JPH0416945B2 - - Google Patents
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- JPH0416945B2 JPH0416945B2 JP57075438A JP7543882A JPH0416945B2 JP H0416945 B2 JPH0416945 B2 JP H0416945B2 JP 57075438 A JP57075438 A JP 57075438A JP 7543882 A JP7543882 A JP 7543882A JP H0416945 B2 JPH0416945 B2 JP H0416945B2
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- circuits
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- H10W20/40—Interconnections external to wafers or substrates, e.g. back-end-of-line [BEOL] metallisations or vias connecting to gate electrodes
- H10W20/41—Interconnections external to wafers or substrates, e.g. back-end-of-line [BEOL] metallisations or vias connecting to gate electrodes characterised by their conductive parts
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- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体集積回路装置に係り、特に入力
レベルのマージンが減少しない様に電源線が接続
される半導体集積回路装置に関する。
レベルのマージンが減少しない様に電源線が接続
される半導体集積回路装置に関する。
従来40ピン程度のパツケージを使用する半導体
集積回路では、VCC電源ピンとGND(接地)ピン
とは1個ずつで、その半導体基板上の電源線布線
は例えば第1図に示す様になる。
集積回路では、VCC電源ピンとGND(接地)ピン
とは1個ずつで、その半導体基板上の電源線布線
は例えば第1図に示す様になる。
第1図aに於いて、1は外部から後述する内部
回路5、入力回路6、出力回路7を駆動するVCC
電源電圧を入力するためのVCC電源パツド、2は
GND(接地)電源パツド、3はVCC電源パツド1
と内部回路5、入力回路6、出力回路7とを接続
するVCC電源線、4はGND電源パツド2と内部回
路5、入力回路6、出力回路7とを接続する
GND(接地)電源線、5は所望の回路素子より構
成され、回路動作を行なう内部回路、6は外部か
らの入力信号を入力し、内部回路5へ出力するイ
ンターフエイスとなる入力回路、7は内部回路5
の出力信号を入力し、外部へ出力するインターフ
エイスとなる出力回路である。
回路5、入力回路6、出力回路7を駆動するVCC
電源電圧を入力するためのVCC電源パツド、2は
GND(接地)電源パツド、3はVCC電源パツド1
と内部回路5、入力回路6、出力回路7とを接続
するVCC電源線、4はGND電源パツド2と内部回
路5、入力回路6、出力回路7とを接続する
GND(接地)電源線、5は所望の回路素子より構
成され、回路動作を行なう内部回路、6は外部か
らの入力信号を入力し、内部回路5へ出力するイ
ンターフエイスとなる入力回路、7は内部回路5
の出力信号を入力し、外部へ出力するインターフ
エイスとなる出力回路である。
第1図bは入力回路6、内部回路5、出力回路
7との接続を説明する図である。即ち、外部から
の入力信号25が入力回路6に入り、入力回路6
は内部回路5の例えばインバータ51に信号26
を出力する。内部回路5のインバータ51や2入
力NAND52等で論理を実現し、内部回路5の
例えば2入力NAND52から出力回路7に信号
27を入力し、出力回路7は外部へ信号28を出
力する。
7との接続を説明する図である。即ち、外部から
の入力信号25が入力回路6に入り、入力回路6
は内部回路5の例えばインバータ51に信号26
を出力する。内部回路5のインバータ51や2入
力NAND52等で論理を実現し、内部回路5の
例えば2入力NAND52から出力回路7に信号
27を入力し、出力回路7は外部へ信号28を出
力する。
最近、半導体集積回路が大規模化するにつれて
ピン数も増大し、72ピン程度のパツケージが使用
されるようになつたが、その場合の半導体基板上
の電源線布線を第2図に示す。第2図に於いて第
1図と同一符号は同一物及び相当物を示す。2個
のVCCパツド11,12とそれらに繋ながるVCC
電源線3、及び2個のGND(接地)パツド21,
22とそれらに繋ながるGND(接地)電源線4か
ら構成される。
ピン数も増大し、72ピン程度のパツケージが使用
されるようになつたが、その場合の半導体基板上
の電源線布線を第2図に示す。第2図に於いて第
1図と同一符号は同一物及び相当物を示す。2個
のVCCパツド11,12とそれらに繋ながるVCC
電源線3、及び2個のGND(接地)パツド21,
22とそれらに繋ながるGND(接地)電源線4か
ら構成される。
そしてその半導体基板がパツケージに実装され
る様子を第3図に示す。
る様子を第3図に示す。
半導体基板31はパツケージ30に収められ、
GNDパツド21,22からボンデイングワイヤ
32を介して2本のGNDピン33に電気的に接
続される。
GNDパツド21,22からボンデイングワイヤ
32を介して2本のGNDピン33に電気的に接
続される。
従来のこのような電源線布線法及びパツケージ
への実装法では、半導体集積回路装置に含まれる
内部回路5、入力回路6及び出力回路7のGND
電源線4が共通になつており、出力回路7が多数
個“1”から“0”へスイツチングした時、
GNDレベルの変動の影響を入力回路6が直接に
受けて入力ハイレベルのマージンが減少するとい
う欠点があつた。
への実装法では、半導体集積回路装置に含まれる
内部回路5、入力回路6及び出力回路7のGND
電源線4が共通になつており、出力回路7が多数
個“1”から“0”へスイツチングした時、
GNDレベルの変動の影響を入力回路6が直接に
受けて入力ハイレベルのマージンが減少するとい
う欠点があつた。
このことを第4図を用いて説明する。
半導体集積回路内部には多数個の入力回路6、
多数個の内部回路、例えばインバータ51や2入
力NAND52、及び多数個の出力回路7が設け
られており、それらは共通のGND(接地)電源線
4を接続されている。そしてGND電源線4はパ
ツケージやソケツト等に含まれる配線抵抗45と
配線インダクタンス46を経てシステムGND4
7に接続される。この状態で多数個の出力回路7
が同時に“1”から“0”にスイツチングすると
負荷容量48に蓄えられていた電荷がON状態に
なつたNMOSトランジスタ49、配線抵抗45、
配線インダクタンス46を介してシステムGND
47に放電される。このためGND電源線4のA
点の電位VFは(1)式のようになる。但しRは配線 VF=Ri+Ldi/dt ……(1) 抵抗45、Lは配線インダクタンス46、iはシ
ステムGND47に流れ込む電流である。例えば、
VFの値は、L=50nHとし300mAの電流変化が
25nsecで生じるとLdi/dtの分だけで0.6Vにも達す る。この影響を直接受けるのは入力回路6の入力
ハイレベルVIHである。すなわち入力回路6の論
理スレツシヨルド電圧VLTは(2)式のように表わさ
れる。
多数個の内部回路、例えばインバータ51や2入
力NAND52、及び多数個の出力回路7が設け
られており、それらは共通のGND(接地)電源線
4を接続されている。そしてGND電源線4はパ
ツケージやソケツト等に含まれる配線抵抗45と
配線インダクタンス46を経てシステムGND4
7に接続される。この状態で多数個の出力回路7
が同時に“1”から“0”にスイツチングすると
負荷容量48に蓄えられていた電荷がON状態に
なつたNMOSトランジスタ49、配線抵抗45、
配線インダクタンス46を介してシステムGND
47に放電される。このためGND電源線4のA
点の電位VFは(1)式のようになる。但しRは配線 VF=Ri+Ldi/dt ……(1) 抵抗45、Lは配線インダクタンス46、iはシ
ステムGND47に流れ込む電流である。例えば、
VFの値は、L=50nHとし300mAの電流変化が
25nsecで生じるとLdi/dtの分だけで0.6Vにも達す る。この影響を直接受けるのは入力回路6の入力
ハイレベルVIHである。すなわち入力回路6の論
理スレツシヨルド電圧VLTは(2)式のように表わさ
れる。
但しVCCは電源電圧で入力回路、内部回路、出
力回路は全て共通で5Vとする、VTNはNMOSト
ランジスタのスレツシヨルド電圧、VTPはPMOS
トランジスタのスレツシヨルド電圧、√は電子
やホールの移動度、トランジスタのチヤネル幅や
チヤネル長で定まる定数でPMOSトランジスタ
のチヤネル幅WPとNMOSトランジスタのチヤネ
ル幅WNとの比の平方根√P Nに比例し、0.3
程度の値である。したがつてVFが0.6Vになると
VLTの変化分ΔVLTは0.46Vとなる。
力回路は全て共通で5Vとする、VTNはNMOSト
ランジスタのスレツシヨルド電圧、VTPはPMOS
トランジスタのスレツシヨルド電圧、√は電子
やホールの移動度、トランジスタのチヤネル幅や
チヤネル長で定まる定数でPMOSトランジスタ
のチヤネル幅WPとNMOSトランジスタのチヤネ
ル幅WNとの比の平方根√P Nに比例し、0.3
程度の値である。したがつてVFが0.6Vになると
VLTの変化分ΔVLTは0.46Vとなる。
ここで、通常TTLコンパチブルの入力回路6
の入力ローレベルの最大値、VILnaxは0.8Vで、入
力ハイレベルの最小値、VIHnioは2.0Vであるので
入力回路のVLTはそれらの真中の1.4Vに設計され
ているが、出力回路7のスイツチング時に入力回
路6のVLTは先の計算で1.86Vになつている。し
たがつて電源電圧VCCやスレツシヨルド電圧VTN、
VTPが変動すると入力ハイレベルの最小値VIHnio
のマージンがほとんどなくなる。
の入力ローレベルの最大値、VILnaxは0.8Vで、入
力ハイレベルの最小値、VIHnioは2.0Vであるので
入力回路のVLTはそれらの真中の1.4Vに設計され
ているが、出力回路7のスイツチング時に入力回
路6のVLTは先の計算で1.86Vになつている。し
たがつて電源電圧VCCやスレツシヨルド電圧VTN、
VTPが変動すると入力ハイレベルの最小値VIHnio
のマージンがほとんどなくなる。
次に、入力回路の電源電圧が3Vで内部回路、
出力回路の電源電圧5Vより低い場合について説
明する。この場合の入力回路の論理スレツシヨル
ド電圧VLTは(2)式のように表わされる。但し、
VCC=3Vであり、VLTをTTLレベルの真中の1.4V
に設定する関係で√が約0.8と大きくなる。こ
こでVFノイズが先程と同様に0.6V発生するとVLT
は1.73Vになり、入力回路の電源電圧が内部回
路、出力回路の電源電圧と等しい5Vの場合より
VIHnioマージンがある。しかし、電源電圧を落と
すと入力回路の速度が落ちる、CMOSインター
フエイスにできない、後述するVCC側ノイズに逆
に弱くなる等の理由で入力回路の電源電圧は他の
回路同様5Vにするのが一般的である。
出力回路の電源電圧5Vより低い場合について説
明する。この場合の入力回路の論理スレツシヨル
ド電圧VLTは(2)式のように表わされる。但し、
VCC=3Vであり、VLTをTTLレベルの真中の1.4V
に設定する関係で√が約0.8と大きくなる。こ
こでVFノイズが先程と同様に0.6V発生するとVLT
は1.73Vになり、入力回路の電源電圧が内部回
路、出力回路の電源電圧と等しい5Vの場合より
VIHnioマージンがある。しかし、電源電圧を落と
すと入力回路の速度が落ちる、CMOSインター
フエイスにできない、後述するVCC側ノイズに逆
に弱くなる等の理由で入力回路の電源電圧は他の
回路同様5Vにするのが一般的である。
したがつて、入力回路の電源電圧が一般的な
5Vの場合には、入力回路のVIHnioのマージンが非
常に厳しくなることがわかる。
5Vの場合には、入力回路のVIHnioのマージンが非
常に厳しくなることがわかる。
今までの説明では、多数個の出力回路が“1”
から“0”にスイツチングする場合について述べ
てきたが、多数個の出力が“0”から“1”にス
イツチングする場合にも、同様な問題が生じる。
即ち、システムVCC電源(図示せず)から配線抵
抗、配線インダクタンスを介して半導体集積回路
のVCC部へ電気的に接続される。
から“0”にスイツチングする場合について述べ
てきたが、多数個の出力が“0”から“1”にス
イツチングする場合にも、同様な問題が生じる。
即ち、システムVCC電源(図示せず)から配線抵
抗、配線インダクタンスを介して半導体集積回路
のVCC部へ電気的に接続される。
このため半導体集積回路のVCC部へは出力が
“0”から“1”へのスイツチング時には(3)式で
示される電圧が加わる。
“0”から“1”へのスイツチング時には(3)式で
示される電圧が加わる。
VCC−(Ri+Ldi/dt) ……(3)
但しRは配線抵抗、Lは配線インダクタンス、
iはシステムVCC電源から流れ出す電流がある。
この時の入力回路6の論理スレツシヨルド電圧
VLTは(4)式のように表わされる。
iはシステムVCC電源から流れ出す電流がある。
この時の入力回路6の論理スレツシヨルド電圧
VLTは(4)式のように表わされる。
但し記号は(2)式と同じである。したがつてこの
場合には入力ローレベルの最大値VILnaxマージン
が少なくなる。
場合には入力ローレベルの最大値VILnaxマージン
が少なくなる。
ただし、式(1)、(3)を比べると、わかるように、
“1”から“0”にスイツチングする場合の方が
よりレベルの変動が大きい。
“1”から“0”にスイツチングする場合の方が
よりレベルの変動が大きい。
本発明の目的は、上記欠点を除去し、入力回
路、内部回路、及び出力回路の電源電圧が等しい
ものに於いて出力回路が同時にスイツチングして
も、GNDレベル及びVCCレベルの変動がなく、入
力レベルマージンが減少しない半導体集積回路を
提供することにある。
路、内部回路、及び出力回路の電源電圧が等しい
ものに於いて出力回路が同時にスイツチングして
も、GNDレベル及びVCCレベルの変動がなく、入
力レベルマージンが減少しない半導体集積回路を
提供することにある。
上記目的を達成する本発明半導体集積回路装置
の特徴とするところは、入力回路、内部回路、及
び出力回路の電源電圧が等しいもの於いて入力回
路の電源線と出力回路の電源線とは電気的に絶縁
することにある。
の特徴とするところは、入力回路、内部回路、及
び出力回路の電源電圧が等しいもの於いて入力回
路の電源線と出力回路の電源線とは電気的に絶縁
することにある。
本発明の好ましい実施例を述べると、入力回路
のGND(接地)電源線は第1のGND(接地)電源
パツドに接続され、出力回路のGND(接地)電源
線は第2のGND(接地)電源パツドに接続され
る。
のGND(接地)電源線は第1のGND(接地)電源
パツドに接続され、出力回路のGND(接地)電源
線は第2のGND(接地)電源パツドに接続され
る。
さらに、本発明の好ましい実施例では、内部回
路のGND(接地)電源線は、入力回路のGND(接
地)電源線に接続される。
路のGND(接地)電源線は、入力回路のGND(接
地)電源線に接続される。
以下、本発明を実施例に基づき具体的に説明す
るが、本発明はこの実施例に限定されることにな
く本発明の思想の範囲内で種々の変形が可能であ
る。
るが、本発明はこの実施例に限定されることにな
く本発明の思想の範囲内で種々の変形が可能であ
る。
第5図に於いて、第4図と同一記号は同一物及
び相当物を示す。
び相当物を示す。
半導体集積回路内の多数個の入力回路6の
GND部と多数個の内部回路、例えばインバータ
51や2入力NAND回路52のGND部が共通の
第1のGND(接地)電源線41に接続され、配線
抵抗451、配線インダクタンス461を介して
システムGND47に接地される。
GND部と多数個の内部回路、例えばインバータ
51や2入力NAND回路52のGND部が共通の
第1のGND(接地)電源線41に接続され、配線
抵抗451、配線インダクタンス461を介して
システムGND47に接地される。
一方出力回路7のGND部は出力回路用の第2
のGND(接地)電源線42に接続され、配線抵抗
452、配線インダクタンス462を介してシス
テムGND47に接地される。
のGND(接地)電源線42に接続され、配線抵抗
452、配線インダクタンス462を介してシス
テムGND47に接地される。
本実施例によれば第1のGND電源線41と第
2のGND電源線42とが電圧的に絶縁されてい
るので、多数個の出力回路7が“1”から“0”
レベルにスイツチングして第2のGND電源線4
2の電位が浮上しても第1のGND電源線41の
電位は浮上しない。したがつて、入力回路6の
VLTは前記(2)式のVFを零とおいたものとなり、出
力回路7が多数個同時にスイツチングしても約
1.4Vとなり、十分に入力ハイレベルの最小値
VIHnioのマージン(約0.6V)をとることができ
る。
2のGND電源線42とが電圧的に絶縁されてい
るので、多数個の出力回路7が“1”から“0”
レベルにスイツチングして第2のGND電源線4
2の電位が浮上しても第1のGND電源線41の
電位は浮上しない。したがつて、入力回路6の
VLTは前記(2)式のVFを零とおいたものとなり、出
力回路7が多数個同時にスイツチングしても約
1.4Vとなり、十分に入力ハイレベルの最小値
VIHnioのマージン(約0.6V)をとることができ
る。
第6図は第5図を達成するための半導体基板上
における全体の電源線布線を示し、第1図、第2
図、第3図と同一記号は同一物及び相当物を示
す。
における全体の電源線布線を示し、第1図、第2
図、第3図と同一記号は同一物及び相当物を示
す。
第6図に於いて、5は所望の回路素子より構成
され、回路動作を行なう内部回路、6は外部から
の入力信号を入力し、内部回路5へ出力するイン
ターフエイスとなる入力回路、7は内部回路5の
出力信号を入力し、外部へ出力するインターフエ
イスとなる出力回路、11及び12は外部から内
部回路5、入力回路6、出力回路7を駆動する
VCC電源電圧を入力するたの全回路共通のVCC電
源パツド、201は第1のGND電源線41を外
部のシステムGNDに接続するための第1のGND
(接地)電源パツド、202は第2のGND電源線
42を外部のシステムGNDに接続するための第
2のGND(接地)電源パツドである。
され、回路動作を行なう内部回路、6は外部から
の入力信号を入力し、内部回路5へ出力するイン
ターフエイスとなる入力回路、7は内部回路5の
出力信号を入力し、外部へ出力するインターフエ
イスとなる出力回路、11及び12は外部から内
部回路5、入力回路6、出力回路7を駆動する
VCC電源電圧を入力するたの全回路共通のVCC電
源パツド、201は第1のGND電源線41を外
部のシステムGNDに接続するための第1のGND
(接地)電源パツド、202は第2のGND電源線
42を外部のシステムGNDに接続するための第
2のGND(接地)電源パツドである。
第6図に示される様に、入力回路6及び内部回
路5用の第1のGND電源パツド201と、出力
回路7用の第2のGND電源パツド202とを設
けけることにより、入力回路6及び内部回路5用
のGND電源線41と、出力回路7用のGND電源
42とが電気的に絶縁される。
路5用の第1のGND電源パツド201と、出力
回路7用の第2のGND電源パツド202とを設
けけることにより、入力回路6及び内部回路5用
のGND電源線41と、出力回路7用のGND電源
42とが電気的に絶縁される。
第7図は第6図のような電源線布線をした半導
体基板のパツケージへの実装法を示す。
体基板のパツケージへの実装法を示す。
半導体基板310がパツケージ70に収めら
れ、入力回路6及び内部回路5用の第1のGND
電源パツド201はボンデイングワイア73を介
して入力回路6及び内部回路5用GNDピン71
と電気的に接続され、出力回路7用GND電源パ
ツド202はボンデイングワイア74を介して出
力回路7用GNDピン72と電気的に接続される。
れ、入力回路6及び内部回路5用の第1のGND
電源パツド201はボンデイングワイア73を介
して入力回路6及び内部回路5用GNDピン71
と電気的に接続され、出力回路7用GND電源パ
ツド202はボンデイングワイア74を介して出
力回路7用GNDピン72と電気的に接続される。
第6図に示す電源線布線及び第7図に示す半導
体基板のパツケージへの実装法によつて第5図に
示す等価回路を実現できる。
体基板のパツケージへの実装法によつて第5図に
示す等価回路を実現できる。
本実施例によれば、入力ハイレベルマージンが
あるので、多数個のデータバスの同時スイツチン
グにも耐えられる半導体集積回路装置を得ること
ができる。
あるので、多数個のデータバスの同時スイツチン
グにも耐えられる半導体集積回路装置を得ること
ができる。
尚、本実施例ではCMOS回路について説明し
たがバイポーラ、NMOS、PMOS等の他のプロ
セスを用いた半導体集積回路装置でも有効である
ことは言うまでもない。
たがバイポーラ、NMOS、PMOS等の他のプロ
セスを用いた半導体集積回路装置でも有効である
ことは言うまでもない。
また、本実施例では内部回路5のGND部と入
力回路6のGND部を共通の第1のGND電源線4
1に接続したが、内部回路5のGND部を出力回
路7用のGND電源線42に接続しても同様の効
果が得られ、本発明はこの様な場合にも適用でき
る。
力回路6のGND部を共通の第1のGND電源線4
1に接続したが、内部回路5のGND部を出力回
路7用のGND電源線42に接続しても同様の効
果が得られ、本発明はこの様な場合にも適用でき
る。
さらに、本実施例に於いては、GND電源線を
例にとつて説明したが、VCC電源線に於いても発
明は適用できうる。
例にとつて説明したが、VCC電源線に於いても発
明は適用できうる。
本発明によれば、出力回路の同時スイツチング
の影響が入力回路に及ぼさないので、GNDレベ
ル及びVCCレベルが変動せず入力レベルマージン
が減少しない半導体集積回路装置を得ることがで
きる。
の影響が入力回路に及ぼさないので、GNDレベ
ル及びVCCレベルが変動せず入力レベルマージン
が減少しない半導体集積回路装置を得ることがで
きる。
第1図は一つの従来例である半導体集積回路装
置の電源線布線を示す図、第2図は他の従来例で
ある半導体集積回路装置の電源線布線を示す図、
第3図は第2図に示される半導体基板のパツケー
ジへの実装図、第4図は従来例である半導体集積
回路装置の電源線布線の等価回路図、第5図は本
発明の一実施例である半導体集積回路装置の電源
線布線の等価回路図、第6図は本発明の一実施例
である半導体集積回路装置の電源線布線を示す
図、第7図は本発明の一実施例の半導体基板のパ
ツケージへの実装図である。 5,51,52……内部回路、6……入力回
路、7……出力回路、41……第1のGND電源
線、42……第2のGND電源線、201……第
1のGND電源パツド、202……第2のGND電
源パツド。
置の電源線布線を示す図、第2図は他の従来例で
ある半導体集積回路装置の電源線布線を示す図、
第3図は第2図に示される半導体基板のパツケー
ジへの実装図、第4図は従来例である半導体集積
回路装置の電源線布線の等価回路図、第5図は本
発明の一実施例である半導体集積回路装置の電源
線布線の等価回路図、第6図は本発明の一実施例
である半導体集積回路装置の電源線布線を示す
図、第7図は本発明の一実施例の半導体基板のパ
ツケージへの実装図である。 5,51,52……内部回路、6……入力回
路、7……出力回路、41……第1のGND電源
線、42……第2のGND電源線、201……第
1のGND電源パツド、202……第2のGND電
源パツド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 同一半導体基板上に、論理動作を行う多数個
の回路を少なくとも有する内部回路を配置し、外
部からの入力信号を入力し前記内部回路の信号レ
ベルに変換し前記内部回路へ出力するインターフ
エイスとなる多数個の入力回路と、前記内部回路
の出力信号を入力し外部の信号レベルに変換し外
部へ出力するインターフエイスとなる多数個の出
力回路とを、夫々前記内部回路の周辺に配置し、
且つ前記入力回路と前記出力回路と前記内部回路
とを同一の電源電圧VCCにより駆動する半導体集
積回路装置に於いて、前記多数個の入力回路が共
通に接続される第1の接地電源線と、前記第1の
接地電源線とは電気的に絶縁され、前記多数個の
出力回路が共通に接続される第2の接地電源線と
を備えたことを特徴とする半導体集積回路装置。 2 特許請求の範囲第1項に於いて、絶縁される
入力回路の電源線は第1の電源パツドに接続さ
れ、絶縁される出力回路の電源線は第2の電源パ
ツドに接続されることを特徴とする半導体集積回
路装置。 3 特許請求の範囲第1項または第2項に於い
て、上記多数個の入力回路の電源線と上記多数個
の出力回路の電源線とは、パツケージ内、及び電
源ピンにおいても絶縁することを特徴とする半導
体集積回路装置。 4 特許請求の範囲第1項または第2項に於い
て、上記多数個の内部回路の電源線は、上記複数
個の入力回路の電源線に接続されることを特徴と
する半導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57075438A JPS58194363A (ja) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57075438A JPS58194363A (ja) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | 半導体集積回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58194363A JPS58194363A (ja) | 1983-11-12 |
| JPH0416945B2 true JPH0416945B2 (ja) | 1992-03-25 |
Family
ID=13576233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57075438A Granted JPS58194363A (ja) | 1982-05-07 | 1982-05-07 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58194363A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62169464A (ja) * | 1986-01-22 | 1987-07-25 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
| JP3132635B2 (ja) * | 1995-02-22 | 2001-02-05 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路の試験方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS525228B2 (ja) * | 1972-09-18 | 1977-02-10 | ||
| JPS52119802A (en) * | 1976-04-01 | 1977-10-07 | Matsushita Electronics Corp | Semiconductor ic device |
| JPS5420680A (en) * | 1977-07-18 | 1979-02-16 | Hitachi Ltd | Large scale integrated circuit |
-
1982
- 1982-05-07 JP JP57075438A patent/JPS58194363A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58194363A (ja) | 1983-11-12 |
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