JPH04158209A - 放射線厚さ計及び放射線を用いた厚さ測定方法 - Google Patents
放射線厚さ計及び放射線を用いた厚さ測定方法Info
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- JPH04158209A JPH04158209A JP28404190A JP28404190A JPH04158209A JP H04158209 A JPH04158209 A JP H04158209A JP 28404190 A JP28404190 A JP 28404190A JP 28404190 A JP28404190 A JP 28404190A JP H04158209 A JPH04158209 A JP H04158209A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は物体を透過した後の透過放射線の線量りもとづ
−・て前記物体の厚ざを測定するようにした放射好厚さ
計及び放射線を用いた厚さ測定方法。
−・て前記物体の厚ざを測定するようにした放射好厚さ
計及び放射線を用いた厚さ測定方法。
轡に、放射−卓さ計の製作及び保守の容易化を図ること
のできる厚さ計ならびＦ゛厚さ測定方法に関する。
のできる厚さ計ならびＦ゛厚さ測定方法に関する。
第３図は従来の放射線厚さ計１の構成図である。
図において、２４線＃谷器３／２：収容された放射線源
、４４＠７７、２ ′に対して所定の間隔Ｇを有する測
定空所５を介して対向配置され尭かつｌ源２が放射する
放射ａ２ａを検出して検出した放射＃２ｍの線量に応じ
た第１検出信号４ａを出力するようでした放射線検出器
、６は検出信号４ａを電圧信号に変換しかつ増幅して前
記線ｆに比例した電圧Ｅを有する第２検出信号６ａとし
て出力するようにしたプリアンプで、７は検出器４とア
ンプ６とを固定的に取り付けた取付枠である。８は線源
２と検出器４とが上述の関係配置を保持するように容器
３と取付枠７とを固定した架台、９は上述の放射線源２
乃至架台８からなる放射線検出部、１が工検出信号６ａ
が入力され、かつ信号６ａが表す電圧値Ｅ／ｃ対して後
述する記憶並びに演算を行って空所５で図示したように
挿入された紙状または板状の被測定＃！１１１の厚さＸ
を表す厚さ信号１がを出力するよう（した信号処理部で
、放射線厚さ計１は上述した噴出部９と処理部１ｏとで
構成されている。
、４４＠７７、２ ′に対して所定の間隔Ｇを有する測
定空所５を介して対向配置され尭かつｌ源２が放射する
放射ａ２ａを検出して検出した放射＃２ｍの線量に応じ
た第１検出信号４ａを出力するようでした放射線検出器
、６は検出信号４ａを電圧信号に変換しかつ増幅して前
記線ｆに比例した電圧Ｅを有する第２検出信号６ａとし
て出力するようにしたプリアンプで、７は検出器４とア
ンプ６とを固定的に取り付けた取付枠である。８は線源
２と検出器４とが上述の関係配置を保持するように容器
３と取付枠７とを固定した架台、９は上述の放射線源２
乃至架台８からなる放射線検出部、１が工検出信号６ａ
が入力され、かつ信号６ａが表す電圧値Ｅ／ｃ対して後
述する記憶並びに演算を行って空所５で図示したように
挿入された紙状または板状の被測定＃！１１１の厚さＸ
を表す厚さ信号１がを出力するよう（した信号処理部で
、放射線厚さ計１は上述した噴出部９と処理部１ｏとで
構成されている。
厚さ計１は上述のように構成されており、この結果被測
定物１１に入射した放射線２ａは該被測定物１１の厚さ
Ｘに応じて減衰して放射線検出器４（入射するので、測
定空所５７（被測定物１１が挿入された状態で検出信号
６ａが呈する電圧Ｅの値Ｂｘ）ｘ（２）式右辺のように
表され、ここに、Ｅ。
定物１１に入射した放射線２ａは該被測定物１１の厚さ
Ｘに応じて減衰して放射線検出器４（入射するので、測
定空所５７（被測定物１１が挿入された状態で検出信号
６ａが呈する電圧Ｅの値Ｂｘ）ｘ（２）式右辺のように
表され、ここに、Ｅ。
は被測定物１１の厚さＸが零である場合、つまり空所５
に被測定物１１が挿入され℃いない場合の電圧Ｅの値で
、ＵＩ！Ｉは被測定物１１の放射線２ａ＃ｃ対する吸収
係数、 Ｄｔ！１は被測定物１１の密度である。
に被測定物１１が挿入され℃いない場合の電圧Ｅの値で
、ＵＩ！Ｉは被測定物１１の放射線２ａ＃ｃ対する吸収
係数、 Ｄｔ！１は被測定物１１の密度である。
Ｅｘ＝Ｅ０−ｅＸｐ（−Ｕｆｆｌ値Ｄｍ＠ｘ）・−・・
・・（４）ところが、（す式から６）式が導かれるので
、厚さ計１九音いては、予め５１１１疋ｉＥ’ ｉ ／
−訊ｎか埴−繊密ｆＤｍとが予め言号！６理部１０（記
憶させられており、ヱた。空所５／Ｃ被−Ｊ１１宕吻１
１が挿入されていない状態における時刻【３で処理部１
０に第１制御信号１０ｂが入力されることによって該処
理ｅ１０が時刻【、における前記電圧値Ｅｏを記憶し。
・・（４）ところが、（す式から６）式が導かれるので
、厚さ計１九音いては、予め５１１１疋ｉＥ’ ｉ ／
−訊ｎか埴−繊密ｆＤｍとが予め言号！６理部１０（記
憶させられており、ヱた。空所５／Ｃ被−Ｊ１１宕吻１
１が挿入されていない状態における時刻【３で処理部１
０に第１制御信号１０ｂが入力されることによって該処
理ｅ１０が時刻【、における前記電圧値Ｅｏを記憶し。
さらに、時刻【３よりも優の、空ｖｒ５に被測定物１１
が挿入された状！！！九おける時刻【４で６浬部１０に
第２制句信号１０Ｃが入力されることによって。
が挿入された状！！！九おける時刻【４で６浬部１０に
第２制句信号１０Ｃが入力されることによって。
処理部１０が時刻【、において信号６ａが呈する電圧Ｅ
の値Ｅｘと前記各記順値Ｕｍ−Ｄｍ及びＥｏとを用いて
（５）式右辺の演算を行ってＣ９式左辺のＸを表す上述
の厚さ信号１０ａを出力するよって該処理部１０が構成
されている。故だ、厚さ計１１Ｃよれば信号ＩＱａ／ｃ
よって厚さＸを測定することができることになる。
の値Ｅｘと前記各記順値Ｕｍ−Ｄｍ及びＥｏとを用いて
（５）式右辺の演算を行ってＣ９式左辺のＸを表す上述
の厚さ信号１０ａを出力するよって該処理部１０が構成
されている。故だ、厚さ計１１Ｃよれば信号ＩＱａ／ｃ
よって厚さＸを測定することができることになる。
ｘ＝−（ｔ／（ＵＩｔ１＠Ｄ−）Ｉ−ｔｎ（Ｅｘ／Ｅｏ
＞−・−・Ｃ５）〔発明つ１解決しようとする課、頂〕 厚さ計１でおいＣは上述のよってＬ℃厚さＸの測定が行
われるが、この場合、放射線２ａは実際Ｃは被測定物１
１中だけでなく空所５（存在する空気のような気体１２
中でも−ｊｔＣ衰して、この結果、上述した電圧値Ｅｏ
は、空所５に放射縁２ａを減衰させる何物も存在しない
場合で信号６１が呈する電圧Ｅの値を”０（１とし、か
つ気体１２の放射＃Ｊ２！に対する吸収係数なＵ□とし
、かつ前述の時刻ｔ３における気体１２の密度をＤａと
して（０式で表されることになり、ここ（密度Ｄａは経
時的に変化する量であるから、Ｅｏを予め測定して決定
した定数として（ジ式右辺の演算を行って厚さＸを求め
る厚さ測定方法ｌｃは密度Ｄａの経時変化にもとづ（測
定誤差が含まれることになる。
＞−・−・Ｃ５）〔発明つ１解決しようとする課、頂〕 厚さ計１でおいＣは上述のよってＬ℃厚さＸの測定が行
われるが、この場合、放射線２ａは実際Ｃは被測定物１
１中だけでなく空所５（存在する空気のような気体１２
中でも−ｊｔＣ衰して、この結果、上述した電圧値Ｅｏ
は、空所５に放射縁２ａを減衰させる何物も存在しない
場合で信号６１が呈する電圧Ｅの値を”０（１とし、か
つ気体１２の放射＃Ｊ２！に対する吸収係数なＵ□とし
、かつ前述の時刻ｔ３における気体１２の密度をＤａと
して（０式で表されることになり、ここ（密度Ｄａは経
時的に変化する量であるから、Ｅｏを予め測定して決定
した定数として（ジ式右辺の演算を行って厚さＸを求め
る厚さ測定方法ｌｃは密度Ｄａの経時変化にもとづ（測
定誤差が含まれることになる。
Ｅ、 ＝Ｅ０．・ｅＸｐ（−Ｕａｅ［）ａ＠Ｇ〕…（１
） −・・−、・（（３）したがって、厚さ計１の場
合、厚さ信号ｌ０ａ中ｒ−Ｄユの経時変化にもとづく測
定誤差が生じないようにするためて、Ｅｘを測定する都
度事前に。
） −・・−、・（（３）したがって、厚さ計１の場
合、厚さ信号ｌ０ａ中ｒ−Ｄユの経時変化にもとづく測
定誤差が生じないようにするためて、Ｅｘを測定する都
度事前に。
あるいはＥｘの測定を中断してＢ、を測定しなければな
らないので、厚さ測定の作業が面倒であるという問題点
があり、このため、第４図のＩＲＫを有する放射線厚さ
計１３を採用することによつ℃上記の問題点を解決する
ことが従来性われている。
らないので、厚さ測定の作業が面倒であるという問題点
があり、このため、第４図のＩＲＫを有する放射線厚さ
計１３を採用することによつ℃上記の問題点を解決する
ことが従来性われている。
そうして、第４図／ｃＳい１：、第３図と異なる所Ｖま
、間隔Ｇの測定空所５と全く同じ寸法構成の測定空所１
４ヶＭ己、かつこの空所１４と空所５とが短で）くかつ
太い連通路で遅過ずるよって配置された第３図の放射ｌ
＠検出部９と全く同４５１に構成された放射線検出部１
５が検出部９のほか（投けられτいることと、第３図の
信号処理部ｌＯのかわりに、検出部９が出力する検出信
号６ａと噴出部１５が出力する前記信号６１（対応した
検出信号１５ａとが入力される信号処理部１６が設けら
れていることで、この場合、空所１４（は被測定物１１
が挿入されないように放射線検出部１５が構成されてい
るので、検出信号１５１は常時気体１２の密度Ｄａの経
時変化に応じた（５１式左辺の電圧値Ｅ０を呈すること
になる。そうして、第４図でおいては、信号処理部１６
が、信号６１が常時呈する電圧値Ｅｘと信号１５ａが常
時呈する電圧値Ｅ、とを用いて（５２式右辺の演算を行
って【５）式左辺のＸを表す信号１６ａを出力するよう
に構成されていて。
、間隔Ｇの測定空所５と全く同じ寸法構成の測定空所１
４ヶＭ己、かつこの空所１４と空所５とが短で）くかつ
太い連通路で遅過ずるよって配置された第３図の放射ｌ
＠検出部９と全く同４５１に構成された放射線検出部１
５が検出部９のほか（投けられτいることと、第３図の
信号処理部ｌＯのかわりに、検出部９が出力する検出信
号６ａと噴出部１５が出力する前記信号６１（対応した
検出信号１５ａとが入力される信号処理部１６が設けら
れていることで、この場合、空所１４（は被測定物１１
が挿入されないように放射線検出部１５が構成されてい
るので、検出信号１５１は常時気体１２の密度Ｄａの経
時変化に応じた（５１式左辺の電圧値Ｅ０を呈すること
になる。そうして、第４図でおいては、信号処理部１６
が、信号６１が常時呈する電圧値Ｅｘと信号１５ａが常
時呈する電圧値Ｅ、とを用いて（５２式右辺の演算を行
って【５）式左辺のＸを表す信号１６ａを出力するよう
に構成されていて。
放射＠厚さ計１３１検出部９及び１５と信号処理部１６
とで構成されている。
とで構成されている。
厚さ計１３は上述のよう（ａＣｉ５！されているので。
気体１２の密度り、の変化（もとづ（誤差を含むことの
ない正確な厚さ測定を信号１６ａ／ｃよって行い得るこ
とが明らかであるが、この厚さ計１３の場合、検出Ｂ９
と同じ構成の放射線検出部が二組必要でありかつ検出部
９及び１５を構成する放射線源２．＃源容器３．放射線
検出器４及びブＩＪアンプ６はいずれも製作に面倒な作
業を要するため厚さ計１３の構成が複雑で、この結果厚
さ計１３の製作並び保守が容易でないという問題点があ
る。
ない正確な厚さ測定を信号１６ａ／ｃよって行い得るこ
とが明らかであるが、この厚さ計１３の場合、検出Ｂ９
と同じ構成の放射線検出部が二組必要でありかつ検出部
９及び１５を構成する放射線源２．＃源容器３．放射線
検出器４及びブＩＪアンプ６はいずれも製作に面倒な作
業を要するため厚さ計１３の構成が複雑で、この結果厚
さ計１３の製作並び保守が容易でないという問題点があ
る。
本発明の目的＃工、放射線検出部１５のかわりに気体１
２の圧力と温度とを測定する圧力計と＠置針とを用いる
ことによって厚さ計の構成を簡単にし、もって厚さ計の
ｊ１１昨並びに保守を容易で行うことができるようにす
ることにある。
２の圧力と温度とを測定する圧力計と＠置針とを用いる
ことによって厚さ計の構成を簡単にし、もって厚さ計の
ｊ１１昨並びに保守を容易で行うことができるようにす
ることにある。
上記目的を達成するため１本発明によれば、放射線源と
、この放射４Ｉ源（対して所定の間隔Ｇを有する測定空
所を介して対向配電されかつ前記放射＃源が放射する放
射縁を検出して検出した前記放射１ｎｓｔｉｃ応じた第
１検出信号を出力する放射線検出器と、前記第１検出信
号を電圧信号に変涜しかつ増幅して前記線量に比例した
電圧Ｅを有する第２検出信号として出力するプリアンプ
と、前記測定空所における気体の圧力Ｐを検出して前記
圧力Ｐを表す圧力信号を出力する圧力計と。
、この放射４Ｉ源（対して所定の間隔Ｇを有する測定空
所を介して対向配電されかつ前記放射＃源が放射する放
射縁を検出して検出した前記放射１ｎｓｔｉｃ応じた第
１検出信号を出力する放射線検出器と、前記第１検出信
号を電圧信号に変涜しかつ増幅して前記線量に比例した
電圧Ｅを有する第２検出信号として出力するプリアンプ
と、前記測定空所における気体の圧力Ｐを検出して前記
圧力Ｐを表す圧力信号を出力する圧力計と。
前記測定空所における前記気体の絶対温度Ｔを検出して
前記絶対温度Ｔを表す温度信号を出力する温度計と、前
記第２横田信号と前記圧力信号と前記温度信号とが入力
され、かつ前記測定空所に被測定物が挿入されていない
伏！１における時刻ｔ。
前記絶対温度Ｔを表す温度信号を出力する温度計と、前
記第２横田信号と前記圧力信号と前記温度信号とが入力
され、かつ前記測定空所に被測定物が挿入されていない
伏！１における時刻ｔ。
で第１制御信号が入力されることによつ℃前記時刻ｔＩ
Ｋおける前記第２検出信号の前記電圧Ｅの値Ｅｏａと前
記時刻ｔ、ＶＣおける前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの
値Ｐｇ１と前記時刻ｔ、における前記温度信号が表す前
記絶対温度Ｔの値Ｔａとを記憶し、かつ前記時刻ｔ１よ
りも遅い時刻ｔよで第２制御信号が入力されることによ
つ″ＣｍＣｍ側１． ［おける前記第２慣出信号の前記
電圧Ｅの！＠Ｂｘと前記時刻【、における前記圧力信号
が表す前記圧力Ｐの値Ｐｂと前記時刻り、における前記
温度信号が表す前記絶対温度Ｔの値Ｔｂと前記各記憶値
Ｅが゜Ｐａ及びＴａとを用いて（１）右辺辺の演算を行
ってこの演算結果のＸを表す厚さ信号を出力する信号処
理部とを備え、前記厚さ信号によって前記測定空所（挿
入された前記被測定物の厚さＸを測定する放射線厚さ計
であつ℃、ここに。
Ｋおける前記第２検出信号の前記電圧Ｅの値Ｅｏａと前
記時刻ｔ、ＶＣおける前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの
値Ｐｇ１と前記時刻ｔ、における前記温度信号が表す前
記絶対温度Ｔの値Ｔａとを記憶し、かつ前記時刻ｔ１よ
りも遅い時刻ｔよで第２制御信号が入力されることによ
つ″ＣｍＣｍ側１． ［おける前記第２慣出信号の前記
電圧Ｅの！＠Ｂｘと前記時刻【、における前記圧力信号
が表す前記圧力Ｐの値Ｐｂと前記時刻り、における前記
温度信号が表す前記絶対温度Ｔの値Ｔｂと前記各記憶値
Ｅが゜Ｐａ及びＴａとを用いて（１）右辺辺の演算を行
ってこの演算結果のＸを表す厚さ信号を出力する信号処
理部とを備え、前記厚さ信号によって前記測定空所（挿
入された前記被測定物の厚さＸを測定する放射線厚さ計
であつ℃、ここに。
ＵＩｌｆｉは前記被測定物の前記放射！Ｉ（対する吸収
係数。
係数。
Ｄ、は前記被測定物の密度。
Ｕ８は前記気体の前記放射線に対する吸収係数。
Ｍは前記気体の分子量、
Ｂは普遍気体定数。
であるように放射線厚さ計を構成し。
！＝−（１／（Ｕ！ｎ＠Ｄｍ） ｌ−［ｔｎ（Ｅｘ／Ｅ
ｏａ）＋Ｕ、−（（Ｐ ｂ／Ｔｂ ） （Ｐ ａ／Ｔ
ａ ） ｌ・（Ｍ／Ｒ）・Ｇ〕・・・（１）また５本発
明によれば。
ｏａ）＋Ｕ、−（（Ｐ ｂ／Ｔｂ ） （Ｐ ａ／Ｔ
ａ ） ｌ・（Ｍ／Ｒ）・Ｇ〕・・・（１）また５本発
明によれば。
放射線源と、この放射線源に対して所定の間隔Ｇ？呵す
る測定空所を介して対向配電さｎかつ前記放射線源が放
射する放射檜を検出して検出した前記放射線の＠ｉ［に
応じた第１検出信号を出力する放射１ｉｌＪ！検出器と
、＝記第１慣出信号を電圧信号にｆ慣しかつ１繻して前
記ａ１／Ｃ比例した電圧Ｅを有する第２検出信号として
圧力するプリアンプと、前記測定空所における気体の圧
力Ｐを検出して前記圧力Ｐを表す圧力信号を出力する出
力計と。
る測定空所を介して対向配電さｎかつ前記放射線源が放
射する放射檜を検出して検出した前記放射線の＠ｉ［に
応じた第１検出信号を出力する放射１ｉｌＪ！検出器と
、＝記第１慣出信号を電圧信号にｆ慣しかつ１繻して前
記ａ１／Ｃ比例した電圧Ｅを有する第２検出信号として
圧力するプリアンプと、前記測定空所における気体の圧
力Ｐを検出して前記圧力Ｐを表す圧力信号を出力する出
力計と。
前記測定空所における前記気体の絶対温度Ｔを検出して
前記絶対温度Ｔを表すａ度信号を出力する温度計と、前
記圧力信号と前記温度信号とが入力され、かつ前記測定
空所に被測定物が挿入されていない状＠における時刻ｔ
、で第１制御信号が入力されることによって前記時刻ｔ
、／ｃおける前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの値ＰＲと
前記時刻ｔ。
前記絶対温度Ｔを表すａ度信号を出力する温度計と、前
記圧力信号と前記温度信号とが入力され、かつ前記測定
空所に被測定物が挿入されていない状＠における時刻ｔ
、で第１制御信号が入力されることによって前記時刻ｔ
、／ｃおける前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの値ＰＲと
前記時刻ｔ。
における前記温度信号が表する前記絶対温度Ｔの値Ｔａ
とを記憶し、かつ前記時刻を童よりも遅い時刻１．で第
２制御信号が入力されることによって前記時刻ｔ１にお
ける前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの値Ｐｂと前記時刻
１ｔにおげろ前記温度信号が表す前記絶対温度Ｔの値Ｔ
ｂと前記各記憶櫃Ｐａ及びＴａとを用いて（２右方辺の
演算を行ってこの演算結果のΔＤａを表す府芙変化信号
を出力する第１信号処理部と、前記第２恢呂信号と前記
密度変化信号とが入力され、かつ前記時刻【Ｉで前記第
１制呻信号が人カされることによって前記時刻【１／ｃ
：Ｆ６げる前記第２検出信号の前記電圧Ｅの値Ｅｏａを
記１し、かつ前記時刻１で前記第２制御信号が人力され
ることによって前記時刻ｔ、 ＋における前記第２検出
信号の前記電圧Ｅのｌ１ｇ、と前記時刻１以ｆ４ｃおい
て前記密度変化信号が表す前記ΔＤａと前記記憶値Ｆｉ
ｏａとを用いてＧ）右辺辺の演算を行ってこの演算結果
のＸを表す厚さ信号を出力する第２信号処理部とを備え
、前記厚さ信号によって前記測定空所（挿入された前記
被測定物の厚さＸを測定する放射線厚さ計であって。
とを記憶し、かつ前記時刻を童よりも遅い時刻１．で第
２制御信号が入力されることによって前記時刻ｔ１にお
ける前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの値Ｐｂと前記時刻
１ｔにおげろ前記温度信号が表す前記絶対温度Ｔの値Ｔ
ｂと前記各記憶櫃Ｐａ及びＴａとを用いて（２右方辺の
演算を行ってこの演算結果のΔＤａを表す府芙変化信号
を出力する第１信号処理部と、前記第２恢呂信号と前記
密度変化信号とが入力され、かつ前記時刻【Ｉで前記第
１制呻信号が人カされることによって前記時刻【１／ｃ
：Ｆ６げる前記第２検出信号の前記電圧Ｅの値Ｅｏａを
記１し、かつ前記時刻１で前記第２制御信号が人力され
ることによって前記時刻ｔ、 ＋における前記第２検出
信号の前記電圧Ｅのｌ１ｇ、と前記時刻１以ｆ４ｃおい
て前記密度変化信号が表す前記ΔＤａと前記記憶値Ｆｉ
ｏａとを用いてＧ）右辺辺の演算を行ってこの演算結果
のＸを表す厚さ信号を出力する第２信号処理部とを備え
、前記厚さ信号によって前記測定空所（挿入された前記
被測定物の厚さＸを測定する放射線厚さ計であって。
ここ／ｃ。
Ｍは前記気体の分子量。
Ｒは普遍気体定数。
Ｕｌは前記被測定物の前記放射線に対する吸収係数。
Ｄｍは前記被測定物のそ皇。
Ｕａｔヱ前記気体の前記放射線九対する吸収係数、であ
るように放射線源さ計をＳａし。
るように放射線源さ計をＳａし。
ΔＤ ａ＝＝ （（Ｐｂ／Ｔｂ）−（Ｐｌ／Ｔ３ ）
ｌ ・（Ｍ／Ｒ） 囮・・Ｃ２＞ｘ＝ −（ｌ／（Ｕｒ
ｎａＤｆｆ（１） ｌ”（ｔｎ （Ｅｘ／Ｅ０．）＋Ｕ
ａ＠ΔＤａ＠Ｇ１・・・・・・・・・ （３） さら（１本発明によれば。
ｌ ・（Ｍ／Ｒ） 囮・・Ｃ２＞ｘ＝ −（ｌ／（Ｕｒ
ｎａＤｆｆ（１） ｌ”（ｔｎ （Ｅｘ／Ｅ０．）＋Ｕ
ａ＠ΔＤａ＠Ｇ１・・・・・・・・・ （３） さら（１本発明によれば。
放射′ａＴＮと、この放射線検出器して所定の間隔Ｇを
有する測定空所を介して対向配置されかつ前記放射線源
が放射する放射線を検出して検出した前記放射線の線量
に応じた第１検出信号を出方する放射線検出器と、前記
第１検出信号を電圧信号に変換しかつ増幅して前記線量
に比例した電圧Ｅを有する第２検出信号として出力する
プリアンプとを備えた放射線検出ｓｒｃおげろ前記測定
空所に挿入される被測定物の前記放射蕨九対する吸収係
数Ｕｆｆｉと前記被仰］定物の密度Ｄｍと前記測定空所
における気体の前記放射線に対する吸収係数Ｕａとを測
定してそれぞれの測定値を記憶する第１手順と。
有する測定空所を介して対向配置されかつ前記放射線源
が放射する放射線を検出して検出した前記放射線の線量
に応じた第１検出信号を出方する放射線検出器と、前記
第１検出信号を電圧信号に変換しかつ増幅して前記線量
に比例した電圧Ｅを有する第２検出信号として出力する
プリアンプとを備えた放射線検出ｓｒｃおげろ前記測定
空所に挿入される被測定物の前記放射蕨九対する吸収係
数Ｕｆｆｉと前記被仰］定物の密度Ｄｍと前記測定空所
における気体の前記放射線に対する吸収係数Ｕａとを測
定してそれぞれの測定値を記憶する第１手順と。
前記測定空所に前記被測定物が播入され℃いない伏僧に
ある場合の時刻【１における前記第２検出信号の前記電
圧Ｅの値Ｅ。ａを記憶すると共に。
ある場合の時刻【１における前記第２検出信号の前記電
圧Ｅの値Ｅ。ａを記憶すると共に。
前記時刻監、での前記測定空所でおける前記気体の圧力
Ｐを測定して測定結果の圧力値Ｐａを記憶しかつ前記時
刻１．での前記測定空所でおける前記気体の絶対＠ｆＴ
を測定して測定結果のｍｔＬ値Ｔ値上１憶する第３手順
と。
Ｐを測定して測定結果の圧力値Ｐａを記憶しかつ前記時
刻１．での前記測定空所でおける前記気体の絶対＠ｆＴ
を測定して測定結果のｍｔＬ値Ｔ値上１憶する第３手順
と。
前記時刻ｔ１よりも遅い時刻ｔ、でおける前記第２検出
信号の前記電圧Ｅの値Ｅｘを記憶すると共に、前記時刻
１での前記渭１定空所でおける前記気体の圧力Ｐを測定
して測定結果の圧力値Ｐｂを記憶しかつ前記時刻ｔ、で
の前記測定空所における前記気体の絶対温度Ｔを測定し
て測定結果の温度値Ｔｂを記憶する第３手順と。
信号の前記電圧Ｅの値Ｅｘを記憶すると共に、前記時刻
１での前記渭１定空所でおける前記気体の圧力Ｐを測定
して測定結果の圧力値Ｐｂを記憶しかつ前記時刻ｔ、で
の前記測定空所における前記気体の絶対温度Ｔを測定し
て測定結果の温度値Ｔｂを記憶する第３手順と。
前記第１乃至第３手順で記憶した前記各記憶値Ｕｎｎ’
Ｄｆｆｌ”ａ’ Ｅ０ａ、Ｐａ”ｒ８． ＥＸ、Ｐｂ
及びＴｂを用いて（１）右辺辺の演１を行う第４手順と
からなり、前記第４手、頃の演算１笥果としての前記（
１）左辺辺１） ｘを前記ｇ１釧定物の値さの測定値と
する放射線を牛−・た４さ測定方法であって、二二Ｉｌ
ｃ。
Ｄｆｆｌ”ａ’ Ｅ０ａ、Ｐａ”ｒ８． ＥＸ、Ｐｂ
及びＴｂを用いて（１）右辺辺の演１を行う第４手順と
からなり、前記第４手、頃の演算１笥果としての前記（
１）左辺辺１） ｘを前記ｇ１釧定物の値さの測定値と
する放射線を牛−・た４さ測定方法であって、二二Ｉｌ
ｃ。
Ｕｏは前記４ｖＬ測定物の前記放射線に対する吸収係数
。
。
ＤＢ ｒｌ ＦＴｏ ４ｅ ａ 、ｊＩｔ ｉ 物’３
ＦＪ！ Ｋ、Ｕａは前」ピ気不ユリ躬４ピ放射Δて対
する吸収係数。
ＦＪ！ Ｋ、Ｕａは前」ピ気不ユリ躬４ピ放射Δて対
する吸収係数。
Ｍｉｓ前記気体の分子量。
Ｒは普遍気体定数
であるように放射組を用いた厚さ測定方法を構成する。
Ｘ ＝ −＋ １／（Ｕｒｎ−Ｄ、 ＞ ｌ・Ｃｌ ｎ
（Ｅ ｘ／Ｅ 。３ ）＋Ｕ 、 −［Ｆ’ｆｉ／Ｔ
ｏ ）−（Ｐａ／Ｔａ） １・ｌｉｄ／Ｒ）−Ｇ：）−
・・＝ （１）〔作用〕 上記の；ウニ構成すると、 （２３式と（３１式とから
（１Ｊ式が得られることは明らかであり、また、ＣＤ式
が６）式／Ｃ２げろ這圧値Ｅ０の測定空所における気体
の！ＷｉｔＤａの変化にもとづく変化を考慮した式にな
っていることを後述のようにして証明することができる
ので、したがって、本発明によれば、いずれも表昨九面
倒な作業を要する放射線源２、線源容１ｓ３．放射線検
出器４及びプリアンプ６を備えた上述１つ放射線検出部
１５０；不要で、この検出部１５のＤ・わりに上記気体
の圧力と温度とを検出する圧力計と温度計とを用いるこ
とによって厚さ計の＊成が簡単化されることでなるので
、ＷＩ局、本発明によれば厚ざ計の、ａ作並びに保守を
容易だ行うことができることになる。
（Ｅ ｘ／Ｅ 。３ ）＋Ｕ 、 −［Ｆ’ｆｉ／Ｔ
ｏ ）−（Ｐａ／Ｔａ） １・ｌｉｄ／Ｒ）−Ｇ：）−
・・＝ （１）〔作用〕 上記の；ウニ構成すると、 （２３式と（３１式とから
（１Ｊ式が得られることは明らかであり、また、ＣＤ式
が６）式／Ｃ２げろ這圧値Ｅ０の測定空所における気体
の！ＷｉｔＤａの変化にもとづく変化を考慮した式にな
っていることを後述のようにして証明することができる
ので、したがって、本発明によれば、いずれも表昨九面
倒な作業を要する放射線源２、線源容１ｓ３．放射線検
出器４及びプリアンプ６を備えた上述１つ放射線検出部
１５０；不要で、この検出部１５のＤ・わりに上記気体
の圧力と温度とを検出する圧力計と温度計とを用いるこ
とによって厚さ計の＊成が簡単化されることでなるので
、ＷＩ局、本発明によれば厚ざ計の、ａ作並びに保守を
容易だ行うことができることになる。
第１図は本発明（よる放射線厚さ計の一実施例１７の構
成図で１本図においては、第３図におけるものと同じも
の（第３図の場合と同じ符号がつけである。
成図で１本図においては、第３図におけるものと同じも
の（第３図の場合と同じ符号がつけである。
第１図において、１８は測定空所５における気体１２の
圧力Ｐを検出してこの圧力Ｐを表す圧力信号１８ａ出力
するようにした圧力計、１９は空所５における気体１２
の絶対ａ度Ｔを検出してこの温ＩｆＴを表す温度信号１
９ａを出力するようにしたｍ［計、２０はプリアンプ６
６”−出力する第２検出信号６ａと圧力信号１８ａと温
度信号１９ｍと！１１制御信２０ａと第２制御信号２０
ｂとが入力され、これらの信号を用いて以下で説明する
信号ｆｉＦ１行って出力信号２０Ｃを出力するよってし
た信号処１部で、厚さ計１７は放射線検出部９と圧力計
１８と温度計１９と信号処理部２ｏとでｆＲ成されてい
る。
圧力Ｐを検出してこの圧力Ｐを表す圧力信号１８ａ出力
するようにした圧力計、１９は空所５における気体１２
の絶対ａ度Ｔを検出してこの温ＩｆＴを表す温度信号１
９ａを出力するようにしたｍ［計、２０はプリアンプ６
６”−出力する第２検出信号６ａと圧力信号１８ａと温
度信号１９ｍと！１１制御信２０ａと第２制御信号２０
ｂとが入力され、これらの信号を用いて以下で説明する
信号ｆｉＦ１行って出力信号２０Ｃを出力するよってし
た信号処１部で、厚さ計１７は放射線検出部９と圧力計
１８と温度計１９と信号処理部２ｏとでｆＲ成されてい
る。
さ℃、厚３計１７は上述のよ５＋こ構成され℃いるので
、第２凍出信号６ａが呈する前述の′亀王値Ｅｏ＆工（
６）式で示したように気体１２の密度Ｄａ に応じ℃変
化することになり、したかつ℃、今、測定空所５て被測
定物１１が挿入されていない吠聾における時刻り、の時
！１匿Ｄａがり、１で電圧Ｅ０がＥ。ａであったとする
と（６１式からｆＴＪ式が得られ、また１時刻ｔ。
、第２凍出信号６ａが呈する前述の′亀王値Ｅｏ＆工（
６）式で示したように気体１２の密度Ｄａ に応じ℃変
化することになり、したかつ℃、今、測定空所５て被測
定物１１が挿入されていない吠聾における時刻り、の時
！１匿Ｄａがり、１で電圧Ｅ０がＥ。ａであったとする
と（６１式からｆＴＪ式が得られ、また１時刻ｔ。
よりも優の時刻りの時密度ＤａがＤａ□で電圧Ｅ０がＥ
。ｂであったとすると同じく（６）式から３）式が得ら
れるので、Ｄａ２””Ｄａｌ＋ΔＤａとすると■式と侶
）式とから９）式が導かれる。
。ｂであったとすると同じく（６）式から３）式が得ら
れるので、Ｄａ２””Ｄａｌ＋ΔＤａとすると■式と侶
）式とから９）式が導かれる。
”ｏａ＝Ｅｏｏ・ｅｘＰ（Ｕｌ・Ｄａ＋”Ｇ） ＝
＝ （のＥｏｏ；”ｏｏ ” ｅｘＰ （Ｕｌ ・Ｄ
Ｂｚ・Ｇ ） ・−”＝ （ｇ）ＥＯｔ） ＝
Ｅｇ３ ’ ｅＸｐ （−（Ｊ ａａΔＤＪｌ’Ｇ）
−＝ （９）故九、上述の時刻りで検出信号６ａ
が呈する電圧ＥＤ頃がＥｘであったとすると、 Ｔ５１
式のＥ。
＝ （のＥｏｏ；”ｏｏ ” ｅｘＰ （Ｕｌ ・Ｄ
Ｂｚ・Ｇ ） ・−”＝ （ｇ）ＥＯｔ） ＝
Ｅｇ３ ’ ｅＸｐ （−（Ｊ ａａΔＤＪｌ’Ｇ）
−＝ （９）故九、上述の時刻りで検出信号６ａ
が呈する電圧ＥＤ頃がＥｘであったとすると、 Ｔ５１
式のＥ。
が（９）式のＥ。ｂＶＣ等しいとすること九よって、密
度Ｄａｆ′）経時変化ΔＤａ紮考・献し゛・−仮測定物
１１の１−ｖさＸを正しく求めろ演１式（１０）が得ら
れろことになろ。
度Ｄａｆ′）経時変化ΔＤａ紮考・献し゛・−仮測定物
１１の１−ｖさＸを正しく求めろ演１式（１０）が得ら
れろことになろ。
χ＝−１１／（Ｕ、・Ｄカ））・ｔｚｎ （Ｆ；、／Ｅ
ｏ３）＋Ｕ、 。
ｏ３）＋Ｕ、 。
ΔＤ、−Ｇｌ四−・（ｙ））
Ｌかろ（２、二こで１式体１２ｏ〕浬切気体であるとす
ると、Ｍを気体１２の分子−，Ｒを＊ａ気体定数として
、質ｔＷの気体１２つ１占めろｇ撰Ｖとこの気体１２の
圧力及び温度Ｐ、Ｔとの間に川辺の（１１）式の関係Ｏ
りあり２また上述の密度り、と誓１Ｗと＠遺Ｖとの間ｙ
ｒ ＋ｘ （１２）式の関係があるので、（１１）式と
（１２）式とから（１３）式が得もねる。
ると、Ｍを気体１２の分子−，Ｒを＊ａ気体定数として
、質ｔＷの気体１２つ１占めろｇ撰Ｖとこの気体１２の
圧力及び温度Ｐ、Ｔとの間に川辺の（１１）式の関係Ｏ
りあり２また上述の密度り、と誓１Ｗと＠遺Ｖとの間ｙ
ｒ ＋ｘ （１２）式の関係があるので、（１１）式と
（１２）式とから（１３）式が得もねる。
ＰＶ−Ｗ−（Ｒ／Ｍ）−Ｔ 囮−（値）Ｄ、
＝ ＷｌＶ 曲・・ （１２）Ｄａ＝
｛Ｐ／Ｔ）−（Ｍ／Ｒ） −・・−（１３）した
がって、上述の時刻【、の時気体１２の圧力及び履″ｖ
：、がそれぞれＰ、 、 Ｔａであったとし、また、上
述の時刻Ｉ、のＪ＃気坏１２’ＪＪ）圧力及び温度ｏ１
； ｔ”−ぞバＰｂ、Ｔｂであったと′しろと１時刻ｔ
。
＝ ＷｌＶ 曲・・ （１２）Ｄａ＝
｛Ｐ／Ｔ）−（Ｍ／Ｒ） −・・−（１３）した
がって、上述の時刻【、の時気体１２の圧力及び履″ｖ
：、がそれぞれＰ、 、 Ｔａであったとし、また、上
述の時刻Ｉ、のＪ＃気坏１２’ＪＪ）圧力及び温度ｏ１
； ｔ”−ぞバＰｂ、Ｔｂであったと′しろと１時刻ｔ
。
でＪ〕密鮫Ｉ）３．と俄刻ｔ２での漕寡Ｄ□、との上述
したｉ Ｊ Ｄ ３−Ｄ ；１２ ０ａｌ＋Ｓ （１３
）式（もユづ（・て（１４）式び〕・よ５ に；’７
”１ノ）で ＠ ｙ） 〔ｘ４）式ブ）ΔＤ３を（１０
）式（代入するととによって（Ｔ５）式がイ尋らｔｔ
”：ｒ ：と江なろ。
したｉ Ｊ Ｄ ３−Ｄ ；１２ ０ａｌ＋Ｓ （１３
）式（もユづ（・て（１４）式び〕・よ５ に；’７
”１ノ）で ＠ ｙ） 〔ｘ４）式ブ）ΔＤ３を（１０
）式（代入するととによって（Ｔ５）式がイ尋らｔｔ
”：ｒ ：と江なろ。
ΔＤ、１（Ｐｂ／Ｔｂ）−（Ｐａ、／Ｔ１口・（＼（／
Ｉｔ、 ）−（１４）ｘ＝−値Ｉ（（：、、・ＤＩＴ（
１）ｌ−［ｚｎ（Ｂｘ／Ｂｏ、）−＋４Ｊ、−Ｉ（Ｐｈ
４ｂ）−（Ｐｌ、Ｉｒ、 ） ｌ−（Ｍ／Ｒ）−０Ｊ・
・・・（１５） ところが、第１図／Ｃ第３いて１；、信号処理部２゜が
、上述１〕時刻１で該処理部２ｏ九第１制釘信号２０３
つ）入力されろこと九よって、この時刻ｔ。
Ｉｔ、 ）−（１４）ｘ＝−値Ｉ（（：、、・ＤＩＴ（
１）ｌ−［ｚｎ（Ｂｘ／Ｂｏ、）−＋４Ｊ、−Ｉ（Ｐｈ
４ｂ）−（Ｐｌ、Ｉｒ、 ） ｌ−（Ｍ／Ｒ）−０Ｊ・
・・・（１５） ところが、第１図／Ｃ第３いて１；、信号処理部２゜が
、上述１〕時刻１で該処理部２ｏ九第１制釘信号２０３
つ）入力されろこと九よって、この時刻ｔ。
ｒおける第２険出信号６ａの電圧Ｅの値Ｉε。、と。
時刻【、に寸ｖ；け石工力信号１８ａが表す爪体１２勺
圧力ＰのｒｊｉＰ、と、時刻ｔ、 ｃおけろ温度信号１
９ａが表す気体１２の絶対温度Ｔの値゛ｒａとな記憶し
、さらて、−上述の時刻ｔ、で処理部２ｏ／Ｃ第２制１
１１１１信号２０Ｆ）つ；入力されろことてよって、こ
の処ｒ３Ｋ・５７１） ｙ予め肥！ｉａさせらｈ−（い
ろ上述の各物理ｉｉｔＵｍ、 ［；１． ■指、 Ｍ及
びＲと、時刻”１／ｊｊｒＴける信号６１の電圧Ｅの頭
Ｆ＋Ｊｘと１時刻暖、におけろ圧力信号１８２ ウ’１
表す圧力Ｐｎ値Ｐｂと１時刻ｔ。
圧力ＰのｒｊｉＰ、と、時刻ｔ、 ｃおけろ温度信号１
９ａが表す気体１２の絶対温度Ｔの値゛ｒａとな記憶し
、さらて、−上述の時刻ｔ、で処理部２ｏ／Ｃ第２制１
１１１１信号２０Ｆ）つ；入力されろことてよって、こ
の処ｒ３Ｋ・５７１） ｙ予め肥！ｉａさせらｈ−（い
ろ上述の各物理ｉｉｔＵｍ、 ［；１． ■指、 Ｍ及
びＲと、時刻”１／ｊｊｒＴける信号６１の電圧Ｅの頭
Ｆ＋Ｊｘと１時刻暖、におけろ圧力信号１８２ ウ’１
表す圧力Ｐｎ値Ｐｂと１時刻ｔ。
（おけろ温度信号１９ａが畏す＠ＩｆＴの値’ｒｂと。
Ａ？Ｔ述した処理部２０における各記憶値Ｅ０□、Ｐ。
及びＴ１とを用いて（１５）右辺辺の演算を行ってこの
償算萌果としての（Ｌ５）左辺辺のＸを表す厚さ信号と
しての紡述の信号２０Ｃを出力するように構成されてい
る。
償算萌果としての（Ｌ５）左辺辺のＸを表す厚さ信号と
しての紡述の信号２０Ｃを出力するように構成されてい
る。
したがって、厚さ計１７（よれば、厚さ信号２０ＣｒＣ
よつ℃被測定物１１の＋９［さＸを気体１２の密度の変
化（もとづく誤差を含むことなく正しく測定することが
できろわけで、この厚さ計１７の場合、−度処理部２０
Ｗ：電圧値Ｅ、１．圧力値Ｐ□及び温度ｆｉＴａを記憶
させろと、以後、はぼ連続的に気体１２の密ＩｆＤ□の
経時変化（もとづく上記測定誤差を補償した厚さ信号２
０Ｃが得られることがと述した所から明らかであるから
、１マさ計１７（よれば正確な厚さ測定を常時極めて容
易（行うことができること（なる、そうして、また、こ
の厚ご１１１７の場合、いずれもＮ１九面倒な作業なダ
する衣？１線挿２．線源容４３．放剰線検出器４及びブ
１１ア／プロを備えた上述の放射＠噴出部１５のかわり
（圧力計１８と温度計１９と髪用いろこと（よって′γ
さ計１７つ壱祝う１上述した従来の１厚さ計１３のＦ′
値Ｉａｙ、よりも」単（なっていることが明らかである
から、厚さ計１７の構成でよれば、該厚さ計の製作並び
【保守をまことに容易（行うことかでオること（なる。
よつ℃被測定物１１の＋９［さＸを気体１２の密度の変
化（もとづく誤差を含むことなく正しく測定することが
できろわけで、この厚さ計１７の場合、−度処理部２０
Ｗ：電圧値Ｅ、１．圧力値Ｐ□及び温度ｆｉＴａを記憶
させろと、以後、はぼ連続的に気体１２の密ＩｆＤ□の
経時変化（もとづく上記測定誤差を補償した厚さ信号２
０Ｃが得られることがと述した所から明らかであるから
、１マさ計１７（よれば正確な厚さ測定を常時極めて容
易（行うことができること（なる、そうして、また、こ
の厚ご１１１７の場合、いずれもＮ１九面倒な作業なダ
する衣？１線挿２．線源容４３．放剰線検出器４及びブ
１１ア／プロを備えた上述の放射＠噴出部１５のかわり
（圧力計１８と温度計１９と髪用いろこと（よって′γ
さ計１７つ壱祝う１上述した従来の１厚さ計１３のＦ′
値Ｉａｙ、よりも」単（なっていることが明らかである
から、厚さ計１７の構成でよれば、該厚さ計の製作並び
【保守をまことに容易（行うことかでオること（なる。
第２図は木発明九よる第１図（示した！！楕例とは異な
る実施例として０放躬線厚さ計２１の構成図で、木’；
；’＋の第１図とりなる所は、圧力信号１８ａと温度信
号１９ａとが入力され、かつ−上述の時刻１ｔで第１制
仰信号２０ａが入力されろこと℃より℃この時刻【、に
おけろ信号１８ｍが表す圧力値Ｐａと時刻１．におけろ
信号１９ａが表すａ＃ｃ傭Ｔａとを記憶し、かつ上述の
時刻１で第２制匈信号２が）が入力されろこと（よって
この時刻１゜（おけろ信号１８濡が表す圧力値Ｐｂと時
刻【、−おけろ信号１９２が表す温度値ＴＩ、と前記の
各組Ｔａ４ｉ：ｊＩＶＰａ及びＴａとを用いて（１４）
右辺の演算を行りてこの演算結果のΔＤａを表すお質変
化信号２２ａを出力する第１１号処理部２２と、第２検
出信号６１と密度変化信号２２ａとが入力され、かつ時
刻値で第１制御信号２０ａが入力されることによってこ
の時刻Ｅ１における検出信号６ａの電圧値ｇｏａを記憶
し、かつ時刻上、で第２制岬信号２０ｂが入力されるこ
とによってこの時刻【！における信号６ａの電圧値Ｅｘ
と時刻１以降において信号２２ａが表す密度変化量ｌＤ
ａと前記紀ｌ値Ｅｏａとを用いて（１０）右辺辺の演算
を行ってこの演算結果のＸを表す厚さ信号２３１を出力
する第２信号処理部２３とが、第１図の信号処理部２０
のかわり（設けられていることで、厚さ計２１ににいて
も、信号２３ｍでよって被測定物１１の厚さＸを正確に
測定することができ、また、この場合厚さ計２１の製昨
羞び（保守を容易に行い得ることは特（説明するまでも
なく明らかである。
る実施例として０放躬線厚さ計２１の構成図で、木’；
；’＋の第１図とりなる所は、圧力信号１８ａと温度信
号１９ａとが入力され、かつ−上述の時刻１ｔで第１制
仰信号２０ａが入力されろこと℃より℃この時刻【、に
おけろ信号１８ｍが表す圧力値Ｐａと時刻１．におけろ
信号１９ａが表すａ＃ｃ傭Ｔａとを記憶し、かつ上述の
時刻１で第２制匈信号２が）が入力されろこと（よって
この時刻１゜（おけろ信号１８濡が表す圧力値Ｐｂと時
刻【、−おけろ信号１９２が表す温度値ＴＩ、と前記の
各組Ｔａ４ｉ：ｊＩＶＰａ及びＴａとを用いて（１４）
右辺の演算を行りてこの演算結果のΔＤａを表すお質変
化信号２２ａを出力する第１１号処理部２２と、第２検
出信号６１と密度変化信号２２ａとが入力され、かつ時
刻値で第１制御信号２０ａが入力されることによってこ
の時刻Ｅ１における検出信号６ａの電圧値ｇｏａを記憶
し、かつ時刻上、で第２制岬信号２０ｂが入力されるこ
とによってこの時刻【！における信号６ａの電圧値Ｅｘ
と時刻１以降において信号２２ａが表す密度変化量ｌＤ
ａと前記紀ｌ値Ｅｏａとを用いて（１０）右辺辺の演算
を行ってこの演算結果のＸを表す厚さ信号２３１を出力
する第２信号処理部２３とが、第１図の信号処理部２０
のかわり（設けられていることで、厚さ計２１ににいて
も、信号２３ｍでよって被測定物１１の厚さＸを正確に
測定することができ、また、この場合厚さ計２１の製昨
羞び（保守を容易に行い得ることは特（説明するまでも
なく明らかである。
上述したよう（２本発明においては。
放射線源と、この放射線源に対して所矩の間隔Ｇ？有す
る聾（定空所を介して対向配置されかつ放射嘘源〇−放
射する放射−を検出して検出した前記放射線の１１で応
じた第１検出情号を吊刀する放射−検出器と、前記第１
検出儒号を一４圧信号（変ゆしかつ増感して前記線量に
比例した電圧Ｅを有する再２Ｓ：１５信号として出力す
るプリアンプと。
る聾（定空所を介して対向配置されかつ放射嘘源〇−放
射する放射−を検出して検出した前記放射線の１１で応
じた第１検出情号を吊刀する放射−検出器と、前記第１
検出儒号を一４圧信号（変ゆしかつ増感して前記線量に
比例した電圧Ｅを有する再２Ｓ：１５信号として出力す
るプリアンプと。
演り定空所における気体の子方Ｐを検出して圧力Ｐを表
す圧力信号を出力する圧力計と、クリ定空所における前
記気体の絶対温度Ｔをゆ出して絶対温度Ｔを表す温度信
号を出力するＨ２計と、第２検出信号と圧力信号と温度
信号とが入力され、かつ測定空所に被測定物が挿入され
ていない状態における時刻【１で第１制御信号が入力さ
れることによつ１時刻【、ににける第２噴出信号の電圧
Ｅの値ＥＩ、ａと時刻ｔ１における圧力信号が表す圧力
Ｐの値Ｐ３と時刻【、における［Ｍｌｆ信号が表す絶対
温度Ｔの値Ｔａとを記憶し、かつ時刻ｔ１よりも遅い時
刻１で第２制御信号が入力されろことてよって時刻ｔ！
における第２慣出信号の電圧Ｅの値Ｅｘと時刻【。
す圧力信号を出力する圧力計と、クリ定空所における前
記気体の絶対温度Ｔをゆ出して絶対温度Ｔを表す温度信
号を出力するＨ２計と、第２検出信号と圧力信号と温度
信号とが入力され、かつ測定空所に被測定物が挿入され
ていない状態における時刻【１で第１制御信号が入力さ
れることによつ１時刻【、ににける第２噴出信号の電圧
Ｅの値ＥＩ、ａと時刻ｔ１における圧力信号が表す圧力
Ｐの値Ｐ３と時刻【、における［Ｍｌｆ信号が表す絶対
温度Ｔの値Ｔａとを記憶し、かつ時刻ｔ１よりも遅い時
刻１で第２制御信号が入力されろことてよって時刻ｔ！
における第２慣出信号の電圧Ｅの値Ｅｘと時刻【。
におけろ圧力信号り；表す圧力Ｐの値Ｐｂと時刻ｈにお
ける温【信号が表す、８対温′ｘＴｆ）値Ｔｂと前記各
記Ｉｉｉ値Ｅ 、；１ ＊ ＰＢ及びＴａとを用いて（
１１式右辺の演算を行ってこの演算電果７’２ Ｘを表
す４さ信号を出力する信号処１部とを備え、厚さ信号（
よって測定空所に挿入された被測定物の厚ざＸを測定す
る放射線厚さ計であって、ここ／ｃ。
ける温【信号が表す、８対温′ｘＴｆ）値Ｔｂと前記各
記Ｉｉｉ値Ｅ 、；１ ＊ ＰＢ及びＴａとを用いて（
１１式右辺の演算を行ってこの演算電果７’２ Ｘを表
す４さ信号を出力する信号処１部とを備え、厚さ信号（
よって測定空所に挿入された被測定物の厚ざＸを測定す
る放射線厚さ計であって、ここ／ｃ。
Ｕ！！Ｉは前記被測定物の前記放射婦九対する吸収係数
。
。
ＤＩｎは前記被測定物の密度。
Ｕ２は前記気体の駒組放射線に対する吸収係数。
Ｍは両組気体の分子着。
Ｒは普遍気体定数。
であるよって放射線厚さ計を構成し。
ｘ＝−（１／（ＵＩｌ、＠Ｄ−）ｌ・Ｃｔｎ （Ｅ Ｘ
／Ｂ ０ａ）＋Ｕ ａ・（（Ｐｂ／Ｔｂ） （Ｐａ／
Ｔａ）Ｉ・（ル’Ｒ）−Ｇ：ｌ・−・−・（１）また２
本発明九おいては。
／Ｂ ０ａ）＋Ｕ ａ・（（Ｐｂ／Ｔｂ） （Ｐａ／
Ｔａ）Ｉ・（ル’Ｒ）−Ｇ：ｌ・−・−・（１）また２
本発明九おいては。
放射線源と、この放射線源（対して所定の聞漏Ｇを有す
る測定空所を介して対向配置ｌすれかつ放射ａ源が放射
する放射線を検出して検出した放射線の線量に応じた第
１検出信号を出力する放射線検出器と、第１検出信号を
電圧信号に変換しかつ噌１！Ｌ″Ｃ荊記−童に比例した
電圧Ｅを有する第２検出信号として圧力するプリアンプ
と、測定空所における気体の圧力Ｐを検出して圧力Ｐを
表す圧力信号を出力する圧力計と、測定９所における前
記気体の糖対温度Ｔを検出して絶対温度Ｔを表す温度信
号を出力する温室計と２圧力信号と温度信号とが入力さ
れ、かつ測定空所に被測定物が挿入されていたい伏角に
おける時刻【、で第１制御信号が入力されることによっ
て時刻【１における圧力信号が表す圧力Ｐの値Ｐ、と時
刻！、における温度信号が一冴する絶対温度Ｔの値Ｔａ
とを記憶し、かつ時刻１．よりも遅い時刻−で第２制岬
信号が入力されることによって時刻（、九おける圧力信
号が表す圧力Ｐの値Ｐｂと時刻ｔｔにおける温度信号が
表す絶対温度Ｔの値Ｔｂと前記各記憶値Ｐ、及びＴａと
音用いて（２）右辺辺の演算を行ってこの演算結果のΔ
Ｄａを表す密度変化信号を出力する第１信号処理部と、
第２検出信号と密度変化信号とが入力され、かつ時刻１
にで第１ｆｌｌＪ御信号が入力されろことによって時刻
【Ｉにおける第２慣出信号の電圧Ｅの１直Ｂｏａを記４
シ、ｙ＋・つ時刻【、で第２制−言号つ・人力尽、７′
Ｌるこ５ｆ工って時刻【、にＳける第２慣出信号の屯２
Ｅの値Ｅｘと時刻ｔ！以降ておいて密定♂化１号が表す
＠記ΔＤａと前記記ｊｉ直Ｅ０ａとを用いて（３１式右
辺の演算を行ってこの、Ｘ ｄ侍１４：のＸを表す厚さ
信号を出力する第２信号処場部とを備え、厚さ官号てよ
って測定空所（挿入された被測定物の厚さＸを測定する
放射線厚さ計であって、ここに。
る測定空所を介して対向配置ｌすれかつ放射ａ源が放射
する放射線を検出して検出した放射線の線量に応じた第
１検出信号を出力する放射線検出器と、第１検出信号を
電圧信号に変換しかつ噌１！Ｌ″Ｃ荊記−童に比例した
電圧Ｅを有する第２検出信号として圧力するプリアンプ
と、測定空所における気体の圧力Ｐを検出して圧力Ｐを
表す圧力信号を出力する圧力計と、測定９所における前
記気体の糖対温度Ｔを検出して絶対温度Ｔを表す温度信
号を出力する温室計と２圧力信号と温度信号とが入力さ
れ、かつ測定空所に被測定物が挿入されていたい伏角に
おける時刻【、で第１制御信号が入力されることによっ
て時刻【１における圧力信号が表す圧力Ｐの値Ｐ、と時
刻！、における温度信号が一冴する絶対温度Ｔの値Ｔａ
とを記憶し、かつ時刻１．よりも遅い時刻−で第２制岬
信号が入力されることによって時刻（、九おける圧力信
号が表す圧力Ｐの値Ｐｂと時刻ｔｔにおける温度信号が
表す絶対温度Ｔの値Ｔｂと前記各記憶値Ｐ、及びＴａと
音用いて（２）右辺辺の演算を行ってこの演算結果のΔ
Ｄａを表す密度変化信号を出力する第１信号処理部と、
第２検出信号と密度変化信号とが入力され、かつ時刻１
にで第１ｆｌｌＪ御信号が入力されろことによって時刻
【Ｉにおける第２慣出信号の電圧Ｅの１直Ｂｏａを記４
シ、ｙ＋・つ時刻【、で第２制−言号つ・人力尽、７′
Ｌるこ５ｆ工って時刻【、にＳける第２慣出信号の屯２
Ｅの値Ｅｘと時刻ｔ！以降ておいて密定♂化１号が表す
＠記ΔＤａと前記記ｊｉ直Ｅ０ａとを用いて（３１式右
辺の演算を行ってこの、Ｘ ｄ侍１４：のＸを表す厚さ
信号を出力する第２信号処場部とを備え、厚さ官号てよ
って測定空所（挿入された被測定物の厚さＸを測定する
放射線厚さ計であって、ここに。
Ｍに前記気体の分子量。
Ｒ２は普遍気体定数。
Ｕｒｎは前記被測定物の前記放射線に対する吸収係数、
Ｄ工は前記被測定物の密度。
Ｕ、は前記気体の前記放射ｌＩｉ！に対する吸収係数、
であるよって放射線厚さ計を構成し。
であるよって放射線厚さ計を構成し。
ΔＤ、＝｛（Ｐｂ／Ｔｂ３−ＣＰ、／Ｔ（１）ｌ・（Ｍ
／Ｒ）・・・・・・（２）ｘ＝−（１／（Ｕｍ’Ｄｍ）
）・【ｔｎ（Ｅｘ／Ｅｏａ）−＋−Ｕ、・ΔＤ、・Ｇ）
・・・・・−・・（３） さらで１本発明ににいて４゜ 放射＠原と、この放射書源（対して所定の間隔Ｇを有す
る刊定空、折を介して対向配置さ飢かつ放射＃源が１Ｍ
１’ｌする放射＠を検出して慣用した放耐薔の＠労で応
じた第１検出信号を圧力する放射線検出器と、第Ｉ検出
信号を訂圧言号ｌｃ更鷹しかつ増福して＠記綴ｔＦ比ダ
」した電圧ＥをＫする第２検出信号として上刃するアリ
アンプとを備えた放射線検出部でおける前記測定空所に
挿入される被グＩｊ宝物の前記放射１１１！九対する吸
収係数Ｕ。と被測定物の密Ｙ Ｄｍと測定空所におけろ
気坏の前記放射線に対する吸収係数Ｕａとを伸ｊ定して
それぞれの測定値を紀１する第１手順と。
／Ｒ）・・・・・・（２）ｘ＝−（１／（Ｕｍ’Ｄｍ）
）・【ｔｎ（Ｅｘ／Ｅｏａ）−＋−Ｕ、・ΔＤ、・Ｇ）
・・・・・−・・（３） さらで１本発明ににいて４゜ 放射＠原と、この放射書源（対して所定の間隔Ｇを有す
る刊定空、折を介して対向配置さ飢かつ放射＃源が１Ｍ
１’ｌする放射＠を検出して慣用した放耐薔の＠労で応
じた第１検出信号を圧力する放射線検出器と、第Ｉ検出
信号を訂圧言号ｌｃ更鷹しかつ増福して＠記綴ｔＦ比ダ
」した電圧ＥをＫする第２検出信号として上刃するアリ
アンプとを備えた放射線検出部でおける前記測定空所に
挿入される被グＩｊ宝物の前記放射１１１！九対する吸
収係数Ｕ。と被測定物の密Ｙ Ｄｍと測定空所におけろ
気坏の前記放射線に対する吸収係数Ｕａとを伸ｊ定して
それぞれの測定値を紀１する第１手順と。
測定空所に被測定物が挿入されていない状ｎにある場合
の時刻１．におゆる第２検出信号の電圧Ｅの１直Ｅ。ａ
を記憶すると共で１時刻（菫での測定空所における気体
の圧力Ｐを測定して測定結果の圧力値Ｐａを記憶しかつ
時刻ｔ１での測定空所における気体の絶対温、ＩｆＴな
測定して測定結果の温度値Ｔａを記憶する第３手、獣と
。
の時刻１．におゆる第２検出信号の電圧Ｅの１直Ｅ。ａ
を記憶すると共で１時刻（菫での測定空所における気体
の圧力Ｐを測定して測定結果の圧力値Ｐａを記憶しかつ
時刻ｔ１での測定空所における気体の絶対温、ＩｆＴな
測定して測定結果の温度値Ｔａを記憶する第３手、獣と
。
峙刈１．よりも遅い時刻ｔ、５％ける第２検出信号の電
圧Ｅの値Ｅｘを記憶すると共に、時刻りでの測定空所に
おける気体の圧力Ｐを測定して測定結果の圧力値Ｐｂを
記憶しかつ時刻りでの測定空所における気体の絶対温度
Ｔを測定して測定結果の温度値Ｔｂを記憶する第３手順
と。
圧Ｅの値Ｅｘを記憶すると共に、時刻りでの測定空所に
おける気体の圧力Ｐを測定して測定結果の圧力値Ｐｂを
記憶しかつ時刻りでの測定空所における気体の絶対温度
Ｔを測定して測定結果の温度値Ｔｂを記憶する第３手順
と。
第１乃至第３手順で記憶した前記各記憶値Ｕｍ。
Ｄｍ、Ｕ３ ＊ Ｂ ０３ 、Ｐ３ 、 Ｔａ＊ ＥＸ
、Ｐｉ）及びＴＩ）を弔いて（１１式右辺の演算を行う
第４手順とからなり、第４手順の演算結果としての（υ
左辺辺のＸを被測定物の厚さの測定値とする放射線を用
いた厚さ測定方法であって、ここく。
、Ｐｉ）及びＴＩ）を弔いて（１１式右辺の演算を行う
第４手順とからなり、第４手順の演算結果としての（υ
左辺辺のＸを被測定物の厚さの測定値とする放射線を用
いた厚さ測定方法であって、ここく。
Ｕｏは前記被測定物の前記放射線九対する吸収係数。
Ｄｏは前記被測定物の密度。
Ｕａは前記気体の前記放射線（対する吸収係数、Ｍは前
記気体の分子量。
記気体の分子量。
Ｒは普遍気体定数
であるように放射線を用いた厚さ測定方法を構成した。
Ｘ＝ ＋ｔ／（Ｕｍ−Ｄｍ）＋−［ｚｒｔ（Ｅｘ／Ｅ
ｏａ）＋Ｕ、＊ｆ＜Ｆ”ｂ／Ｔｂ）−（Ｆ’ａ／Ｔａ）
ｌ−（Ｍ／Ｒ）−Ｇ）・・・・−・ （１） このため、と記のように構構成ると、Ｃ）式と（３）式
とから＋１１弐〇−得られることは明らかであり、また
、σ）弐が６）式九おける亀圧菫Ｅｏの測定空所におけ
る気体の密’１ｔ−Ｄａの変化にもとづく変化を考寵し
た式になっていることを前述のようにして証明すること
ができるので、したがつτ１本発明によれば、いずれも
製作（面倒な１業を要する放射線源２．線源容器３．放
射線検出器４及びアリアンプ６を備えた上述の放射線検
出部１５が不要で。
ｏａ）＋Ｕ、＊ｆ＜Ｆ”ｂ／Ｔｂ）−（Ｆ’ａ／Ｔａ）
ｌ−（Ｍ／Ｒ）−Ｇ）・・・・−・ （１） このため、と記のように構構成ると、Ｃ）式と（３）式
とから＋１１弐〇−得られることは明らかであり、また
、σ）弐が６）式九おける亀圧菫Ｅｏの測定空所におけ
る気体の密’１ｔ−Ｄａの変化にもとづく変化を考寵し
た式になっていることを前述のようにして証明すること
ができるので、したがつτ１本発明によれば、いずれも
製作（面倒な１業を要する放射線源２．線源容器３．放
射線検出器４及びアリアンプ６を備えた上述の放射線検
出部１５が不要で。
この検出部１５のかわりに上記気体の圧力と温度とを検
出する圧力計と温度計とを用いることによって厚さ計の
構成が簡単化されること（なるので。
出する圧力計と温度計とを用いることによって厚さ計の
構成が簡単化されること（なるので。
結局、本発明ｖｃは厚さ計の製作並びに保守を容易に行
うことができるという効果がある・
うことができるという効果がある・
第１図は本発１ｊＪ］ｆＣよる放射線厚さ計の一実施愕
の構成図。 第２図は本発明（よる放射線厚さ計の第１図に示口た実
抱例とは異なる実癩例のＷ４戎図。 第３図は従来の放射縁厚さ計の値Ｉ成図。 第４図は第３図に示した放射襟慎さ軒とは異なる従来の
放射線・厚さ計の嘴或図である。 １、１３．１７．２１・・・・・・放射線厚さ計、２・
・・・・・放射１１［、２ａ・・・・・・放射線、４・
・・・・・放射線検出器、 ４ａ・・・第１検出信号
、５．１４・・・・・・測定空所、６・・・・・・プリ
アンプ、 ５ａ・・・・・・第２検出信号、９．１５・
・・・−・放射線検出器、 １０．１６．２０・−・
−・−信号処理部、 １０ａｌ ２０ＣＩ２３１・・・
・・・厚さ信号、 １１・・・・・・被測定物、１２
・・・・・・気体。 １８・・・・・・圧力計、１８１・・・・・・圧力信号
、 １９・・・・・・温度計。 １９ｍ・・・・・・１変信号、２０ａ・・・・・・第１
制御信号、２０ｂ・・・・・・第２制御信号、２２・・
・・・・第１信号処理部、２２ａ・・・・・・密度変化
信号、２３・・・・・・第２信号処理部。
の構成図。 第２図は本発明（よる放射線厚さ計の第１図に示口た実
抱例とは異なる実癩例のＷ４戎図。 第３図は従来の放射縁厚さ計の値Ｉ成図。 第４図は第３図に示した放射襟慎さ軒とは異なる従来の
放射線・厚さ計の嘴或図である。 １、１３．１７．２１・・・・・・放射線厚さ計、２・
・・・・・放射１１［、２ａ・・・・・・放射線、４・
・・・・・放射線検出器、 ４ａ・・・第１検出信号
、５．１４・・・・・・測定空所、６・・・・・・プリ
アンプ、 ５ａ・・・・・・第２検出信号、９．１５・
・・・−・放射線検出器、 １０．１６．２０・−・
−・−信号処理部、 １０ａｌ ２０ＣＩ２３１・・・
・・・厚さ信号、 １１・・・・・・被測定物、１２
・・・・・・気体。 １８・・・・・・圧力計、１８１・・・・・・圧力信号
、 １９・・・・・・温度計。 １９ｍ・・・・・・１変信号、２０ａ・・・・・・第１
制御信号、２０ｂ・・・・・・第２制御信号、２２・・
・・・・第１信号処理部、２２ａ・・・・・・密度変化
信号、２３・・・・・・第２信号処理部。
Claims (1)
- （１）放射線源と、この放射線源に対して所定の間隔Ｇ
を有する測定空所を介して対向配置されかつ前記放射線
源が放射する放射線を検出して検出した前記放射線の線
量に応じた第１検出信号を出力する放射線検出器と、前
記第１検出信号を電圧信号に変換しかつ増幅して前記線
量に比例した電圧Ｅを有する第２検出信号として出力す
るプリアンプと、前記測定空所における気体の圧力Ｐを
検出して前記圧力Ｐを表す圧力信号を出力する圧力計と
、前記測定空所における前記気体の絶対温度Ｔを検出し
て前記絶対温度Ｔを表す温度信号を出力する温度計と、
前記第２検出信号と前記圧力信号と前記温度信号とが入
力され、かつ前記測定空所に被測定物が挿入されていな
い状態における時刻ｔ＿１で第１制御信号が入力される
ことによつて前記時刻ｔ＿１における前記第２検出信号
の前記電圧Ｅの値Ｅ＿０＿ａと前記時刻ｔ＿１における
前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの値Ｐ＿ａと前記時刻ｔ
＿１における前記温度信号が表す前記絶対温度Ｔの値Ｔ
＿ａとを記憶し、かつ前記時刻ｔ＿１よりも遅い時刻ｔ
＿２で第２制御信号が入力されることによって前記時刻
ｔ＿２における前記第２検出信号の前記電圧Ｅの値Ｅ＿
ｘと前記時刻ｔ＿２における前記圧力信号が表す前記圧
力Ｐの値Ｐ＿ｂと前記時刻ｔ＿２における前記温度信号
が表す前記絶対温度Ｔの値Ｔ＿ｂと前記各記憶値Ｅ＿０
＿ａ・Ｐ＿ａ及びＴ＿ａとを用いて（１）式右辺の演算
を行つてこの演算結果のｘを表す厚さ信号を出力する信
号処理部とを備え、前記厚さ信号によつて前記測定空所
に挿入された前記被測定物の厚さｘを測定する放射線厚
さ計であつて、ここに、 Ｕ＿ｍは前記被測定物の前記放射線に対する吸収係数。 Ｄ＿ｍは前記被測定物の密度、 Ｕ＿ａは前記気体の前記放射線に対する吸収係数、Ｍは
前記気体の分子量、 Ｒは普遍気体定数、 であることを特徴とする放射線厚さ計。 Ｘ＝−｛１／（Ｕ＿ｍ・Ｄ＿ｍ）｝・〔ｌｎ（Ｅ＿ｘ／
Ｅ＿０＿ａ）＋Ｕ＿ａ・｛（Ｐ＿ｂ／Ｔ＿ｂ）−（Ｐ＿
ａ／Ｔ＿ａ）｝・（Ｍ／Ｒ）・Ｇ〕…（１）２）放射線
源と、この放射線源に対して所定の間隔Ｇを有する測定
空所を介して対向配置されかつ前記放射線源が放射する
放射線を検出して検出した前記放射線の線量に応じた第
１検出信号を出力する放射線検出器と、前記第１検出信
号を電圧信号に変換しかつ増幅して前記線量に比例した
電圧Ｅを有する第２検出信号として出力するプリアンプ
と、前記測定空所における気体の圧力Ｐを検出して前記
圧力Ｐを表す圧力信号を出力する圧力計と、前記測定空
所における前記気体の絶対温度Ｔを検出して前記絶対温
度Ｔを表す温度信号を出力する温度計と、前記圧力信号
と前記温度信号とが入力され、かつ前記測定空所に被測
定物が挿入されていない状態における時刻ｔ＿１で第１
制御信号が入力されることによって前記時刻ｔ＿１にお
ける前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの値Ｐ＿ａと前記時
刻ｔ＿１における前記温度信号が表す前記絶対温度Ｔの
値Ｔ＿ａとを記憶し、かつ前記時刻ｔ＿１よりも遅い時
刻ｔ＿２で第２制御信号が入力されることによつて、前
記時刻ｔ＿２における前記圧力信号が表す前記圧力Ｐの
値Ｐ＿ｂと前記時刻ｔ＿２における前記温度信号が表す
前記絶対温度Ｔの値Ｔ＿ｂと前記各記憶値Ｐ＿ａ及びＴ
＿ａとを用いて（２）式右辺の演算を行つてこの演算結
果のΔＤ＿ａを表す密度変化信号を出力する第１信号処
理部と、前記第２検出信号と前記密度変化信号とが入力
され、かつ前記時刻ｔ＿１で前記第１制御信号が入力さ
れることによつて前記時刻をｔ＿１における前記第２検
出信号の前記電圧Ｅの値Ｅ＿０＿ａを記憶し、かつ前記
時刻ｔ＿２で前記第２制御信号が入力されることによつ
て前記時刻ｔ＿２における前記第２検出信号の前記電圧
Ｅの値Ｅ＿ｘと前記時刻ｔ＿２以降において前記密度変
化信号が表す前記ΔＤ＿ａと前記記憶値Ｅ＿０＿ａとを
用いて（３）式右辺の演算を行つてこの演算結果のｘを
表す厚さ信号を出力する第２信号処理部とを備え、前記
厚さ信号によつて前記測定空所に挿入された前記被測定
物の厚さｘを測定する放射線厚さ計であつて、ここに、 Ｍは前記気体の分子量、 Ｒは普遍気体定数、 Ｕ＿ｍは前記被測定物の前記放射線に対する吸収係数、 Ｄ＿ｍは前記被測定物の密度、 Ｕ＿ａは前記気体の前記放射線に対する吸収係数、であ
ることを特徴とする放射線厚さ計。 ΔＤ＿ａ＝｛（Ｐ＿ｂ／Ｔ＿ｂ）−（Ｐ＿ａ／Ｔ＿ａ）
｝・（Ｍ／Ｒ）…（２）ｘ＝−｛１／（Ｕ＿ｍ・Ｄ＿ｍ
）｝・（ｌｎ（Ｅ＿ｘ／Ｅ＿０＿ａ）＋Ｕ＿ａ・ΔＤ＿
ａ・Ｇ｝…（３） ３）放射線源と、この放射線源に対して所定の間層Ｇを
有する測定空所を介して対向配電されかつ前記放射線源
が放射する放射線を検出して検出した前記放射線の線量
に応じた第１検出信号を出力する放射線検出器と、前記
第１検出信号を電圧信号に変換しかつ増幅して前記線量
に比例した電圧Ｅを有する第２検出信号として出力する
プリアンプとを備えた放射線検出部における前記測定空
所に挿入される被測定物の前記放射線に対する吸収係数
Ｕ＿ｍと前記被測定物の密度Ｄ＿ｍと前記測定空所にお
ける気体の前記放射線に対する吸収係数Ｕ＿ａとを測定
してそれぞれの測定値を記憶する第１手順と、 前記測定空所に前記被測定物が挿入されていない状態に
ある場合の時刻ｔ＿１における前記第２検出信号の前記
電圧Ｅの値Ｅ＿０＿ａを記憶すると共に、前記時刻ｔ＿
１での前記測定空所における前記気体の圧力Ｐを測定し
て測定結果の圧力値Ｐ＿ａを記憶しかつ前記時刻ｔ＿１
での前記測定空所における前記気体の絶対温度Ｔを測定
して測定結果の温度値Ｔ＿ａを記憶する第３手順と、 前記時刻ｔ＿１よりも遅い時刻ｔ＿２における前記第２
検出信号の前記電圧Ｅの値Ｅ＿ｘを記憶すると共に、前
記時刻ｔ＿２での前記測定空所における前記気体の圧力
Ｐを測定して測定結果の圧力値Ｐ＿ｂを記憶しかつ前記
時刻ｔ＿２での前記測定空所における前記気体の絶対温
度Ｔを測定して測定結果の温度値Ｔ＿ｂを記憶する第３
手順と、 前記第１乃至第３手順で記憶した前記各記憶値Ｕ＿ｍ・
Ｄ＿ｍ・Ｕ＿ａ・Ｅ＿０＿ａ・Ｐ＿ａ・Ｔ＿ａ・Ｅ＿ｘ
・Ｐ＿ｂ及びＴ＿ｂを用いて（１）式右辺の演算を行う
第４手順とからなり、前記第４手順の演算結果としての
前記（１）式左辺のｘを前記被測定物の厚さの測定値と
する放射線を用いた厚さ測定方法であつて、ここに、Ｕ
＿ｍは前記被測定物の前記放射線に対する吸収係数、 Ｄ＿ｍは前記被測定物の密度、 Ｕ＿ａは前記気体の前記放射線に対する吸収係数、Ｍは
前記気体の分子量、 Ｒは普遍気体定数 であることを特徴とする放射線を用いた厚さ測定方法。 Ｘ＝−｛１／（Ｕ＿ｍ・Ｄ＿ｍ）｝・〔ｌｎ（Ｅ＿ｘ／
Ｅ＿０＿ａ）＋Ｕａ・｛（Ｐ＿ｂ／Ｔ＿ｂ）−（Ｐ＿ａ
／Ｔ＿ａ）｝・（Ｍ／Ｒ）・Ｇ〕……（１）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28404190A JPH04158209A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 放射線厚さ計及び放射線を用いた厚さ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28404190A JPH04158209A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 放射線厚さ計及び放射線を用いた厚さ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04158209A true JPH04158209A (ja) | 1992-06-01 |
Family
ID=17673531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28404190A Pending JPH04158209A (ja) | 1990-10-22 | 1990-10-22 | 放射線厚さ計及び放射線を用いた厚さ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04158209A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013108859A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Yokogawa Electric Corp | 放射線検査装置 |
| JP2014016312A (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-30 | Yokogawa Electric Corp | 放射線測定方法 |
| WO2018186155A1 (ja) * | 2017-04-05 | 2018-10-11 | 株式会社日立製作所 | 中性子強度モニタリングシステムおよび方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5335056B2 (ja) * | 1972-09-22 | 1978-09-25 | ||
| JPS6079207A (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 放射線板厚測定方法 |
-
1990
- 1990-10-22 JP JP28404190A patent/JPH04158209A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5335056B2 (ja) * | 1972-09-22 | 1978-09-25 | ||
| JPS6079207A (ja) * | 1983-10-06 | 1985-05-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 放射線板厚測定方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013108859A (ja) * | 2011-11-22 | 2013-06-06 | Yokogawa Electric Corp | 放射線検査装置 |
| JP2014016312A (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-30 | Yokogawa Electric Corp | 放射線測定方法 |
| WO2018186155A1 (ja) * | 2017-04-05 | 2018-10-11 | 株式会社日立製作所 | 中性子強度モニタリングシステムおよび方法 |
| JP2018179580A (ja) * | 2017-04-05 | 2018-11-15 | 株式会社日立製作所 | 中性子強度モニタリングシステムおよび方法 |
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