JPH04157165A - 無電解金属めっき方法 - Google Patents
無電解金属めっき方法Info
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- JPH04157165A JPH04157165A JP27801290A JP27801290A JPH04157165A JP H04157165 A JPH04157165 A JP H04157165A JP 27801290 A JP27801290 A JP 27801290A JP 27801290 A JP27801290 A JP 27801290A JP H04157165 A JPH04157165 A JP H04157165A
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- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims abstract description 9
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 claims description 14
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 10
- 229960003280 cupric chloride Drugs 0.000 claims description 4
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J tin(iv) chloride Chemical compound Cl[Sn](Cl)(Cl)Cl HPGGPRDJHPYFRM-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims description 3
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 claims description 2
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 abstract description 2
- 101150003085 Pdcl gene Proteins 0.000 abstract 2
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 abstract 2
- AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L tin(II) chloride (anhydrous) Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Sn+2] AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 2
- 229910021592 Copper(II) chloride Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 abstract 1
- 230000001235 sensitizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 25
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 2
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 description 1
- 229910000976 Electrical steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- KOWWOODYPWDWOJ-LVBPXUMQSA-N elatine Chemical compound C([C@]12CN(C3[C@@]45OCO[C@]44[C@H]6[C@@H](OC)[C@@H]([C@H](C4)OC)C[C@H]6[C@@]3([C@@H]1[C@@H]5OC)[C@@H](OC)CC2)CC)OC(=O)C1=CC=CC=C1N1C(=O)CC(C)C1=O KOWWOODYPWDWOJ-LVBPXUMQSA-N 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002941 palladium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000008237 rinsing water Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemically Coating (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は無電解金属めっき方法に関する。
印刷配線板は、銅張り積層板に穴明けを施した後、無電
解金属めっきを行うことで製造される。
解金属めっきを行うことで製造される。
無電解金属めっき前処理工程は次のような工程で行われ
る。銅張り積層板に穴明は後、脱脂・洗浄工程を行い、
次に銅表面を軽くエラチン!し、稀硫酸で洗い、塩化パ
ラジウム、塩化スズ等を含む増感剤に浸漬した後、密着
促進剤で基板表面に付着している金属不純物(Sn”″
→αスズ#)を取り除くと共に、パラジウム化合物を金
属パラジウムに還元させ、無電解金属めっき液に投入し
て銅を析出させる。
る。銅張り積層板に穴明は後、脱脂・洗浄工程を行い、
次に銅表面を軽くエラチン!し、稀硫酸で洗い、塩化パ
ラジウム、塩化スズ等を含む増感剤に浸漬した後、密着
促進剤で基板表面に付着している金属不純物(Sn”″
→αスズ#)を取り除くと共に、パラジウム化合物を金
属パラジウムに還元させ、無電解金属めっき液に投入し
て銅を析出させる。
従来、この密着促進剤処理には、特開昭50−8192
7号、硫酸と塩酸の混酸や、このような混酸に酒石酸を
添加した処理液に浸漬する方法や、あるいは特開昭51
−8127号公報に開示されているように、Na OH
とエチレンジアミン四酢酸を含む水溶液に浸漬する方法
がある。
7号、硫酸と塩酸の混酸や、このような混酸に酒石酸を
添加した処理液に浸漬する方法や、あるいは特開昭51
−8127号公報に開示されているように、Na OH
とエチレンジアミン四酢酸を含む水溶液に浸漬する方法
がある。
本発明は、無電解金属めっきの前処理工程である密着促
進剤の水溶液中をエアーを入れてバブリングすることで
、下地銅と析出銅との密着性に優れる無電解金属めっき
方法を提供しようとするものである。
進剤の水溶液中をエアーを入れてバブリングすることで
、下地銅と析出銅との密着性に優れる無電解金属めっき
方法を提供しようとするものである。
(ffl!!を解決するための手段〕
本発明の!!#電解金属めっき方法は、被めっき物を塩
化パラジウム及び塩化スズを含む増感剤で処理した後、
エアーでバブリングされた密着促進剤の水溶液中で処理
することを特徴とする。
化パラジウム及び塩化スズを含む増感剤で処理した後、
エアーでバブリングされた密着促進剤の水溶液中で処理
することを特徴とする。
本発明のvJ!着促進剤は、fLfl&・有機酸・塩化
第二銅を主成分とし、その水溶液中にエアーをo、。
第二銅を主成分とし、その水溶液中にエアーをo、。
11/sin〜10.01 /sin入れてバブリング
する。さらに好ましくは、0.1〜1.01 /sin
の範囲である。このエアー量は、下地銅と析出銅との密
着力と密着促進剤の寿命に影響する。エアー量が0.0
117sinより低いと、下地銅と析出銅との密着力が
低下し、1− Oj /sinより高いと密着促進剤の
液寿命が低下する。
する。さらに好ましくは、0.1〜1.01 /sin
の範囲である。このエアー量は、下地銅と析出銅との密
着力と密着促進剤の寿命に影響する。エアー量が0.0
117sinより低いと、下地銅と析出銅との密着力が
低下し、1− Oj /sinより高いと密着促進剤の
液寿命が低下する。
コノヨウニ、エアーを0.01 m! /win 〜1
.01/sinの範囲で流すことで、下地鋼と析出銅の
密着性を向上させ、液の長寿命化が得られる無電解金属
めっき方法を見出した。
.01/sinの範囲で流すことで、下地鋼と析出銅の
密着性を向上させ、液の長寿命化が得られる無電解金属
めっき方法を見出した。
前記密着促進剤の水溶液中に、エアーを入れバブリング
することで、下地銅と析出銅との密着力に優れ、かつ液
の長寿命に連がる無電解金属めっきを行うことができる
。
することで、下地銅と析出銅との密着力に優れ、かつ液
の長寿命に連がる無電解金属めっきを行うことができる
。
実施例1
板ff1.6111111.銅f6厚35μ層のガラス
・エポキシ銅張り積層板MCL−E−67(日立化成工
業株式会社製、商品名)を被めっき材とした。
・エポキシ銅張り積層板MCL−E−67(日立化成工
業株式会社製、商品名)を被めっき材とした。
無電解金属めっきの工程は次の通りとした。
クリーナーコンディショナーであるCLC−301(日
立化成工業株式会社製、商品名)に60℃で4分間浸漬
し、水洗後、遇g酸アンモニウムでソフトエツチングを
行い、10%硫酸で洗い、PD−201(日立化成工業
株式会社製、商品名)で処理後、MS−202B (日
立化成工業株式会社製、商品名)無電解めっき用触媒液
に5分間浸漬後、5分間水洗した。
立化成工業株式会社製、商品名)に60℃で4分間浸漬
し、水洗後、遇g酸アンモニウムでソフトエツチングを
行い、10%硫酸で洗い、PD−201(日立化成工業
株式会社製、商品名)で処理後、MS−202B (日
立化成工業株式会社製、商品名)無電解めっき用触媒液
に5分間浸漬後、5分間水洗した。
この基材を、硫酸とクエン酸、塩化第二銅を含む水溶液
に、エアーをいれバブリングしながら5分間浸漬し、2
分間水洗水に浸漬した後、N電解銅めっき液であるCu
5t−201(日立化成工業株式会社製、商品名)に1
5分間浸漬する。
に、エアーをいれバブリングしながら5分間浸漬し、2
分間水洗水に浸漬した後、N電解銅めっき液であるCu
5t−201(日立化成工業株式会社製、商品名)に1
5分間浸漬する。
実施例2
密着促進剤として硫酸と酒石酸、塩化第二銅を含む水溶
液に、エアー攪拌を用いた以外は実施例1と同様とした
。
液に、エアー攪拌を用いた以外は実施例1と同様とした
。
比較例1
実施例1と同じ被めっき材を用い、同じ工程で銅めっき
を行った。密着促進剤はADP−201(日立化成工業
株式会社製、商品名)を用いた。
を行った。密着促進剤はADP−201(日立化成工業
株式会社製、商品名)を用いた。
比較例2
実施例1と同じ被めうき材を用い、同し工程で銅めっき
を行った。密着促進剤はADP−301(日立化成工業
株式会社製、商品名)を用いた。
を行った。密着促進剤はADP−301(日立化成工業
株式会社製、商品名)を用いた。
特性評価を下記方法で行った。
(下地銅と析出銅の密着性)
実施例1に記しためうき工程においては密着性はすべて
良好となり、密着不良の発生はない。
良好となり、密着不良の発生はない。
そこで、実施例1のめっき工程で過硫酸アンモニウムに
よるエツチングを行わないことにした。
よるエツチングを行わないことにした。
その後、電解銅めっきを行い、端部よりカッターナイフ
等で引刺しを行い、下地網と析出銅との間での判れを確
認する。
等で引刺しを行い、下地網と析出銅との間での判れを確
認する。
密着性が悪い場合、引剥した後に下地銅が残存する。
(ざらつき)
実施例1に記した密着促進剤の水溶液にCu”。
イオンを添加し、処理することで下地銅表面が酸化し易
い状態でCu5t−201に投入し、電気鋼めっきまで
行い、表面のざらつきの有無を確認する0以上の結果に
ついて表1に示した。
い状態でCu5t−201に投入し、電気鋼めっきまで
行い、表面のざらつきの有無を確認する0以上の結果に
ついて表1に示した。
実施例から、過度な状況下においても、エアー攪拌する
ことで下地銅と析出銅との密着性は良好である。又、被
めっき板表面のザラツキの発生はなく、液の長寿命に連
がる。
ことで下地銅と析出銅との密着性は良好である。又、被
めっき板表面のザラツキの発生はなく、液の長寿命に連
がる。
比較例1.2は、過度な状況でざらつきの発生が見られ
た。以上の結果から、本発明の無電解金属めっき方法が
優れた特性であることが判った。
た。以上の結果から、本発明の無電解金属めっき方法が
優れた特性であることが判った。
Claims (2)
- 1.被めっき物を塩化パラジウム及び塩化スズを含む増
感剤で処理した後、エアー量を0.1l/min以上で
バブリングしている密着促進剤の水溶液で処理すること
を特徴とする無電解金属めっき方法。 - 2.前記密着促進剤の主成分が硫酸、有機酸、塩化第二
銅を含む水溶液であることを特徴とする請求項1に記載
の無電解金属めっき方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27801290A JPH04157165A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 無電解金属めっき方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27801290A JPH04157165A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 無電解金属めっき方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04157165A true JPH04157165A (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=17591412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27801290A Pending JPH04157165A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | 無電解金属めっき方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04157165A (ja) |
-
1990
- 1990-10-17 JP JP27801290A patent/JPH04157165A/ja active Pending
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