JPH0660452A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH0660452A JPH0660452A JP21507992A JP21507992A JPH0660452A JP H0660452 A JPH0660452 A JP H0660452A JP 21507992 A JP21507992 A JP 21507992A JP 21507992 A JP21507992 A JP 21507992A JP H0660452 A JPH0660452 A JP H0660452A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 軽希土類を主に含有する希土類−遷移金属非
晶質合金よりなる第１の層と重希土類を主に含有する希
土類−遷移金属非晶質合金よりなる第２の層とが交互に
積層されてなる磁性体層を有する光磁気記録媒体。 【効果】 本発明の光磁気記録媒体は、その磁性体層が
短波長領域で大きなカー回転角を示し、かつ大きな垂直
異方性を示すため、短波長レーザーで良好な記録特性を
示す。本発明の光磁気記録媒体は、短波長レーザー光を
用いた高密度記録に適したものである。
晶質合金よりなる第１の層と重希土類を主に含有する希
土類−遷移金属非晶質合金よりなる第２の層とが交互に
積層されてなる磁性体層を有する光磁気記録媒体。 【効果】 本発明の光磁気記録媒体は、その磁性体層が
短波長領域で大きなカー回転角を示し、かつ大きな垂直
異方性を示すため、短波長レーザーで良好な記録特性を
示す。本発明の光磁気記録媒体は、短波長レーザー光を
用いた高密度記録に適したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザー光を用いて情報
の記録、再生、消去を行なう光磁気記録媒体に関する。
の記録、再生、消去を行なう光磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、レーザー光による熱と外部磁
界により磁性薄膜の膜面に対し垂直方向に磁化した磁区
を形成することにより情報の記録を行ない、この記録磁
区におけるよるカー効果、もしくはファラデー効果を利
用して情報の再生を行なう光磁気記録方式は、記録、消
去の繰り返しが可能で、かつ信頼性の高い高密度情報記
録方式として実用化されている。この光磁気記録媒体の
記録に用いる磁性体膜としては、多くの種類の磁性体合
金が提案されているが、とりわけＦｅ、Ｃｏ等の遷移金
属とＴｂ、Ｄｙ、Ｇｄ等の重希土類金属を主体とした非
晶質合金薄膜は、キュリー温度が半導体レーザーによる
記録に適当な範囲であること、非晶質であるため再生時
に粒界ノイズを生じないこと、スパッタリング等の方法
で容易に垂直磁化膜を形成できること、比較的大きな磁
気−光カー効果を得られること等の理由で最も多く用い
られている。
界により磁性薄膜の膜面に対し垂直方向に磁化した磁区
を形成することにより情報の記録を行ない、この記録磁
区におけるよるカー効果、もしくはファラデー効果を利
用して情報の再生を行なう光磁気記録方式は、記録、消
去の繰り返しが可能で、かつ信頼性の高い高密度情報記
録方式として実用化されている。この光磁気記録媒体の
記録に用いる磁性体膜としては、多くの種類の磁性体合
金が提案されているが、とりわけＦｅ、Ｃｏ等の遷移金
属とＴｂ、Ｄｙ、Ｇｄ等の重希土類金属を主体とした非
晶質合金薄膜は、キュリー温度が半導体レーザーによる
記録に適当な範囲であること、非晶質であるため再生時
に粒界ノイズを生じないこと、スパッタリング等の方法
で容易に垂直磁化膜を形成できること、比較的大きな磁
気−光カー効果を得られること等の理由で最も多く用い
られている。
【０００３】現在、光磁気ディスクにおいてはさらに高
記録密度化が検討されている。その一つの方法として、
記録、再生に用いる半導体レーザーの短波長化が検討さ
れている。即ち、記録用の光源の波長が短くなると、対
物レンズにより、より小さなビームスポット径に集光す
ることができ、単位面積当たり、より多くの情報を記録
することが可能となる。このためには、短波長の半導体
レーザーの開発が必要であるが、同時に短波長半導体レ
ーザーに対応した光磁気記録膜の開発も必要となる。一
般に用いられている重希土類−遷移金属非晶質合金薄膜
は、近赤外領域の波長付近のレーザー光に対して、十分
なカー効果が得られるが、波長が短くなるに従ってカー
効果が減少し、十分な再生信号が得られないという問題
がある。一方、軽希土類−遷移金属非晶質合金は、上記
のように、重希土類−遷移金属非晶質合金薄膜ではカー
効果が減少する波長領域であっても十分大きなカー効果
が得られることが知られているが、磁化容易軸が膜面内
となり、垂直磁気異方性が得られないので、このままで
は光磁気記録には適さない。
記録密度化が検討されている。その一つの方法として、
記録、再生に用いる半導体レーザーの短波長化が検討さ
れている。即ち、記録用の光源の波長が短くなると、対
物レンズにより、より小さなビームスポット径に集光す
ることができ、単位面積当たり、より多くの情報を記録
することが可能となる。このためには、短波長の半導体
レーザーの開発が必要であるが、同時に短波長半導体レ
ーザーに対応した光磁気記録膜の開発も必要となる。一
般に用いられている重希土類−遷移金属非晶質合金薄膜
は、近赤外領域の波長付近のレーザー光に対して、十分
なカー効果が得られるが、波長が短くなるに従ってカー
効果が減少し、十分な再生信号が得られないという問題
がある。一方、軽希土類−遷移金属非晶質合金は、上記
のように、重希土類−遷移金属非晶質合金薄膜ではカー
効果が減少する波長領域であっても十分大きなカー効果
が得られることが知られているが、磁化容易軸が膜面内
となり、垂直磁気異方性が得られないので、このままで
は光磁気記録には適さない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この軽希土類−遷移金
属非晶質合金薄膜を垂直磁化膜とする方法の一つとし
て、Ｄｙ、Ｔｂ等の重希土類を添加する方法が知られて
いる。しかし、これを垂直磁化膜とするためには、軽希
土類の含有量以上の重希土類が必要となり、結果として
短波長領域でのカー効果は減少する。
属非晶質合金薄膜を垂直磁化膜とする方法の一つとし
て、Ｄｙ、Ｔｂ等の重希土類を添加する方法が知られて
いる。しかし、これを垂直磁化膜とするためには、軽希
土類の含有量以上の重希土類が必要となり、結果として
短波長領域でのカー効果は減少する。
【０００５】上記の軽希土類−遷移金属非晶質合金薄膜
の有する短波長域での高いカー効果を維持しつつ、垂直
磁化膜を得る他の方法としては、例えば、特開平３−１
０８１４４公報に記載のように、垂直異方性を有する重
希土類−遷移金属非晶質合金薄膜と積層し、磁気的交換
相互作用を利用することにより、軽希土類−遷移金属非
晶質合金薄膜を垂直磁化膜とする方法が提案されてい
る。しかし、この方法の場合、重希土類−遷移金属層の
厚さが十分厚くなければ、軽希土類−遷移金属層の垂直
磁気異方性は十分でなく、垂直方向の保磁力が小さいた
め、軽希土類−遷移金属層に短波長レーザーで高密度記
録を行なった際、良好な形状の微小磁区が得られず、そ
の結果、高いＣＮ比を得ることはできない。逆に大きな
垂直異方性を得ようとすれば、軽希土類−遷移金属層を
薄く、重希土類−遷移金属層を厚くしなければならず、
この結果、短波長になるに従って、カー回転角は減少す
る。
の有する短波長域での高いカー効果を維持しつつ、垂直
磁化膜を得る他の方法としては、例えば、特開平３−１
０８１４４公報に記載のように、垂直異方性を有する重
希土類−遷移金属非晶質合金薄膜と積層し、磁気的交換
相互作用を利用することにより、軽希土類−遷移金属非
晶質合金薄膜を垂直磁化膜とする方法が提案されてい
る。しかし、この方法の場合、重希土類−遷移金属層の
厚さが十分厚くなければ、軽希土類−遷移金属層の垂直
磁気異方性は十分でなく、垂直方向の保磁力が小さいた
め、軽希土類−遷移金属層に短波長レーザーで高密度記
録を行なった際、良好な形状の微小磁区が得られず、そ
の結果、高いＣＮ比を得ることはできない。逆に大きな
垂直異方性を得ようとすれば、軽希土類−遷移金属層を
薄く、重希土類−遷移金属層を厚くしなければならず、
この結果、短波長になるに従って、カー回転角は減少す
る。
【０００６】本発明が解決しようとする課題は、短波長
側で大きなカー回転角を示し、かつ、大きな垂直異方性
を示す磁性体層を有する光磁気記録媒体を提供すること
にある。
側で大きなカー回転角を示し、かつ、大きな垂直異方性
を示す磁性体層を有する光磁気記録媒体を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、基板上に多層膜からなる磁性体層が形成さ
れており、その磁性体層が希土類元素として軽希土類を
主に含有する第１の希土類−遷移金属非晶質合金層と重
希土類を主に含有する第２の希土類−遷移金属非晶質合
金層とが交互に積層されてなることを特徴とする光磁気
記録媒体を提供する。
するために、基板上に多層膜からなる磁性体層が形成さ
れており、その磁性体層が希土類元素として軽希土類を
主に含有する第１の希土類−遷移金属非晶質合金層と重
希土類を主に含有する第２の希土類−遷移金属非晶質合
金層とが交互に積層されてなることを特徴とする光磁気
記録媒体を提供する。
【０００８】本発明の光磁気記録媒体によれば、各々の
軽希土類−遷移金属合金層は隣接する重希土類−遷移金
属合金層からの交換相互作用を受けるため、光磁気記録
に十分な垂直異方性を有する磁性体膜が得られる。その
上、第１の合金層と第２の合金層の厚さを同程度にする
と、重希土類元素に対する軽希土類元素の比率を大きく
することができるため、短波長において大きなカー効果
を得ることができる。
軽希土類−遷移金属合金層は隣接する重希土類−遷移金
属合金層からの交換相互作用を受けるため、光磁気記録
に十分な垂直異方性を有する磁性体膜が得られる。その
上、第１の合金層と第２の合金層の厚さを同程度にする
と、重希土類元素に対する軽希土類元素の比率を大きく
することができるため、短波長において大きなカー効果
を得ることができる。
【０００９】以上のように、大きな垂直異方性と短波長
における大きなカー効果の両者を同時に満足するという
本発明の目的を達成するためには、第１の合金層の厚さ
の総和と第２の合金層の厚さの総和が同程度であること
が好ましい。具体的には、第１の磁性体層の厚さの総和
をＴ1、第２の磁性体層の厚さの総和をＴ2とすると、こ
れらの厚さの比（Ｔ1／Ｔ2）が０．８以上１．２以下で
あることが好ましい。
における大きなカー効果の両者を同時に満足するという
本発明の目的を達成するためには、第１の合金層の厚さ
の総和と第２の合金層の厚さの総和が同程度であること
が好ましい。具体的には、第１の磁性体層の厚さの総和
をＴ1、第２の磁性体層の厚さの総和をＴ2とすると、こ
れらの厚さの比（Ｔ1／Ｔ2）が０．８以上１．２以下で
あることが好ましい。
【００１０】一方、本発明の磁性体層が前記の厚さで膜
面に対して垂直方向の磁化容易軸を有するためには、交
互に積層されている第１の希土類−遷移金属非晶質合金
層及び第２の希土類−遷移金属非晶質合金層の各々の厚
さが１nm以上５nm以下の範囲が好ましい。この範囲を超
えると第１の合金層の磁化容易軸の方向は、第２の合金
層との交換相互作用により膜面に対して垂直とはなら
ず、磁性体膜全体の保磁力は小さくなる。逆に厚さがこ
の範囲より小さいと第２の希土類遷移金属非晶質合金層
の垂直異方性が小さく、同様に磁性体膜全体として十分
な垂直異方性が得られない。
面に対して垂直方向の磁化容易軸を有するためには、交
互に積層されている第１の希土類−遷移金属非晶質合金
層及び第２の希土類−遷移金属非晶質合金層の各々の厚
さが１nm以上５nm以下の範囲が好ましい。この範囲を超
えると第１の合金層の磁化容易軸の方向は、第２の合金
層との交換相互作用により膜面に対して垂直とはなら
ず、磁性体膜全体の保磁力は小さくなる。逆に厚さがこ
の範囲より小さいと第２の希土類遷移金属非晶質合金層
の垂直異方性が小さく、同様に磁性体膜全体として十分
な垂直異方性が得られない。
【００１１】本発明において第１の希土類−遷移金属非
晶質合金層は、遷移金属元素としてＦｅ及びＣｏから成
る郡から選ばれた少なくとも一元素を含み、かつ軽希土
類元素としてＮｄ及びＰｒから成る郡から選ばれた少な
くとも一元素を含むことを特徴とする。また、垂直異方
性、キュリー温度等の磁気特性を制御する目的でＧｄ、
Ｄｙ、Ｔｂ等の重希土類元素を添加しても良いが、短波
長におけるカー効果の点から上記の軽希土類元素の組成
比を超えないことが好ましい。
晶質合金層は、遷移金属元素としてＦｅ及びＣｏから成
る郡から選ばれた少なくとも一元素を含み、かつ軽希土
類元素としてＮｄ及びＰｒから成る郡から選ばれた少な
くとも一元素を含むことを特徴とする。また、垂直異方
性、キュリー温度等の磁気特性を制御する目的でＧｄ、
Ｄｙ、Ｔｂ等の重希土類元素を添加しても良いが、短波
長におけるカー効果の点から上記の軽希土類元素の組成
比を超えないことが好ましい。
【００１２】一方、第２の希土類−遷移金属非晶質合金
層は、第１の希土類−遷移金属非晶質合金層と同様に遷
移金属元素として少なくともＦｅ及びＣｏから成る郡か
ら選ばれた一元素を含むが、重希土類元素としてＤｙ及
びＴｂから成る郡から選ばれた少なくとも一元素を含む
ことを特徴とする。
層は、第１の希土類−遷移金属非晶質合金層と同様に遷
移金属元素として少なくともＦｅ及びＣｏから成る郡か
ら選ばれた一元素を含むが、重希土類元素としてＤｙ及
びＴｂから成る郡から選ばれた少なくとも一元素を含む
ことを特徴とする。
【００１３】以上の第１及び第２の希土類−遷移金属非
晶質合金層には磁性体層の耐酸化性を向上するために、
Ｔｉ、Ｃｒ、Ｚｉ、Ｐｔ、Ｎb、Ｔａ等の金属を原子数
で１０％以下の添加を行なっても良い。
晶質合金層には磁性体層の耐酸化性を向上するために、
Ｔｉ、Ｃｒ、Ｚｉ、Ｐｔ、Ｎb、Ｔａ等の金属を原子数
で１０％以下の添加を行なっても良い。
【００１４】本発明においては、基板上に第１の希土類
−遷移金属非晶質合金層と第２の希土類−遷移金属非晶
質合金層とが交互に積層された磁性体層を成膜したした
だけで光磁気記録媒体として用いても良いが、カー回転
角を増幅し、さらに良好な記録再生特性を得るため、も
しくは磁性体層の酸化による記録再生特性の経時劣化を
防止する目的で、上記磁性体層の片側もしくは両側に誘
電体層を設けた構造、またさらに、記録感度を調節し、
記録、消去の繰り返し耐久性を向上するために反射層を
兼ねた熱伝導層を設けた構造としても良い。この場合、
第１の磁性体層と第２の磁性体層の積層よりなる磁性体
膜全体の厚さを４０nm以下とし、光が透過する程度の厚
さとすることが好ましい。これは、記録、再生に用いる
レーザー光が交互積層膜よりなる磁性体層の厚さ方向の
全ての層に到達し、その結果、本発明の効果を十分に得
ることができ、反射率、カー回転角の大きな光磁気記録
媒体を得ることができる。以上における誘電体層の例と
しては、Ｓｉ、Ａｌ等の酸化物や窒化物等であって、透
明で比較的屈折率の大きい薄膜、反射層、熱伝導層の例
としてはＡｌやＡｌ合金、Ｃｕ等であって反射率が大き
く、かつ熱伝導率の比較的大きな金属膜等が挙げられ
る。
−遷移金属非晶質合金層と第２の希土類−遷移金属非晶
質合金層とが交互に積層された磁性体層を成膜したした
だけで光磁気記録媒体として用いても良いが、カー回転
角を増幅し、さらに良好な記録再生特性を得るため、も
しくは磁性体層の酸化による記録再生特性の経時劣化を
防止する目的で、上記磁性体層の片側もしくは両側に誘
電体層を設けた構造、またさらに、記録感度を調節し、
記録、消去の繰り返し耐久性を向上するために反射層を
兼ねた熱伝導層を設けた構造としても良い。この場合、
第１の磁性体層と第２の磁性体層の積層よりなる磁性体
膜全体の厚さを４０nm以下とし、光が透過する程度の厚
さとすることが好ましい。これは、記録、再生に用いる
レーザー光が交互積層膜よりなる磁性体層の厚さ方向の
全ての層に到達し、その結果、本発明の効果を十分に得
ることができ、反射率、カー回転角の大きな光磁気記録
媒体を得ることができる。以上における誘電体層の例と
しては、Ｓｉ、Ａｌ等の酸化物や窒化物等であって、透
明で比較的屈折率の大きい薄膜、反射層、熱伝導層の例
としてはＡｌやＡｌ合金、Ｃｕ等であって反射率が大き
く、かつ熱伝導率の比較的大きな金属膜等が挙げられ
る。
【００１５】
【実施例】以下、実施例及び比較例を用いて、本発明を
更に詳細に説明する。
更に詳細に説明する。
【００１６】（実施例１）図１は本実施例に係る光磁気
記録媒体の一例を示す断面図であって、この図に示した
ように、本実施例の記録媒体は、透明基板上に、第１の
誘電体層、磁性体層、第２の誘電体層、反射層とを順次
厚さ方向に積層してなる。ここにおいて磁性体層は第１
の希土類−遷移金属合金層と第２の希土類−遷移金属合
金層の交互積層膜よりなっている。
記録媒体の一例を示す断面図であって、この図に示した
ように、本実施例の記録媒体は、透明基板上に、第１の
誘電体層、磁性体層、第２の誘電体層、反射層とを順次
厚さ方向に積層してなる。ここにおいて磁性体層は第１
の希土類−遷移金属合金層と第２の希土類−遷移金属合
金層の交互積層膜よりなっている。
【００１７】本実施例の光磁気記録媒体は、グルーブ及
びプリフォーマットの形成された直径８６mm、厚さ１．
２mmのポリカーボネート基板上に、マグネトロンスパッ
タリング法によって、真空を破らないで連続的に各層を
順次形成することによって作製した。ここで用いるスパ
ッタ装置のスパッタ室には４カ所のターゲットを取り付
けるカソードがあり、基板はそれぞれのターゲット上を
通過しながら自公転する基板ホルダーに取り付けた。
びプリフォーマットの形成された直径８６mm、厚さ１．
２mmのポリカーボネート基板上に、マグネトロンスパッ
タリング法によって、真空を破らないで連続的に各層を
順次形成することによって作製した。ここで用いるスパ
ッタ装置のスパッタ室には４カ所のターゲットを取り付
けるカソードがあり、基板はそれぞれのターゲット上を
通過しながら自公転する基板ホルダーに取り付けた。
【００１８】成膜の方法としては、まず第１の誘電体層
の成膜を行なった。ここでは、Ｓｉターゲットを用い、
Ｎ2を混合したＡｒをスパッタガスとしたＲＦスパッタ
法で厚さ１００nm、屈折率が２．０のＳｉＮ膜を成膜し
た。
の成膜を行なった。ここでは、Ｓｉターゲットを用い、
Ｎ2を混合したＡｒをスパッタガスとしたＲＦスパッタ
法で厚さ１００nm、屈折率が２．０のＳｉＮ膜を成膜し
た。
【００１９】続いて磁性体層は以下のようにして先に成
膜した第１の誘電体層上に成膜を行なった。ここでは、
それぞれの放電プラズマが混合しないように仕切られた
別々のＤＣカソードに取り付けられたＮｄＣｏ及びＴｂ
ＦｅＣｏ合金ターゲットに、それぞれ別のＤＣ電源より
電圧を印加した。成膜の際、それぞれのターゲットの放
電電流及び基板ホルダーの公転速度、回数を調節し、各
々３nmの厚さのＮｄ50Ｃｏ50膜とＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9膜
を交互に５層ずつ、計３０nmの磁性体層を成膜した。
膜した第１の誘電体層上に成膜を行なった。ここでは、
それぞれの放電プラズマが混合しないように仕切られた
別々のＤＣカソードに取り付けられたＮｄＣｏ及びＴｂ
ＦｅＣｏ合金ターゲットに、それぞれ別のＤＣ電源より
電圧を印加した。成膜の際、それぞれのターゲットの放
電電流及び基板ホルダーの公転速度、回数を調節し、各
々３nmの厚さのＮｄ50Ｃｏ50膜とＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9膜
を交互に５層ずつ、計３０nmの磁性体層を成膜した。
【００２０】次に、第２の誘電体層として再びＳｉター
ゲットを用い第１の誘電体層と同様の方法で２０nmのＳ
ｉＮ膜を積層した。
ゲットを用い第１の誘電体層と同様の方法で２０nmのＳ
ｉＮ膜を積層した。
【００２１】最後に反射層としてＡｌＴｉ合金ターゲッ
トを用い、ＤＣスパッタ法で５０nmのＡｌ98Ｔｉ2膜を
成膜した。
トを用い、ＤＣスパッタ法で５０nmのＡｌ98Ｔｉ2膜を
成膜した。
【００２２】以上のようにして磁性体層が成膜された基
板の磁性体層が成膜された面上に紫外線硬化樹脂で保護
コーティングを行なったものを記録媒体とした。この記
録媒体の波長８３０nmでの反射率は２１％、カー回転角
は０．９deg.であった。
板の磁性体層が成膜された面上に紫外線硬化樹脂で保護
コーティングを行なったものを記録媒体とした。この記
録媒体の波長８３０nmでの反射率は２１％、カー回転角
は０．９deg.であった。
【００２３】図２は上記の磁性体層のみのカーヒステリ
シスループを示した。このカーヒステリシスループの測
定には波長８３０nmの光源を用いた。図２に示した結果
から、本実施例の磁性体層は保磁力が大きく、角型性が
よく、かつカー回転角も大きい垂直磁化膜が得られるこ
とが理解できる。
シスループを示した。このカーヒステリシスループの測
定には波長８３０nmの光源を用いた。図２に示した結果
から、本実施例の磁性体層は保磁力が大きく、角型性が
よく、かつカー回転角も大きい垂直磁化膜が得られるこ
とが理解できる。
【００２４】図３は同じ試料についてカー回転角の波長
依存性を測定した結果である。図３から、本実施例の磁
性体層は入射光の波長が短くなっても大きなカー回転角
は維持され、短波長光による光磁気記録に適しているこ
とが理解できる。
依存性を測定した結果である。図３から、本実施例の磁
性体層は入射光の波長が短くなっても大きなカー回転角
は維持され、短波長光による光磁気記録に適しているこ
とが理解できる。
【００２５】次に、上記の記録媒体を用いて記録、再生
の実験を行なった。レーザー光には４８８．０nmのアル
ゴンレーザーを用い、０．５μｍの磁区を記録したとこ
ろ、４７dBのＣ／Ｎを得た。本結果より、本実施例の記
録媒体は短波長レーザーによる高密度記録媒体として好
適であることが理解できる。
の実験を行なった。レーザー光には４８８．０nmのアル
ゴンレーザーを用い、０．５μｍの磁区を記録したとこ
ろ、４７dBのＣ／Ｎを得た。本結果より、本実施例の記
録媒体は短波長レーザーによる高密度記録媒体として好
適であることが理解できる。
【００２６】（比較例１）基板上に実施例１の磁性体層
に用いたＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9膜を作製した。この薄膜の
カー回転角の波長依存性を実施例１と同じ図３に示し
た。
に用いたＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9膜を作製した。この薄膜の
カー回転角の波長依存性を実施例１と同じ図３に示し
た。
【００２７】図３から、本比較例の薄膜は、入射光の波
長が短くなるとカー回転角が低下するため、上記のよう
な短波長レーザー光で記録を行なった場合、実施例１の
媒体のような高いＣ／Ｎは期待できないことが理解でき
る。
長が短くなるとカー回転角が低下するため、上記のよう
な短波長レーザー光で記録を行なった場合、実施例１の
媒体のような高いＣ／Ｎは期待できないことが理解でき
る。
【００２８】（実施例２）実施例１と同様の方法で、
基板上にＮｄ50Ｃｏ50層とＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9層との交
互積層膜からなる磁性体膜を作製した。この際、磁性体
層全体の厚さを３０nm一定とし、 各Ｎｄ50Ｃｏ50層と
Ｔｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9層の膜厚を変化させたものを作製し
た。この場合の各層の膜厚と保磁力の関係を図４に示し
た。
基板上にＮｄ50Ｃｏ50層とＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9層との交
互積層膜からなる磁性体膜を作製した。この際、磁性体
層全体の厚さを３０nm一定とし、 各Ｎｄ50Ｃｏ50層と
Ｔｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9層の膜厚を変化させたものを作製し
た。この場合の各層の膜厚と保磁力の関係を図４に示し
た。
【００２９】この結果より、各層の膜厚が１nm以上、５
nm以下の範囲で高い保磁力が得られ、磁気トルク測定よ
り、この範囲で垂直異方性となっていることが理解でき
る。
nm以下の範囲で高い保磁力が得られ、磁気トルク測定よ
り、この範囲で垂直異方性となっていることが理解でき
る。
【００３０】（実施例３）基板上に各々３nmの厚さのＰ
ｒ50Ｃｏ50とＤｙ23Ｆｅ65Ｃｏ12を交互に積層し、カー
ヒステリシスループの測定を行なった。この結果、角型
性の良好なカーヒステリシスループが得られ、保磁力は
５kOe、 カー回転角は０．３８deg.であった。また、カ
ー回転角の波長依存性を測定したところ、実施例１と同
様に短波長であっても高いθKが得られた。 また、トル
ク測定の結果、このディスクは垂直異方性を有してお
り、実施例１のディスク同様、短波長レーザー光による
高密度記録に適していることが理解できる。
ｒ50Ｃｏ50とＤｙ23Ｆｅ65Ｃｏ12を交互に積層し、カー
ヒステリシスループの測定を行なった。この結果、角型
性の良好なカーヒステリシスループが得られ、保磁力は
５kOe、 カー回転角は０．３８deg.であった。また、カ
ー回転角の波長依存性を測定したところ、実施例１と同
様に短波長であっても高いθKが得られた。 また、トル
ク測定の結果、このディスクは垂直異方性を有してお
り、実施例１のディスク同様、短波長レーザー光による
高密度記録に適していることが理解できる。
【００３１】（実施例４）実施例１と同様の方法で、
基板上にＮｄ50Ｃｏ50層とＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9層との交
互積層膜からなる磁性体膜を作製した。この際磁性体膜
全体の厚さを３０nm、交互積層膜の層数を一定とした上
で、第１の磁性体層であるＮｄ50Ｃｏ50層と第２の磁性
体層であるＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9層の各々の厚さを変化さ
せ、 第１の磁性体層の厚さの総和Ｔ1と第２の磁性体層
の厚さの総和Ｔ2の比（Ｔ1／Ｔ2）を変化させた。この
Ｔ1／Ｔ2に対する波長５００nmでの保磁力及びカー回転
角の変化を図５に示した。
基板上にＮｄ50Ｃｏ50層とＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9層との交
互積層膜からなる磁性体膜を作製した。この際磁性体膜
全体の厚さを３０nm、交互積層膜の層数を一定とした上
で、第１の磁性体層であるＮｄ50Ｃｏ50層と第２の磁性
体層であるＴｂ21Ｆｅ70Ｃｏ9層の各々の厚さを変化さ
せ、 第１の磁性体層の厚さの総和Ｔ1と第２の磁性体層
の厚さの総和Ｔ2の比（Ｔ1／Ｔ2）を変化させた。この
Ｔ1／Ｔ2に対する波長５００nmでの保磁力及びカー回転
角の変化を図５に示した。
【００３２】図５に示した結果から、Ｔ1／Ｔ2が０．８
から１．２の範囲で高い保磁力とカー回転角を同時に満
足できることが理解できる。
から１．２の範囲で高い保磁力とカー回転角を同時に満
足できることが理解できる。
【００３３】
【発明の効果】本発明の光磁気記録媒体は、その磁性体
層が従来の重希土類−遷移金属非晶質合金膜のように垂
直異方性を有し、かつ軽希土類−遷移金属合金膜と同様
に短波長領域においてもカー回転角の低下がないため、
短波長レーザー光による高密度記録に適したものであ
る。
層が従来の重希土類−遷移金属非晶質合金膜のように垂
直異方性を有し、かつ軽希土類−遷移金属合金膜と同様
に短波長領域においてもカー回転角の低下がないため、
短波長レーザー光による高密度記録に適したものであ
る。
【図１】本発明に係る磁性体層の層構成の一例を示す断
面図である。
面図である。
１ 基板 ２ 第１の誘電体層 ３ 磁性体層 ４ 第２の誘電体層 ５ 反射層 ６ 第１の希土類−遷移金属非晶質合金層 ７ 第２の希土類−遷移金属非晶質合金層
【図２】実施例１における本発明の磁性体膜のカーヒス
テリシスループを示した図表である。
テリシスループを示した図表である。
【図３】実施例１と比較例１における磁性体膜のカー回
転角の波長依存性を示した図表である。
転角の波長依存性を示した図表である。
【図４】実施例３の磁性体膜において、交互に積層され
る希土類−遷移金属合金層の各々の膜厚に対する保磁力
の変化を示した図表である。
る希土類−遷移金属合金層の各々の膜厚に対する保磁力
の変化を示した図表である。
【図５】実施例５における磁性体膜において、第１の磁
性体層の総和に対する第２の磁性体層の総和の比と保磁
力、波長５００nmでのカー回転角との関係を示した図表
である。
性体層の総和に対する第２の磁性体層の総和の比と保磁
力、波長５００nmでのカー回転角との関係を示した図表
である。
Claims (4)
- 【請求項１】 基板上に多層膜からなる磁性体層が形成
されており、その磁性体層が希土類元素として軽希土類
を主に含有する第１の希土類−遷移金属非晶質合金層と
重希土類を主に含有する第２の希土類−遷移金属非晶質
合金層とが交互に積層されてなることを特徴とする光磁
気記録媒体。 - 【請求項２】 第１の希土類−遷移金属非晶質合金層と
第２の希土類−遷移金属非晶質合金層の各々の厚さが１
nm以上５nm以下であることを特徴とする請求項１記載の
光磁気記録媒体。 - 【請求項３】 第１の磁性体層の厚さの総和Ｔ1と、第
２の磁性体層の厚さの総和Ｔ2とが式 【数１】０．８≦Ｔ1／Ｔ2≦１．２ で表わされる関係にあることを特徴とする請求項１記載
の光磁気記録媒体。 - 【請求項４】 第１の磁性体層に含まれる軽希土類元素
がＮｄ及びＰｒから成る郡から選ばれた少なくとも一元
素であり、かつ、第２の磁性体層に含まれる重希土類元
素がＴｂ及びＤｙから成る郡から選ばれた少なくとも一
元素、さらに第１及び第２の磁性体層の含まれる遷移金
属元素がＦｅ及びＣｏから成る郡から選ばれた少なくと
も一元素であることを特徴とする請求項１記載の光磁気
記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21507992A JPH0660452A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21507992A JPH0660452A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0660452A true JPH0660452A (ja) | 1994-03-04 |
Family
ID=16666408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21507992A Pending JPH0660452A (ja) | 1992-08-12 | 1992-08-12 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0660452A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5826805A (en) * | 1996-02-29 | 1998-10-27 | Trinity Industrial Corporation | Electrostatic coating machine |
| US6096446A (en) * | 1997-09-30 | 2000-08-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Magnetooptical recording medium and method of producing the same |
| US7328862B2 (en) | 2003-03-18 | 2008-02-12 | Honda Motor Co., Ltd. | Method and device for electrostatic coating |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP21507992A patent/JPH0660452A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5826805A (en) * | 1996-02-29 | 1998-10-27 | Trinity Industrial Corporation | Electrostatic coating machine |
| US6096446A (en) * | 1997-09-30 | 2000-08-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Magnetooptical recording medium and method of producing the same |
| US7328862B2 (en) | 2003-03-18 | 2008-02-12 | Honda Motor Co., Ltd. | Method and device for electrostatic coating |
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