JPH04166718A

JPH04166718A - リニア型の光学式エンコーダ

Info

Publication number: JPH04166718A
Application number: JP29297690A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Ono; 裕小野; Yayoi Takamukai; 弥生高向; Norihiko Hatano; 畑野　法彦
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1990-10-30
Filing date: 1990-10-30
Publication date: 1992-06-12
Anticipated expiration: 2013-10-27
Also published as: JP2816015B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本発明はリニアサーボモータに用いるリニア型の光学式
エンコーダに関するしのて゛ある。

・〈従来の技術〉ＦＡ（ファクトリ−オートメーション）の分野では、産
業用ロボットや加工機械等の駆動源としてパルスモータ
が多く使われている。

例えば、半導体部品を搬送する装置では、搬送動作か直
進運動であるため、リニアパルスモータを用いると動力
伝達機構が簡単になって好都合である。

リニアパルスモータをリニアサーボモータにして制御す
ると、高い位置決め精度が得られる。′ｉな、リニアサ
ーボモータに転流制御や速度制御の機能を持たせると、
制御性をより良くすることができる。

〈発明か解決しようとする課題〉しかし、リニアサーボモータに、位置フィードバック制
御９速度フィードバック制卿、転流制御の機能を持たせ
るには、それぞれのａ能について制御系を作らなければ
ならないため、構成が複連になる。

リニアサーボモータの移動子の移動を検出するセンサと
しては、モータの固定子を自身の固定子としたリニア型
の磁気レゾルバがある。

しかし、このレゾルバではモータの固定子の歯をスケー
ルにしているため、歯のピッチが大きいと検出精度が悪
くなるという問題点があった。

他のセンサとしては、リニア型の光学式エンコーダかあ
る。

しかし、このエンコーダでは、スリットのピッチとモー
タの固定その歯のピッチが異なるため、エンコーダの検
出信号からはモータの転流制御のための信号は得られな
いという問題点があった。

本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
のであり、エンコーダの検出信号そのものからモータの
転流制御のための信号が直接得られ、この検出信号から
モータの位置制御、速度制御、転流制御のための信号が
同時に得られ、しからモータの固定子の歯のピッチにか
かわらず高い検出分解能が得られるリニア型の光学式エ
ンコーダを実現することを目的とする。

く課題を解決するための手段〉本発明は次のとおりの構成になったリニア型の光字式エ
ンコーダである。

（１）リニアパルスモータの移動子の移動を検出するリ
ニア型の光学式エンコーダにおいて、前記リニアパルス
モータの固定子に固定されていて、固定子の歯の配列方
向に沿ってスリットが配列され、スリットのピッチはリ
ニアパルスモータの固定子の歯のピッチと等しいスリッ
ト板と、リニアパルスモータの移動子に搭載されていて
、前記スリットを挟んで対向配置された発光素子および
受光素子と、この受光素子の光検出信号をもとに、前記移動子の移動
によるスリットの発光素子および受光素子に対する位相
ずれを検出し、検出した位相ずれそのものがリニアパル
スモータの固定子の歯と移動子の歯の位相ずれとなる信
号処理回路、を具備したことを特徴とするリニア型の光
学式エンコーダ。

（２）前記受光素子は、前記スリットの１ピッチ内に複数のフォトダイオードを
配列したフォトダイオードアレイであり、前記信号処理
回路は、前記複数のフォトダイオードの光検出信号を走査する走
査回路と、走査により得た光検出信号をもとに、リニアパルスモー
タの移動子が固定子の歯の１ピッチ分移動すると位相が
３６０°変調される位相変調信号を生成する波形整形回
路と、生成した位相変調信号と位相が変調されない基準信号の
位相差を計測し、リニアパルスモータの移動子と固定子
の歯の位相ずれを求める位相差カウンタ、を具備したことを特徴とする請求項（２）記載のエンコ
ーダ。

（３）前記位相差カウンタで求めた位相ずれを、転流角
検出信号としてリニアパルスモータの転流制御部へ送る
信号生成回路を具備したことを特徴とする請求項（２）
記載のエンコーダ６（４）前記位相差カウンタで求めた位相ずれを、前記走
査回路の走査周期ごとに積算してリニアパルスモータの
移動子の位置検出信号を生成する信号生成回路を具備し
たことを特徴とする請求項（２）記載のエンコーダ。

（５）前記位相差カウンタで求めた位相ずれの値の変動
周波数からリニアパルスモータの移動子の速度検出信号
を生成する信号生成回路を具備したことを特徴とする請
求項（２）記載のエンコーダ。

（６）リニアパルスモータの移動その移動を検出するリ
ニア型の光学式エンコーダにおいて、前記リニアパルス
モータの固定子に固定されていて、この固定子の歯の配
列方向に沿ってピッチｐ１でスリットが配列されたスリ
ット列とと・ｔチル２でスリットが配列されたスリット
列が形成されていて、ｐ、とρ２はリニアパルスモータ
の固定子の歯のとｙチＩ）Ｍに対して、１／ｐｍ　＝１／ｐ＋　−１／ｐ２ＰＩ＜Ｐ２なる関係を満たすスリット板と、リニアパルスモータの移動子に搭載され、前記２つのス
リット列のそれぞれに設けられていて、スリットを挟ん
で対向配置された発光素子および受光素子と、２つのスリット列に対向配置した各受光素子の光検出信
号からリニアパルスモータの移動子の歯と固定子の歯の
位相ずれを検出する信号処理回路、を具備したことを特
徴とするリニア型の光学式エンコーダ。

（７）前記各受光素子は、前記スリットの１ピッチ内に複数のフォトダイオードが
配列されたフォトダイオードアレイであり、前記信号処理回路は、前記２つのフォトダイオードアレイについて、各フォト
ダイオードの光検出信号を走査する十に回路と、走査により得た２つの光検出信号をらとに、リニアパル
スモータの移動子がそれぞれのスリット列にあるスリッ
トの１ピッチ分移動すると位相が３６０°変調される２
つの位相変調信号を生成する波形整形回路と、生成した２つの位相変調信号の位相差を計測し、計測し
た位相差そのものがリニアパルスモータの移動子の歯と
固定子の歯の位相ずれである位相差カウンタ、を具備したことを特徴とする請求項（６）記数のエンコ
ーダ。

（８）前記位相差カウンタで求めた位相ずれを、転流角
検出信号としてリニアパルスモータの転流制御部へ送る
信号生成回路を具備したことを特徴とする請求項（７）
記載のエンコーダ。

（９）前記波形整形回路で生成した位相変調信号の一方
の周期を前記走査回路の走書周期ごとに計測し、この計
測値と、位相か変調されない基準信号の周期の計測値と
の差を積算してリニアパルスモータの移動子の位置を検
出するカウンタ、を具備したことを特徴とする請求項（７）記載のエンコ
ーダ。

００前記位相差カウンタで求めた位相ずれの値の変動周
波数からリニアパルスモータの移動子の速度検出信号を
生成する信号生成回路を具備したことを特徴とする請求
項（７）記載のエンコーダ。

く作用〉このような本発明では、（エンコーダのスリットのピッチ）＝（モータの固定子の歯のピッチ）であることから、エンコーダで検出しｔ：位相変調信号
の変調位相から、モータの固定子の歯と移動子の歯の位
相ずれが直接検出される。

そして、検出した位相ずれからモータの転流角検出信号
を得る。また、位相ずれをＮＸしてモータの移動子の位
置検出信号を得る。さらに、位相ずれの値の変動周波数
からモータの移動子の移動速度を得る。

さらに、ピッチの異なる２段のスリ・ｌトを形成し、こ
れらのスリットのピッチをモータカ固定子の歯のピッチ
と特定の関係をもたせるごとにより、モータの固定子の
歯のピッチにかかわらず、高い検出分解能を保証する。

〈実施例〉以下、図面を用いて本発明を説明する。

第１図は本発明の一実施例を示した構成図であり、（ａ
ｌは正面図、（ｂ）は側面図である。

これらの図において、１はモータ、２はエンコーダであ
る。

モータ１は公知のリニアパルスモータである。

モータ１で、１１は固定子、１２は移動子であり、これ
らには一定ピッチで歯が形成されている。図では３相モ
ータを示しているか、これ以外の相数のモータであって
もよい。

エンコーダ２において、２１はスリット板であり、固定
子１１に固定されていて、固定子の歯１１１の配列方向
に治って一定ピッチでスリット２２が形成されている。

スリット２２の配列ピッチは固定子の歯１１１の配列ピ
ッチと等しくなっている。２３と２４はスリット２２を
挟んて′対向配置されなＬＥＤとフォトダイオードアレ
イ（以下、フォトダイオードアレイをＰＤＡとする）で
ある、これらはいずれら移動子１２側に固定されている
。２５はＬＥＤ２３を固定子１２に固定する固定部材、
２６はＬＥＤ２３の出射光を集束してＰＤＡ２４に当て
る集光レンズである。

２７はＰＤＡ２４の光検出信号をもとにリニアパルスモ
ータの移動子と固定子の歯の位相ずれを求める信号処理
回路、２８は求めた位相ずれがらリニパルスモータの制
御に用いる信号を生成する信号生成回路である。

信号処理回路２７と信号生成回路２８の構成について説
明する。

第２図はこれらの回路の具体的構成を示した図である。

第２図で第１図と同一のものは同一符号を付ける。

ＰＤＡ２４は、スリット２２の１ピッチＰに８個のフォ
トダイオードＰＤＩ〜ＰＤ８がアレイ状に配列されたも
のである。

信号処理回路２７において、ＳＷＩ〜ＳＷ８はスイッチ
であり、タロツク発生器２７１から与えられる８相クロ
ツクによって一定のタイミングで順序に閉じられてフォ
トダイオードＰＤＩ〜ＰＤ８の光検出信号を走査する。

２７２はＯＰアンプであり、各スイッチＳＷ１〜ＳＷ８
を介して与えられる信号を増幅する。ＯＰアンプ２７２
の出力は階段状波形であり、波形の高さは光を検出した
フォトダイオードの個数に相当する。スイッチの開閉は
、例えば、１回目のタイミングではスイッチＳＷ１．Ｓ
Ｗ２．ＳＷ３゜ＳＷ４が閉じ、２回目のタイミングでは
スイッチＳＷ２．ＳＷ３．ＳＷ４．ＳＷ５が閉じ、以下
同様にして４個ずつ閉じるスイッチをずらしていく。

２７３はＯＰアンプ２７２の出力の低周波成分を抽出す
るローパスフィルタ（以下、ＬＰＦとする＞、２７４は
ＬＰＦ２７３の出力を波形整形するコンパレータである
。

２７５はクロック発生器２７１の８相クロツクのいずれ
か１相のクロックを取り出すクロック取出回路、２７６
はクロック発生器の８田クロツクを１．′８に分周する
分周回路で！〉る。２７７はコンパレータ２７４から手
えられる位相変調信号とクロック取出回路２７５で取り
男した位相か変調されない基準信号の位相差を分周回路
２７６の分周クロックのタイミングで計測する位相差カ
ウンタである。分周クロックの周期は８個のスイッチＳ
ＷＩ〜ＳＷ８の走査周期に相当している。

信号生成回路２８において、２８１は位相差カウンタ２
７７で計測した位相差を走査周期ごとに積算してモータ
の移動子の位置を検出する積算回路、２８２は位相差カ
ウンタ２７７て゛計測した位相差の変動周波数をもとに
モータの移動子の移動速度を検出するＦ　／’　Ｖ変換
器である。

このように構成したエンコーダの動作を説明する。

クロック発生器２７１は、８相クロツクのタイミングで
スイッチＳＷＩ〜ＳＷ８を開閉してフォトダイオードＰ
ＤＩ〜ＰＤ８の光検出信号を走査する。フォトダイオー
ドＰＤＩ〜ＰＤ８はスリットを象を映すイメージセンサ
て゛あるため、ＰＤＡ２３とＬＥＤ２４　（以下、これ
らを光センサとする）がスリツトの１ピッチ分移動する
と走査により得られた階段状波形信号の位相は３６０°
変化する。従って、階段状波形信号にＬＰＦ２７３とコ
ンパレータ２７４を通過させて得た信号は、次式で与え
られる位相変調信号になる。

ｆ　（ｔ）　＝Ａｓ　ｉ　ｎ　（ωｔ＋２π（χ／Ｐ）
）・・・■ Ａ：信号の振幅１　を二時間 χニスリットの相対的移動量ｐニスリットのピッチ ω＝２πｆＳｆｓ：クロック発生器２７１の８相クロツクの周波数また、クロック取出し回路２７うで取出した基準信号の
位相はωｔになる。

スイッチＳＷＩ〜ＳＷ８が８回切替わるとＩＩＩの走査
周期が終了するため、分周回路２７６による分周クロッ
クの周期か走査周期になる。

位相差カウンタ２７７は、分周クロ・ツクのタイミグで
１走査周期ごとに、コシパレータ２７４から与えられる
位相変調信号とタロツク取出し回路２７５から与えられ
る基準信号の位相差を計測する。この位相差は０式より
２π（χ／ｐ）である。

ここで、（エンコーダのスリットのピッチ）＝（リニアパルスモータの固定子の歯のピッチ）である
なめ、位相差カウンタで計測した位相差がモータの固定
子の歯と移動子の歯の位相ずれそのものになる。この位
相ずれをもとにモータの転流制御か行なわれる。

すなわち、位相差カウンタにより転流制御に用いる信号
が直接検出される。

信号生成回路２８では、位相差カウンタ２７７で計測し
た位相差をそのまま転流角検出信号としてモータの転流
制御部（図示せず）へ送る。

２８１は積算回路であり、位相差カウンタ２７７で計測
した位相差の変化分を分周回路２７６の分周クロックの
タイミングで積算していく、この積算値かモータの移動
子の位置になる。

従って、ＭＸ回路２８１の槓ｘｔｉｉは位置検出信号と
してモータの位置フィードバック制御部（図示せず）へ
与える。

２８２はＦ／Ｖ変換器であり、コンパレータ２７４の出
力の変動周波数に比例した電圧信号を出力する。この信
号は速度検出信号として、モル夕の速度フィードバック
制御部（図示せず）へ与えられる。

このように信号生成回路２８により、モータの転流制御
９位置制御、速度制御に用いる信号か同時に検出される
。

第３図は本発明の他の実棒例の構成図であり、＜ａ）は
正面図、（ｂ）は側面図である。

第３図で、スリット板２１には、モータの固定子の歯の
配列方向に沿って、配列ピッチか異なる２段のスリット
２２．と２２２が形成されている。

スリット２２１と２２２の配列ピッチｐ１とｐ２はモー
タの固定子の歯１１１の配列ピッチρ門に対して次式の
間隔を有する。

１／ρＮ　””　１　ｙ”’　Ｐ　＋　　　１　／”’
ρ２ＰＩ＜９２　　　　　・・・■ ２段のスリットに合わせて、Ｌ　Ｅ　Ｄは２３．と２３
２が、ＰＤＡは２４１と２４２が、集光レンズは２６．
と２６２か設けられている。

２つはＰ　Ｄ　Ａ　２４　＋と２４２の光検出信号をも
とにリニアパルスモータの移動子と固定子の歯の位相ず
れを求める信号処理回路、３０は求めた位相ずれからリ
ニバルスモータの制御に用いる信号を生成する信号生成
回路である。

信号処理回路２９と信号生成回路３０の構成について説
明する。

第４図は信号処理回＃１２つと信号生成回路３０の具体
的構成例を示した図である６信号処理回路２９では、ＰＤＡ２４＋　と２４２のそれ
ぞれに８個ずつフォトタイオードＰＤＩ〜ＰＤ８が設け
られ、またスインチＳＷＩ〜ＳＷ８も８個ずつ設けられ
ている。

また、２個のＰ　Ｄ　Ａ　２４　＋　と２４２に対応し
て、ＯＰアンプは２７２１と２７２２か、ＬＰＦは２７
３、と２７３２が、コシパレータは２７４゜と２７４２
が、それぞれ１投けられている。

位相差カウンタ２７７は、分周回路２７６の分周クロッ
クのタイミングで、コンパし一タ２７４、からの位相変
調信号とコンパレータ２７４２からの位相変調信号の位
相差をとる。

２７８はカウンタであり、コンパレータ２７４、からの
位相変調信号の周期をカウントする。

信号生成回路３０において、３０１はコンパレータ２７
４．の出力の変動周波数に比例した電圧信号を出力する
Ｆ　、／　Ｖ変換器、３０２はカウンタ２７８のカウン
ト値をＭｘする積算回路である。

このように構成したエンコーダの動作を説明する。

配列ピッチがρ、とρ２になったスリット２２１と２２
２の通過光をもとにコンパレータ２７４１と２７４２か
ら得られた位相変調信号ｆｌ（ｔ、）とｆ２　（ｔ）は
次式で与えられる。

ｆｌ　　（ｊ）＝Ａｓｉｎ　ｉωｔモ２π（χ／’ｐｉ
）ｆ２　（し）＝Ａｓ　ｉ　ｎ　：ωｔ＋２ｚ　（χｚ
′Ｐ２）：位相差カウンタ２７７は、走査周期ごとに、
位相変調信号ｆ、（ｔ）とｆ２　（ｔ）の位相差２π（
χ／ｐ、）−２π（χ／ｐ２）＝２πχ（１／ｐ、−１，／ρ２）　　　　　・・・■
を計測する。ここで、■式より１／ＰＭ＝１／ＰＩ　　
　１．／Ｐ２であることから、位相差は、２πχ／ＰＭになる。この位相差は、モータの固定子の歯と移動子の
歯の位相ずれそのものである。

信号生成回路３０は、位相差カウンタ２７７で検出した
位相ずれを転流角検出信号として、モータの転流制御部
へ送る。また、Ｆ／Ｖ変換器３０１により、検出した位
相ずれの値の変動周波数に比例した電圧信号を速度検出
信号としてモータの速度フィードバック制御部へ送る。

カウンタ２７８と積算回路３０２は、位相変調信号ｆ＋
　　（ｔ）の周期を走査周期ごとに計測するごとによっ
てモータの移動子の位！を検出する。

例えば、位相変調されていない信号Ａｓ１ｎωｔの１周期の計測カウントに要するクロック
数が４０９６とすると、カウンタ２７８は次式で与えら
れる積算をして移動子の位置Ｓを検出する。

Ｓ＝Σ（Ｃｉ　−４０９６）んＣｉ：１番目の周期を計測するのに要したクロック数検出した位置は、信号生成回路３０を介して位置検出信
号としてモータの位置フィードバック制御部へ送られる
。

ここで、例えば、モータの固定子の歯のピッチＰｍ＝５
ｍｍである場合は、スリットのピッチはＰ＋　＝１ｍｍ
、Ｐ２　＝１．２５ｍｍにすれば■式が満たされる。こ
のことから、モータの歯のピッチが大きくても、エンコ
ーダは高い検出分解能が得られる。

この例で、スリットの１ピッチ内をＰＤＡにより１／２
０００に内挿する場合は、第１図の実施例では位置検出
の分解能は、５ｍｍ／’２０００＝２．５μｍである。

これに対して、第３図の実施例では、ピッチが１ｍｍの
スリットで検出した位置検出の分解能は、１ｍｍ／２０
００＝０．５μｍとなる。

く効果〉本発明によれば、次の効果が得られる。

（１）第１図の実施例では、（エンコーダのスリットのピッチ）＝（モータの固定子の歯のピッチ）であるため、エンコーダで検出したスリットの位相ずれ
はモータの固定子の歯と移動子の歯の位相ずれそのもの
になる。これによって、エンコーダの検出信号から直接
に転流角検出信号を得ることができ、エンコーダをモー
タの転流制御に用いることができる。

さらに、位相ずれの変化を積算するとモータの移動子の
位置が検出され、位相ずれの値の変動周期からモータの
移動その移動連間か検出される。

これらのことから、エンコーダの検出信号により、モー
タの転流制御１位！制御、速度制御に用いる信号を同時
に得ることができる。

（２）第３図の実施例では、スリットを２段に形成し、
これらのスリットのピッチをモータの歯のピッチと特定
の関係をもたせているため、エンコーダのスリットのピ
ッチはモータの歯のピッチとかかわりなく小さくするこ
とができる。これによって、モータの歯のピッチが大き
くてもエンコーダは高い検出分解能を得ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実維例の構成図、第２図は第１図の
要部構成図、第３図は本発明の他の実施例を示した構成
図、第４図は第３図の要部構成図である。１・・・モータ、１１・・・固定子、１２・・・移動子
、１１１・・・歯、２・・・エンコーダ、２１・・・ス
リット板、２２．２２＋　、２２２・・・スリット、２
３．２３＋　。２３２・・・ＬＥＤ、２４．２４＋　、２４２・・・Ｐ
ＤＡ、２５・・・固定部材、２７．２９・・・信号処理
回路、２８．３０・・・信号生成回路、２７１・・・ク
ロック発生器、２７２．２７２＋　、２７２２・・・Ｏ
Ｐアン１．２７３．２７３＋　、２７３２・・・ＬＰＦ
、２７４゜２７４＋　、２７４２・・・コンパレータ、
２７５・・・クロック取出し回路、２７６・・・分周回
路、２７７・・・位相差カウンタ、２７８・・・カウン
タ、２８１゜３０２・・・積算回路、２８２，３０１・
・・Ｆ／Ｖ変換代理人　弁理士　手沢信助　７゛。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）リニアパルスモータの移動子の移動を検出するリ
ニア型の光学式エンコーダにおいて、前記リニアパルスモータの固定子に固定されていて、固
定子の歯の配列方向に沿つてスリットが配列され、スリ
ットのピッチはリニアパルスモータの固定子の歯のピッ
チと等しいスリット板と、リニアパルスモータの移動子
に搭載されていて、前記スリットを挟んで対向配置され
た発光素子および受光素子と、この受光素子の光検出信号をもとに、前記移動子の移動
によるスリットの発光素子および受光素子に対する位相
ずれを検出し、検出した位相ずれそのものがリニアパル
スモータの固定子の歯と移動子の歯の位相ずれとなる信
号処理回路、を具備したことを特徴とするリニア型の光学式エンコー
ダ。
（２）前記受光素子は、前記スリットの１ピッチ内に複数のフォトダイオードを
配列したフォトダイオードアレイであり、前記信号処理
回路は、前記複数のフォトダイオードの光検出信号を走査する走
査回路と、走査により得た光検出信号をもとに、リニアパルスモー
タの移動子が固定子の歯の１ピッチ分移動すると位相が
３６０°変調される位相変調信号を生成する波形整形回
路と、生成した位相変調信号と位相が変調されない基準信号の
位相差を計測し、リニアパルスモータの移動子と固定子
の歯の位相ずれを求める位相差カウンタ、を具備したことを特徴とする請求項（２）記載のエンコ
ーダ。
（３）前記位相差カウンタで求めた位相ずれを、転流角
検出信号としてリニアパルスモータの転流制御部へ送る
信号生成回路を具備したことを特徴とする請求項（２）
記載のエンコーダ。
（４）前記位相差カウンタで求めた位相ずれを、前記走
査回路の走査周期ごとに積算してリニアパルスモータの
移動子の位置検出信号を生成する信号生成回路を具備し
たことを特徴とする請求項（２）記載のエンコーダ。
（５）前記位相差カウンタで求めた位相ずれの値の変動
周波数からリニアパルスモータの移動子の速度検出信号
を生成する信号生成回路を具備したことを特徴とする請
求項（２）記載のエンコーダ。
（６）リニアパルスモータの移動子の移動を検出するリ
ニア型の光学式エンコーダにおいて、前記リニアパルスモータの固定子に固定されていて、こ
の固定子の歯の配列方向に沿ってピッチｐ＿１でスリッ
トが配列されたスリット列とピッチｐ＿２でスリットが
配列されたスリット列が形成されていて、ｐ＿１とｐ＿
２はリニアパルスモータの固定子の歯のピッチｐ＿Ｍに
対して、１／ｐ＿Ｍ＝１／ｐ＿１−１／ｐ＿２ｐ＿１＜ｐ＿２なる関係を満たすスリット板と、リニアパルスモータの移動子に搭載され、前記２つのス
リット列のそれぞれに設けられていて、スリットを挟ん
で対向配置された発光素子および受光素子と、２つのスリット列に対向配置した各受光素子の光検出信
号からリニアパルスモータの移動子の歯と固定子の歯の
位相ずれを検出する信号処理回路、を具備したことを特
徴とするリニア型の光学式エンコーダ。
（７）前記各受光素子は、前記スリットの１ピッチ内に複数のフォトダイオードが
配列されたフォトダイオードアレイであり、前記信号処理回路は、前記２つのフォトダイオードアレイについて、各フォト
ダイオードの光検出信号を走査する走査回路と、走査により得た２つの光検出信号をもとに、リニアパル
スモータの移動子がそれぞれのスリット列にあるスリッ
トの１ピッチ分移動すると位相が３６０°変調される２
つの位相変調信号を生成する波形整形回路と、生成した２つの位相変調信号の位相差を計測し、計測し
た位相差そのものがリニアパルスモータの移動子の歯と
固定子の歯の位相ずれである位相差カウンタ、を具備したことを特徴とする請求項（６）記載のエンコ
ーダ。
（８）前記位相差カウンタで求めた位相ずれを、転流角
検出信号としてリニアパルスモータの転流制御部へ送る
信号生成回路を具備したことを特徴とする請求項（７）
記載のエンコーダ。
（９）前記波形整形回路で生成した位相変調信号の一方
の周期を前記走査回路の走査周期ごとに計測し、この計
測値と、位相が変調されない基準信号の周期の計測値と
の差を積算してリニアパルスモータの移動子の位置を検
出するカウンタ、を具備したことを特徴とする請求項（７）記載のエンコ
ーダ。
（１０）前記位相差カウンタで求めた位相ずれの値の変
動周波数からリニアパルスモータの移動子の速度検出信
号を生成する信号生成回路を具備したことを特徴とする
請求項（７）記載のエンコーダ。