JPH04154284A - 固体撮像装置の駆動方法 - Google Patents

固体撮像装置の駆動方法

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JPH04154284A
JPH04154284A JP2279931A JP27993190A JPH04154284A JP H04154284 A JPH04154284 A JP H04154284A JP 2279931 A JP2279931 A JP 2279931A JP 27993190 A JP27993190 A JP 27993190A JP H04154284 A JPH04154284 A JP H04154284A
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capacitor
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、固体撮像装置に関し、特にノンインターレー
ス走査方式に対応可能な固体撮像装置に関する。
〈発明の概要〉 本発明は、ノンインターレース走査方式に対応可能な固
体撮像装置において、水平及び垂直方向にてマトリクス
状に2次元配列された複数画素の各画素毎に設けられた
受光部が、入射光量に応じて蓄積された信号電荷を増幅
する増幅素子を有することとし、水平ブランキング期間
において垂直方向の隣り合う2画素の各増幅出力を各々
保持し、これら保持出力を独立に読み出す構成とするこ
とにより、回路規模の縮小化を図り、固体撮像装置の小
型化を可能としたものである。
〈従来の技術〉 テレビジョン画面は、左上から右方向に順次走査する多
数の走査線によって構成されており、標準のテレビジョ
ン方式では、フリッカと称される画面のちらつきを少な
くするために、1ラインおきに飛び越して走査するイン
ターレース走査が95われでいる。
このインターレース走査においては、始めの1/60秒
で1ラインおきに飛越し走査することによって1枚のフ
ィールド(奇数フィールド)画mを形成し、次の1/6
0秒では奇数フィールド了の走査ラインの間を埋める形
で1ラインおきに岸越し走査することによって次のフィ
ールド(偶艶フィールド)画面を形成し、この奇数及び
偶数にフィールド画面で1/30秒毎に1枚の合成両画
(フレーム画面)を完成するようになっている。
このように、標準のテレビジョン方式がインターレース
走査方式であることがら、テレビカメラに使用される固
体撮像装置においても、信号電荷の転送方式としてイン
ターレース走査方式に対応した転送方式を採っている。
しかしながら、インターレース走査方式よりもノンイン
ターレース走査方式の方が、垂直解像度の向上を図る上
で有利であり、しかも信号処理も簡単になるという利点
もある。
二のノンインターレース走査方式に対応可能な固体撮像
装置の従来例としては、第7図に示すように、入射光量
に応じて感光部70に蓄積された信号電荷を、1/30
秒周期で垂直ブランキング期間に、奇数ラインのものは
奇数フィールド垂直転送部71に、偶数ラインのものは
偶数フィールド垂直転送部72にそれぞれ同時に移し、
これら垂直転送部71.72で垂直方向に転送した後垂
直転送切替部73によって交互に選択して水平転送部7
4に送り、この水平転送部74の最終端に設けられた出
力部75から1水平走査期間で直列に読み出して1フレ
一ム分の映像信号として導出する構成のものが知られて
いる(特開昭64−49382号公報参照)。
〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上述した従来の固体撮像装置では、感光
部70の垂直方向の1列に対して垂直方向の転送部を2
列づつ設けた構成となっているので、回路規模が大型化
し、装置の小型化を図る上で妨げになるという問題点が
あった。
そこで、本発明は、ノンインターレス走査方式に対応可
能で、しかも回路規模の縮小化により装置の小型化が可
能な固体撮像装置を提供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉 本発明による固体撮像装置は、水平及び垂直方向にてマ
トリクス状に2次元配列された複数画素の各画素毎に設
けられかつ入射光量に応じて蓄積された信号電荷を増幅
して出力する増幅素子を有する受光部と、水平ブランキ
ング期間において垂直方向の隣り合う2WJ素の各受光
部の増幅出力を各々保持する第1及び第2の信号保持手
段と、この第1及び第2の信号保持手段の各出力を独立
に読み出す信号読出手段とを具備する構成を採っている
。
〈作用〉 本発明による固体撮像装置では、水平ブランキング期間
において垂直方向の隣り合う2i!素の各受光部の増幅
出力を各々保持し、これら保持出力を独立に読み出すこ
とにより、ノンインターレースのテレビジョン信号を得
る。
〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。
第1図は、本発明による固体撮像装置の一実施例の要部
のみを示す回路図である。この図では、説明の都合上、
水平及び垂直方向においてマトリクス状に2次元配列さ
れた複数画素のうち、隣り合うn番目及びn+1番目の
2ラインの各1画素のみの回路構成を示しているが、残
りの画素も全て同じ回路構成となっているものとする。
図において、各画素に光が入射すると、その入射光量に
応じた信号電荷がストレージ(ST)1に貯えられる。
このストレージl及びその出力ゲート(OG”)スイッ
チ2により1ビツトのCOD (Charge Cou
pled Device)が構成されている。
また、このCCDと同一チップ上にリセット用MO3−
FET3とソースホロワの増幅用MO3FET4とが作
られ、増幅用MO3−FET4のゲートがフローティン
グ・デイフュージョン(Fl。
ating Diffusion)に接続されてフロー
ティング・デイフュージョン・アンプ(FDA)5を構
成している。
このフローティング・デイフュージョン・アンプ5にお
いて、出力ゲートスイッチ2のゲート電極が出力グー)
 (QC)信号線6に接続され、又リセット用MO3−
FET3のゲート電極がリセットゲート(RG)信号線
7aに、リセット電極がリセットドレイン(RD)信号
線7bにそれぞれ接続されている。そして、垂直走査シ
フトレジスタ8から、出力ゲートスイッチ2のゲート電
極に出力ゲートパルスφ。。が、またリセット用MO3
−FET3のゲート電極にリセットゲートパルスφに、
が、ドレイン電極にリセットドレインパルスφ。がそれ
ぞれ印加されることにより水平ラインの選択を行うよう
になっている。また、増幅用MO3−FE74のドレイ
ン電極には電源電圧VDDが印加され、そのソース電極
が出力端■。ulとして垂直信号線9に接続されている
。そして、1の水平ラインが選択されると、その選択さ
れた水平ラインの画素の信号電荷が増幅用MO3−FE
74によって増幅されて垂直信号線9に出力される。
垂直信号線9には転送ゲートスイッチ10を介して負荷
トランジスタ11が接続されており、垂直信号線9に出
力された各画素の増幅出力はノイズ除去用コンデンサC
0に貯えられる。このコンデンサC0の出力端にはクラ
ンプスイッチ12が接続されており、クランプスイッチ
12がそのゲート電極にクランプパルスφctが印加さ
れることによってオン状態となることにより、コンデン
サC0の出力端の電位がクランプレベルV ctpにク
ランプされる。このノイズ除去用コンデンサC0及びク
ランプスイッチ12により、増幅用MO3−FET4の
ソース出力に含まれるリセット雑音等の雑音を低減する
ためのCDS (相関二重サンプリング)回路15が構
成されている。
ノイズ除去用コンデンサC0の出力は、バッファアンプ
13を経た後切替えスイッチ14によって第1.第2の
信号保持手段であるサンプル/ホールド用コンデンサC
1,Czに択一的に供給され、これらコンデンサCI、
Ctによってサンプル/ホールドされる。切替えスイッ
チ14の切替え制御は、水平ブランキング期間において
発生されるサンプル/ホールドパルスφ、Hによって1
ライン毎に行われる。これにより、例えば、偶数ライン
の画素出力がコンデンサC1に、奇数ラインの画素出力
がコンデンサC2にそれぞれホールドされることになる
。
コンデンサC,,C,のホールド出力は、バッファアン
プ16−+、16−tを経た後水平ゲートスイッチl’
1..I’llによるスイッチングによって水平信号線
1 B−1,18−zに導出される。水平ゲートスイッ
チ16−、.16−zのスイッチング制御は、水平走査
シフトレジスタ19から出力される水平シフトパルスφ
□によって行われる。
かかる構成の本発明による固体撮像装置の断面構造を第
2図に示す。なお、第2図は、1ユニツトセルにおける
5T−OG−RG−RD・・・FET4のドレイン電極
(Van)−ゲート電極−ソース電極(■。、、L)の
断面図である。同図から明らかなように、本発明による
固体撮像装置は、薄いシリコン基板200表面上にフロ
ーティング・デイフュージョン・アンプ(FDA)を構
成する電極素子群を配し、その上にさらにCV D (
ChesicalVapor Deposition)
等の方法により5iOzl!21を堆積させる一方、シ
リコン基板20の裏面に配されたSiO□)[22上に
第4図に示す如くXYママトリクス状パターン配線され
た水平アルミ線23及び垂直アルミ線24にリセットド
レイン(RD)及び増幅用MOS−FET4の出力端(
■。□)をそれぞれ接続し、シリコン基板20の裏面側
から照射光を取り込むいわゆる裏面照射型構造となって
いる。
このように、固体撮像装置の構造を裏面照射型とするこ
とにより、シリコン基板20の裏面側には水平アルミ線
23及び垂直アルミ線24がパターン配線されているの
みであるため、開口率を飛躍的に向上できることになる
。
続いて、本発明による固体撮像装置において、垂直走査
シフトレジスタ8及び水平走査シフトレジスタ19によ
って選択された1画素につき、第2図のセル断面図及び
第3図のポテンシャル分布図を参照しつつ第5図のタイ
ムチャートに従ってその動作を説明する。
先ず、水平ブランキング期間において、第3図に示すよ
うに、垂直方向において選択するn番目の水平ラインの
RD(リセットドレイン)に対してのみ、時点t1でリ
セットドレインパルスφ■による高レベル(例えば、5
V)のリセット雑音VIIIDを印加し、残りの水平ラ
インのRDには低レベル(例えば、1.5V)の電圧を
印加することにより、ライン選択を行う。このとき、選
択された水平ラインの画素のFDをリセットゲートパル
スφ1でリセットすれば、FDの電位が高レベルとなり
、これにより増幅用MOS−FET4のゲート電位も高
レベルとなる。一方、選択されなかった水平ラインの画
素においては、そのFD′を位を低レベルに保持するこ
とにより、増幅用MO3−FET4はそのゲート電位が
第3図に点線で示す如<FD電位よりスレッショールド
レベル■0分だけ低レベル(例えば、0,5V)となり
、カットオフ状態になる。
次に、時点t2でリセットゲートパルスφIIGが低レ
ベルに遷移することにより、リセット用MOS−FET
3がカントオフ状態となる。この状態では、クランプパ
ルスφ、によりクランプスイッチ12がオンとなってコ
ンデンサC0の出力端をクランプパルス n 点t 3でクランプパルスφc1が消滅することに
より、クランプスイッチ12がオフとなる。
このCDS回路15におけるコンデンサC0及びクラン
プスイッチ12の作用により、キズを含む固定パターン
雑音(FPN)、ソースホロワの入力オフセントばらつ
きに起因する■いムラやソースホロワの低周波(1/f
)雑音及びFDAのリセット時に発生するリセット雑音
、さらには信号線やCODへの光の混入に起因するスミ
アをキャンセルできることになる。これにより、固体撮
像装置の出力信号の信号処理系において従来用いられて
いたFPN除去用のフレームメモリが不要となる。
続いて、出力ゲートパルスφ。6により時点t4で出力
ゲート(OG)2をオン状態とすることにより、ストレ
ージ(ST)1に貯えられた信号電荷をFDへ転送し、
出力ゲートパルスφQGが消滅する時点t、までの間に
全ての信号電荷をFDに移す。しかる後、サンプル/ホ
ールドパルスφ3Hにより時点t、で切替えスイッチ1
4をサンプル/ホールド用コンデンサC3側に切り替え
て信号電圧をコンデンサCIに入力し、サンプル/ホー
ルドパルスφ、Hが消滅する時点t、で切替えスイッチ
14をオフ状態(図の中立位置)としてコンデンサCI
の信号電圧をホールドする。
上述した動作タイミングによってn番目の水平ラインの
信号電荷を増幅用MO3−FET4で増幅し、CDS回
路15のコンデンサC1に貯えたなら、続けて同様の動
作タイミングによってn+1番目の水平ラインの信号電
荷を増幅用MO3−FET4で増幅し、CDS回路15
のコンデンサC3に貯える。これにより、水平走査シフ
トレジスタ19から発せられる水平シフトパルスφ9に
よる水平ゲートスイッチ17−1. 17−zのスイッ
チング制御によって垂直方向の隣り合う2画素の信号を
水平走査有効期間に独立に読み出すことができることに
なる。なお、水平走査有効期間では、リセットゲート(
RG)を高レベル、リセットドレイン(RD)を低レベ
ル(約1.5V)にする。
この読出しの際に、コンデンサC,,C,の各ホールド
出力を順次に読み出すことにより、ノンインターレース
のテレビジョン信号を得ることができることになる。ま
た、コンデンサC,,C。
の各ホールド出力を同時に読み出すようにしても良く、
この場合には、読み出した信号を図示せぬ信号処理系で
適当に処理することにより、順次読出しの場合と同様に
、ノンインターレースのテレビジョン信号を得ることが
できることになる。
ストレージ(ST)1が信号電荷で溢れた場合には、そ
の信号電荷はST→○G、FD−4RDへと横型オーバ
ーフローにより捨てられることになる。このように、リ
セット用MO3−FET3のドレイン電極(RD)を水
平ラインの選択に利用すると共に、オーバーフロートレ
インに共用することにより、水平ラインの選択素子及び
オーバーフロートレインの構成を簡易化できる。
なお、上記実施例では、サンプル/ホールド用コンデン
サC,、C,の各ホールド出力を読み出す出力系を2系
統とした場合について説明したが、第6図に示すように
、当該出力系を1系統としてコンデンサC,,C2の各
ホールド出力を交互に順次読み出すように構成すること
も可能である。
この場合、切替えスイッチ14の切替え制御を上記実施
例の場合の2倍の速度で行うことが必要となる。
〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明によれば、水平ブランキン
グ期間において垂直方向の隣り合う2画素の各受光部の
増幅出力を各々保持し、これら保持出力を独立に読み出
す構成とすることにより、回路規模を縮小化しつつノン
インターレース走査方式に対応できるため、固体撮像装
置を小型化できる効果がある。
また、高品位TVとして今後期待されるHDTVがノン
インターレース走査方式を採っており、このHDTVに
適用する場合でも、本発明による固体撮像装置において
は、ノンインターレースのテレビジョン信号が得られる
ため、信号処理を簡単に行える効果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による固体撮像装置の一実施例の要部
のみを示す回路図、 第2図は、1ユニツトセルの構造を示す断面構造図、 第3図は、第2図に対応して示したボテンシャル分布図
、 第4図は、本発明による固体撮像装置の一部を示す裏面
図、 第5図は、第1図の回路動作を説明するためのタイムチ
ャート、 第6図は、本発明の他の実施例を示す回路図、第7図は
、従来例の構成図である。 1・・・ストレージ(ST)。 2・・・出力ゲート(COG)。 3・・・リセット用MO3−FET。 4・・・増幅用MO3−FET。 5・・・FDA(フローティング・デイフュージョン・
アンプ)。 12・・・クランプスイッチ。 15・・・CDS (相関二重サンプルホールド)回路 C,、C,・・・サンプル/ホールド用コンデンサ。 特許出願人      ソ ニー株式会社代理人   
     弁理士 船 橋國則第1図 1ユニ7F釘ツムのffT面B 第2図 第3図 固俸撮像沖1の莫面日 第4図 sun存の夕fムチv−t− 第5図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  水平及び垂直方向にてマトリクス状に2次元配列され
    た複数画素の各画素毎に設けられかつ入射光量に応じて
    蓄積された信号電荷を増幅して出力する増幅素子を有す
    る受光部と、 水平ブランキング期間において垂直方向の隣り合う2画
    素の各受光部の増幅出力を各々保持する第1及び第2の
    信号保持手段と、 前記第1及び第2の信号保持手段の各出力を独立に読み
    出す信号読出手段とを具備することを特徴とする固体撮
    像装置。
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