で
適当に処理することにより、順次読出しの場合と同様に
、ノンインターレースのテレビジョン信号を得ることが
できることになる。
の信号電荷はST→○G、FD−4RDへと横型オーバ
ーフローにより捨てられることになる。このように、リ
セット用MO3−FET3のドレイン電極(RD)を水
平ラインの選択に利用すると共に、オーバーフロートレ
インに共用することにより、水平ラインの選択素子及び
オーバーフロートレインの構成を簡易化できる。
サC,、C,の各ホールド出力を読み出す出力系を2系
統とした場合について説明したが、第6図に示すように
、当該出力系を1系統としてコンデンサC,,C2の各
ホールド出力を交互に順次読み出すように構成すること
も可能である。
例の場合の2倍の速度で行うことが必要となる。
グ期間において垂直方向の隣り合う2画素の各受光部の
増幅出力を各々保持し、これら保持出力を独立に読み出
す構成とすることにより、回路規模を縮小化しつつノン
インターレース走査方式に対応できるため、固体撮像装
置を小型化できる効果がある。
インターレース走査方式を採っており、このHDTVに
適用する場合でも、本発明による固体撮像装置において
は、ノンインターレースのテレビジョン信号が得られる
ため、信号処理を簡単に行える効果もある。
のみを示す回路図、 第2図は、1ユニツトセルの構造を示す断面構造図、 第3図は、第2図に対応して示したボテンシャル分布図
、 第4図は、本発明による固体撮像装置の一部を示す裏面
図、 第5図は、第1図の回路動作を説明するためのタイムチ
ャート、 第6図は、本発明の他の実施例を示す回路図、第7図は
、従来例の構成図である。 1・・・ストレージ(ST)。 2・・・出力ゲート(COG)。 3・・・リセット用MO3−FET。 4・・・増幅用MO3−FET。 5・・・FDA(フローティング・デイフュージョン・
アンプ)。 12・・・クランプスイッチ。 15・・・CDS (相関二重サンプルホールド)回路 C,、C,・・・サンプル/ホールド用コンデンサ。 特許出願人 ソ ニー株式会社代理人
弁理士 船 橋國則第1図 1ユニ7F釘ツムのffT面B 第2図 第3図 固俸撮像沖1の莫面日 第4図 sun存の夕fムチv−t− 第5図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 水平及び垂直方向にてマトリクス状に2次元配列され
た複数画素の各画素毎に設けられかつ入射光量に応じて
蓄積された信号電荷を増幅して出力する増幅素子を有す
る受光部と、 水平ブランキング期間において垂直方向の隣り合う2画
素の各受光部の増幅出力を各々保持する第1及び第2の
信号保持手段と、 前記第1及び第2の信号保持手段の各出力を独立に読み
出す信号読出手段とを具備することを特徴とする固体撮
像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279931A JP2867680B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 固体撮像装置の駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279931A JP2867680B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 固体撮像装置の駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04154284A true JPH04154284A (ja) | 1992-05-27 |
| JP2867680B2 JP2867680B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=17617911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2279931A Expired - Lifetime JP2867680B2 (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 固体撮像装置の駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2867680B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005348040A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Canon Inc | 増幅型撮像装置及び撮像システム |
| JP3966557B2 (ja) * | 1995-08-11 | 2007-08-29 | 株式会社東芝 | 画像システム並びにそこで用いられる固体撮像装置半導体集積回路および差分出力方法 |
| JP2008103444A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Sony Corp | 固体撮像装置及び撮像装置 |
| WO2010109744A1 (ja) * | 2009-03-26 | 2010-09-30 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子 |
| JP2011072028A (ja) * | 2010-12-09 | 2011-04-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | イメージセンサ、及び電子機器 |
| JP2012129552A (ja) * | 2012-03-16 | 2012-07-05 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
| US9443897B2 (en) | 2001-07-11 | 2016-09-13 | Sony Corporation | X-Y address type solid state image pickup device and method of producing the same |
-
1990
- 1990-10-17 JP JP2279931A patent/JP2867680B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3966557B2 (ja) * | 1995-08-11 | 2007-08-29 | 株式会社東芝 | 画像システム並びにそこで用いられる固体撮像装置半導体集積回路および差分出力方法 |
| US9443897B2 (en) | 2001-07-11 | 2016-09-13 | Sony Corporation | X-Y address type solid state image pickup device and method of producing the same |
| US9455293B2 (en) | 2001-07-11 | 2016-09-27 | Sony Corporation | X-Y address type solid state image pickup device and method of producing the same |
| JP2005348040A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Canon Inc | 増幅型撮像装置及び撮像システム |
| JP2008103444A (ja) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Sony Corp | 固体撮像装置及び撮像装置 |
| WO2010109744A1 (ja) * | 2009-03-26 | 2010-09-30 | パナソニック株式会社 | 固体撮像素子 |
| US8395194B2 (en) | 2009-03-26 | 2013-03-12 | Panasonic Corporation | Solid-state imaging device |
| JP2011072028A (ja) * | 2010-12-09 | 2011-04-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | イメージセンサ、及び電子機器 |
| JP2012129552A (ja) * | 2012-03-16 | 2012-07-05 | Sony Corp | 固体撮像素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2867680B2 (ja) | 1999-03-08 |
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