JPH0367441U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0367441U JPH0367441U JP12930089U JP12930089U JPH0367441U JP H0367441 U JPH0367441 U JP H0367441U JP 12930089 U JP12930089 U JP 12930089U JP 12930089 U JP12930089 U JP 12930089U JP H0367441 U JPH0367441 U JP H0367441U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- storage grooves
- transfer device
- large number
- storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案によるウエハ移載装置の一実施
例を示す斜視図、第２図は第１図のカセツトの外
側を取り外した状態の動作を示す説明図、第３図
は従来のウエハ移載装置を示す斜視図、第４図は
第３図のカセツトの外側を取り外した状態での動
作を示す説明図である。 １……ウエハ、１ａ……オリフラ、２……送り
側のカセツト、２ａ，６ａ……収納溝、３……移
動体、６……受け側のカセツト、９……合せロー
ラ、１０……押圧体、１１……ウエハ保持溝。
例を示す斜視図、第２図は第１図のカセツトの外
側を取り外した状態の動作を示す説明図、第３図
は従来のウエハ移載装置を示す斜視図、第４図は
第３図のカセツトの外側を取り外した状態での動
作を示す説明図である。 １……ウエハ、１ａ……オリフラ、２……送り
側のカセツト、２ａ，６ａ……収納溝、３……移
動体、６……受け側のカセツト、９……合せロー
ラ、１０……押圧体、１１……ウエハ保持溝。
Claims (1)
- ウエハを収納する多数の収納溝が設けられた送
り側のカセツトから、前記収納溝と対向して多数
の収納溝が設けられた受け側のカセツトへウエハ
を移動させる移動体を備えたウエハ移載装置にお
いて、前記移動体のウエハとの当接部に、前記収
納溝と同一ピツチのウエハ保持溝を設けたことを
特徴とするウエハ移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12930089U JPH0367441U (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12930089U JPH0367441U (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367441U true JPH0367441U (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=31676939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12930089U Pending JPH0367441U (ja) | 1989-11-07 | 1989-11-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367441U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014222700A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 三菱電機株式会社 | ウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法 |
-
1989
- 1989-11-07 JP JP12930089U patent/JPH0367441U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014222700A (ja) * | 2013-05-13 | 2014-11-27 | 三菱電機株式会社 | ウエハの移し換え治具及びウエハの移し換え方法 |