JPH0512647B2 - - Google Patents
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- JPH0512647B2 JPH0512647B2 JP63129882A JP12988288A JPH0512647B2 JP H0512647 B2 JPH0512647 B2 JP H0512647B2 JP 63129882 A JP63129882 A JP 63129882A JP 12988288 A JP12988288 A JP 12988288A JP H0512647 B2 JPH0512647 B2 JP H0512647B2
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- JP
- Japan
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- hole
- fluid
- measured
- measurement
- flow
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
- G01F1/28—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by drag-force, e.g. vane type or impact flowmeter
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F5/00—Measuring a proportion of the volume flow
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は例えば空気等の気体の流量を測定す
ることに用いる流量変換装置に関する。
ることに用いる流量変換装置に関する。
「従来の技術」
本出願人は「特願昭61−6958号及び特願昭62−
91548号」によつて片持梁形の受圧板を用いた流
量変換装置を提案した。特願昭62−91548号は片
持梁形の受圧板によつて流体の流量を測定する構
造に加えて流体の流路にバイパス路を設け、この
バイパス路に片持梁形の弁を設けて可変オリフイ
ス構造とし、流体の流量に応じてバイパス路を流
れる流体の量を制御させ、低流量域から大流量域
までの測定レンジを広くできる構造とし、更に測
定レンジの変更をバイパス路の直径を変更するだ
けで行うことができる構造とした点を特徴とする
ものである。
91548号」によつて片持梁形の受圧板を用いた流
量変換装置を提案した。特願昭62−91548号は片
持梁形の受圧板によつて流体の流量を測定する構
造に加えて流体の流路にバイパス路を設け、この
バイパス路に片持梁形の弁を設けて可変オリフイ
ス構造とし、流体の流量に応じてバイパス路を流
れる流体の量を制御させ、低流量域から大流量域
までの測定レンジを広くできる構造とし、更に測
定レンジの変更をバイパス路の直径を変更するだ
けで行うことができる構造とした点を特徴とする
ものである。
「発明が解決しようとする課題」
先に提案した流量変換器はバイパス路に片持梁
形弁を設けて可変オリフイス構造としたから、こ
の弁が流体の流れに応じて振動することがあり、
この弁の振動が被測定流体を振動させ、この振動
が測定用の片持梁形受圧板に伝わり安定な測定を
行うことができない現象が発生する欠点がある。
形弁を設けて可変オリフイス構造としたから、こ
の弁が流体の流れに応じて振動することがあり、
この弁の振動が被測定流体を振動させ、この振動
が測定用の片持梁形受圧板に伝わり安定な測定を
行うことができない現象が発生する欠点がある。
この発明の目的はバイパス路における弁の振動
を除去し、どの流量域でも安定した測定を行うこ
とができる流量変換装置を提供するにある。
を除去し、どの流量域でも安定した測定を行うこ
とができる流量変換装置を提供するにある。
「課題を解決するための手段」
この発明では被測定流体が流れる流路を塞ぐよ
うに設けられ、被測定流体導入孔及びバイパス用
孔が並んで本体に設けられ、かつその被測定流体
導入孔の下流は開口面積が小さい測定用孔とされ
ると共に、測定用孔の下流側にこの孔を通過した
流体が板面にほぼ直交する向に当たるように配置
した片持梁型受圧板を設け、バイパス用孔の下流
側でこれを近接対向し、かつ測定用孔の位置より
下流で装着され、このバイパス用孔を通過した流
体の流れを層流化する複数の細管よりなる透孔及
び測定用孔を通過した流体が通過する孔を有する
層流プレートを有し、この層流プレートと本体と
の間の空間を、受圧板、測定用孔及び層流プレー
トの孔を含む空間と、バイパス用孔及び層流プレ
ートの透孔とを含む空間とに分割する手段を設け
る。更に被測定用流体導入孔の上流部に、この被
測定流体導入孔から測定用孔に向う被測定流体の
流れを層流化する細管を多数装着した構成とした
ものである。
うに設けられ、被測定流体導入孔及びバイパス用
孔が並んで本体に設けられ、かつその被測定流体
導入孔の下流は開口面積が小さい測定用孔とされ
ると共に、測定用孔の下流側にこの孔を通過した
流体が板面にほぼ直交する向に当たるように配置
した片持梁型受圧板を設け、バイパス用孔の下流
側でこれを近接対向し、かつ測定用孔の位置より
下流で装着され、このバイパス用孔を通過した流
体の流れを層流化する複数の細管よりなる透孔及
び測定用孔を通過した流体が通過する孔を有する
層流プレートを有し、この層流プレートと本体と
の間の空間を、受圧板、測定用孔及び層流プレー
トの孔を含む空間と、バイパス用孔及び層流プレ
ートの透孔とを含む空間とに分割する手段を設け
る。更に被測定用流体導入孔の上流部に、この被
測定流体導入孔から測定用孔に向う被測定流体の
流れを層流化する細管を多数装着した構成とした
ものである。
この発明の構成によれば測定用孔を流れる被測
定流体の流動圧を受けて片持梁形受圧板が反り返
える。この反り量は被測定流体の流量に比例す
る。片持梁形受圧板の反り量は検出コイルによつ
て磁気的に検出され、流量が測定される。
定流体の流動圧を受けて片持梁形受圧板が反り返
える。この反り量は被測定流体の流量に比例す
る。片持梁形受圧板の反り量は検出コイルによつ
て磁気的に検出され、流量が測定される。
ここで特にバイパス路を通過する流体は多数の
細管を通じて流れる。多数の細管は流体に対し適
度の絞りとして作用し、従来バイパス路に設けて
いた片持梁形弁の代わりとして作用する。
細管を通じて流れる。多数の細管は流体に対し適
度の絞りとして作用し、従来バイパス路に設けて
いた片持梁形弁の代わりとして作用する。
更に流体が多数の細管を通じて流れるとき、流
体の流れは層流化され、振動の発生が抑えられ
る。よつて、この発明ではバイパス路と被測定流
体導入孔の双方に多数の細管を装着したからバイ
パス路及び測定用孔の双方を流れる被測定流体は
層流化される。よつて、片持梁形弁に振動が与え
られることがない。
体の流れは層流化され、振動の発生が抑えられ
る。よつて、この発明ではバイパス路と被測定流
体導入孔の双方に多数の細管を装着したからバイ
パス路及び測定用孔の双方を流れる被測定流体は
層流化される。よつて、片持梁形弁に振動が与え
られることがない。
このようにして、この発明によれば小流量から
大流量に至る広い範囲にわたつて安定に測定を行
うことができる流量変換装置を得ることができ
る。
大流量に至る広い範囲にわたつて安定に測定を行
うことができる流量変換装置を得ることができ
る。
「実施例」
第１図乃至第４図にこの発明の一実施例を示
す。第１図において１は被測定流体の流入口、２
は被測定流体の流出口を示し、被測定流体（気
体）は矢印Ｘ方向に流れる。
す。第１図において１は被測定流体の流入口、２
は被測定流体の流出口を示し、被測定流体（気
体）は矢印Ｘ方向に流れる。
３及び４は配管接続具、５は流量変換器本体、
６は層流プレートを示す。
６は層流プレートを示す。
流量変換器本体５は第２図に示すように中央に
壁７を有し、壁７の両側にバイパス路を構成する
一対の三ケ形状の透孔８Ａ，８Ｂが形成され、壁
７を貫通して測定用透孔９が形成される。
壁７を有し、壁７の両側にバイパス路を構成する
一対の三ケ形状の透孔８Ａ，８Ｂが形成され、壁
７を貫通して測定用透孔９が形成される。
測定用透孔９はスリツト状とされ、この透孔９
の下流側に片持梁形受圧板１１が設けられる。こ
の片持梁形受圧板１１は磁性体から成るバネ材に
よつて形成され、その偏位量は検出コイル１２に
よつて検出される。なお、受圧板１１の他方の遊
端側には補償コイル１３が配置され、零バランス
補償が行えるようにしている。また１４は受圧板
１１を保護するストツパープレートを示す。
の下流側に片持梁形受圧板１１が設けられる。こ
の片持梁形受圧板１１は磁性体から成るバネ材に
よつて形成され、その偏位量は検出コイル１２に
よつて検出される。なお、受圧板１１の他方の遊
端側には補償コイル１３が配置され、零バランス
補償が行えるようにしている。また１４は受圧板
１１を保護するストツパープレートを示す。
この発明の特徴とする構造は層流プレート６の
部分と、流量変換器本体５の測定用孔９の上流側
の部分にある。層流プレート６は第３図に示すよ
うに全体が平板状に形成され、この平板状の層流
プレート６にバイパス用孔８Ａ，８Ｂに連通する
六角形状の透孔１５Ａと１５Ｂを形成する。また
流量変換器本体５に設けた測定用透孔９の下流側
に孔１６を形成する。更に流量変換器本体５の測
定用孔９の上流側に測定用孔９の開口面積より大
きい開口面積を持つ被測定流体導入孔１０を設け
る。
部分と、流量変換器本体５の測定用孔９の上流側
の部分にある。層流プレート６は第３図に示すよ
うに全体が平板状に形成され、この平板状の層流
プレート６にバイパス用孔８Ａ，８Ｂに連通する
六角形状の透孔１５Ａと１５Ｂを形成する。また
流量変換器本体５に設けた測定用透孔９の下流側
に孔１６を形成する。更に流量変換器本体５の測
定用孔９の上流側に測定用孔９の開口面積より大
きい開口面積を持つ被測定流体導入孔１０を設け
る。
バイパス路を構成する透孔１５Ａ，１５Ｂ及び
被測定流体導入孔１０には流体の流れを層流化す
るために多数の細管１８を装着する。細管１８の
内径は例えば0.5mm程度とされる。この細管１８
を流体が流れることによつて流体の流れは層流化
される。
被測定流体導入孔１０には流体の流れを層流化す
るために多数の細管１８を装着する。細管１８の
内径は例えば0.5mm程度とされる。この細管１８
を流体が流れることによつて流体の流れは層流化
される。
透孔１５Ａ，１５Ｂ及び被測定流体導入孔１０
はそれぞれ六角形状とする。このように六角形状
とすることによつて直径の小さい細管を安定に収
納させることができる。つまり多数の管を束ねる
と、束ねた管の外周は自然に六角形状になる。こ
のために孔１５Ａと１５Ｂ及び被測定流体導入孔
１０を六角形に選定したものである。
はそれぞれ六角形状とする。このように六角形状
とすることによつて直径の小さい細管を安定に収
納させることができる。つまり多数の管を束ねる
と、束ねた管の外周は自然に六角形状になる。こ
のために孔１５Ａと１５Ｂ及び被測定流体導入孔
１０を六角形に選定したものである。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によればバイパ
ス路及び被測定流体導入孔１０に多数の細管１８
を設け、バイパスする流体と測定用孔１０に流れ
込む流体は全てこの細管１８を通過する。流体が
細管１８を流れることによつて流体の流れは層流
化され渦等の発生が抑えられ、流体が振動するこ
とはない。
ス路及び被測定流体導入孔１０に多数の細管１８
を設け、バイパスする流体と測定用孔１０に流れ
込む流体は全てこの細管１８を通過する。流体が
細管１８を流れることによつて流体の流れは層流
化され渦等の発生が抑えられ、流体が振動するこ
とはない。
また細管１８を設けた層流プレート６は本体と
別体に作ることができるため組立が容易になる。
別体に作ることができるため組立が容易になる。
特に被測定流体導入孔１０に細管１８を装着し
たから、測定用孔９に流入する流体はこの細管１
８によつて振動を除去され、片持梁形受圧板１１
が振動することを有効に阻止することができる。
たから、測定用孔９に流入する流体はこの細管１
８によつて振動を除去され、片持梁形受圧板１１
が振動することを有効に阻止することができる。
よつて、受圧板１１が振動することがなく安定
に流量を電気信号に変換することができる。
に流量を電気信号に変換することができる。
しかも細管１８による層流化動作は低流量域か
ら大流量域に至る広い範囲にわたつて作用するか
ら、広い範囲にわたつて流量測定が可能な流量変
換器を提供することができる。
ら大流量域に至る広い範囲にわたつて作用するか
ら、広い範囲にわたつて流量測定が可能な流量変
換器を提供することができる。
第１図はこの発明の一実施例を説明するための
断面図、第２図はこの発明に用いた流量変換器本
体の構造を説明するための斜視図、第３図はこの
発明に用いた層流プレートの構造を説明するため
の斜視図、第４図は流量変換器本体の要部の構造
を説明するための拡大断面図である。 １：被測定流体の流入口、２：出口、５：流量
変換器本体、６：層流プレート、７：壁、８Ａ，
８Ｂ：バイパス用孔、９：測定用孔、１０：被測
定流体導入孔、１１：片持梁形受圧板、１２：検
出コイル、１８：細管。
断面図、第２図はこの発明に用いた流量変換器本
体の構造を説明するための斜視図、第３図はこの
発明に用いた層流プレートの構造を説明するため
の斜視図、第４図は流量変換器本体の要部の構造
を説明するための拡大断面図である。 １：被測定流体の流入口、２：出口、５：流量
変換器本体、６：層流プレート、７：壁、８Ａ，
８Ｂ：バイパス用孔、９：測定用孔、１０：被測
定流体導入孔、１１：片持梁形受圧板、１２：検
出コイル、１８：細管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ａ 被測定流体が流れる流路を塞ぐように設
けられ、被測定流体導入孔及びバイパス用孔が
並んで形成され、かつその被測定流体導入孔の
下流は開口面積が小さい測定用孔とされている
本体と、 Ｂ 上記測定用孔の下流側に設けられ、測定用孔
を通過した流体が板面にほぼ直交する向に当た
るように配置した片持梁形受圧板と、 Ｃ この受圧板の変位量を測定する変位検出器
と、 Ｄ 上記バイパス用孔の下流側でこれと近接対向
し、かつ上記測定用孔の位置より下流で装着さ
れ、このバイパス用孔を通過した流体の流れを
層流化する複数の細管よりなる透孔及び上記測
定用孔を通過した流体が通過する孔を有する層
流プレートと、 Ｅ その層流プレートと上記本体との間の空間
を、上記受圧板、上記測定用孔及び上記層流プ
レートの孔を含む空間と、上記バイパス用孔及
び上記層流プレートの透孔とを含む空間とに分
割する手段と、 Ｆ 上記被測定流体導入孔の上流部に装着され、
被測定流体導入孔から測定用孔に向う被測定流
体の流れを層流化する複数の細管と、 によつて構成した流量変換装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63129882A JPH01299416A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 流量変換装置 |
| US07/285,798 US4875932A (en) | 1988-05-26 | 1988-12-16 | Apparatus for measuring a flow rate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63129882A JPH01299416A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 流量変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01299416A JPH01299416A (ja) | 1989-12-04 |
| JPH0512647B2 true JPH0512647B2 (ja) | 1993-02-18 |
Family
ID=15020663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63129882A Granted JPH01299416A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | 流量変換装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4875932A (ja) |
| JP (1) | JPH01299416A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003530150A (ja) * | 2000-04-07 | 2003-10-14 | ピーディーエス ヘルスケア プロダクツ インコーポレイテッド | 肺機能を測定する装置および方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2637075B1 (fr) * | 1988-09-23 | 1995-03-10 | Gaz De France | Procede et dispositif destines a indiquer le debit d'un fluide compressible circulant dans un detendeur, et capteur de vibrations utilise a cet effet |
| US6444033B1 (en) * | 1999-11-12 | 2002-09-03 | Delsys Pharmaceutical Corp. | Article comprising a diffuser with flow control features |
| US20040025598A1 (en) * | 2000-09-21 | 2004-02-12 | Festo Ag & Co. | Integrated fluid sensing device |
| US6769299B2 (en) * | 2003-01-08 | 2004-08-03 | Fetso Corporation | Integral dual technology flow sensor |
| US6901794B2 (en) * | 2003-10-16 | 2005-06-07 | Festo Corporation | Multiple technology flow sensor |
| US20090071561A1 (en) * | 2007-09-12 | 2009-03-19 | Dennis Dalrymple | Method and system for improving gas flow in a duct or pipe |
| DE102013215522A1 (de) * | 2013-08-07 | 2015-02-12 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zur Bestimmung wenigstens eines Parameters eines durch einen Kanal strömenden fluiden Mediums |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1964775A (en) * | 1932-12-07 | 1934-07-03 | Hooker Electrochemical Co | Apparatus for proportional determination |
| FR2085184B1 (ja) * | 1970-01-08 | 1973-07-13 | Lafitte Rene | |
| JPS49148075U (ja) * | 1973-04-20 | 1974-12-20 | ||
| JPS5283254A (en) * | 1975-12-30 | 1977-07-12 | Tokyo Keiso Kk | Flowmeter |
| JPS5954926A (ja) * | 1982-09-22 | 1984-03-29 | Esutetsuku:Kk | 層流素子の製造方法 |
| JPS6014121A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-24 | Esutetsuku:Kk | 層流素子 |
| US4571996A (en) * | 1984-08-10 | 1986-02-25 | Allied Corporation | Air flow sensor |
| JPS62165121A (ja) * | 1986-01-16 | 1987-07-21 | Cosmo Keiki:Kk | 流量変換装置 |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP63129882A patent/JPH01299416A/ja active Granted
- 1988-12-16 US US07/285,798 patent/US4875932A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003530150A (ja) * | 2000-04-07 | 2003-10-14 | ピーディーエス ヘルスケア プロダクツ インコーポレイテッド | 肺機能を測定する装置および方法 |
| JP2011167540A (ja) * | 2000-04-07 | 2011-09-01 | Ferraris Group Inc | 肺機能を測定する装置および方法 |
| JP2012228530A (ja) * | 2000-04-07 | 2012-11-22 | Nspire Health Llc | 肺機能を測定する装置および方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4875932A (en) | 1989-10-24 |
| JPH01299416A (ja) | 1989-12-04 |
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