JPH04161739A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、クリーンルームに関する。

［従来技術及びその欠点］ 従来のクリーンルームは、例えば、第３図に示す通りの
構成である。天壁１、床壁２及び側壁３によってクリー
ンルームが規定され、このクリーンルーム内に、所定方
向（第３図において左右方向）に間隔を置いてブースユ
ニット１０が配設されている。ブースユニット１０は、
第１の仕切部材４と第２の仕切部材６を有し、これら仕
切部材４及び６によってクリーンブースが規定され、グ
リーンブース内に例えばスピンドルモータの組立ライン
８が配置される。第１の仕切部材４は床壁８の表面まで
延び、第２の仕切部材６は第１の仕切部材４よりも短く
、この第２の仕切部材６の内側に作業者が立って組立作
業を遂行する。ブースユニット１０の天壁部１１内には
、複数個のブロア１２が配設され、ブロア１２とクリー
ンブースとの間には、空気を清浄化するフィルタ１４が
配設されている。天壁部１０の所定部位には吸込口が設
けられ、吸込口にはプレフィルタ１６が配設されている
。従って、ブロア１２が所定方向に回動することによっ
て、クリーンルーム内の空気がプレフィルタ１６を通っ
て天壁部１０内に吸込まれ、しかる後フィルタ１４を通
って上方から下方に向けてクリーンブース内に送給され
る。

しかしながら、従来のクリーンルームでは、次の通りの
解決すべき問題が存在する。即ち、クリーンブースに送
給される空気を吸込むための吸込口がユニット１０の天
壁部１１にのみ設けられている故に、クリーンルーム内
の空気の流れが第３図に矢印に示す通りとなり、短い仕
切部材６の下方を通つ゛て流れる空気は床壁２の表面の
上方を流れて隣接するユニット１０の吸込口に吸込まれ
る。

それ故に、床壁２に落ちた塵等の回収が困難であり、ク
リーンルーム内の汚染が時間と伴に進行する傾向がある
。

［発明の目的］ 本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主
目的は、クリーンルームの床壁の塵を効果的に回収し、
クリーンルーム内のクリーン度を長期に渡って保つこと
ができる、改良されたユニットを提供することである。

［発明の概要］ 本発明によれば、クリーンブースを規定するブースユニ
ットが所定の間隔を置いて復数列配設されているクリー
ンルームにおいて、 核ブースユニットの各々は、夫々、該クリーンルームの
床面まで実質上延びる第１の仕切部材と、該第１の仕切
部材と対向して配設され、該第１の仕切部材より短い第
２の仕切部材と、該第１の仕切部材及び該第２の仕切部
材により規定される該クリーンブースの上方に配設され
たブロアと、該ブロアの作用により該クリーンブースに
送給される空気を清浄するフィルタとを具備し、該クリ
ーンルームの片側の壁の内側には、空気を清浄するクリ
ーンユニットが配設され、該ブースユニットの各々の該
ｇＪ２の仕切部材は該片側に配置されると共にそれらの
各々の該第１の仕切部材は他側に配置されており、 該クリーンルームの該他側の壁に最も近い該ブースユニ
ットを除く他の該ブースユニットには、更に、該第１の
仕切部材の外側にこれと協働して該ブロアまで延びる空
気流路を規定するための外壁が設けられており、 該ブースユニットの該外壁には、該床面に近接して複数
個の吸込口が設けられており、相隣接する該ブースユニ
ットの該他側に位置する該ブースユニットの該第２の仕
切部材の下方を流れる空気は、主として該床面に沿って
流れ、該片側に位置する該ブースユニットの該外壁に形
成された複数個の吸込口を通して該空気流路に流入する
、 ことを特徴とするクリーンルームが提供される。

［発明の具体例］ 以下、添付図面を参照して、本発明に従うクリーンルー
ムの一具体例について説明する。

クリーンルームを概略的に示す第１図において、具体例
では、クリーンルーム２０は、床壁２１、天！！２３及
び側！！２５によって規定されている。

そして、このクリーンルーム２０内に、所定方向（第１
図において左右方向）に間隔を置いてブースユニット２
６及び２８が２列配設され、これらブースユニット２６
及び２８は第１図において紙面に垂直な方向に延びてい
る。具体例では、第２図に示す通り、ブースユニット２
６及び２８は、第１図において紙面に垂直な方向に接続
され、組立ライン３０に対応した所定長さのクリーンブ
ース２２及び２４を規定し、これらクリーンブース２２
及び２４内に組立ライン３０が配置される。

クリーンルーム２０の片側（第１図において左側）に設
置されるブースユニット２６とその他側（第１図におい
て右側）に設置されるブースユニット２８とは幾分構成
が相違しており、まず片側の側Ｉ！２５の内側に設置さ
れるブースユニット２６について説明する。

第１図と共に第２図を参照して、図示のブースユニット
２６は、組立ライン３０に沿って相互に対向して延びる
第１の仕切部材３２及び第２の仕切部材３４を備え、こ
れら仕切部材３２及び３４は組立ライン３０に沿ってク
リーンブース２２を規定する。第１の仕切部材３２は、
クリーンルーム２０の床壁２１の表面まで延び、また第
２の仕切部材３４は床ｇ！２１の上方約１２０ｃｍのと
ころまで延びており、上方からクリーンブース２２に流
下する空気は、主として短い方の第２の仕切部材３４の
下方を通ってクリーンブース２２外に流出する。上述の
仕切部材３２及び３４を有するユニットにおいては、第
１図に示す通り、組立ライン３０を第１の仕切部材３２
側に配置し、第２の仕切部材３４側に比較的大きい作業
空間を設け、この作業空間に作業者が位置する。或いは
組付用部品を載置するようにするのが望ましい、仕切部
材３２及び３４は、帯電防止用樹脂製の透明フィルム等
から形成することができる。

Ｉｌｌの仕切部材３２の外側には、例えばステンレス製
又は合成樹脂製の外壁３６が配設されている。この外壁
３６は、第１の仕切部材３４と協働して空気流路３８を
規定し、空気流路３８を流れる空気がグリーンブース２
２に送給される。具体例では、外壁３６の上下方向中間
部に矩形状の開口４０が形成され、この開口４０に透明
の樹脂製シート４２が配設され、樹脂製シート４２及び
第１の仕切部材３２を通して外部からクリーンブース２
２内を目視することができる。外Ｗ３６及び第１の仕切
部材３２の側端部の間には、端壁４４（第２図に片方の
み示す）が配設されている。

仕切部材３２及び３４の上端部は矩形状の天壁部４６に
固定され、この天壁部４６の４角部が支柱４８（第２図
に２本のみ示す）により支持されている。天壁部４６は
内部が中空になっており、天壁部４６の上部空間に複数
個のブロア４８が回転自在に配設されている。また、ブ
ロア４８の下方、即ち天壁部４６の下部空間には、上記
ブロア４８に対応してフィルタ５０が配設されている。

従って、ブロア４８の作用によってクリーンブース２２
に供給される空気は、フィルタ５０を通過することによ
って清浄される。尚、天壁部４６の下面には、作業者の
ための照明用ランプ５２が複数設けられている。

具体例のユニットでは、第１図に矢印で示す通りの空気
流が生じるように、更に、次の通り構成されている。外
’！３６の下端部、好ましくは床面３６に近接する部位
に、組立ライン３０に沿って所定の間隔を置いて複数個
の吸込口５２が形成されている。吸込口５２は上下方向
に細長く、その開口面積は比較的大きく設定されている
。また、外壁３６の上端部にも、組立ライン３０に沿っ
て所定の間隔を置いて複数個の吸込口５４が形成されて
いる。吸込口５４は上下方向に細長く、その開口面積は
比較的小さく設定され、これら吸込口５４を通しての空
気流入量が多くならないようになっている。具体例では
、更に、第１の仕切部材３２の下端部、好ましくは床面
３６に近接する部位に、組立ライン３０に沿って複数個
の吸込口５６が形成されている。吸込口５６は、上記吸
込口５４と略同様の形状であり、その開口面積は比較的
小さく設定されており、吸込口５６を通しての空気流入
量も多くならないようになっている。また、空気流路３
８と天壁部４６の内部空間とを仕切る仕切壁５８には、
プレフィルタ６０が設けられている。従って、空気流路
３８から天壁部４６の内部空間に流入する空気は、この
プレフィルタ６０によって清浄化される。

ブースユニット２６の外壁３６の第１図において右側に
配置される他方のブースユニット２８は、側壁３６゛に
吸込口５２及び５４が設けられていない点を除けば、上
述したブースユニット２６と実質上同様の構成であり、
従ってその詳細な説明は省略する。

クリーンルーム２０内の第１図において左端部、即ちク
リーンルーム２０の第１図において左側の壁２５の内側
には、空気を清浄化するクリーンユニット６２が配設さ
れている。このクリーンユニット６２の空気取入口（図
示せず）は床面３６に近接する部位に設けられ、その空
気排出口（図示せず）は上部に設けられている。また、
クリーンルーム２０の第１図において右の側壁２５には
、組立ライン３０に沿って複数個の開閉ダンパ部材６４
（第１図に１個のみ示す）が設けられている。

開閉ダンパ部材６４は第１図に実線で示す閉位置と第１
図に一点鎖線で示す部位Ｗ（クリーンルーム２０内の気
圧が所定値を越えると開状態になる）の間を開閉自在で
あり、開位置にあるときにクリーンルーム２０内の空気
が開閉ダンパ部材６４を通して外部に排出される。この
開閉ダンパ部材６４も床壁２１に近接して設けるのが好
ましい。

ユニット２６及び２８等をかく配設する、即ち第１図に
おいて左側に各ブースユニット２６及び２８のｇＪ２の
仕切部材３４を位置付け、第１図において右側にそれら
の第１の仕切部材３２を位置付けることにより、クリー
ンルーム２０内の空気流は次の通りとなる。即ち、クリ
ーンブース２４から第２仕切部材３４の下方を通って流
れる空気は、主として片方のブースユニット２６の吸込
口５２を通って空気流路３８に流入する。かかる空気流
は、吸込口５２が床壁２１に近接する部位に設けられて
いる故に、床！！２１に沿って流れ、床ｌＩｌ！２１（
特にブースユニット２８内の組立ライン３０とブースユ
ニット２６の外ｇ１３６との間の領域）に落ちている塵
等を搬送しながら空気流路３８に流入する。また、片方
のクリーンブース２４から第１の仕切部材３２の吸込口
５６を通って流れる空気流は、吸込口５６が床壁２１に
近接する部位に設けられている故に、同様に床壁２１に
沿って流れ、床壁２１（特にユニット２８内の組立ライ
ン３０と第１の仕切部材３２との間の領域）に落ちてい
る塵等を搬送しながら空気流路３８に流入する。尚、こ
の空気流路３６には、吸込口５４を通しても空気が流入
する。

更に、クリーンブース２２から第２の仕切部材３４の下
方を通って流れる空気は、主としてクリーンユニット６
２の空気取入口を通して内部に取入れられる。このとき
、クリーンユニット６２の空気取入口は床！！２１に近
接して配設されている故に、上記空気流も床！！２１に
沿って凍れ、床壁２１（特にブースユニット２２内の組
立ライン３０とクリーンユニット６２との間の領域）に
落ちている塵等を搬送しながらクリーンユニット６２に
流入する。それ自体周知のクリーンユニット６２は、流
入した空気を清浄化し、清浄化した空気を空気排出口か
らクリーンルーム２０内に排出する。また、クリーンブ
ース２２から第１の仕切部材３２の吸込口５６を通って
流れる空気流は、吸込口５６が床壁２１に近接する部位
に設けられている故に、同様に床壁２１に沿って流れ、
床壁２１（特にブースユニット２６内の組立ライン３０
と第１の仕切部材３２との間の領域）に落下している塵
等を搬送しながら吸込口５６を通して空気流路３８に流
入する。空気流路３８に流入した空気は、まずプレフィ
ルタ６０にて比較的大きい塵等が除去され、次いでフィ
ルタ５０にて塵等が十分に除去され、清浄化された空気
が上方からクリーンブース２２に送給される。また、ブ
ースユニット２８の空気流路３８゛に流入した空気は、
プレフィルタ６０にて比較的大きい塵等が除去され、次
いでフィルタ５０にて塵等が十分に除去され、清浄化さ
れた空気が上方からクリーンブース２４に送給される。

更にまた、他方のブースユニット２８とクリーンルーム
２０の第１図において右側の側壁２５との間を流れる空
気は、開閉ダンパ部材６４を通してクリーンルーム２０
外に排出される。このときも、開閉ダンパ部材６４が床
壁２１に近接して配設されている故に、この空気流も床
壁２１に沿って流れ、床壁２１（特にクリーンルーム２
０の第１図において右側の側壁２５とブースユニット２
８の外壁３６゛との間の領域）に落下している塵等を搬
送しながらクリーンルーム２０外に排出される。

以上、本発明に従うクリーンルームの一具体例について
説明したが、本発明はかがる具体例に限定されるもので
はなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃
至修正が可能である。

例えば、図示の具体例では、第１の仕切部材３２及び外
壁３６に吸込口５６及び５４を設けているが、これらの
吸込口５６及び５４を省略することもできる。

また、図示の具体例では、クリーンルーム２０の側壁２
５に開閉ダンパ部材６４を設けているが、かかる開閉ダ
ンパ部材６４を省略してもよい。

更に、図示の具体例では、クリーンルーム２０内に２列
のブースユニット２６及び２８を配設しているが、ブー
スユニットを３列以上配列するようにしてもよい。かか
る場合には、第１図において最も右側に位置するものに
ブースユニット２８を用い、その他のものには空気流路
３８を規定するための外Ｍｌ！３６を有するブースユニ
ット２８を用いることが重要である。

［発明の効果コ 本発明のクリーンルームでは、片方のブースユニットに
おける、空気流路を規定するための外壁の下端部に、複
数個の吸込口を設けたので、隣接する他方のブースユニ
ットの第２の仕切部材の下方を流れる空気は、上記吸込
口を通って空気流路に流入する。このとき、吸込口に流
下する空気は、クリーンルームの床壁表面に沿って流れ
るようになり、それ故に、床壁上の塵等はこの空気流に
乗って空気流路に搬送され、上記片方のブースユニット
のフィルタに収集され、かくして長期に渡ってクリーン
ルームのクリーン度を保つことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のクリーンルームの一具体例を示す簡
略断面図。 第２図は、第１図のクリーンルーム内に設置されるブー
スユニットの１つを示す斜視図。 １１１３図は、従来のクリーンルームの一部を示す簡略
断面図。 ２及び２１・・・床壁 ４及び３２・・・第１の仕切部材 ６及び３４・・・第２の仕切部材 ８及び３０・・・組立ライン １０．２６及び２８・・・ブースユニット１２及び４８
・・・ブロア １４及び５０・・・フィルタ ２０・・・クリーンルーム ２５・・・側壁 ３６及び３６°　・・・外壁 ３８及び３８°　・・・空気流路 ５２．５４及び５６・・・吸込口 ６２・・・クリーンユニット 特許出願人　　信濃待機株式会社 代表者　的体　桂太部 手続補正書（方式） 平成２年１１月１５日 クリーンルーム 平成２年１０月３０日（発送臼）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、クリーンブースを規定するブースユニットが所定の
   間隔を置いて複数列配設されているクリーンルームにお
   いて、 該ブースユニットの各々は、夫々、該クリーンルームの
   床面まで実質上延びる第１の仕切部材と、該第１の仕切
   部材と対向して配設され、該第１の仕切部材より短い第
   ２の仕切部材と、該第１の仕切部材及び第２の仕切部材
   により規定される該クリーンブースの上方に配設された
   ブロアと、該ブロアの作用により該クリーンブースに送
   給される空気を清浄するフィルタとを具備して、 該クリーンルームの片側の壁の内側には、空気を清浄す
   るクリーンユニットが配設され、該ブースユニットの各
   々の該第２の仕切部材は該片側に配置されると共にそれ
   らの各々の該第１の仕切部材は他側に配置されており、 該クリーンルームの該他側の壁に最も近い該ブースユニ
   ットを除く他の該ブースユニットには、更に、該第１の
   仕切部材の外側にこれと協働して該ブロアまで延びる空
   気流路を規定するための外壁が設けられており、 該ブースユニットの該外壁には、該床面に近接して複数
   個の吸込口が設けられており、 相隣接する該ブースユニットの該他側に位置する該ブー
   スユニットの該第２の仕切部材の下方を流れる空気は、
   主として該床面に沿って流れ、該片側に位置する該ブー
   スユニットの該外壁に形成された該複数個の吸込口を通
   して該空気流路に流入する、 ことを特徴とするクリーンルーム。