JPH0415847U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0415847U JPH0415847U JP5827890U JP5827890U JPH0415847U JP H0415847 U JPH0415847 U JP H0415847U JP 5827890 U JP5827890 U JP 5827890U JP 5827890 U JP5827890 U JP 5827890U JP H0415847 U JPH0415847 U JP H0415847U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- cylinder
- stretching
- radial direction
- large number
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の第１の具体例を示すテープ延
伸装置の上面図、第２図は第１図の−線に沿
う縦断面図、第３図はその同期駆動装置の略示正
面図である。第４図は本考案の第２の具体例を示
すテープ延伸装置の上面図である。第５図は、テ
ープ延伸装置の従来例の略示縦断面図である。 １……可撓性テープ、２……半導体ペレツト、
３Ａ，３Ｂ，４……筒体（リング）、８……吸着
保持部材、９……負圧吸引孔。
伸装置の上面図、第２図は第１図の−線に沿
う縦断面図、第３図はその同期駆動装置の略示正
面図である。第４図は本考案の第２の具体例を示
すテープ延伸装置の上面図である。第５図は、テ
ープ延伸装置の従来例の略示縦断面図である。 １……可撓性テープ、２……半導体ペレツト、
３Ａ，３Ｂ，４……筒体（リング）、８……吸着
保持部材、９……負圧吸引孔。
Claims (1)
- 多数個のペレツトを整列状態で貼着した可撓性
のテープを筒体端面に当接してテープ周縁部を筒
体側壁に沿つて相対移動させ筒体端面部のシート
を放射方向に延伸させペレツト間隔を離隔させる
テープ延伸装置において、上記筒体内に、上面に
多数の負圧吸引孔を開口しテープ下面を吸着して
テープの延伸と同期して筒体の半径方向に移動す
る吸着保持部材を配置したことを特徴とするテー
プ延伸装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5827890U JPH0415847U (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5827890U JPH0415847U (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0415847U true JPH0415847U (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=31583745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5827890U Pending JPH0415847U (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0415847U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001223186A (ja) * | 2000-02-09 | 2001-08-17 | Lintec Corp | 転写テープマウント装置および転写テープマウント方法 |
| JP2005294470A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ拡張装置 |
| JP2016081975A (ja) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | リンテック株式会社 | 離間装置および離間方法 |
| JP2016081974A (ja) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | リンテック株式会社 | 離間装置および離間方法 |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP5827890U patent/JPH0415847U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001223186A (ja) * | 2000-02-09 | 2001-08-17 | Lintec Corp | 転写テープマウント装置および転写テープマウント方法 |
| JP2005294470A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ拡張装置 |
| JP2016081975A (ja) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | リンテック株式会社 | 離間装置および離間方法 |
| JP2016081974A (ja) * | 2014-10-10 | 2016-05-16 | リンテック株式会社 | 離間装置および離間方法 |