JPH04157407A

JPH04157407A - 反射鏡位置合せ方法及びこれに使用する反射鏡

Info

Publication number: JPH04157407A
Application number: JP28395990A
Authority: JP
Inventors: Toshikatsu Shimura; 志村　敏克
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1990-10-22
Filing date: 1990-10-22
Publication date: 1992-05-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕対向する反射鏡により反射光を多重反射させてダスト等
を検出するための反射鏡位置合せ方法に関し、位置合せ調整を容易にし、ダスト等の検出時におけるノ
イズの低減を図ることを目的とし、一対の対向する反射
鏡により反射光を多重反射させる場合の反射鏡位置合せ
方法において、前記一対の反射鏡の反射面全体で反射位
置を調整する工程と、該調整後、それぞれの最終反射部
分以外の部分を除去し、該反射位置に狭める工程とを含
む構成とする。

〔産業上の利用分野〕

本発明は対向する反射鏡により反射光を多重反射させて
ダスト等を検出するための反射鏡位置合せ方法に関する
。

近年、対向する反射鏡間でレーザビームを多重反射させ
て、ダストを検出する場合、ＳＮ比（信号対ノイズ）を
向上させるために、ノイズ（Ｎ）を減少させることか要
求されている。そのため、組立、調整を容易にしてノイ
ズを減少させる必要かある。

〔従来の技術〕

第３図に、反射鏡により多重反射させてダスト（塵埃）
を検出するダストカウンタの概念図を示す。第３図にお
いて、凸球面ミラー３０か凹球面ミラー３１に対向して
配置される。この対向している間に凸球面ミラー３０側
に配設されるし−サ光源３２よりレーザビーム３３か入
射される。このレーザビームは凹球面ミラー３１て反射
して凸球面ミラー３０に向かい、さらに該凸球面ミラー
３０て反射して該凹球面ミラー３１に向かう。これらの
繰返しにより、該ミラー３０．３１間でレーザビーム３
３か多重反射を行う。そして、多重反射内にダストか通
過すると、通過の際に生じる散乱光を検出器３４で検出
する。

この場合のノイズ（ダスト以外の散乱光）対策は、図示
していないか、ミラー３０．３１の反射点のみが表われ
るスリットかそれぞれの反射面に設けられる。また、凸
球面ミラー３０．凹球面ミラー３１は、多重反射の状態
を確認しなから調整するためにある程度大きい形状とな
っている。

〔発明か解決しようとする課題〕

しかし、上記ミラー３０．３１を大きな形状とすると、
多重反射の調整には適しているか、ミラー中心に多重反
射させることか困難であり、また、反射点が位置ずれを
生している場合にはスリットの取付けか困難となり、検
出器の位置調整等の組立調整に長時間を要するという問
題がある。

そこで本発明は上記課題に鑑みなされたもので、位置合
せ調整を容易にし、ダスト等の検出時におけるノイズを
低減する反射鏡位置合せ方法を提供することを目的とす
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題は、一対の対向する反射鏡により反射光を多重
反射させる場合の反射鏡位置合せ方法において、前記一
対の反射鏡の反射面全体で反射位置を調整する工程と、
該調整後、それぞれの最終反射部分以外の部分を除去し
、該反射位置を狭める工程とを含む構成とすることによ
り解決される。

また、この方法は、反射光を多重反射させるための対向
する一対の反射鏡において、それぞれの反射面を、反射
点の並ぶ方向と同方向に所定数に分割して形成し、該反
射点の反射位置における調整時に反射面全体を用い、そ
の後に最終反射部分以外の該分割された部分を除去し、
または、該除去された反射面部分に光吸収部材を設ける
なとにより実現される。

〔作用〕

上述のように、対向する一対の反射鏡の反射面を分割し
ており、調整時には反射面を大きく構成して多重反射の
調整を容易に行い、その後に不必要部分を除去して反射
位置を狭めてスリット効果と同様の機能を持たせている
。

これにより、反射鏡の位置合せ調整を従来通り容易に行
われ、スリット効果によるノイズ低減を図ることか可能
となる。

また、前述のように除去された反射面部分に光吸収部材
を設けることにより、よりノイズの低減が可能となる。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例の構成図を示す。第１図（Ａ
）は正面図、第１図（Ｂ）は平面図、第１図（Ｃ）は一
方の反射鏡の反射面を示した図てあり、第３図と同様に
ダストカウンタに適用した場合を示している。

第１図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において、一対の反射鏡
である凸球面ミラーｌ及び凹球面ミラー２か対向してお
り、この間にレーザ光源３よりレーザビーム４が入射さ
れる。そして、該ミラー１．２間の下方位置に検出器５
か設けられる。

ここで、凸球面ミラー１の反射面は１ａ〜ＩＣに着脱可
能に３分割され、同様に凹球面ミラー２の反射面におい
ても２ａ〜２Ｃに着脱可能に３分割されている。なお、
第１図（Ｃ）中の黒点はレーザビーム４か多重反射する
場合の反射点を示している。すなわち、分割は、該反射
点６の並ぶ方向と同方向になされる。

このようなダストカウンタにおいて、まず調整時に各ミ
ラー１，２の反射面の全体（Ｉａ−１ｃ。

２ａ〜２ｃ）でレーザビーム４の多重反射の状態を調整
、確認する。すなわち、反射面全体で確認できることか
ら、容易に調整を行うことかできる。

次に、第２図に示すように、調整後、実用時に各ミラー
１，２の最終反射部分（Ｉａ、２ａ）以外の部分（ｌｂ
、ｌｃ、２ｂ、２ｃ）を除去する。

すなわち、例えば反射面である凹球面ミラー２の幅（反
射位置）を最終反射部分（２ａ）に狭くすると、当該反
射面か細くなり、スリットと同様に機能させることがで
きる。

そして、上述のダストカウンタは、各ミラー１゜２間に
多重反射するレーザビーム４（反射光）内にダストか通
過すると、ダストか散乱光を発し、この散乱光を検出器
５か検出してダストの有無量か測定される。この場合、
反射部分１ａ、２ａのスリット効果によりノイズの発生
か防止され、正確に測定することができる。

次に、本発明の他の実施例について説明する。

第１図及び第２図において各ミラー１．２の反射面の除
去された部分１ｂ、Ｉｃ、２ｂ、２ｃの部分に光吸収部
材を設けるものである。この光吸収部材は除去された部
分の形状と同形状のもので嵌合する場合や、除去された
部分の露出部分にコーティングにより形成してもよい。

これによれば、最終反射部分１ａ、２ａのみてレーザビ
ーム４の多重反射か行われ、他の部分からの反射光か少
なくなり、よりノイズを低減することかできる。

なお、上記実施例では、反射鏡に凹凸球面ミラーを使用
した場合を示したが、平面鏡を使用してもよい。また、
反射面を３分割した場合を示したが、２分割又は３分割
以上であっても同様の効果を有するものである。さらに
、上記実施例では本発明をダストカウンタに適用した場
合を示したが、ダストに拘らず他の微細粒子を測定する
場合にも適用できるものである。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、対向する一対の反射鏡の
反射面を所定数に分割して、調整時には反射面全体を用
い、実用時に最終反射部分以外の部分を除去することに
より、反射光の位置合せの調整を容易に行うことができ
、また、スリット効果によりノイズを低減することがで
きる。また、除去された反射部分に光吸収部材を設ける
ことにより、よりノイズを低減することかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は本発明の最終反射部分以外を除去した概念図、第３図は従来のダストカウンタの概略図である。図において、 ■は凸球面ミラー、２は凹球面ミラー、ｌａ、２ａは最終反射部分、３はレーザ光源、４はレーザビーム、５は検出器、６は反射点を示す。（Ａ）第２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）一対の対向する反射鏡（１、２）により反射光（
４）を多重反射させる場合の反射鏡位置合せ方法におい
て、前記一対の反射鏡（１、２）の反射面全体で反射位置を
調整する工程と、該調整後、それぞれの最終反射部分（１ａ、２ａ）以外
の部分を除去して該反射位置に狭める工程と、を含むことを特徴とする反射鏡位置合せ方法。
（２）反射光（４）を多重反射させるための対向する一
対の反射鏡において、それぞれの反射面を、反射点（６）の並ぶ方向と同方向
に所定数に分割して形成し、該反射点（６）の反射位置における調整時に反射面全体
を用い、その後に最終反射部分（１ａ、２ａ）以外の該
分割された部分（１ｂ、１ｃ、２ｂ、２ｃ）を除去する
ことを特徴とする反射鏡。
（３）前記除去された反射部分（１ｂ、１ｃ、２ｂ、２
ｃ）に、光吸収部材を設けることを特徴とする請求項（
２）記載の反射鏡。