JPH04155277A - バーンイン装置 - Google Patents
バーンイン装置Info
- Publication number
- JPH04155277A JPH04155277A JP27986290A JP27986290A JPH04155277A JP H04155277 A JPH04155277 A JP H04155277A JP 27986290 A JP27986290 A JP 27986290A JP 27986290 A JP27986290 A JP 27986290A JP H04155277 A JPH04155277 A JP H04155277A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burn
- baths
- temperature
- tank
- independently
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- Pending
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、同時に複数種類の温度によるバーンインを
可能としたバーンイン装置に関するものである。
可能としたバーンイン装置に関するものである。
第３図は、従来のバーンイン装置の一例の概略図である
。図において、（１）は断熱構造壁、（２）はバーンイ
ン基板、（３）は送風機、（４）はヒーター、（５）は
バーンイン基板用ラックである。
。図において、（１）は断熱構造壁、（２）はバーンイ
ン基板、（３）は送風機、（４）はヒーター、（５）は
バーンイン基板用ラックである。
次に動作について説明する。
第３図のバーンイン装置は、１台のバーンイン装置はひ
とつのバーンイン慴を持ち、バーンイン槽（１）内は、
ヒーター（４）によって加熱された空気を送風機（３）
によって、バーンイン槽（１）内金体に循環させること
によって、設定ｆｌ！度を実現している。
とつのバーンイン慴を持ち、バーンイン槽（１）内は、
ヒーター（４）によって加熱された空気を送風機（３）
によって、バーンイン槽（１）内金体に循環させること
によって、設定ｆｌ！度を実現している。
いわゆる従来のバーンイン装置は、ひとつのバーンイン
槽で一種類の温度を制御するものである。
槽で一種類の温度を制御するものである。
従来のバーンイン装置は以上のように構成されているの
で、複数種類の温度のバーンインを実施したい時は、−
台のバーンイン装置では、同時にバーンインすることが
できず少量のバーンインを異なった条件（温ｔ）で実施
する場合、バーンイン装置を複数台使用するか、本しく
はシリアルに数回に分けてバーンインを実施する必要が
あ勺。
で、複数種類の温度のバーンインを実施したい時は、−
台のバーンイン装置では、同時にバーンインすることが
できず少量のバーンインを異なった条件（温ｔ）で実施
する場合、バーンイン装置を複数台使用するか、本しく
はシリアルに数回に分けてバーンインを実施する必要が
あ勺。
バーンイン装置の有効利用ができないという問題点があ
った。
った。
この発明は上記のような問題点を解決する為になされた
もので、−台のバーンイン装置で複数種類の温度でのバ
ーンインを同時に実施することを目的とする。
もので、−台のバーンイン装置で複数種類の温度でのバ
ーンインを同時に実施することを目的とする。
この発明に係るバーンイン装置は、−台のバーンイン装
置が複数の温度を制御可能とするバーンイン槽を持つよ
うにしたものである。
置が複数の温度を制御可能とするバーンイン槽を持つよ
うにしたものである。
この発明におけるバーンイン装置は、複数種実の温度を
制御できるバーンイン槽を有すること１より％−台のバ
ーンイン装置で、同時に複数１輿の温度のバーンインを
実施することができる。
制御できるバーンイン槽を有すること１より％−台のバ
ーンイン装置で、同時に複数１輿の温度のバーンインを
実施することができる。
以下、この発明の一実力例を図について説明する０
第１図は本発明のバーンイン装置の平面図、＃２図は本
発明のバーンイン装置の正面図である。
発明のバーンイン装置の正面図である。
図において％（１）は断熱構造壁からなるバーンイン槽
で、内部を断熱構造壁で仕切って４室（ｌａ） −（１
４）に区切られている。（２）はバーンイン基板、（３
：は送風機、（４）はヒータ、（６）はバーンイン基板
用ラックである。上記（２）〜（５）は各バーンイン槽
（１ａ）〜（１ｄ）にそれぞれ配置されている。（６）
はそれぞれにバーンイン槽（ｌａ）〜（ｌｄ ）の所定
の断熱構造壁の開口部に設けられた開閉可能な扉である
っ次に動作について説明する。第１ＩＩに示すバーンイ
ン装置は、炉が四つのバーンイン槽（１ａ）〜（１４）
に断熱構造壁で分けられている。それぞれの諏 バー
ンイン槽（ｌａ） 〜（１）は、各々独立に送風ｍ （
３）。
で、内部を断熱構造壁で仕切って４室（ｌａ） −（１
４）に区切られている。（２）はバーンイン基板、（３
：は送風機、（４）はヒータ、（６）はバーンイン基板
用ラックである。上記（２）〜（５）は各バーンイン槽
（１ａ）〜（１ｄ）にそれぞれ配置されている。（６）
はそれぞれにバーンイン槽（ｌａ）〜（ｌｄ ）の所定
の断熱構造壁の開口部に設けられた開閉可能な扉である
っ次に動作について説明する。第１ＩＩに示すバーンイ
ン装置は、炉が四つのバーンイン槽（１ａ）〜（１４）
に断熱構造壁で分けられている。それぞれの諏 バー
ンイン槽（ｌａ） 〜（１）は、各々独立に送風ｍ （
３）。
ヒータ（４）を有しており、各バーンイン槽（ＩＩＬ）
〜（１１ｄ）は独立で温度の制御が可能でおる。
〜（１１ｄ）は独立で温度の制御が可能でおる。
ここで、この発明のバーンイン装置を使用する例を示す
。
。
人という品種は、バーンイン基板を２０枚使用し、バー
ンイン温度は、１２５°ＣＫで実施する。Ｂという品種
は、消費電力が大きい為、バーフィン温度は１００°Ｃ
でなければならない。Ｂはバーンイン基板２０枚を使用
する。こういった例の場合は、匹つ・ のバーンイン
槽の内、二つのバーンイン槽（ｌａ）。
ンイン温度は、１２５°ＣＫで実施する。Ｂという品種
は、消費電力が大きい為、バーフィン温度は１００°Ｃ
でなければならない。Ｂはバーンイン基板２０枚を使用
する。こういった例の場合は、匹つ・ のバーンイン
槽の内、二つのバーンイン槽（ｌａ）。
（１ｂ）を１２５℃に設定し、Ａのバーンインを実施す
る。残シの二つのバーンイン槽（ｌｃ）、（ｌａ） ハ
１００°Ｃに設定しＢのバーンインを実施する。
る。残シの二つのバーンイン槽（ｌｃ）、（ｌａ） ハ
１００°Ｃに設定しＢのバーンインを実施する。
なお、この発明のバーンイン装置は、バーンイン槽がそ
れぞれ独立しているので、バーフィン温度だけでなく、
バーンイン時間もそれぞれ独立で実施できる。つまり、
−台のバーンイン装置ではあるが、複数のバーンイン装
置と同じ機能をもっこととなり、少量多品種で、バーン
イン条件（ｇＡ度１時間）の異ったバーフィンを実施す
る場合、有効となる。
れぞれ独立しているので、バーフィン温度だけでなく、
バーンイン時間もそれぞれ独立で実施できる。つまり、
−台のバーンイン装置ではあるが、複数のバーンイン装
置と同じ機能をもっこととなり、少量多品種で、バーン
イン条件（ｇＡ度１時間）の異ったバーフィンを実施す
る場合、有効となる。
以上のように、この発明によれば、−台のバーフィン装
置が複数のバーンイン槽を有するように構成したので、
−台のバーンイン装置で複数の温皺によるバーフィンが
できるという効果がある。
置が複数のバーンイン槽を有するように構成したので、
−台のバーンイン装置で複数の温皺によるバーフィンが
できるという効果がある。
第１図Ｆｉ不発明の一実施例によるバーンイン装置の平
面図、第２図は第１図の正面図、第３図は従来のバーン
イン装置の平面図である。 図において、（１）はバーンイン槽、（２）はバーンイ
ン基板、（３）は送風機、（４）はヒーター、（５）は
バーンイン基板用ラック、（６）はバーンイン槽の扉で
ちる。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 第１図 １ バーンイン槽 ２７、−７１フイ抜 ｊ：４＋ｆｌ櫟１ １１：一ノ Ｊ５ ラ ノ′ノ 第２図 ｂ ｌ舟
面図、第２図は第１図の正面図、第３図は従来のバーン
イン装置の平面図である。 図において、（１）はバーンイン槽、（２）はバーンイ
ン基板、（３）は送風機、（４）はヒーター、（５）は
バーンイン基板用ラック、（６）はバーンイン槽の扉で
ちる。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 第１図 １ バーンイン槽 ２７、−７１フイ抜 ｊ：４＋ｆｌ櫟１ １１：一ノ Ｊ５ ラ ノ′ノ 第２図 ｂ ｌ舟
Claims (1)
- 複数個のバーンイン槽を有し、それぞれのバーンイン
槽ごとに温度制御ができるように構成したことを特徴と
するバーンイン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27986290A JPH04155277A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | バーンイン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27986290A JPH04155277A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | バーンイン装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04155277A true JPH04155277A (ja) | 1992-05-28 |
Family
ID=17616983
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27986290A Pending JPH04155277A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | バーンイン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04155277A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005121625A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-05-12 | Sharp Corp | バーンイン装置 |
| JP2006058077A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Sharp Corp | バーンイン装置およびバーンイン試験方法 |
| JP2007108022A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Sharp Corp | 電子デバイス検査装置 |
| KR20200002682A (ko) * | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 3디 플러스 | 전자 컴포넌트들을 번-인시키기 위한 장치 |
-
1990
- 1990-10-17 JP JP27986290A patent/JPH04155277A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005121625A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-05-12 | Sharp Corp | バーンイン装置 |
| JP2006058077A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Sharp Corp | バーンイン装置およびバーンイン試験方法 |
| JP2007108022A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Sharp Corp | 電子デバイス検査装置 |
| KR20200002682A (ko) * | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 3디 플러스 | 전자 컴포넌트들을 번-인시키기 위한 장치 |
| JP2020003493A (ja) * | 2018-06-29 | 2020-01-09 | スリーディー プラス | 電子部品バーンイン装置 |
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