JPH041545A - 半導体圧力検出装置 - Google Patents
半導体圧力検出装置Info
- Publication number
- JPH041545A JPH041545A JP10271590A JP10271590A JPH041545A JP H041545 A JPH041545 A JP H041545A JP 10271590 A JP10271590 A JP 10271590A JP 10271590 A JP10271590 A JP 10271590A JP H041545 A JPH041545 A JP H041545A
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- JP
- Japan
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- pressure detection
- columnar object
- base
- semiconductor pressure
- sensor element
- Prior art date
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- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、気体の流量測定などに際して用いられる半
導体圧力検出装置に関する。
導体圧力検出装置に関する。
従来から、半導体圧力検出装置の一例としては、第３図
及び第４図で示すように、圧力検出部ｌと、二等辺三角
柱体のような柱状物体２とを備えたものが知られている
。そして、この圧力検出部ｌは、互いに同一構造とされ
た上流側及び下流側の半導体圧力センサ素子（以下、セ
ンサ素子という）３゜４を具備しており、これらのセン
サ素子３，４は基準電圧及び出力電圧の信号を授受する
ためのリードフレーム５を介してベース６の上面に位置
決め固定されたうえ、カバー７によって密封されている
。
及び第４図で示すように、圧力検出部ｌと、二等辺三角
柱体のような柱状物体２とを備えたものが知られている
。そして、この圧力検出部ｌは、互いに同一構造とされ
た上流側及び下流側の半導体圧力センサ素子（以下、セ
ンサ素子という）３゜４を具備しており、これらのセン
サ素子３，４は基準電圧及び出力電圧の信号を授受する
ためのリードフレーム５を介してベース６の上面に位置
決め固定されたうえ、カバー７によって密封されている
。
一方、柱状物体２は流量を測定すべき気体の流れ、すな
わち、気流Ｒと直交するように配設されており、圧力検
出部ｌを構成するベース６の下面と一体的に連結されて
いる。また、その背後には、同じくベース６の下面に連
結された連結部８が設けられており、この連結部８と柱
状物体２との下端部同士は互いに連結されている。
わち、気流Ｒと直交するように配設されており、圧力検
出部ｌを構成するベース６の下面と一体的に連結されて
いる。また、その背後には、同じくベース６の下面に連
結された連結部８が設けられており、この連結部８と柱
状物体２との下端部同士は互いに連結されている。
そして、この連結部８の両側面それぞれにはセンサ素子
３．４に圧力を印加するための通気孔９が開口されてお
り、ベース６及び連結部８を貫通した通気孔９のそれぞ
れはカバー７によって密封されたセンサ素子３．４の収
納空間Ｓに連通接続されている。なお、このとき、一方
の通気孔９は上流側のセンサ素子３の上側から圧力を印
加し、かつ、下流側のセンサ素子４の下側から圧力を印
加するように接続されており、他方の通気孔（図示して
いない）はセンサ素子３．４のそれぞれに対して上記と
は逆向きの圧力を印加するように接続されている。
３．４に圧力を印加するための通気孔９が開口されてお
り、ベース６及び連結部８を貫通した通気孔９のそれぞ
れはカバー７によって密封されたセンサ素子３．４の収
納空間Ｓに連通接続されている。なお、このとき、一方
の通気孔９は上流側のセンサ素子３の上側から圧力を印
加し、かつ、下流側のセンサ素子４の下側から圧力を印
加するように接続されており、他方の通気孔（図示して
いない）はセンサ素子３．４のそれぞれに対して上記と
は逆向きの圧力を印加するように接続されている。
つぎに、この半導体圧力検出装置の動作について説明す
る。
る。
まず、柱状物体２の上流側から気体が流れてくると、周
知のように、この気流Ｒと直交する柱状物体２両側それ
ぞれの下流側には気体の流速に比例した周波数でカルマ
ン渦が発生することになり、発生したカルマン渦による
差圧は通気孔９を通じて上流側及び下流側のセンサ素子
３，４それぞれに印加されて電気信号に変換される。そ
して、このとき、上流側及び下流側のセンサ素子３．４
は互いに逆極性となる信号を出力するように設定されて
おり、これらがいわゆる差動増幅作用を行うことになる
結果、差圧が２倍の大きさに拡大された信号として出力
されることになる。
知のように、この気流Ｒと直交する柱状物体２両側それ
ぞれの下流側には気体の流速に比例した周波数でカルマ
ン渦が発生することになり、発生したカルマン渦による
差圧は通気孔９を通じて上流側及び下流側のセンサ素子
３，４それぞれに印加されて電気信号に変換される。そ
して、このとき、上流側及び下流側のセンサ素子３．４
は互いに逆極性となる信号を出力するように設定されて
おり、これらがいわゆる差動増幅作用を行うことになる
結果、差圧が２倍の大きさに拡大された信号として出力
されることになる。
〔発明が解決しようとする！＊Ｊ！Ｉ）ところで、この
種の半導体圧力検出装置においては、その圧力検出部１
を構成するベース６上に配設された上流側及び下流側、
すなわち、一対のセンサ素子３．４の有する電気特性が
互いに同等とされているべきであり、そのためには、組
立完了状態において各センサ素子３．４に作用する組立
時の残留応力などによる歪が互いに等しくなっていなけ
ればならない。
種の半導体圧力検出装置においては、その圧力検出部１
を構成するベース６上に配設された上流側及び下流側、
すなわち、一対のセンサ素子３．４の有する電気特性が
互いに同等とされているべきであり、そのためには、組
立完了状態において各センサ素子３．４に作用する組立
時の残留応力などによる歪が互いに等しくなっていなけ
ればならない。
しかしながら、前記従来構成の半導体圧力検出装置では
、圧力検出部１を構成するベース６と、気流Ｒ中に直交
配置された柱状物体２とが互いに一体的に連結されてお
り、上流側のセンサ素子３はベース６を挟んで柱状物体
２と対向する位置に配設されているのに対し、下流側の
センサ素子４と対向する位置には何も配設されていない
、そこで、これらのセンサ素子３．４それぞれに対して
は互いに異なる残留応力などによる歪の影響が作用する
ことになる結果、特に、温度変化などが住じた場合には
、センサ素子３．４それぞれの有する電気特性が大きく
異なることになり、同等性を失ってしまうことになって
いた。
、圧力検出部１を構成するベース６と、気流Ｒ中に直交
配置された柱状物体２とが互いに一体的に連結されてお
り、上流側のセンサ素子３はベース６を挟んで柱状物体
２と対向する位置に配設されているのに対し、下流側の
センサ素子４と対向する位置には何も配設されていない
、そこで、これらのセンサ素子３．４それぞれに対して
は互いに異なる残留応力などによる歪の影響が作用する
ことになる結果、特に、温度変化などが住じた場合には
、センサ素子３．４それぞれの有する電気特性が大きく
異なることになり、同等性を失ってしまうことになって
いた。
この発明は、このような不都合に鑑みて創案されたもの
であって、圧力検出部を構成する一対のセンサ素子それ
ぞれに作用する残留応力などによる歪の影響を同等とす
ることができ、互いの電気特性の同等性を確保すること
が可能な半導体圧力検出装置を提供することを目的とし
ている。
であって、圧力検出部を構成する一対のセンサ素子それ
ぞれに作用する残留応力などによる歪の影響を同等とす
ることができ、互いの電気特性の同等性を確保すること
が可能な半導体圧力検出装置を提供することを目的とし
ている。
この発明に係る半導体圧力検出装置は、一対のセンサ素
子を具備した圧力検出部と、気流中に直交配置された柱
状物体とを互いに切り離して配置するとともに、この柱
状物体の背後に設けた連結部を介して前記圧力検出部と
柱状物体とを互いに連結したことを特徴とするものであ
る。
子を具備した圧力検出部と、気流中に直交配置された柱
状物体とを互いに切り離して配置するとともに、この柱
状物体の背後に設けた連結部を介して前記圧力検出部と
柱状物体とを互いに連結したことを特徴とするものであ
る。
上記構成によれば、圧力検出部と柱状物体とを互いに切
り離して配置したから、この圧力検出部を構成するいず
れのセンサ素子における残留応力などによる歪の影響も
互いに同等となる。
り離して配置したから、この圧力検出部を構成するいず
れのセンサ素子における残留応力などによる歪の影響も
互いに同等となる。
以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る半導体圧力検出装置の
概略構成を示す断面図であり、第２図はその一部破断状
態を示す斜視図である。なお、この半導体圧力検出装置
においては、その圧力検出部と柱状物体とを互いに切り
離して配置した以外の基本的な構成が従来例と異ならな
いので、第１図及び第２図において第３図及び第４図と
互いに同一もしくは相当する部品、部分には同一符号を
付し、ここでの詳しい説明は省略する。
概略構成を示す断面図であり、第２図はその一部破断状
態を示す斜視図である。なお、この半導体圧力検出装置
においては、その圧力検出部と柱状物体とを互いに切り
離して配置した以外の基本的な構成が従来例と異ならな
いので、第１図及び第２図において第３図及び第４図と
互いに同一もしくは相当する部品、部分には同一符号を
付し、ここでの詳しい説明は省略する。
本実施例に係る半導体圧力検出装置は、第１図及び第２
図で示すように、互いに同一構造とされた上流側及び下
流側のセンサ素子３，４を具備した圧力検出部１と、気
流Ｒ中に直交配置された二等辺三角柱体のような柱状物
体２とを備えている。
図で示すように、互いに同一構造とされた上流側及び下
流側のセンサ素子３，４を具備した圧力検出部１と、気
流Ｒ中に直交配置された二等辺三角柱体のような柱状物
体２とを備えている。
なお、この柱状物体２の形状については、二等辺三角柱
体に限定されるものではなく、例えば、円柱体などであ
ってもよいことはいうまでもない。
体に限定されるものではなく、例えば、円柱体などであ
ってもよいことはいうまでもない。
そして、この圧力検出部１はセンサ素子３，４がリード
フレーム５を介して位置決め固定されるベース６を具備
しており、柱状物体２はベース６の下面と所定間隔だけ
切り離された状態で配置されている。なお、この柱状物
体２の配置位置は、従来例と同じである。また、この柱
状物体２の背後にはベース６の下面に連結された連結部
８が設けられており、これと柱状物体２との下端部同士
は互いに連結されている。そこで、この柱状物体２は、
連結部８を介してベース６の下面に連結支持されている
ことになる。
フレーム５を介して位置決め固定されるベース６を具備
しており、柱状物体２はベース６の下面と所定間隔だけ
切り離された状態で配置されている。なお、この柱状物
体２の配置位置は、従来例と同じである。また、この柱
状物体２の背後にはベース６の下面に連結された連結部
８が設けられており、これと柱状物体２との下端部同士
は互いに連結されている。そこで、この柱状物体２は、
連結部８を介してベース６の下面に連結支持されている
ことになる。
すなわち、この半導体圧力検出装置においては、その圧
力検出部ｌを構成するベース６と柱状物体２とが互いに
切り離して配置されていることから、上流側及び下流側
のセンサ素子３，４とベース６を挟んで対向する位置に
は何も配設されていないことになる。そこで、これらの
センサ素子３．４の構造は互いに等しい対称構造となり
、センサ素子３．４それぞれに対して作用する残留応力
などによる歪の影響は同等となる。
力検出部ｌを構成するベース６と柱状物体２とが互いに
切り離して配置されていることから、上流側及び下流側
のセンサ素子３，４とベース６を挟んで対向する位置に
は何も配設されていないことになる。そこで、これらの
センサ素子３．４の構造は互いに等しい対称構造となり
、センサ素子３．４それぞれに対して作用する残留応力
などによる歪の影響は同等となる。
以上説明したように、この発明によれば、−Ｕのセンサ
素子を具備した圧力検出部と、気流中に直交配置された
柱状物体とを互いに切り離して配置したから、この圧力
検出部を構成するいずれのセンサ素子における残留応力
などによる歪の影響も互いに同等となる。したがって、
温度変化などが生じた場合であうでも、従来例のように
、センサ素子の電気特性が大きく同等性を失うことはな
くなり、これらの電気特性の同等性を確保することがで
きるという効果が得られる。
素子を具備した圧力検出部と、気流中に直交配置された
柱状物体とを互いに切り離して配置したから、この圧力
検出部を構成するいずれのセンサ素子における残留応力
などによる歪の影響も互いに同等となる。したがって、
温度変化などが生じた場合であうでも、従来例のように
、センサ素子の電気特性が大きく同等性を失うことはな
くなり、これらの電気特性の同等性を確保することがで
きるという効果が得られる。
第１図及び第２図は本発明の一実施例に係り、第１図は
半導体圧力検出装置の概略構成を示す断面図、第２図は
その一部破断状態を示す斜視図である。また、第３図及
び第４図は従来例に係り、第３図は半導体圧力検出装置
の概略構成を示す断面図、第４図はその一部破断状態を
示す斜視図である。 図における符号１は圧力検出部、２は柱状物体、３．４
はセンサ素子（半導体圧力センサ素子）、８は連結部、
Ｒは気流である。 なお、図中の同一符号は、互いに同一もしくは相当する
部品、部分を示している。
半導体圧力検出装置の概略構成を示す断面図、第２図は
その一部破断状態を示す斜視図である。また、第３図及
び第４図は従来例に係り、第３図は半導体圧力検出装置
の概略構成を示す断面図、第４図はその一部破断状態を
示す斜視図である。 図における符号１は圧力検出部、２は柱状物体、３．４
はセンサ素子（半導体圧力センサ素子）、８は連結部、
Ｒは気流である。 なお、図中の同一符号は、互いに同一もしくは相当する
部品、部分を示している。
Claims (1)
- （１）一対の半導体圧力センサ素子を具備した圧力検出
部と、気流中に直交配置された柱状物体とを互いに切り
離して配置するとともに、この柱状物体の背後に設けた
連結部を介して前記圧力検出部と柱状物体とを互いに連
結したことを特徴とする半導体圧力検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10271590A JPH041545A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 半導体圧力検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10271590A JPH041545A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 半導体圧力検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH041545A true JPH041545A (ja) | 1992-01-07 |
Family
ID=14334965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10271590A Pending JPH041545A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 半導体圧力検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH041545A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0569647U (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-21 | 沖電気工業株式会社 | 絶対圧型圧力検出器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4860676A (ja) * | 1971-11-29 | 1973-08-25 | ||
| JPH0248817B2 (ja) * | 1981-06-25 | 1990-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Sekigaisenkanetsuchorikiki |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP10271590A patent/JPH041545A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4860676A (ja) * | 1971-11-29 | 1973-08-25 | ||
| JPH0248817B2 (ja) * | 1981-06-25 | 1990-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Sekigaisenkanetsuchorikiki |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0569647U (ja) * | 1992-02-27 | 1993-09-21 | 沖電気工業株式会社 | 絶対圧型圧力検出器 |
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