JPH0351792A - 微動機構 - Google Patents
微動機構Info
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- JPH0351792A JPH0351792A JP18603189A JP18603189A JPH0351792A JP H0351792 A JPH0351792 A JP H0351792A JP 18603189 A JP18603189 A JP 18603189A JP 18603189 A JP18603189 A JP 18603189A JP H0351792 A JPH0351792 A JP H0351792A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 63
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
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- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超精密加工、半導体製造装置、電子顕微鏡等
のサブμｍオーダーの調節を必要とする装置に使用され
る微動機構に関する。
のサブμｍオーダーの調節を必要とする装置に使用され
る微動機構に関する。
近年、各種技術分野においては、サブμｍのオーダの微
細な変位調節が可能である装置が要望されている。その
典型的な例がＬＳＩ（大規模集積回路）、超ＬＳＩの製
造工程において使用されるマスクアライナ、電子ｗＡ描
画装置等の半導体製造装置である。これらの装置におい
ては、サブμｍオーダーの微細な位置決めが必要であり
、位置決めの精度が向上するにしたがってその集積度も
増大し、高性能の製品を製造することができる。このよ
うな微細な位置決めは上記半導体装置に限らず、電子顕
微鏡をはじめとする各種の高倍率光学装置や超精密加工
装置等においても必要であり、その精度向上により、バ
イオテクノロジ、宇宙開発等の先端技術においてもそれ
らの発展に大きく寄与するものである。以下１、このよ
うな微細な位置決めを行なう微動機構を図により説明す
る。
細な変位調節が可能である装置が要望されている。その
典型的な例がＬＳＩ（大規模集積回路）、超ＬＳＩの製
造工程において使用されるマスクアライナ、電子ｗＡ描
画装置等の半導体製造装置である。これらの装置におい
ては、サブμｍオーダーの微細な位置決めが必要であり
、位置決めの精度が向上するにしたがってその集積度も
増大し、高性能の製品を製造することができる。このよ
うな微細な位置決めは上記半導体装置に限らず、電子顕
微鏡をはじめとする各種の高倍率光学装置や超精密加工
装置等においても必要であり、その精度向上により、バ
イオテクノロジ、宇宙開発等の先端技術においてもそれ
らの発展に大きく寄与するものである。以下１、このよ
うな微細な位置決めを行なう微動機構を図により説明す
る。
第３図（ａ）は従来の微動機構の斜視図、第３図（ｂ）
は第３図（ａ）に示す微動機構の一部の側面図である。
は第３図（ａ）に示す微動機構の一部の側面図である。
各図で、１は板状の固定側剛体、２は固定側剛体１と対
向する板状の移動側剛体である。３ａ、３ｂ、３ｃは固
定側剛体１と移動側剛体２との間に設けられた圧電アク
チュエータである。各圧電アクチュエータ３ａ〜３Ｃの
移動側剛体２側の端部４ａは第３図（ｂ）に示すように
半球形状に形成され、移動側剛体２と点接触で結合され
ている。なお、Ｘ、Ｙ、Ｚは座標軸を示す。
向する板状の移動側剛体である。３ａ、３ｂ、３ｃは固
定側剛体１と移動側剛体２との間に設けられた圧電アク
チュエータである。各圧電アクチュエータ３ａ〜３Ｃの
移動側剛体２側の端部４ａは第３図（ｂ）に示すように
半球形状に形成され、移動側剛体２と点接触で結合され
ている。なお、Ｘ、Ｙ、Ｚは座標軸を示す。
又、各圧電アクチュエータ３ａ〜３Ｃに代えて電磁式モ
ータを用いることもできる。
ータを用いることもできる。
このような微動機構において、圧電アクチュエータ３３
〜３Ｃに電圧を印加すると、各圧電アクチュエータ３ａ
〜３Ｃは印加された電圧に応じてそれぞれ矢印に示すよ
うにＺ軸方向に変位量Ｚ ａｎＺｂ、Ｚｃを発生する。
〜３Ｃに電圧を印加すると、各圧電アクチュエータ３ａ
〜３Ｃは印加された電圧に応じてそれぞれ矢印に示すよ
うにＺ軸方向に変位量Ｚ ａｎＺｂ、Ｚｃを発生する。
そこで、これら変位量ｚ、。
Ｚｂ、Ｚｃの大きさを印加電圧を制御することにより制
御すれば、移動側剛体２に対し座標軸に記入のように、
Ｚ軸方向の並進変位ｕ、、Ｘ軸まわりの回転変位θ、、
および７輪まわりの回転変位θ、を与えることができる
。即ち、この微動機構は３軸の微動機構である。
御すれば、移動側剛体２に対し座標軸に記入のように、
Ｚ軸方向の並進変位ｕ、、Ｘ軸まわりの回転変位θ、、
および７輪まわりの回転変位θ、を与えることができる
。即ち、この微動機構は３軸の微動機構である。
上記微動機構は、簡素な構造で３軸の変位ｕｇ＋θ１．
θアを発生することができる優れた微動機構である。と
ころで、通常、圧電素子に電圧を印加した場合、当該印
加電圧と発生変位量との間には、約１０％のヒステリシ
スが存在し、高精度の位置決めが極めて困難である。こ
のため、微動機構の外部に変位検出器を設け、発生した
変位を検出し、これをフィードバックして印加電圧を制
御する手段が採用されていた。このような変位検出器の
設置は、圧電アクチュエータではなくｉａ電磁式モータ
用いる場合にも必要である。
θアを発生することができる優れた微動機構である。と
ころで、通常、圧電素子に電圧を印加した場合、当該印
加電圧と発生変位量との間には、約１０％のヒステリシ
スが存在し、高精度の位置決めが極めて困難である。こ
のため、微動機構の外部に変位検出器を設け、発生した
変位を検出し、これをフィードバックして印加電圧を制
御する手段が採用されていた。このような変位検出器の
設置は、圧電アクチュエータではなくｉａ電磁式モータ
用いる場合にも必要である。
しかしながら、０．１μｍ、ｏ、０１μｍオーダの超微
細な変位を計測する変位検出手段は高価格であり、又、
これを設置した場合、全体の形状、寸法が大きくなり、
汎用の位置決め装置としては、これを用いる種々の装置
への組込みが困難になるという問題があった。
細な変位を計測する変位検出手段は高価格であり、又、
これを設置した場合、全体の形状、寸法が大きくなり、
汎用の位置決め装置としては、これを用いる種々の装置
への組込みが困難になるという問題があった。
さらに、第３図（ａ）、 （ｂ）に示すように圧電ア
クチュエータ３３〜３Ｃを用いた場合、各圧電アクチュ
エータ３ａ〜３Ｃは端部４ａ〜４Ｃで移動＠剛体２と点
接触で結合されているに過ぎないので、外部から力が作
用する等の外乱により移動側剛体にすべりが生じ、位置
決め精度が大幅に低下するおそれがある。又、これを避
けるため移動側剛体２との結合にねじを用いる手段もあ
るが、０．０１μｍオーダの位置決め゛においては、ね
じ部が有するガタ等により高精度の位置決めが不可能で
あるという問題があった。
クチュエータ３３〜３Ｃを用いた場合、各圧電アクチュ
エータ３ａ〜３Ｃは端部４ａ〜４Ｃで移動＠剛体２と点
接触で結合されているに過ぎないので、外部から力が作
用する等の外乱により移動側剛体にすべりが生じ、位置
決め精度が大幅に低下するおそれがある。又、これを避
けるため移動側剛体２との結合にねじを用いる手段もあ
るが、０．０１μｍオーダの位置決め゛においては、ね
じ部が有するガタ等により高精度の位置決めが不可能で
あるという問題があった。
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、
簡素な構造で高精度の位置決めを行なうことができ、か
つ、外部からの力等の影響を受けるおそれのない微動機
構を提供するにある。
簡素な構造で高精度の位置決めを行なうことができ、か
つ、外部からの力等の影響を受けるおそれのない微動機
構を提供するにある。
上記の目的を達成するため、本発明は第１の剛体と、第
２の剛体と、これら２つの剛体間に介在しそれらに相対
的変位を発生させる複数の変位発生部とを備えた微動機
構において、前記各変位発生部を、前記第１の剛体に連
結された第３の剛体と、前記第２の剛体にヒンジ部材を
介して連結された第４の剛体と、前記第３の剛体と前記
第４の剛体とを連結する複数の弾性部材と、これら弾性
部材の少な（とも１つに設けられたひずみゲージと、前
記第３の剛体および前記第４の剛体間に装架されこれら
剛体間に相対的変位を発生させる変位発生素子とで構成
したことを特徴とする。
２の剛体と、これら２つの剛体間に介在しそれらに相対
的変位を発生させる複数の変位発生部とを備えた微動機
構において、前記各変位発生部を、前記第１の剛体に連
結された第３の剛体と、前記第２の剛体にヒンジ部材を
介して連結された第４の剛体と、前記第３の剛体と前記
第４の剛体とを連結する複数の弾性部材と、これら弾性
部材の少な（とも１つに設けられたひずみゲージと、前
記第３の剛体および前記第４の剛体間に装架されこれら
剛体間に相対的変位を発生させる変位発生素子とで構成
したことを特徴とする。
変位発生部の変位発生素子が駆動されると弾性部材が変
形して第４の剛体と第３の剛体との間に相対変位が発生
する。この変位は、ヒンジ部材を介して第２の剛体に伝
達され、この第２の剛体と第１の剛体との間に相対変位
が現われる。この相対変位の変位量は、ひずみゲージに
より検出される。
形して第４の剛体と第３の剛体との間に相対変位が発生
する。この変位は、ヒンジ部材を介して第２の剛体に伝
達され、この第２の剛体と第１の剛体との間に相対変位
が現われる。この相対変位の変位量は、ひずみゲージに
より検出される。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第１図（ａ＞は本発明の実施例に係る微動機構の変位発
生部の斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）に示す変位
発生部の一部の側面図、第１図（ｃ）は第１図（ａ）に
示すひずみゲージの回路図である。各図で、５ａは第３
図（ａ）、 （ｂ）に示す圧電アクチュエータ３ａと
置換して用いられる変位発生部を示す。変位発生部５ａ
は次のように構成されている。即ち、６は固定側剛体、
７は移動側剛体、８ａ、８ｂは固定側剛体６と移動側剛
体７との間を連結する互いに平行な平板状弾性部材、９
．１０はそれぞれ固定側剛体６と移動側剛体７から突出
した突出部、１１は突出部９゜１０間に装架された圧電
素子、１２は移動側剛体７に固定された弾性ヒンジ部材
、１３ａ〜１３ｄは平板状弾性部材８ａの表面所定個所
に貼着されたひずみゲージである。なお、弾性ヒンジ部
材１２は、円柱剛体１２ａ、１２ｃおよび中心に向って
断面が円弧状に減少するヒンジ１２ｂより成り、円柱剛
体１２ｃは移動側剛体７に固定されている。
生部の斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）に示す変位
発生部の一部の側面図、第１図（ｃ）は第１図（ａ）に
示すひずみゲージの回路図である。各図で、５ａは第３
図（ａ）、 （ｂ）に示す圧電アクチュエータ３ａと
置換して用いられる変位発生部を示す。変位発生部５ａ
は次のように構成されている。即ち、６は固定側剛体、
７は移動側剛体、８ａ、８ｂは固定側剛体６と移動側剛
体７との間を連結する互いに平行な平板状弾性部材、９
．１０はそれぞれ固定側剛体６と移動側剛体７から突出
した突出部、１１は突出部９゜１０間に装架された圧電
素子、１２は移動側剛体７に固定された弾性ヒンジ部材
、１３ａ〜１３ｄは平板状弾性部材８ａの表面所定個所
に貼着されたひずみゲージである。なお、弾性ヒンジ部
材１２は、円柱剛体１２ａ、１２ｃおよび中心に向って
断面が円弧状に減少するヒンジ１２ｂより成り、円柱剛
体１２ｃは移動側剛体７に固定されている。
このように構成された変位発生部５ａは、固定側剛体６
が第３図（ａ）、 （ｂ）に示す固定側剛体１に剛性
を有する適宜の部材で連結され、かつ、弾性ヒンジ部材
１２の円柱剛体１２ａが第３図（ａ）、 （ｂ）に示
す移動側剛体２に結合される。
が第３図（ａ）、 （ｂ）に示す固定側剛体１に剛性
を有する適宜の部材で連結され、かつ、弾性ヒンジ部材
１２の円柱剛体１２ａが第３図（ａ）、 （ｂ）に示
す移動側剛体２に結合される。
又、変位発生部５ａと同じ構成の変位発生部５ｂ。
５Ｃが、それぞれ第３図（ａ）、 （ｂ）に示す圧電
アクチュエータ３ｂ、３ｃに代えて設置される。
アクチュエータ３ｂ、３ｃに代えて設置される。
次に、本実施例の動作を第１図（ｂ）、 （ｃ）を参
照しながら説明する。圧電素子１１に電圧が印加される
と、固定側剛体６と移動側剛体７間に図示座標のＺ軸方
向の力が作用し、平板状弾性部材８ａは第１図（ｂ）に
破線で示すように変形する。なお、この図で、変形は極
端に誇張して措かれている。平板状弾性部材８ｂにも同
一の変形が生じる。このような変形により、移動側剛体
７は変位量Ｚ、だけＺ軸方向に変位する。したがって、
弾性ヒンジ部材１２を介して移動側剛体２も同一量だけ
変位する。各変位発生部５ａ、５ｂ、５Ｃの圧電素子１
１に印加する電圧を制御することにより、移動側剛体２
に対して第３図（ａ）に示すＺ軸方向の並進変位ｕｔ、
Ｘ軸まわりおよびＹ軸まわりの回転変位θ８．θ、を与
えることができる。この場合、弾性ヒンジ部材１２のヒ
ンジ１２ｂはその構造上、Ｘ軸およびＹ軸まわりの回転
に対してのみ剛性が低（なるので、何等支障な（回転変
位θ８．θ、がなされる。
照しながら説明する。圧電素子１１に電圧が印加される
と、固定側剛体６と移動側剛体７間に図示座標のＺ軸方
向の力が作用し、平板状弾性部材８ａは第１図（ｂ）に
破線で示すように変形する。なお、この図で、変形は極
端に誇張して措かれている。平板状弾性部材８ｂにも同
一の変形が生じる。このような変形により、移動側剛体
７は変位量Ｚ、だけＺ軸方向に変位する。したがって、
弾性ヒンジ部材１２を介して移動側剛体２も同一量だけ
変位する。各変位発生部５ａ、５ｂ、５Ｃの圧電素子１
１に印加する電圧を制御することにより、移動側剛体２
に対して第３図（ａ）に示すＺ軸方向の並進変位ｕｔ、
Ｘ軸まわりおよびＹ軸まわりの回転変位θ８．θ、を与
えることができる。この場合、弾性ヒンジ部材１２のヒ
ンジ１２ｂはその構造上、Ｘ軸およびＹ軸まわりの回転
に対してのみ剛性が低（なるので、何等支障な（回転変
位θ８．θ、がなされる。
上記動作中、平板状弾性部材８ａが第１図（ｂ）に破線
で示すように変形したとき、各ひずみゲージ１３ａ〜１
３ｄにひずみが生じ、これに応じてそれらの抵抗値が変
化する。図示の変形の場合、ひずみゲージ１３ａ、１３
ｂには圧縮ひずみが、又、ひずみゲージ１３Ｃ，１３ｄ
には引張りひずみが生じる。したがって、各ひずみゲー
ジ１３ａ〜１３ｄで第１図（ｃ）に示すようなホイート
ストンブリッジ回路を構成し、これに電源Ｅの直流電圧
を印加すると、出力端子には変位量２．に比例した電圧
Ｖ、を得ることができる。この得られた電圧■、をフィ
ードバックすることにより、変位量２．を所定の値に制
御することができる。そして、他の変位発生部５ｂ、５
ｃに対しても同様の制御を行なうことにより、移動側剛
体２の位置決めを高精度で行なうことができる。
で示すように変形したとき、各ひずみゲージ１３ａ〜１
３ｄにひずみが生じ、これに応じてそれらの抵抗値が変
化する。図示の変形の場合、ひずみゲージ１３ａ、１３
ｂには圧縮ひずみが、又、ひずみゲージ１３Ｃ，１３ｄ
には引張りひずみが生じる。したがって、各ひずみゲー
ジ１３ａ〜１３ｄで第１図（ｃ）に示すようなホイート
ストンブリッジ回路を構成し、これに電源Ｅの直流電圧
を印加すると、出力端子には変位量２．に比例した電圧
Ｖ、を得ることができる。この得られた電圧■、をフィ
ードバックすることにより、変位量２．を所定の値に制
御することができる。そして、他の変位発生部５ｂ、５
ｃに対しても同様の制御を行なうことにより、移動側剛
体２の位置決めを高精度で行なうことができる。
このように、本実施例では、上記のような構成としたの
で、外部に高価な変位検出器を設けることなく、簡素な
構造で変位を検出することができ、外形寸法を大形化す
ることなく、かつ、高精度の位置決めを行なうことがで
きる。又、弾性ヒンジ部材を用いたので、移動側剛体を
これに固定することができ、外部からの力等の影響を受
けてすべり等を生じるおそれはなく、この点からも、よ
り精度の高い位置決めが可能となる。
で、外部に高価な変位検出器を設けることなく、簡素な
構造で変位を検出することができ、外形寸法を大形化す
ることなく、かつ、高精度の位置決めを行なうことがで
きる。又、弾性ヒンジ部材を用いたので、移動側剛体を
これに固定することができ、外部からの力等の影響を受
けてすべり等を生じるおそれはなく、この点からも、よ
り精度の高い位置決めが可能となる。
第２図（ａ）は本発明の他の実施例に係る微動機構の斜
視図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）に示す線ｎｂ−ｎｂ
に沿う一部断面側面図である。各図で、第１図（ａ）に
示す部分と同−又は等価な部分には同一符号を付して説
明を省略する。３つの変位発生部５ａ、５ｂ、５ｃは同
一構造を有する。１６は固定側剛体１と変位発生部５ａ
、５ｂ、５Ｃの固定側剛体６とを連結する連結部である
。
視図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）に示す線ｎｂ−ｎｂ
に沿う一部断面側面図である。各図で、第１図（ａ）に
示す部分と同−又は等価な部分には同一符号を付して説
明を省略する。３つの変位発生部５ａ、５ｂ、５ｃは同
一構造を有する。１６は固定側剛体１と変位発生部５ａ
、５ｂ、５Ｃの固定側剛体６とを連結する連結部である
。
本実施例においては、さきの実施例における弾性ヒンジ
部材１２の円柱剛体１２ａ、１２ｃはそれぞれ移動側剛
体２，７の一部となっている。本実施例の微動機構は、
圧電素子１１および、ひずみゲージ１３ａ〜１３ｄを除
き、１つの剛体ブロックを加工成形することにより一体
に構成されている。
部材１２の円柱剛体１２ａ、１２ｃはそれぞれ移動側剛
体２，７の一部となっている。本実施例の微動機構は、
圧電素子１１および、ひずみゲージ１３ａ〜１３ｄを除
き、１つの剛体ブロックを加工成形することにより一体
に構成されている。
本実施例の動作はさきの実施例の動作と同じである。又
、本実施例の効果は、さきの実施例の効果に加え、全体
が一体構成となっているので、別体部材の連結によるガ
タ等が生じることはなく、より高い精度の位置決めを行
なうことができる。
、本実施例の効果は、さきの実施例の効果に加え、全体
が一体構成となっているので、別体部材の連結によるガ
タ等が生じることはなく、より高い精度の位置決めを行
なうことができる。
なお、上記各実施例の説明では、変位発生部に圧電素子
を使用する例について説明したが、電磁式モータ等地の
要素を用いることもできる。
を使用する例について説明したが、電磁式モータ等地の
要素を用いることもできる。
以上述べたように、本発明では、変位発生部を、第１の
剛体に連結される第３の剛体、第２の剛体にヒンジ部材
を介して連結される第４の剛体、第３の剛体と第４の剛
体を連結する弾性部材、弾性部材に設けられたひずみゲ
ージおよび第３の剛体と第４の閘体間に相対的変位を発
生させる変位発生素子で構成したので、全体の外形寸法
を大きくすることなく、かつ、安価に変位量を検出する
ことができ、これにより、高精度の位置決めを行なうこ
とができる。又、第２の剛体と第４の剛体をヒンジ部材
で結合したので、外部からの力等の影響を受けるおそれ
はなく、より精度の高い位置決めが可能となる。
剛体に連結される第３の剛体、第２の剛体にヒンジ部材
を介して連結される第４の剛体、第３の剛体と第４の剛
体を連結する弾性部材、弾性部材に設けられたひずみゲ
ージおよび第３の剛体と第４の閘体間に相対的変位を発
生させる変位発生素子で構成したので、全体の外形寸法
を大きくすることなく、かつ、安価に変位量を検出する
ことができ、これにより、高精度の位置決めを行なうこ
とができる。又、第２の剛体と第４の剛体をヒンジ部材
で結合したので、外部からの力等の影響を受けるおそれ
はなく、より精度の高い位置決めが可能となる。
第１図（ａ）、 （ｂ）は本発明の実施例に係る微動
機構の一部の斜視図および側面図、第１図（ｃ）は第１
図（ａ）に示すひずみゲージの回路図、第２図（ａ）、
（ｂ）は本発明の他の実施例に係る微動機構の斜視
図および一部断面側面図、第３図（ａ）、 （ｂ）は
従来の微動機構の斜視図および一部断面図である。 １．６・・・・・・・・・固定側剛体、２，７・・・・
・・・・・移動側剛体、５ａ〜５ｃ・・・・・・・・・
変位発生部、８ａ、８ｂ・・・・・・・・・平板状弾性
部材、１１・・・・・・・・・圧電素子、１２・・・・
・・・・・弾性ヒンジ部材、”１３ ａ〜１３ｄ・・・
・・・・・・ひずみゲージ、１６・・・・・・・・・連
結部。 第１図 （Ｑ） （１）） （Ｃ） 第２図 （α） （ｂ） 第 図
機構の一部の斜視図および側面図、第１図（ｃ）は第１
図（ａ）に示すひずみゲージの回路図、第２図（ａ）、
（ｂ）は本発明の他の実施例に係る微動機構の斜視
図および一部断面側面図、第３図（ａ）、 （ｂ）は
従来の微動機構の斜視図および一部断面図である。 １．６・・・・・・・・・固定側剛体、２，７・・・・
・・・・・移動側剛体、５ａ〜５ｃ・・・・・・・・・
変位発生部、８ａ、８ｂ・・・・・・・・・平板状弾性
部材、１１・・・・・・・・・圧電素子、１２・・・・
・・・・・弾性ヒンジ部材、”１３ ａ〜１３ｄ・・・
・・・・・・ひずみゲージ、１６・・・・・・・・・連
結部。 第１図 （Ｑ） （１）） （Ｃ） 第２図 （α） （ｂ） 第 図
Claims (2)
- （１）第１の剛体と、第２の剛体と、これら２つの剛体
間に介在しそれらに相対的変位を発生させる複数の変位
発生部とを備えた微動機構において、前記各変位発生部
を、前記第１の剛体に連結された第３の剛体と、前記第
２の剛体にヒンジ部材を介して連結された第４の剛体と
、前記第３の剛体と前記第４の剛体とを連結する複数の
弾性部材と、これら弾性部材の少なくとも１つに設けら
れたひずみゲージと、前記第３の剛体および前記第４の
剛体間に装架されこれら剛体間に相対的変位を発生させ
る変位発生素子とで構成したことを特徴とする微動機構
。 - （２）請求項（１）において、前記第１の剛体、前記第
２の剛体、前記第３の剛体、前記第４の剛体、前記各弾
性部材および前記ヒンジ部材は、一体構造であることを
特徴とする微動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18603189A JPH0351792A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 微動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18603189A JPH0351792A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 微動機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0351792A true JPH0351792A (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=16181186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18603189A Pending JPH0351792A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 微動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0351792A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07299700A (ja) * | 1994-05-11 | 1995-11-14 | Yotaro Hatamura | 工作機械および工具の姿勢制御システム並びに研削システム |
| JPH1110498A (ja) * | 1997-06-18 | 1999-01-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 固体アクチュエータを用いた面振れ修正機構を持つ加工装置 |
| JP2003139504A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-14 | Japan Science & Technology Corp | 変位センサとその製造方法および位置決めステージ |
| JP2019536989A (ja) * | 2016-09-30 | 2019-12-19 | ３エスエーイー テクノロジーズ インク | 多軸相対位置決めステージ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63217985A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ピエゾアクチユエ−タ |
| JPS6491086A (en) * | 1987-10-01 | 1989-04-10 | Hitachi Construction Machinery | Finely adjusting mechanism |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP18603189A patent/JPH0351792A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63217985A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ピエゾアクチユエ−タ |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH1110498A (ja) * | 1997-06-18 | 1999-01-19 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 固体アクチュエータを用いた面振れ修正機構を持つ加工装置 |
| JP2003139504A (ja) * | 2001-10-30 | 2003-05-14 | Japan Science & Technology Corp | 変位センサとその製造方法および位置決めステージ |
| JP2019536989A (ja) * | 2016-09-30 | 2019-12-19 | ３エスエーイー テクノロジーズ インク | 多軸相対位置決めステージ |
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