JPH04157311A - 角速度センサの振動部材の製造方法 - Google Patents
角速度センサの振動部材の製造方法Info
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- JPH04157311A JPH04157311A JP2282285A JP28228590A JPH04157311A JP H04157311 A JPH04157311 A JP H04157311A JP 2282285 A JP2282285 A JP 2282285A JP 28228590 A JP28228590 A JP 28228590A JP H04157311 A JPH04157311 A JP H04157311A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は自動車等のヨーレートを検出する角速度センサ
の振動部材の製造方法に関する。
の振動部材の製造方法に関する。
［従来の技術］
従来の角速度センサの振動部材は、特開昭６０−６７８
１５に記載されたように、互いに直角に交わって配置さ
れる検知部及び駆動部からなる一対の振動板部と、これ
ら両振動板部の各一端を支持する基部とからなる振動部
材を有し、駆動部に接着した圧電体を交流電圧によって
振動し、この駆動部と検知部に角速度が作用したとき、
コリオリカによって検知部が変形し、そのとき検知部に
接着した圧電体から出力される電気信号によりヨーレー
トを検出している。
１５に記載されたように、互いに直角に交わって配置さ
れる検知部及び駆動部からなる一対の振動板部と、これ
ら両振動板部の各一端を支持する基部とからなる振動部
材を有し、駆動部に接着した圧電体を交流電圧によって
振動し、この駆動部と検知部に角速度が作用したとき、
コリオリカによって検知部が変形し、そのとき検知部に
接着した圧電体から出力される電気信号によりヨーレー
トを検出している。
この角速度センサでは温度による特性の変化を小さくす
る必要性から、ヤング率の温度変化が小さい合金すなわ
ち恒弾性合金（例えば特開昭５７−１４９４４１あるい
は特開昭６０−５９０５０に示されるようなＦｅ−Ｃｒ
−Ｎ ｉ −Ｔ ｉ系合金（エリンバ−型合金））を、
検知部及び駆動部として用いている。
る必要性から、ヤング率の温度変化が小さい合金すなわ
ち恒弾性合金（例えば特開昭５７−１４９４４１あるい
は特開昭６０−５９０５０に示されるようなＦｅ−Ｃｒ
−Ｎ ｉ −Ｔ ｉ系合金（エリンバ−型合金））を、
検知部及び駆動部として用いている。
この角速度センサの上記振動部材を作製するには、従来
例えば特開昭５７−１４９４４１あるいは特開昭６０−
５９０５０に示されるように、溶解法または粉末焼結法
で作製されたインゴットを圧延し、更に所望の形状に機
械加工して二個の振動板部と基部を作り、次に、第６図
に示すように両振動板部の一端を基部に溶接あるいはは
んだ付は等により接合していた。
例えば特開昭５７−１４９４４１あるいは特開昭６０−
５９０５０に示されるように、溶解法または粉末焼結法
で作製されたインゴットを圧延し、更に所望の形状に機
械加工して二個の振動板部と基部を作り、次に、第６図
に示すように両振動板部の一端を基部に溶接あるいはは
んだ付は等により接合していた。
［発明が解決しようとする課題］
ところが、上述した従来の角速度センサの振動部材の製
造方法では、２枚の振動板の平行度、あるいは振動板部
と基部の直角度などの接合精度にバラツキを生じ易く、
それによってセンサ特性、すなわち同一ヨーレートが入
力されても検知部から出力される電気信号にばらつきが
生ずるといった問題が生じることがわかった。
造方法では、２枚の振動板の平行度、あるいは振動板部
と基部の直角度などの接合精度にバラツキを生じ易く、
それによってセンサ特性、すなわち同一ヨーレートが入
力されても検知部から出力される電気信号にばらつきが
生ずるといった問題が生じることがわかった。
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、高い
検出精度を確保できるとともに製造工程も比較的簡単な
角速度センサの振動部材の製造方法を提供することを目
的としている。
検出精度を確保できるとともに製造工程も比較的簡単な
角速度センサの振動部材の製造方法を提供することを目
的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明の角速度センサの振動部材の製造方法は、恒弾性
合金からなり外力により振動する撮動板部と、該振動板
部の一端部を支持する基部とを備える角速度センサの振
動部材の製造方法において、恒弾性合金粉末により前記
振動板部及び前記基部を一体成形した後、焼結すること
を特徴としている。
合金からなり外力により振動する撮動板部と、該振動板
部の一端部を支持する基部とを備える角速度センサの振
動部材の製造方法において、恒弾性合金粉末により前記
振動板部及び前記基部を一体成形した後、焼結すること
を特徴としている。
［作用及び発明の効果］
本発明の角速度センサの振動部材の製造方法は、振動板
部及び前記基部を一体成形した後、焼結しているので、
従来のように振動板部と基部との間の接合部分がなくな
り、接合部の寸法精度のばらつきにより特性がばらつく
という問題が解消される。
部及び前記基部を一体成形した後、焼結しているので、
従来のように振動板部と基部との間の接合部分がなくな
り、接合部の寸法精度のばらつきにより特性がばらつく
という問題が解消される。
更に、接合工程が不要となるため、工程短縮の利益があ
る。
る。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を説明する。
まず、本実施例の角速度センサの振動部材の正面図及び
側面図を第１図及び第２図に示す。ただし正確には、こ
れらの図は焼成後まだ肉厚部を除去していない半製品を
図示している。
側面図を第１図及び第２図に示す。ただし正確には、こ
れらの図は焼成後まだ肉厚部を除去していない半製品を
図示している。
この振動部材は、基部１０と、基部１０の図中上面両端
から互いに平行に立設される一対の振動板部２０とから
なり、振動板部２０は、基部１０に近接側の駆動部２１
と、基部１０から離遠側の検知部２２と、これら駆動部
２１及び検知部２２の間に介在する介在部２３とからな
る。
から互いに平行に立設される一対の振動板部２０とから
なり、振動板部２０は、基部１０に近接側の駆動部２１
と、基部１０から離遠側の検知部２２と、これら駆動部
２１及び検知部２２の間に介在する介在部２３とからな
る。
第１図及び第２図では、両駆動部２１の外側面２０ａと
基部１０の外側面上部１０ａに接して薄板形状の第１肉
厚部３１が一体に設けられている。
基部１０の外側面上部１０ａに接して薄板形状の第１肉
厚部３１が一体に設けられている。
また、両検知部２２の前側面２０ｂ及び後側面２０Ｃに
接して薄板形状の第２肉厚部３２が一体に設けられてい
る。更に、両検知部２２の上端面２０ｄと第２肉厚部３
２の上端面に接して薄板形状の第３肉厚部３３が一体に
設けられている。、したがって、この半製品は、内部に
所定形状の牛後部４０を囲む形状となっている。この振
動部材の作動についてはよく知られているので、説明を
省略する。
接して薄板形状の第２肉厚部３２が一体に設けられてい
る。更に、両検知部２２の上端面２０ｄと第２肉厚部３
２の上端面に接して薄板形状の第３肉厚部３３が一体に
設けられている。、したがって、この半製品は、内部に
所定形状の牛後部４０を囲む形状となっている。この振
動部材の作動についてはよく知られているので、説明を
省略する。
次に、この振動部材２０の製造方法について説明する。
まず、Ｎｉ４２％、Ｃｒ５．５％、Ｔｉ２．５％、およ
びＦｅを基本組成とする原料粉体を５ｔｏｎ／ｃｍ”の
成形圧力で第１図及び第２図の形状に金型成形した後、
１Ｏ−４ｔｏｒｒ以下の真空中で１３５０″ＣＸ２Ｈｒ
焼結し、さらに寸法出しのためのサイジング、および恒
弾性特性を発揮させるための熱処理を行う。熱処理条件
は真空中１０５０℃、２時間の溶体化処理、６００″Ｃ
１２時間のエージングおよび急冷である。
びＦｅを基本組成とする原料粉体を５ｔｏｎ／ｃｍ”の
成形圧力で第１図及び第２図の形状に金型成形した後、
１Ｏ−４ｔｏｒｒ以下の真空中で１３５０″ＣＸ２Ｈｒ
焼結し、さらに寸法出しのためのサイジング、および恒
弾性特性を発揮させるための熱処理を行う。熱処理条件
は真空中１０５０℃、２時間の溶体化処理、６００″Ｃ
１２時間のエージングおよび急冷である。
次に、盛られた上記肉厚部３１〜３３を後加工としての
切削加工により除去する。
切削加工により除去する。
このようにすれば基部１０と振動板部２０との接合工程
の排除により、製造工程を簡略化できるとともに、検出
精度のばらつきを大幅に改善することができる。
の排除により、製造工程を簡略化できるとともに、検出
精度のばらつきを大幅に改善することができる。
更に、この実施例では、肉厚部３１〜３３を盛った状態
で焼成を実施している。このようにすると第３図に示す
ように、振動板部２０内部の各部の密度分布を均一化す
ることができ、密度ばらつきによる検出精度のばらつき
を改善することがで表１ きる。
で焼成を実施している。このようにすると第３図に示す
ように、振動板部２０内部の各部の密度分布を均一化す
ることができ、密度ばらつきによる検出精度のばらつき
を改善することがで表１ きる。
なお説明すれば、これら肉厚部３１〜３３を盛らない最
終形状の状態で焼成を実施すると、駆動部２１や検知部
２２のように薄肉形状の部分では焼結体内部の密度分布
が不均一となり、振動板の振動状態が不均一となること
がある。この問題は、本実施例に示すように、駆動部２
１や検知部２２のような薄肉形状の部分に肉厚部３１〜
３３を盛り、後でそれらを除去することにより改善され
る。
終形状の状態で焼成を実施すると、駆動部２１や検知部
２２のように薄肉形状の部分では焼結体内部の密度分布
が不均一となり、振動板の振動状態が不均一となること
がある。この問題は、本実施例に示すように、駆動部２
１や検知部２２のような薄肉形状の部分に肉厚部３１〜
３３を盛り、後でそれらを除去することにより改善され
る。
更なる本実施例の特徴は、中扱き部４０には上記肉厚部
を盛らず、最終形状とすることである。
を盛らず、最終形状とすることである。
このようにすれば、焼成後の加工（除去）が極めて難し
い中抜き部４０の寸法精度を焼成後の加工なしに得るこ
とができる利点がある。
い中抜き部４０の寸法精度を焼成後の加工なしに得るこ
とができる利点がある。
本実施例品と従来品（溶接タイプ）との寸法精度及び検
知精度の比較結果を、第１表に示す。
知精度の比較結果を、第１表に示す。
（変形態様）
一体焼結にて製造するためには、中扱き部４０が振動板
の最終形状と一致していることが要求されるが、この部
分以外は必要に応じて種々に形状を変えることが可能で
ある。例えば第４図は第２厚肉部３２を省略したもので
あり、第５図は第３厚肉部３３を省略したものである。
の最終形状と一致していることが要求されるが、この部
分以外は必要に応じて種々に形状を変えることが可能で
ある。例えば第４図は第２厚肉部３２を省略したもので
あり、第５図は第３厚肉部３３を省略したものである。
第１図は本発明の角速度センサの振動部材の製振動部材
の比重（密度）のばらつきを示す分布図、第４図及び第
５図はそれぞれ変形態様を示す斜視図、第６図は従来の
振動部材の一例を示す斜視図である。 １０・・・基部 ２０・・・撮動板部
の比重（密度）のばらつきを示す分布図、第４図及び第
５図はそれぞれ変形態様を示す斜視図、第６図は従来の
振動部材の一例を示す斜視図である。 １０・・・基部 ２０・・・撮動板部
Claims (2)
- （１）恒弾性合金からなり互いに並立する一対の振動板
部と、該両振動板部の各一端部を支持する基部とを備え
る角速度センサの振動部材の製造方法において、 恒弾性合金粉末により前記両振動板部及び前記基部を一
体成形した後、焼結することを特徴とする角速度センサ
の振動部材の製造方法。 - （２）前記両振動板部の対向面以外の部分に肉厚部を付
加して焼結し、該焼結後に前記肉厚部を除去する請求項
１記載の角速度センサの振動部材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2282285A JP2591530B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 角速度センサの振動部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2282285A JP2591530B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 角速度センサの振動部材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04157311A true JPH04157311A (ja) | 1992-05-29 |
| JP2591530B2 JP2591530B2 (ja) | 1997-03-19 |
Family
ID=17650440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2282285A Expired - Lifetime JP2591530B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 角速度センサの振動部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2591530B2 (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5122707A (en) * | 1974-08-20 | 1976-02-23 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Shoketsutaiseikeisochi |
| JPS612013A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | Nippon Denso Co Ltd | 角速度センサ |
| JPS6144106A (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-03 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 温間粉末成形法 |
| JPS62147314A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-01 | Yazaki Corp | 振動ジヤイロ |
| JPS62188975A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-08-18 | Japan Storage Battery Co Ltd | 圧電体角速度センサ− |
| JPH01195205A (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-07 | Komatsu Ltd | ホットプレス方法 |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP2282285A patent/JP2591530B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5122707A (en) * | 1974-08-20 | 1976-02-23 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Shoketsutaiseikeisochi |
| JPS612013A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | Nippon Denso Co Ltd | 角速度センサ |
| JPS6144106A (ja) * | 1984-08-07 | 1986-03-03 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 温間粉末成形法 |
| JPS62188975A (ja) * | 1985-10-02 | 1987-08-18 | Japan Storage Battery Co Ltd | 圧電体角速度センサ− |
| JPS62147314A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-01 | Yazaki Corp | 振動ジヤイロ |
| JPH01195205A (ja) * | 1988-01-30 | 1989-08-07 | Komatsu Ltd | ホットプレス方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2591530B2 (ja) | 1997-03-19 |
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