JPH0444375A - レーザ共振器のアライメント装置 - Google Patents
レーザ共振器のアライメント装置Info
- Publication number
- JPH0444375A JPH0444375A JP15295890A JP15295890A JPH0444375A JP H0444375 A JPH0444375 A JP H0444375A JP 15295890 A JP15295890 A JP 15295890A JP 15295890 A JP15295890 A JP 15295890A JP H0444375 A JPH0444375 A JP H0444375A
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- Japan
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- side mirror
- total reflection
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- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ共振器のアライメント装置に係り、特に
レーザ共振器を正確にアライメントすることができるよ
うにしたアライメント装置に関する。
レーザ共振器を正確にアライメントすることができるよ
うにしたアライメント装置に関する。
一般に、レーザチャンバを挾んで出力側ミラーと全反射
側ミラーとを光学的に対向配置してなるレーザ共振器は
知られている。この種のものでは、出力側ミラーと全反
射側ミラーとを光学的に対向配置させること（以下、ア
ライメントという）が難しく、これを簡単にするために
、従来、種々のアライメント装置が提案されている（例
えば、特開昭６３−５４７９１号公報参照）。
側ミラーとを光学的に対向配置してなるレーザ共振器は
知られている。この種のものでは、出力側ミラーと全反
射側ミラーとを光学的に対向配置させること（以下、ア
ライメントという）が難しく、これを簡単にするために
、従来、種々のアライメント装置が提案されている（例
えば、特開昭６３−５４７９１号公報参照）。
この種の従来のアライメント装置は、第３図に示すよう
に、全反射側ミラー１の側から、アライメント用レーザ
３の可視光ａを、スリット５を通して入射し、全反射側
ミラー１により反射されて戻る可視光ａと、レーザチャ
ンバ９内を通して出力側ミラー７により反射されて戻る
可視光ａとをスリット５上に投影させ、そこにできるス
ポットを目視により判定することにより、それぞれのミ
ラー１． ７の光学的な位置関係をアライメントしてい
る。
に、全反射側ミラー１の側から、アライメント用レーザ
３の可視光ａを、スリット５を通して入射し、全反射側
ミラー１により反射されて戻る可視光ａと、レーザチャ
ンバ９内を通して出力側ミラー７により反射されて戻る
可視光ａとをスリット５上に投影させ、そこにできるス
ポットを目視により判定することにより、それぞれのミ
ラー１． ７の光学的な位置関係をアライメントしてい
る。
しかしながら、従来の構成では、各ミラー１゜７により
反射されて戻る可視光ａを、スリット５上に投影させて
、そこにできるスポットを目視により判定するので、正
確なアライメントができないという問題がある。
反射されて戻る可視光ａを、スリット５上に投影させて
、そこにできるスポットを目視により判定するので、正
確なアライメントができないという問題がある。
そこで、本発明の目的は、上述した従来の技術が有する
問題点を解消し、レーザ共振器を正確にアライメントす
ることができるようにしたアライメント装置を提供する
ことにある。
問題点を解消し、レーザ共振器を正確にアライメントす
ることができるようにしたアライメント装置を提供する
ことにある。
上記目的を達成するために、本発明は、レーザチャンバ
を挾んで出力側ミラーと全反射側ミラーとを光学的に対
向配置してなるレーザ共振器のアライメント装置におい
て、出力側ミラー及び全反射側ミラーに可視光を入射す
るアライメント用レーザと、出力側ミラーで反射する可
視光及び全反射側ミラーで反射する可視光を干渉縞にし
てスクリーン上に投影する投影機構とを有し、該スクリ
ーン上の干渉縞の縞数によりアライメントのずれを判定
できるようにしたことを特徴とするものである。
を挾んで出力側ミラーと全反射側ミラーとを光学的に対
向配置してなるレーザ共振器のアライメント装置におい
て、出力側ミラー及び全反射側ミラーに可視光を入射す
るアライメント用レーザと、出力側ミラーで反射する可
視光及び全反射側ミラーで反射する可視光を干渉縞にし
てスクリーン上に投影する投影機構とを有し、該スクリ
ーン上の干渉縞の縞数によりアライメントのずれを判定
できるようにしたことを特徴とするものである。
本発明によれば、出力側ミラーで反射する可視光と全反
射側ミラーで反射する可視光との２つの可視光は、スク
リーン上に投影されて、干渉縞となって表われる。アラ
イメントがずれている場合には、干渉縞はその縞数が多
くなる。この場合には、干渉縞の縞数が少なくなるよう
に、全反射側ミラーと出力側ミラーとをアライメントす
る。アライメントが完了すると、干渉縞は縞数が少な（
なるので、干渉縞の縞数によりアライメントのずれを判
定することができる。
射側ミラーで反射する可視光との２つの可視光は、スク
リーン上に投影されて、干渉縞となって表われる。アラ
イメントがずれている場合には、干渉縞はその縞数が多
くなる。この場合には、干渉縞の縞数が少なくなるよう
に、全反射側ミラーと出力側ミラーとをアライメントす
る。アライメントが完了すると、干渉縞は縞数が少な（
なるので、干渉縞の縞数によりアライメントのずれを判
定することができる。
以下、本発明によるレーザ共振器のアライメント装置の
一実施例を、第３図と同一部分に同一符号を付して示し
た第１図及び第２図を参照して説明する。
一実施例を、第３図と同一部分に同一符号を付して示し
た第１図及び第２図を参照して説明する。
第１図において、１は全反射側ミラーを示し、７は出力
側ミラーを示している。この全反射側ミラー１と出力側
ミラー７とは、レーザチャンバ９を挟んで、光学的に対
向配置されている。この種のガスレーザは、通常、全反
射側ミラー１と出力側ミラー７の間で光を共振、増幅さ
せて、出力側ミラー７の側からレーザ光を出力する構成
になっている。したがって、各ミラー１，７が正確に対
向配置されているかどうかは、ガスレーザの出力性能に
大きな影響を及ぼす。
側ミラーを示している。この全反射側ミラー１と出力側
ミラー７とは、レーザチャンバ９を挟んで、光学的に対
向配置されている。この種のガスレーザは、通常、全反
射側ミラー１と出力側ミラー７の間で光を共振、増幅さ
せて、出力側ミラー７の側からレーザ光を出力する構成
になっている。したがって、各ミラー１，７が正確に対
向配置されているかどうかは、ガスレーザの出力性能に
大きな影響を及ぼす。
この実施例によれば、全反射側ミラー１の外側に、ハー
フミラ−１０を挟んでアライメント用レーザ３が配置さ
れている。このアライメント用レーザ３は、可視光ａを
放射し、ここから放射される可視光ａは、−旦、ハーフ
ミラ−１０を透過した後、全反射側ミラー１により反射
されて戻り、ハーフミラ−１０により反射されて、スク
リーン１１上に投影される。これらハーフミラ−１０及
びスクリーン１１は投影機構を構成している。
フミラ−１０を挟んでアライメント用レーザ３が配置さ
れている。このアライメント用レーザ３は、可視光ａを
放射し、ここから放射される可視光ａは、−旦、ハーフ
ミラ−１０を透過した後、全反射側ミラー１により反射
されて戻り、ハーフミラ−１０により反射されて、スク
リーン１１上に投影される。これらハーフミラ−１０及
びスクリーン１１は投影機構を構成している。
また、可視光ａの一部は、全反射側ミラー１を透過し、
レーザチャンバ９内を通して出力側ミラー７により反射
されて戻り、再び、全反射側ミラ１を透過して、ハーフ
ミラ−１０により反射されて、スクリーン１１上に投影
される。
レーザチャンバ９内を通して出力側ミラー７により反射
されて戻り、再び、全反射側ミラ１を透過して、ハーフ
ミラ−１０により反射されて、スクリーン１１上に投影
される。
スクリーン１１上に投影される２つの可視光ａは、第２
図（ａ）及び第２図（ｂ）に示すように、干渉縞１２ａ
、１２ｂとなって表われる。アライメントがずれている
場合には、干渉縞１２ａは、第２図（ａ）に示すように
縞数が多くなる。この場合には、全反射側ミラーｌと出
力側ミラー７とをアライメントする。アライメントが完
了すると、干渉縞１２ｂは、第２図（ｂ）に示すように
縞数が少なくなる。すなわち、干渉縞１２ａの縞数が多
く、アライメントにずれがある場合には、その縞数を少
なくするように、全反射側ミラー１と出力側ミラー７と
をアライメントすればよい。
図（ａ）及び第２図（ｂ）に示すように、干渉縞１２ａ
、１２ｂとなって表われる。アライメントがずれている
場合には、干渉縞１２ａは、第２図（ａ）に示すように
縞数が多くなる。この場合には、全反射側ミラーｌと出
力側ミラー７とをアライメントする。アライメントが完
了すると、干渉縞１２ｂは、第２図（ｂ）に示すように
縞数が少なくなる。すなわち、干渉縞１２ａの縞数が多
く、アライメントにずれがある場合には、その縞数を少
なくするように、全反射側ミラー１と出力側ミラー７と
をアライメントすればよい。
しかして、この実施例によれば、アライメントのずれを
干渉縞１２ａ、１２ｂの縞数で判定することができるの
で、スポットを目視することによる従来の判定方式に比
べて、より正確なアライメントを行うことができる。
干渉縞１２ａ、１２ｂの縞数で判定することができるの
で、スポットを目視することによる従来の判定方式に比
べて、より正確なアライメントを行うことができる。
また、全反射側ミラー１と出力側ミラー７のアライメン
トは、通常、各ミラー１，７の支持台（図示せず）に取
付けられたミラー調節ねじ（図示せず）により行われる
。よって、他の実施例として、このミラー調節ねじをモ
ータ駆動にすれば、自動アライメントを行うことができ
る。
トは、通常、各ミラー１，７の支持台（図示せず）に取
付けられたミラー調節ねじ（図示せず）により行われる
。よって、他の実施例として、このミラー調節ねじをモ
ータ駆動にすれば、自動アライメントを行うことができ
る。
この場合には、スクリーン１１上の干渉縞１２ａ、１２
ｂの移動をフォトダイオードアレイ（図示せず）などに
より検出し、この干渉縞１２ａ、１２ｂの移動に応答さ
せて、ミラー調節ねじをモータ駆動するように構成すれ
ばよい。
ｂの移動をフォトダイオードアレイ（図示せず）などに
より検出し、この干渉縞１２ａ、１２ｂの移動に応答さ
せて、ミラー調節ねじをモータ駆動するように構成すれ
ばよい。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、出力
側ミラーで反射する可視光と、全反射側ミラーで反射す
る可視光とを、干渉縞にしてスクリーン上に投影させて
、そこに表れる干渉縞の縞数により、アライメントのず
れを判定できるようにしたので、レーザ共振器を正確に
アライメントすることができる。
側ミラーで反射する可視光と、全反射側ミラーで反射す
る可視光とを、干渉縞にしてスクリーン上に投影させて
、そこに表れる干渉縞の縞数により、アライメントのず
れを判定できるようにしたので、レーザ共振器を正確に
アライメントすることができる。
第１図は本発明によるレーザ共振器のアライメント装置
の一実施例を示す配置図、第２図（ａ）及び第２図（ｂ
）はスクリーン上の干渉縞を示す平面図、第３図は従来
のレーザ共振器のアライメント装置を示す配置図である
。 １・・・全反射側ミラー、３・・・アライメント用レー
ザ、７・・・出力側ミラー、９・・・レーザチャンバ、
１０・・・ハーフミラ−１１１・・・スクリーン、１２
・・・干渉縞。
の一実施例を示す配置図、第２図（ａ）及び第２図（ｂ
）はスクリーン上の干渉縞を示す平面図、第３図は従来
のレーザ共振器のアライメント装置を示す配置図である
。 １・・・全反射側ミラー、３・・・アライメント用レー
ザ、７・・・出力側ミラー、９・・・レーザチャンバ、
１０・・・ハーフミラ−１１１・・・スクリーン、１２
・・・干渉縞。
Claims (1)
- レーザチャンバを挾んで出力側ミラーと全反射側ミラー
とを光学的に対向配置してなるレーザ共振器のアライメ
ント装置において、出力側ミラー及び全反射側ミラーに
可視光を入射するアライメント用レーザと、出力側ミラ
ーで反射する可視光及び全反射側ミラーで反射する可視
光を干渉縞にしてスクリーン上に投影する投影機構とを
有し、該スクリーン上の干渉縞の縞数によりアライメン
トのずれを判定できるようにしたことを特徴とするレー
ザ共振器のアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15295890A JPH0444375A (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | レーザ共振器のアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15295890A JPH0444375A (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | レーザ共振器のアライメント装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0444375A true JPH0444375A (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=15551883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15295890A Pending JPH0444375A (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | レーザ共振器のアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444375A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0756361A1 (en) * | 1995-07-21 | 1997-01-29 | Hewlett-Packard GmbH | Method and arrangement for adjusting a mirror to a laser resonator |
| JP2008539329A (ja) * | 2005-04-26 | 2008-11-13 | アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー | ろ過膜を備えたアルカリ電気めっき浴 |
| CN105680300A (zh) * | 2016-04-29 | 2016-06-15 | 江苏师范大学 | 一种He-Ne精校准方法 |
-
1990
- 1990-06-12 JP JP15295890A patent/JPH0444375A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0756361A1 (en) * | 1995-07-21 | 1997-01-29 | Hewlett-Packard GmbH | Method and arrangement for adjusting a mirror to a laser resonator |
| JP2008539329A (ja) * | 2005-04-26 | 2008-11-13 | アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー | ろ過膜を備えたアルカリ電気めっき浴 |
| CN105680300A (zh) * | 2016-04-29 | 2016-06-15 | 江苏师范大学 | 一种He-Ne精校准方法 |
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