JPH04167406A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気光学効果を利用して情報信号の記録・再
生を行う光磁気記録媒体に関するものてあり、Ｃｏ−Ｐ
ｔ人工格子磁性膜を記録層とする光磁気記録媒体の改良
に関するものである。

〔発明の概要〕

本発明は、Ｃｏ層とｐｔ層とか交互に積層された人工格
子磁性膜を、透明誘電体層を介して複数層積層すること
により、カー回転角を大きなものとなし、しかも良好な
角形比を確保しようとするものである。

〔従来の技術〕

磁気光学効果を利用して情報信号の記録・再生を行う光
磁気記録媒体の記録材料としては、Ｇｄ。

Ｔｂ、Ｄｙ等の希土類元素とＦｅ、Ｃｏ等の遷移金属元
素とを組み合わせた非晶質合金か代表的なものである。

しかしなから、これら非晶質合金を構成している希土類
元素やＦｅは、非常に酸化され易く、基板等を透過して
侵入する酸素や水分等により容易に酸化物を形成する性
質かある。このような酸化か進行して腐食や孔食に至る
と、信号の脱落を誘起し、また特に希土類元素か選択酸
化を受けると、保磁力や残留磁気カー回転角か減少して
Ｃ／Ｎか劣化するという問題か生ずる。

そこで、希土類元素の代わりにＰｔ、Ｐｄ等の貴金属を
含む磁性材料の光磁気記録媒体への応用か検討されてお
り、例えば本願出願人は、特開平２−５６７５２号公報
において、Ｃｏ層とＰｔ層とを交互に積層した人工格子
磁性膜を記録層とする光磁気記録媒体を提案している。

前述のＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜は、光磁気記録材料と
して良好な垂直磁化膜であり、１Ｃｏ人程度の膜厚とす
ることにより、カー回転角か大きく反射率も適度に得ら
れる。また、この程度の膜厚ては、角形の良好なカー・
ループ（または磁化曲線）か容易に得られる。

〔発明か解決しようとする課題〕

ところで、光磁気記録媒体の特性の一層の向上を図るた
め、いわゆる４層構造等によりカー回転角のエンハンス
メントか行われることかある。

このようなエンハンスメントを行おうとした場合、カー
回転角の増大を目的として、多層構造中のＣｏ−Ｐｔ人
工格子磁性膜に対して、１Ｃｏ人よりも厚膜とすること
か要求されることかある。

しかしなから、Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜の膜厚を増加
させると、カー・ループの角形の悪化を招くことになる
。

そこで本発明は、かかる実情に鑑みて提案されたもので
、Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜の膜厚を増加させてもカー
・ループの角形を悪化することのない光磁気記録媒体を
提供することを目的とする。

〔課題を解決するだめの手段〕

上述の目的を達成するために、本発明の光磁気記録媒体
は、Ｃｏ層とＰｔ層とか交互に積層された人工格子磁性
膜を記録層とし、該人工格子磁性膜か透明誘電体層を介
して複数層積層されたことを特徴とするものである。

〔作用〕

Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜を連続した１枚の厚膜とする
のではなく、中間に透明誘電体層を介在させて複数層に
分割された構造とすることにより、これらＣｏ−Ｐｔ人
工格子磁性膜全体の厚さの総和を大きくしなから、磁化
曲線の角形か良好な状態に保たれる。

〔実施例〕

以下、本発明を適用した実施例について、図面を参照し
なから詳細に説明する。

本実施例の光磁気記録媒体は、第１［ｉＪに示すように
、透明基板（１）上にエンハンスメント用の誘電体層（
２）、　（３）で挟まれた記録層（４）を設け、さらに
金属からなる反射層（５）を積層形成してなるものであ
る。

上記記録層（４）は、複数のＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜
（６）と透明誘電体層（７）とか交互に積層され、全体
の膜厚は大きなものとなっている。

ここで、Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜（６）の層数は２層
以上てあれは任意てあり、所望の特性に応して選定すれ
ばよい。

上記Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜（６）は、Ｃｏ層とＰｔ
層とを原子レヘルて積層したもので、いわゆる人工格子
膜である。このとき、Ｃｏ層とｐｔ層の界面は、異種金
属原子か互いに入り乱れすにいわゆる超格子構造とされ
ていることか理想的であるか、界面にやや乱れを生しな
からも全体としては一定の周期を保って組成か変動する
。いわゆる組成変調構造を有するものであってもよい。

また、このＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜（６）には、熱安
定性を高めたり、キュリー点を下げる等の目的で、各種
元素を添加してもよい。添加元素としては、Ｂ、Ｃ，Ａ
１．Ｓｉ、Ｐ、Ｔ４．Ｖ、Ｆｅ。

Ｎｉ、　　Ｃｕ、　Ｇａ、　Ｇｅ、　Ｚｒ、　Ｎｂ、　
Ｍｏ。

Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｔａ等か挙げら
れる。

上述のＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜（６）において、人工
格子を構成する各Ｃｏ層の膜厚は２〜８人。

ｐｔ層の膜厚は３〜４０人の範囲に設定される。

これは、前記範囲を外れると、磁気カー回転角や保磁力
か劣化する等、磁気光学特性の低下か見られるからであ
る。また、個々の人工格子磁性膜（６）の膜厚は５０〜
８Ｃｏ人、好ましくは５０〜４Ｃｏ人に設定される。こ
れは、各Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜（６）の膜厚か大き
すぎると、角形比か低下するからである。

一方、前記人工格子磁性膜（６）の間に介在される透明
誘電体層（７）は、上記記録層（４）を構成するＣｏ−
Ｐｔ人工格子磁性膜を分断する役割を果たすもので、通
常は１０〜１Ｃｏ０人、好ましくは５０〜５Ｃｏ人程度
の範囲に設定される。前記透明誘電体層（７）の膜厚か
あまり小さすぎると、Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜の分断
か不十分なものとなって角形比の低下を招き、逆に透明
誘電体層（７）の膜厚かあまり大きすぎると、記録層（
４）中に占める人工格子磁性膜（６）の割合か減って効
率的な記録再生か難しくなる。

上記透明誘電体層（７）は、光学的に透明であることか
必要であり、特に再生光を透過しないと多層構造にした
意味かなくなる。

したかって、上記透明誘電体層（７）には、Ｓ】０２．
５ｉｌＮ４．ＴｌＯ２，ＭｇＯ等の光学薄膜材料の他、
Ｃｏ−０，Ｎｉ　　Ｏ，Ｆｅ−０等の若干の光吸収を示
す材料も用いることかできる。また、この透明誘電体層
（７）は、非磁性体に限られるものてはなく、コバルト
・フェライト、バリウム・フェライト　イツトリウム・
鉄・ガーネット等の磁気光学効果を示す材料を用いるこ
ともてきる。

次に、本発明を具体的な実験結果に基ついて説明する。

実験例１ 本実験例では、ガラス基板上にＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性
膜、Ｃｏ−０透明誘電体層、Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜
を順次堆積し、その特性を調へた。

したかって、分割されたＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜は２
層である。また、Ｃｏ−〇透明誘電体層は、波長０．８
μｍの光に対して吸収係数がｌＸｌ０”ａｏ　−’以下
の材料であり、光学的に十分透明である。

なお、本実験例で作成した試料においては、回転角エン
ハンスメント用の誘電体層や反射層は設けていない。

先ず、ガラス基板上に膜厚９０人のＣｏ−Ｐｔ人工格子
磁性膜を成膜した。人工格子磁性膜の成膜に際しては、
Ｃｏについては直流スパッタリング（投入パワー　０．
４０Ａ、３ＣｏＶ）、Ｐｉについては高周波スパッタリ
ング（投入パワー　４ＣｏＷ）とした。

次いて、このＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜上に、Ｃ０−０
透明誘電体層をＣｏ金属ターゲットを用いた反応スパッ
タリングにより形成した。この反応スパッタリングの条
件は下記の通りである。

反応スパッタリング条件 Ａｒガス圧　　　　　　　・−４ｍＴｏｒｒ０２分圧　
　　　　　　　・−０，］　ｌ　４　ｍＴｏｒｒ投入電
力　　　　　　　　・・・３ＣｏＷ　（ＲＦ）また、成
膜したＣ０−０透明誘電体層の膜厚は、２２０λである
。

さらに、このＣ０−０透明誘電体層上に、再ＱＣｏ−Ｐ
ｔ人工格子磁性膜を成膜した。このＣ。

−Ｐｔ人工格子磁性膜の成膜条件は最初に成膜した人工
格子磁性膜のそれと同様であり、膜厚もやはり９０人で
ある。

このようにして作成した光磁気記録媒体について、ガラ
ス基板側と表面側の各Ｃｏ−Ｐｆ人工格子磁性膜のヒス
テリシスをガラス基板側及び膜表面側からカー・ループ
を測定することによって調へた。各カー・ループを第２
図（Ａ）及び第２図（Ｂ）にそれぞれ示す。

この試料においては、ガラス基板側に配されるＣｏ−Ｐ
ｔ人工格子磁性膜の保磁力Ｈ，Ｃ＝２３０エルステッド
膜表面側に配されるＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜の保磁力
Ｈｃ二４５０エルステッドとなっている。各カー・ルー
プは、両方のＣｏ−ｐｔ人工格子磁性膜の寄与を含んで
いるが、観察する側に近い方の膜の寄与が大部分である
ので、それぞれの人工格子磁性膜のヒステリシスループ
に分けて角形を確認することかできる。

このような観点から見たとき、本試料のＣｏ−ｐｔ人工
格子磁性膜は、いずれも角形の悪化を生していない。

実験例２ 本実験で作成した試料は、先の実験例１て作成した試料
と同様の構成を有するが、カラス基１反側のＣｏ−Ｐｔ
人工格子磁性膜と膜表面側のＣｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜
の保磁力か揃えられている。

また、Ｃｏ−０透明誘電体層の反応スパッタリング条件
は下記の通りてあり、膜厚は２１０人である。

反応スパッタリング条件 Ａｒガス圧　　　　　　　−４ｍＴｏｒｒ０２分圧　　
　　　　　　−・−０，１］　ＯｍＴｏｒｒ投入電力　
　　　　　　　・・・ａ　ｏ　ｏｗ　（ＲＦ）ガラス基
板側及び膜表面側から測定したカー・ループを第３図（
Ａ）及び第３図（Ｂ）にそれぞれ示す。

ガラス基板側から測定したカー・ループでも、膜表面側
から測定したカー・ループでも、保磁力Ｈｃは２５０エ
ルステツドとなっている。また、いずれのカー・ループ
も角形は良好である。

〔発明の効果〕

以上の説明からも明らかなように、本発明においては、
Ｃｏ層とｐｔ層とか交互に積層された人工格子磁性膜を
、透明誘電体層を介して復数層積層して記録層としてい
るので、良好な角形比を維持したまま記録層全体の膜厚
を大きなものとすることかでき、例えはエンハンスメン
ト等によってカー回転角を大きなものとすることか可能
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用した光磁気記録媒体の構成例を示
す要部概略断面図である。 第２図（Ａ）及び第２図（Ｂ）は実際に作成した試料の
カー・ループを示す特性図であり、第２図（Ａ）はガラ
ス基板側から測定したカー・ループ、第２図（Ｂ）は膜
表面側から測定したカー・ループである。 第３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）は実際に作成した他の試
料のカー・ループを示す特性図であり、第３図（Ａ）は
ガラス基板側から測定したカー・ループ、第３図（Ｂ）
は膜表面側から測定したカー・ループである。 １・・・基板 ２．３・・・誘電体層 ４・・・記録層 ５・・・反射層 ６・・・Ｃｏ−Ｐｔ人工格子磁性膜 ７・・・透明誘電体層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　Ｃｏ層とＰｔ層とが交互に積層された人工格子磁性膜
   を記録層とし、該人工格子磁性膜が透明誘電体層を介し
   て複数層積層されたことを特徴とする光磁気記録媒体。