JPH0415435B2 - - Google Patents
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- JPH0415435B2 JPH0415435B2 JP62245813A JP24581387A JPH0415435B2 JP H0415435 B2 JPH0415435 B2 JP H0415435B2 JP 62245813 A JP62245813 A JP 62245813A JP 24581387 A JP24581387 A JP 24581387A JP H0415435 B2 JPH0415435 B2 JP H0415435B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fine movement
- movement mechanism
- displacement
- rigid body
- flat plate
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超精密加工、半導体製造装置、電子
顕微鏡等のμｍオーダーの調節を必要とする装置
に使用される微動機構に関する。
顕微鏡等のμｍオーダーの調節を必要とする装置
に使用される微動機構に関する。
近年、各種技術分野においては、μｍのオーダ
ーの微細な変位調節が可能である装置が要望され
ている。その典型的な例がLSI（大規模集積回
路）、超LSIの製造工程において使用されるマス
クアライナ、電子線描画装置等の半導体製造装置
である。これらの装置においては、μｍオーダー
の微細な位置決めが必要であり、位置決めの精度
が向上するにしたがつてその集積度も増大し、高
性能の製品を製造することができる。このような
微細な位置決めは上記半導体装置に限らず、電子
顕微鏡をはじめとする各種の高倍率光学装置や超
精密加工装置等においても必要であり、その精度
向上により、バイオテクノロジ、宇宙開発等の先
端技術においてもそれらの発展に大きく寄与する
ものである。以下、このような微細な位置決めを
行なう微動機構を図により説明する。
ーの微細な変位調節が可能である装置が要望され
ている。その典型的な例がLSI（大規模集積回
路）、超LSIの製造工程において使用されるマス
クアライナ、電子線描画装置等の半導体製造装置
である。これらの装置においては、μｍオーダー
の微細な位置決めが必要であり、位置決めの精度
が向上するにしたがつてその集積度も増大し、高
性能の製品を製造することができる。このような
微細な位置決めは上記半導体装置に限らず、電子
顕微鏡をはじめとする各種の高倍率光学装置や超
精密加工装置等においても必要であり、その精度
向上により、バイオテクノロジ、宇宙開発等の先
端技術においてもそれらの発展に大きく寄与する
ものである。以下、このような微細な位置決めを
行なう微動機構を図により説明する。
第７図ａ，ｂは従来の微動機構の正面図および
側面図である。各図で、１は適宜な手段で固定さ
れた剛体部、２は剛体部１と対向する剛体部、
３，４はそれぞれ剛体部１，２をそれらの左右端
で連結する弾性を有する平板である。各平板３，
４は互いに平行な関係にある。５は剛体部１から
突出した突起、６は剛体部２から突出した突起、
７は突起５，６間に装着された圧電アクチユエー
タである。電圧アクチユエータ７は突起５，６に
例えば接着剤により固着される。８は平板３に貼
着されたひずみゲージである。
側面図である。各図で、１は適宜な手段で固定さ
れた剛体部、２は剛体部１と対向する剛体部、
３，４はそれぞれ剛体部１，２をそれらの左右端
で連結する弾性を有する平板である。各平板３，
４は互いに平行な関係にある。５は剛体部１から
突出した突起、６は剛体部２から突出した突起、
７は突起５，６間に装着された圧電アクチユエー
タである。電圧アクチユエータ７は突起５，６に
例えば接着剤により固着される。８は平板３に貼
着されたひずみゲージである。
圧電アクチユエータ７に電圧を印加すると圧電
アクチユエータ７が伸長して突起６を押圧し、こ
れにより平板３，４が変形して剛体部２は剛体部
１に対して図で左方に並進変位する。この変位量
がｕで示されており、電圧アクチユエータ７に印
加された電圧に応じた値となる。
アクチユエータ７が伸長して突起６を押圧し、こ
れにより平板３，４が変形して剛体部２は剛体部
１に対して図で左方に並進変位する。この変位量
がｕで示されており、電圧アクチユエータ７に印
加された電圧に応じた値となる。
第８図は電圧アクチユエータの印加電圧と変位
量ｕとの関係を示す特性図であり、横軸に電圧、
縦軸に変位量がとつてある。図示のように、電圧
と変位との関係には大きなヒステリシスが存在す
るため、電圧によつて変位をサブミクロンのオー
ダーで正確に制御することはできない。そこで、
印加された電圧により変位した変位量を検出し、
これに基づいてフイードバツク制御を行なうこと
により高精度の変位を得る手段が採用されてい
る。ひずみゲージ８は上記変位量の検出に用いら
れるものであり、ひずみゲージ８のひずみ量は変
位量に比例する。ひずみゲージ８による変位量の
検出は、第１図ｂに示すように、図示の位置に貼
着された４枚のひずみゲージ８で適宜にホイート
ストンブリツジ回路を構成し、ひずみゲージ８の
伸縮による抵抗値の変化に基づいてひずみ量を電
気信号としてとり出すことにより行なわれる。
量ｕとの関係を示す特性図であり、横軸に電圧、
縦軸に変位量がとつてある。図示のように、電圧
と変位との関係には大きなヒステリシスが存在す
るため、電圧によつて変位をサブミクロンのオー
ダーで正確に制御することはできない。そこで、
印加された電圧により変位した変位量を検出し、
これに基づいてフイードバツク制御を行なうこと
により高精度の変位を得る手段が採用されてい
る。ひずみゲージ８は上記変位量の検出に用いら
れるものであり、ひずみゲージ８のひずみ量は変
位量に比例する。ひずみゲージ８による変位量の
検出は、第１図ｂに示すように、図示の位置に貼
着された４枚のひずみゲージ８で適宜にホイート
ストンブリツジ回路を構成し、ひずみゲージ８の
伸縮による抵抗値の変化に基づいてひずみ量を電
気信号としてとり出すことにより行なわれる。
上記のような微動機構およびその動作の詳細は
特開昭61−209846号公報に提示されている。
特開昭61−209846号公報に提示されている。
ところで、上記微動機構の変位量ｕとひずみゲ
ージ８のひずみ量εとの関係は、平板３，４の厚
さをｔ、長さをｌとすると次式で表わされる。
ージ８のひずみ量εとの関係は、平板３，４の厚
さをｔ、長さをｌとすると次式で表わされる。
ε＝3t／l2・ｕ ……(1)
上記(1)式において、3t／l2は変位検出感度であ
り、これは、平板の板厚を大きくすれば、又、平
板の長さを短くすれば大きくなる。これは、平板
の厚さが大きい場合や長さが短い場合、平板がそ
うでない場合に比べて、同一変位が生じたとき、
ひずみゲージ８はより多く伸び又は縮むことから
明らかである。
り、これは、平板の板厚を大きくすれば、又、平
板の長さを短くすれば大きくなる。これは、平板
の厚さが大きい場合や長さが短い場合、平板がそ
うでない場合に比べて、同一変位が生じたとき、
ひずみゲージ８はより多く伸び又は縮むことから
明らかである。
しかしながら、平板３，４の板厚を大きくした
り長さを短くすると、平板３，４が変形にしくく
なり、平板３，４の板厚、長さがそうでない場合
に比べて、圧電アクチユエータ７に同一電圧を印
加したときに得られる変位ストロークが減少す
る。即ち、第７図ａに示すように、厚さおよび長
さが等しい微動機構においては、最大変位ストロ
ークを大きくしようとすれば単位変位当りのひず
み量が低下し、逆に変位検出感度を大きくしよう
とすると最大ストロークが減少するという問題点
があつた。
り長さを短くすると、平板３，４が変形にしくく
なり、平板３，４の板厚、長さがそうでない場合
に比べて、圧電アクチユエータ７に同一電圧を印
加したときに得られる変位ストロークが減少す
る。即ち、第７図ａに示すように、厚さおよび長
さが等しい微動機構においては、最大変位ストロ
ークを大きくしようとすれば単位変位当りのひず
み量が低下し、逆に変位検出感度を大きくしよう
とすると最大ストロークが減少するという問題点
があつた。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決
し、最大ストロークを減少させることなく変位検
出感度を向上させることができ、又、変位検出感
度を低下させることなく最大ストロークを大きく
することができる微動機構を提供するにある。
し、最大ストロークを減少させることなく変位検
出感度を向上させることができ、又、変位検出感
度を低下させることなく最大ストロークを大きく
することができる微動機構を提供するにある。
上記目的を達成するため、本発明は、２つの剛
体部間を複数の弾性部材で連結し、一方の剛体部
を固定するとともにこの剛体部と他方の剛体部と
の間にアクチユエータを装架し、このアクチユエ
ータにより前記他方の剛体部に変位を発生させる
微動機構において、前記各弾性部材のうちの少な
くとも１つの剛性を他の弾性部材の剛性よりも大
にするとともに、前記剛性の大きな弾性部材の表
面にその曲げ変形により生じるひずみのひずみ量
を検出する検出手段を設けたことを特徴とする。
体部間を複数の弾性部材で連結し、一方の剛体部
を固定するとともにこの剛体部と他方の剛体部と
の間にアクチユエータを装架し、このアクチユエ
ータにより前記他方の剛体部に変位を発生させる
微動機構において、前記各弾性部材のうちの少な
くとも１つの剛性を他の弾性部材の剛性よりも大
にするとともに、前記剛性の大きな弾性部材の表
面にその曲げ変形により生じるひずみのひずみ量
を検出する検出手段を設けたことを特徴とする。
アクチユエータを励起すると固定されている方
の剛体部に変位を生じる。この場合、弾性部材の
うち剛性の大きなものの表面に設けられた検出手
段によりひずみ量が検出されることになり、感度
良くひずみ量、変位量を検出することができる。
の剛体部に変位を生じる。この場合、弾性部材の
うち剛性の大きなものの表面に設けられた検出手
段によりひずみ量が検出されることになり、感度
良くひずみ量、変位量を検出することができる。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明す
る。
る。
第１図は本発明の第１の実施例に係る微動機構
の正面図である。図で、第７図ａに示す部分と同
一部分には同一符号に付して説明を省略する。３
ａ，４ａは第７図ａに示す平板３，４に相当する
平板である。平板３ａの厚さはt1、平板４ａの厚
さはt2（t2＜t1）とされ、これら平板３ａ，４ａの
長さは等しい長さｌとされている。従来の微動機
構の平板３，４が厚さ、長さが同じで剛性が等し
いのに対し、本実施例の微動機構の平板３ａは平
板４ａより厚さが大きく、したがつて平板３の剛
性は平板４ａの剛性より大きくされている。ひず
みゲージ８は剛性の大きい方の平板３ａに第７図
ｂに示す配置と同じ配置で貼着されている。
の正面図である。図で、第７図ａに示す部分と同
一部分には同一符号に付して説明を省略する。３
ａ，４ａは第７図ａに示す平板３，４に相当する
平板である。平板３ａの厚さはt1、平板４ａの厚
さはt2（t2＜t1）とされ、これら平板３ａ，４ａの
長さは等しい長さｌとされている。従来の微動機
構の平板３，４が厚さ、長さが同じで剛性が等し
いのに対し、本実施例の微動機構の平板３ａは平
板４ａより厚さが大きく、したがつて平板３の剛
性は平板４ａの剛性より大きくされている。ひず
みゲージ８は剛性の大きい方の平板３ａに第７図
ｂに示す配置と同じ配置で貼着されている。
ここで、圧電アクチユエータ７の無負荷時の最
大変位量をu0、圧電アクチユエータ７の剛性を
KP、平板３ａ，４ａの剛性をKSとすると、第１
図に示す微動機構の変位量ｕは次式で表わされ
る。
大変位量をu0、圧電アクチユエータ７の剛性を
KP、平板３ａ，４ａの剛性をKSとすると、第１
図に示す微動機構の変位量ｕは次式で表わされ
る。
ｕ＝KP／KS＋KP・u0 ……(2)
ところで、上記(2)式において、平板３ａ，４ａ
の剛性をKSは各平板３ａ，４ａの剛性の和であ
る。したがつて、平板３ａ，４ａを構成する材料
のヤング率をＥ、平板３ａ，４ａの幅をｂとする
と、剛性KSは次式で表わされる。
の剛性をKSは各平板３ａ，４ａの剛性の和であ
る。したがつて、平板３ａ，４ａを構成する材料
のヤング率をＥ、平板３ａ，４ａの幅をｂとする
と、剛性KSは次式で表わされる。
KS＝Ｅ・ｂ／l3（t1 3＋t2 3） ……(3)
第１図に示す微動機構の変位量ｕは、使用する
圧電アクチユエータ７が決定されると値KPが定
まるので、(2)式から平板３ａ，４ａの剛性KSを
小さくすれば大きくなり、剛性KSを大きくすれ
ば小さくなることが判る。
圧電アクチユエータ７が決定されると値KPが定
まるので、(2)式から平板３ａ，４ａの剛性KSを
小さくすれば大きくなり、剛性KSを大きくすれ
ば小さくなることが判る。
このように、変位量ｕは剛性KS、ひいては厚
さt1，t2を変化させることにより変化する。一
方、今度は変位量ｕを一定としてみると、この場
合には(2)、(3)式の剛性KSが一定である。そして、
(3)式から、剛性KSを一定とするように厚さt1，t2
を選定する。本実施例の微動機構においては厚さ
は、t1＞t2であるから、選定された厚さt1，t2は
次式の関係にある。
さt1，t2を変化させることにより変化する。一
方、今度は変位量ｕを一定としてみると、この場
合には(2)、(3)式の剛性KSが一定である。そして、
(3)式から、剛性KSを一定とするように厚さt1，t2
を選定する。本実施例の微動機構においては厚さ
は、t1＞t2であるから、選定された厚さt1，t2は
次式の関係にある。
t1／t2＞１ ……(4)
ここで、選定された厚さt1，t2の組合せにおけ
る単位変位当りのひずみ量を、t1＝t2の場合と比
較し、その結果をグラフで示すと第２図に示すよ
うになる。第２図で、横軸にはt1／t2が、縦軸に
は単位変位当りのひずみ量の比がとつてある。第
２図から、板厚の等しい従来の平板に比べ、変位
量が等しい場合の本実施例の平板３ａにより得ら
れるひずみ量は、従来の平板の約1.25倍となり、
変位検出分解能を約25％増加させることができ
る。即ち、変位検出感度が向上するのは明らかで
ある。
る単位変位当りのひずみ量を、t1＝t2の場合と比
較し、その結果をグラフで示すと第２図に示すよ
うになる。第２図で、横軸にはt1／t2が、縦軸に
は単位変位当りのひずみ量の比がとつてある。第
２図から、板厚の等しい従来の平板に比べ、変位
量が等しい場合の本実施例の平板３ａにより得ら
れるひずみ量は、従来の平板の約1.25倍となり、
変位検出分解能を約25％増加させることができ
る。即ち、変位検出感度が向上するのは明らかで
ある。
以上述べたことから、平板３ａ，４ａの厚さを
適宜選定することにより、従来の微動機構と比較
して、変位検出感度を低下させずに最大ストロー
クを大きくすることができ、又は、最大ストロー
クを一定にして変位検出感度を大きくすることも
でき、あるいは、最大ストロークおよび変位検出
感度の両方を大きくすることもできる。一例を挙
げると、従来の微動機構において、ひずみゲージ
が用けられていない方の平板の厚さを小さくすれ
ば変位検出感度を低下させることなく最大ストロ
ークを大きくすることができ、又、ひずみゲージ
が設けられていない方の平板の厚さを小さくし、
ひずみゲージが設けられている方の平板の厚さを
大きくすると最大ストロークを変化させずに変位
検出感度を向上させることができる。そして、後
者の場合の厚さの選択を適宜に行なえば最大スト
ロークを大きくし、かつ、変位検出感度を向上さ
せることができる。
適宜選定することにより、従来の微動機構と比較
して、変位検出感度を低下させずに最大ストロー
クを大きくすることができ、又は、最大ストロー
クを一定にして変位検出感度を大きくすることも
でき、あるいは、最大ストロークおよび変位検出
感度の両方を大きくすることもできる。一例を挙
げると、従来の微動機構において、ひずみゲージ
が用けられていない方の平板の厚さを小さくすれ
ば変位検出感度を低下させることなく最大ストロ
ークを大きくすることができ、又、ひずみゲージ
が設けられていない方の平板の厚さを小さくし、
ひずみゲージが設けられている方の平板の厚さを
大きくすると最大ストロークを変化させずに変位
検出感度を向上させることができる。そして、後
者の場合の厚さの選択を適宜に行なえば最大スト
ロークを大きくし、かつ、変位検出感度を向上さ
せることができる。
第３図は本発明の第２の実施例に係る微動機構
の正面図である。図で、第１図に示す部分と同一
部分には同一符号が付してある。本実施例の微動
機構は第１図に示す微動機構を線Ｏ−O′を中心
に２つ対称的に結合した構成となつている。この
構成において、圧電アクチユエータ７を励起する
と、剛体部２は各剛体部１に対して図で上方に並
進変位することとなる。本実施例の作用および効
果はさきの実施例と同じであるので、それらの説
明は省略する。
の正面図である。図で、第１図に示す部分と同一
部分には同一符号が付してある。本実施例の微動
機構は第１図に示す微動機構を線Ｏ−O′を中心
に２つ対称的に結合した構成となつている。この
構成において、圧電アクチユエータ７を励起する
と、剛体部２は各剛体部１に対して図で上方に並
進変位することとなる。本実施例の作用および効
果はさきの実施例と同じであるので、それらの説
明は省略する。
第４図ａ，ｂは本発明の第３および第４の実施
例に係る微動機構の正面図である。第４図ａで、
第１図に示す部分に相当する部分には、同一符号
に文字Ｒが付されている。第１図に示す微動機構
が剛体部１と剛体部２を互いに厚さの異なる平行
な平板３ａ，４ａで連結した構成であるのに対し
て、本実施例は、剛体部１Ｒと剛体部２Ｒを点Ｏ
を中心として放射状に延びる厚さの異なる弾性の
平板３aR，４aRで連結した構成となつている。
そして、第１図に示す微動機構が圧電アクチユエ
ータ７を励起して各剛体部１，２間に相対的に並
進変位を発生させるのに対して、本実施例は、圧
電アクチユエータ７の励起により剛体部１Ｒ，２
Ｒ間に点Ｏを中心とした相対的回転変位を発生さ
せる。
例に係る微動機構の正面図である。第４図ａで、
第１図に示す部分に相当する部分には、同一符号
に文字Ｒが付されている。第１図に示す微動機構
が剛体部１と剛体部２を互いに厚さの異なる平行
な平板３ａ，４ａで連結した構成であるのに対し
て、本実施例は、剛体部１Ｒと剛体部２Ｒを点Ｏ
を中心として放射状に延びる厚さの異なる弾性の
平板３aR，４aRで連結した構成となつている。
そして、第１図に示す微動機構が圧電アクチユエ
ータ７を励起して各剛体部１，２間に相対的に並
進変位を発生させるのに対して、本実施例は、圧
電アクチユエータ７の励起により剛体部１Ｒ，２
Ｒ間に点Ｏを中心とした相対的回転変位を発生さ
せる。
厚さの等しい放射状の平板を備えた微動機構お
よびその動作の詳細は前記特開昭61−209846号公
報に記載されている。そして、本実施例の動作も
これに準じ、又、本実施例の効果は平板３aR，
４aRの厚さが異なることにより、第１図に示す
微動機構の効果と同じである。
よびその動作の詳細は前記特開昭61−209846号公
報に記載されている。そして、本実施例の動作も
これに準じ、又、本実施例の効果は平板３aR，
４aRの厚さが異なることにより、第１図に示す
微動機構の効果と同じである。
第４図ｂに示す第４の実施例は、第４図ａに示
す微動機構を点Ｏに関して対称的に２つ結合した
構成であり、第４図ａに示す部分と同一部分には
同一符号が付されている。本実施例の作用および
効果は第３の実施例と同じであるので、それらの
説明は省略する。
す微動機構を点Ｏに関して対称的に２つ結合した
構成であり、第４図ａに示す部分と同一部分には
同一符号が付されている。本実施例の作用および
効果は第３の実施例と同じであるので、それらの
説明は省略する。
第５図は本発明の第５の実施例に係る微動機構
の正面図である。図で、第１図に示す部分と同一
部分には同一符号が付してある。３ｂ，４ｂは第
１図に示す平板３ａ，４ａに相当する平板であ
る。平板３ａ，４ａが異なる厚さを有するのに対
して本実施例の平板３ｂ，４ｂは等しい厚さを有
するが長さを異にする。即ち、平板３ｂは平板４
ｂより短くされている。このため、平板３ｂの剛
性は平板４ｂの剛性より大きい。ひずみゲージ８
は剛性の大きい平板３ｂ側に貼着されている。
の正面図である。図で、第１図に示す部分と同一
部分には同一符号が付してある。３ｂ，４ｂは第
１図に示す平板３ａ，４ａに相当する平板であ
る。平板３ａ，４ａが異なる厚さを有するのに対
して本実施例の平板３ｂ，４ｂは等しい厚さを有
するが長さを異にする。即ち、平板３ｂは平板４
ｂより短くされている。このため、平板３ｂの剛
性は平板４ｂの剛性より大きい。ひずみゲージ８
は剛性の大きい平板３ｂ側に貼着されている。
本実施例では、２つの平板の厚さを等しく長さ
を異にするように構成したので、厚さと長さを適
切に選定することにより、変位検出感度を低下さ
せることなく最大ストロークを大きくすることが
でき、又は、最大ストロークを小さくすることな
く変位検出感度を向上させることができる。
を異にするように構成したので、厚さと長さを適
切に選定することにより、変位検出感度を低下さ
せることなく最大ストロークを大きくすることが
でき、又は、最大ストロークを小さくすることな
く変位検出感度を向上させることができる。
第６図は本発明の第６の実施例に係る微動機構
の正面図である。図で、第１図に示す部分と同一
部分には同一符号が付されている。３ｃ，４ｃは
平板３ａ，４ａに相当する平板である。平板４ｃ
は平板３ａ，４ａと同じく全体にわたつて均一な
厚さを有するが、平板３ｃは剛体部１，２の連結
部分において円弧形状にされており、これにより
平板中央部分より当該連結部分近辺の厚さが大き
くなつている。本実施例は実質的に平板３ｃの厚
さを平板４ｃと異ならしめたこととなり、第１の
実施例の効果と同じ効果を奏する。
の正面図である。図で、第１図に示す部分と同一
部分には同一符号が付されている。３ｃ，４ｃは
平板３ａ，４ａに相当する平板である。平板４ｃ
は平板３ａ，４ａと同じく全体にわたつて均一な
厚さを有するが、平板３ｃは剛体部１，２の連結
部分において円弧形状にされており、これにより
平板中央部分より当該連結部分近辺の厚さが大き
くなつている。本実施例は実質的に平板３ｃの厚
さを平板４ｃと異ならしめたこととなり、第１の
実施例の効果と同じ効果を奏する。
なお、上記実施例の説明では、２つの平板の厚
さおよび長さを異ならしめる例について述べた
が、これらに限ることはなく、平板の幅、幅方向
に沿う厚さや形状等を変更することもできる。
又、平板は２枚でなく３枚以上設けることもで
き、その場合適数の平板を選定して厚さ、長さ等
を変えることができる。
さおよび長さを異ならしめる例について述べた
が、これらに限ることはなく、平板の幅、幅方向
に沿う厚さや形状等を変更することもできる。
又、平板は２枚でなく３枚以上設けることもで
き、その場合適数の平板を選定して厚さ、長さ等
を変えることができる。
以上述べたように、本発明では、弾性部材の剛
性を適宜異ならしめるように構成したので、最大
ストロークを減少させることなく変位検出感度を
向上させることができ、又は、変位検出感度を低
下させることなく最大ストロークを増大させるこ
とができ、あるいは、最大ストロークを大きく
し、かつ、変位検出感度を向上させることができ
る。
性を適宜異ならしめるように構成したので、最大
ストロークを減少させることなく変位検出感度を
向上させることができ、又は、変位検出感度を低
下させることなく最大ストロークを増大させるこ
とができ、あるいは、最大ストロークを大きく
し、かつ、変位検出感度を向上させることができ
る。
第１図は本発明の第１の実施例に係る微動機構
の正面図、第２図は単位変位当りひずみ量の特性
図、第３図、第４図ａ，ｂ、第５図および第６図
はそれぞれ本発明の第２、第３、第４、第５、第
６の実施例に係る微動機構の正面図、第７図ａ，
ｂは従来の微動機構の正面図および側面図、第８
図は第７図ａに示す微動機構の変位特性図であ
る。 １，２，１Ｒ，２Ｒ……剛体部、３ａ，４ａ，
３ｂ，４ｂ，３ｃ，４ｃ……平板、７，７Ｒ……
圧電アクチユエータ。
の正面図、第２図は単位変位当りひずみ量の特性
図、第３図、第４図ａ，ｂ、第５図および第６図
はそれぞれ本発明の第２、第３、第４、第５、第
６の実施例に係る微動機構の正面図、第７図ａ，
ｂは従来の微動機構の正面図および側面図、第８
図は第７図ａに示す微動機構の変位特性図であ
る。 １，２，１Ｒ，２Ｒ……剛体部、３ａ，４ａ，
３ｂ，４ｂ，３ｃ，４ｃ……平板、７，７Ｒ……
圧電アクチユエータ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ２つの剛体部間を複数の弾性部材で連結し、
一方の剛体部を固定するとともにこの剛体部と他
方の剛体部との間にアクチユエータを装架し、こ
のアクチユエータにより前記他方の剛体部に変位
を発生させる微動機構において、前記各弾性部材
のうちの少なくとも１つの剛性を他の弾性部材の
剛性よりも大にするとともに、前記剛性の大きな
弾性部材の表面にその曲げ変形により生じるひず
みのひずみ量を検出する検出手段を設けたことを
特徴とする微動機構。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記検出手
段は、前記弾性部材に貼着されたひずみゲージで
あることを特徴とする微動機構。 ３ 特許請求の範囲第１項において、前記剛性の
大きな弾性部材は、他の弾性部材に比較してその
厚みが大きいことを特徴とする微動機構。 ４ 特許請求の範囲第１項において、前記剛性の
大きな弾性部材は、他の弾性部材に比較してその
長さの短いことを特徴とする微動機構。 ５ 特許請求の範囲第１項において、前記各弾性
部材は、互いに平行な平板であることを特徴とす
る微動機構。 ６ 特許請求の範囲第１項において、前記各弾性
部材は、所定点に関して放射状に配置されている
ことを特徴とする微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62245813A JPS6491086A (en) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | Finely adjusting mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62245813A JPS6491086A (en) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | Finely adjusting mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6491086A JPS6491086A (en) | 1989-04-10 |
| JPH0415435B2 true JPH0415435B2 (ja) | 1992-03-17 |
Family
ID=17139231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62245813A Granted JPS6491086A (en) | 1987-10-01 | 1987-10-01 | Finely adjusting mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6491086A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0341390A (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-21 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微動機構 |
| JPH0351792A (ja) * | 1989-07-20 | 1991-03-06 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 微動機構 |
-
1987
- 1987-10-01 JP JP62245813A patent/JPS6491086A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6491086A (en) | 1989-04-10 |
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