JPH04157165A - 無電解金属めっき方法 - Google Patents

無電解金属めっき方法

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JPH04157165A
JPH04157165A JP27801290A JP27801290A JPH04157165A JP H04157165 A JPH04157165 A JP H04157165A JP 27801290 A JP27801290 A JP 27801290A JP 27801290 A JP27801290 A JP 27801290A JP H04157165 A JPH04157165 A JP H04157165A
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JP
Japan
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soln
adhesion
metal plating
copper
electroless
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JP27801290A
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English (en)
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Kaoru Oginuma
荻沼 薫
Takeshi Shimazaki
嶋崎 威
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Resonac Corp
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は無電解金属めっき方法に関する。
〔従来の技術〕
印刷配線板は、銅張り積層板に穴明けを施した後、無電
解金属めっきを行うことで製造される。
無電解金属めっき前処理工程は次のような工程で行われ
る。銅張り積層板に穴明は後、脱脂・洗浄工程を行い、
次に銅表面を軽くエラチン!し、稀硫酸で洗い、塩化パ
ラジウム、塩化スズ等を含む増感剤に浸漬した後、密着
促進剤で基板表面に付着している金属不純物(Sn”″
→αスズ#)を取り除くと共に、パラジウム化合物を金
属パラジウムに還元させ、無電解金属めっき液に投入し
て銅を析出させる。
従来、この密着促進剤処理には、特開昭50−8192
7号、硫酸と塩酸の混酸や、このような混酸に酒石酸を
添加した処理液に浸漬する方法や、あるいは特開昭51
−8127号公報に開示されているように、Na OH
とエチレンジアミン四酢酸を含む水溶液に浸漬する方法
がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明は、無電解金属めっきの前処理工程である密着促
進剤の水溶液中をエアーを入れてバブリングすることで
、下地銅と析出銅との密着性に優れる無電解金属めっき
方法を提供しようとするものである。
(ffl!!を解決するための手段〕 本発明の!!#電解金属めっき方法は、被めっき物を塩
化パラジウム及び塩化スズを含む増感剤で処理した後、
エアーでバブリングされた密着促進剤の水溶液中で処理
することを特徴とする。
本発明のvJ!着促進剤は、fLfl&・有機酸・塩化
第二銅を主成分とし、その水溶液中にエアーをo、。
11/sin〜10.01 /sin入れてバブリング
する。さらに好ましくは、0.1〜1.01 /sin
の範囲である。このエアー量は、下地銅と析出銅との密
着力と密着促進剤の寿命に影響する。エアー量が0.0
117sinより低いと、下地銅と析出銅との密着力が
低下し、1− Oj /sinより高いと密着促進剤の
液寿命が低下する。
コノヨウニ、エアーを0.01 m! /win 〜1
.01/sinの範囲で流すことで、下地鋼と析出銅の
密着性を向上させ、液の長寿命化が得られる無電解金属
めっき方法を見出した。
〔作用〕
前記密着促進剤の水溶液中に、エアーを入れバブリング
することで、下地銅と析出銅との密着力に優れ、かつ液
の長寿命に連がる無電解金属めっきを行うことができる
実施例1 板ff1.6111111.銅f6厚35μ層のガラス
・エポキシ銅張り積層板MCL−E−67(日立化成工
業株式会社製、商品名)を被めっき材とした。
無電解金属めっきの工程は次の通りとした。
クリーナーコンディショナーであるCLC−301(日
立化成工業株式会社製、商品名)に60℃で4分間浸漬
し、水洗後、遇g酸アンモニウムでソフトエツチングを
行い、10%硫酸で洗い、PD−201(日立化成工業
株式会社製、商品名)で処理後、MS−202B (日
立化成工業株式会社製、商品名)無電解めっき用触媒液
に5分間浸漬後、5分間水洗した。
この基材を、硫酸とクエン酸、塩化第二銅を含む水溶液
に、エアーをいれバブリングしながら5分間浸漬し、2
分間水洗水に浸漬した後、N電解銅めっき液であるCu
5t−201(日立化成工業株式会社製、商品名)に1
5分間浸漬する。
実施例2 密着促進剤として硫酸と酒石酸、塩化第二銅を含む水溶
液に、エアー攪拌を用いた以外は実施例1と同様とした
比較例1 実施例1と同じ被めっき材を用い、同じ工程で銅めっき
を行った。密着促進剤はADP−201(日立化成工業
株式会社製、商品名)を用いた。
比較例2 実施例1と同じ被めうき材を用い、同し工程で銅めっき
を行った。密着促進剤はADP−301(日立化成工業
株式会社製、商品名)を用いた。
特性評価を下記方法で行った。
(下地銅と析出銅の密着性) 実施例1に記しためうき工程においては密着性はすべて
良好となり、密着不良の発生はない。
そこで、実施例1のめっき工程で過硫酸アンモニウムに
よるエツチングを行わないことにした。
その後、電解銅めっきを行い、端部よりカッターナイフ
等で引刺しを行い、下地網と析出銅との間での判れを確
認する。
密着性が悪い場合、引剥した後に下地銅が残存する。
(ざらつき) 実施例1に記した密着促進剤の水溶液にCu”。
イオンを添加し、処理することで下地銅表面が酸化し易
い状態でCu5t−201に投入し、電気鋼めっきまで
行い、表面のざらつきの有無を確認する0以上の結果に
ついて表1に示した。
〔発明の効果〕
実施例から、過度な状況下においても、エアー攪拌する
ことで下地銅と析出銅との密着性は良好である。又、被
めっき板表面のザラツキの発生はなく、液の長寿命に連
がる。
比較例1.2は、過度な状況でざらつきの発生が見られ
た。以上の結果から、本発明の無電解金属めっき方法が
優れた特性であることが判った。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.被めっき物を塩化パラジウム及び塩化スズを含む増
    感剤で処理した後、エアー量を0.1l/min以上で
    バブリングしている密着促進剤の水溶液で処理すること
    を特徴とする無電解金属めっき方法。
  2. 2.前記密着促進剤の主成分が硫酸、有機酸、塩化第二
    銅を含む水溶液であることを特徴とする請求項1に記載
    の無電解金属めっき方法。
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