JPH04171012A - 異物の補集，摘出方法および補集，摘出装置 - Google Patents
異物の補集，摘出方法および補集，摘出装置Info
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- JPH04171012A JPH04171012A JP2296365A JP29636590A JPH04171012A JP H04171012 A JPH04171012 A JP H04171012A JP 2296365 A JP2296365 A JP 2296365A JP 29636590 A JP29636590 A JP 29636590A JP H04171012 A JPH04171012 A JP H04171012A
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- Filtration Of Liquid (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体製造施設等において気体中または液体中
に存在する異物を回収する異物の補集。
に存在する異物を回収する異物の補集。
摘出方法および補集、摘出装置に関するものである。
従来、半導体製造施設等では、使用する気体や液体に混
入した異物は、異物補集装置のフィルタによって濾過し
て補集し、吸引式の摘出装置によってフィルタから離脱
させて回収していた。従来のこの種の異物補集、摘出装
置を第４図（ａ）、 （ｂ）および第５図によって説明
する。
入した異物は、異物補集装置のフィルタによって濾過し
て補集し、吸引式の摘出装置によってフィルタから離脱
させて回収していた。従来のこの種の異物補集、摘出装
置を第４図（ａ）、 （ｂ）および第５図によって説明
する。
第４図（ａ）、 （ｂ）は従来の異物補集装置を示す図
で、同図（ａ）は縦断面図、同図（ｂ）はフィルタを拡
大して示す断面図である。第５図は従来の異物摘出装置
を示す縦断面図である。なお、これらの図は粘性の無い
小片状（固体）の異物を補集し、摘出している状態を示
す。これらの図において、１は異物補集装置で、この異
物補集装置１は後述するフィルタユニット２をマウント
３とキャップ４とで挟圧保持するフィルタユニット保持
機構５と、このフィルタユニット保持機構５に接続され
た流体導出管６．流体導入管７と、前記流体導出管６を
介してフィルタユニット保持機構５に連通されたポンプ
８等とから構成されている。なお、流体導出管６はポン
プ８の吸込み側に接続されている。前記マウント３は、
外周部にねじが設けられかつ中心部に貫通口が開口され
た円板状に形成され、中心部には流体導出管６に嵌挿固
定される筒部３ａが一体に設けられている。また、キヤ
、ツブ４は、前記マウント３の外周ねしに螺合するねじ
が内周部に設けられた有底筒状に形成され、その底部に
は、貫通口が開口されると共に、流体導入管７に嵌挿固
定される筒部４ａが一体に設けられている。そして、キ
ャップ４の内方にフィルタユニット２が装着されている
。
で、同図（ａ）は縦断面図、同図（ｂ）はフィルタを拡
大して示す断面図である。第５図は従来の異物摘出装置
を示す縦断面図である。なお、これらの図は粘性の無い
小片状（固体）の異物を補集し、摘出している状態を示
す。これらの図において、１は異物補集装置で、この異
物補集装置１は後述するフィルタユニット２をマウント
３とキャップ４とで挟圧保持するフィルタユニット保持
機構５と、このフィルタユニット保持機構５に接続され
た流体導出管６．流体導入管７と、前記流体導出管６を
介してフィルタユニット保持機構５に連通されたポンプ
８等とから構成されている。なお、流体導出管６はポン
プ８の吸込み側に接続されている。前記マウント３は、
外周部にねじが設けられかつ中心部に貫通口が開口され
た円板状に形成され、中心部には流体導出管６に嵌挿固
定される筒部３ａが一体に設けられている。また、キヤ
、ツブ４は、前記マウント３の外周ねしに螺合するねじ
が内周部に設けられた有底筒状に形成され、その底部に
は、貫通口が開口されると共に、流体導入管７に嵌挿固
定される筒部４ａが一体に設けられている。そして、キ
ャップ４の内方にフィルタユニット２が装着されている
。
フィルタユニット２は、フィルタ１０をホルダたる各部
材によって挟圧保持する構造である。１１はホルダケー
スで、このホルダケース１１は、底部に流体導出用開口
部が設けられた有底筒状に形成され、底部には前記マウ
ント３の貫通口に嵌挿される筒部が、外周部にはねじが
それぞれ設けられている。１２は前記ホルダケース１１
の内側底部に嵌挿支持されたサポートスクリーンで、こ
のサポートスクリーン１２上にフィルタ１０が載置され
る。なお、フィルタ１０としては、第４図（ｂ）に示す
ように微細な透孔１０ａが多数設けられた薄膜状のもの
が使用されている。１３および１４は前記サポートスク
リーン１２にフィルタ１０を押付けるための支持リング
と押えリングで、それぞれホルダケース１１の内周部内
に嵌挿されている。１５は前記押えリング１４をホルダ
ケース１１の底部側へ付勢して押えリング１４．支持リ
ング１３によってフィルタ１０をサポートスクリーン１
２に押付けるためのホルダカバーである。
材によって挟圧保持する構造である。１１はホルダケー
スで、このホルダケース１１は、底部に流体導出用開口
部が設けられた有底筒状に形成され、底部には前記マウ
ント３の貫通口に嵌挿される筒部が、外周部にはねじが
それぞれ設けられている。１２は前記ホルダケース１１
の内側底部に嵌挿支持されたサポートスクリーンで、こ
のサポートスクリーン１２上にフィルタ１０が載置され
る。なお、フィルタ１０としては、第４図（ｂ）に示す
ように微細な透孔１０ａが多数設けられた薄膜状のもの
が使用されている。１３および１４は前記サポートスク
リーン１２にフィルタ１０を押付けるための支持リング
と押えリングで、それぞれホルダケース１１の内周部内
に嵌挿されている。１５は前記押えリング１４をホルダ
ケース１１の底部側へ付勢して押えリング１４．支持リ
ング１３によってフィルタ１０をサポートスクリーン１
２に押付けるためのホルダカバーである。
このホルダカバー１５は液体導入用開口部が底部に開口
された有底筒状に形成されており、内周部には前記ホル
ダケース１１の外周ねしに螺合するねじが設けられてい
る。なお、１６および１７はフィルタユニット２とフィ
ルタユニット保持ａｍ５との間に介装された０リング、
１８は流体、１９は流体１８に含まれている粘性の無い
小片状（固体）の異物、２０は流体の流れ方向を示す矢
印である。
された有底筒状に形成されており、内周部には前記ホル
ダケース１１の外周ねしに螺合するねじが設けられてい
る。なお、１６および１７はフィルタユニット２とフィ
ルタユニット保持ａｍ５との間に介装された０リング、
１８は流体、１９は流体１８に含まれている粘性の無い
小片状（固体）の異物、２０は流体の流れ方向を示す矢
印である。
また、第５図に示す異物摘出装置は、前記フィルタユニ
ット２を保持する保持機構２１と、フィルタユニット２
中に残留した異物１９を摘出する離脱機構２２とから構
成されている。保持機構２１はフィルタユニット２のホ
ルダケース１１を支持するマウント２３と、フィルタユ
ニット２のホルダカバー１５を前記マウント２３側へ付
勢してマウント２３と共にフィルタユニット２を挟圧保
持するクランパ２４とを備えている。また、離脱機構２
２は、吸引装置（図示せず）に連通されフィルタ１０上
の異物１９をフィルタ１０から離脱させて回収する引き
込みノズル２５と、この引き込みノズル２５を走査する
ノズル駆動装置２６等とを備えている。
ット２を保持する保持機構２１と、フィルタユニット２
中に残留した異物１９を摘出する離脱機構２２とから構
成されている。保持機構２１はフィルタユニット２のホ
ルダケース１１を支持するマウント２３と、フィルタユ
ニット２のホルダカバー１５を前記マウント２３側へ付
勢してマウント２３と共にフィルタユニット２を挟圧保
持するクランパ２４とを備えている。また、離脱機構２
２は、吸引装置（図示せず）に連通されフィルタ１０上
の異物１９をフィルタ１０から離脱させて回収する引き
込みノズル２５と、この引き込みノズル２５を走査する
ノズル駆動装置２６等とを備えている。
次に、上述したように構成された従来の異物補集装置、
異物摘出装置を使用して流体１８中の異物１９を補集、
摘出する方法を説明する。先ず、第４図に示すようにホ
ルダケース１１にサポートスクリーン１２．フィルタ１
０．支持リング１３゜押えリング１４の順で装着し、ホ
ルダカバー１５をホルダケース１１に締め込んでフィル
タユニット２を組立てる。そして、このフィルタユニッ
ト２を異物補集装置ｌのマウント３に装着してキャップ
４をマウント３に締め込んだ後、流体導入管７をキャッ
プ４に取付けることによって異物補集の準備が完了する
。なお、マウント３には、ポンプ８に接続された流体導
出管６を取付けておく。
異物摘出装置を使用して流体１８中の異物１９を補集、
摘出する方法を説明する。先ず、第４図に示すようにホ
ルダケース１１にサポートスクリーン１２．フィルタ１
０．支持リング１３゜押えリング１４の順で装着し、ホ
ルダカバー１５をホルダケース１１に締め込んでフィル
タユニット２を組立てる。そして、このフィルタユニッ
ト２を異物補集装置ｌのマウント３に装着してキャップ
４をマウント３に締め込んだ後、流体導入管７をキャッ
プ４に取付けることによって異物補集の準備が完了する
。なお、マウント３には、ポンプ８に接続された流体導
出管６を取付けておく。
この状態で流体導入管７の先端を、異物１９を含む試料
である流体１８を導くように配置し、ポンプ８を動作さ
せる。ポンプ８が動作することによって流体１８は矢印
２０で示す方向に沿って流れてフィルタユニット２に導
かれ、含まれている異物Ｉ９が濾過されてフィルタ１０
に補集される。
である流体１８を導くように配置し、ポンプ８を動作さ
せる。ポンプ８が動作することによって流体１８は矢印
２０で示す方向に沿って流れてフィルタユニット２に導
かれ、含まれている異物Ｉ９が濾過されてフィルタ１０
に補集される。
このように異物１９を補集させた後、フィルタユニット
２を異物補集装置１から取り外して異物摘出装置に装着
させる。異物摘出装置への取付は時には、フィルタユニ
ット２をマウント２３に装着し、クランパ２４で固定し
て行なう。この状態として異物摘出の準備が完了する。
２を異物補集装置１から取り外して異物摘出装置に装着
させる。異物摘出装置への取付は時には、フィルタユニ
ット２をマウント２３に装着し、クランパ２４で固定し
て行なう。この状態として異物摘出の準備が完了する。
そして、引き込みノズル２５を、ノズル内の圧力を所定
の負圧に維持させた状態でフィルタ１０の表面に近付け
、フィルタ１０との間に適切な距離を維持させながらノ
ズル駆動装置２６で引き込みノズル２５を走査する。こ
の際、引き込みノズル２５によってフィルタ１０上の異
物１９が吸引される。このようにしてフィルタ１０の表
面から異物１９を離脱させていくことによって、異物１
９をフィルタ１０上から摘出する。
の負圧に維持させた状態でフィルタ１０の表面に近付け
、フィルタ１０との間に適切な距離を維持させながらノ
ズル駆動装置２６で引き込みノズル２５を走査する。こ
の際、引き込みノズル２５によってフィルタ１０上の異
物１９が吸引される。このようにしてフィルタ１０の表
面から異物１９を離脱させていくことによって、異物１
９をフィルタ１０上から摘出する。
しかるに、このように構成された従来の異物補集、摘出
装置では小片状の異物は確実に補集、摘出することがで
きるが、水分等の溶媒を含んだ粘性のある異物や、ガス
状の異物等の現存する異物のうち多くを占めるこれらの
種類の異物については補集、摘出することができない。
装置では小片状の異物は確実に補集、摘出することがで
きるが、水分等の溶媒を含んだ粘性のある異物や、ガス
状の異物等の現存する異物のうち多くを占めるこれらの
種類の異物については補集、摘出することができない。
これを第６図（ａＬ （ｂ）および第７図（ａＬ （ｂ
）によって説明する。
）によって説明する。
第６図（ａ）、 （ｂ）はフィルタユニットに補集され
た粘性を有する異物を従来の異物摘出装置で摘出してい
る状態を示す図で、同図（ａ）は粘性を有する異物を補
集したフィルタユニットが装着された従来の異物摘出装
置を示す縦断面図、同図（ｂ）は粘性を有する異物を補
集したフィルタを拡大して示す断面図である。第７図（
ａ）、 （ｂ）はガス状の異物を従来の異物補集装置で
補集している状態を示す図で、同図（ａ）は異物補集装
置の縦断面図、同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す断
面図である。
た粘性を有する異物を従来の異物摘出装置で摘出してい
る状態を示す図で、同図（ａ）は粘性を有する異物を補
集したフィルタユニットが装着された従来の異物摘出装
置を示す縦断面図、同図（ｂ）は粘性を有する異物を補
集したフィルタを拡大して示す断面図である。第７図（
ａ）、 （ｂ）はガス状の異物を従来の異物補集装置で
補集している状態を示す図で、同図（ａ）は異物補集装
置の縦断面図、同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す断
面図である。
これらの図において前記第第４図（ａ）、 （ｂ）およ
び第５図で説明したものと同一もしくは同等部材につい
ては、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
び第５図で説明したものと同一もしくは同等部材につい
ては、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
これらの図において、２７は粘性を有する異物を示し、
２８はガス状の異物２９が混入した流体を示す。
２８はガス状の異物２９が混入した流体を示す。
粘性を有する異物２７は、粘性の無い小片状（固体）の
異物１９がフィルタ１０の表面上に載っているだけの状
態と異なり、第６図（ｂ）に示すようにフィルタ１０の
表面上に粘着しており、特に水分等の溶媒を含んだ粘性
のある異物２７は形が定まらず、フィルタ１０の表面上
で互いに結び付き合って膜を張ったように拡がることも
ある。
異物１９がフィルタ１０の表面上に載っているだけの状
態と異なり、第６図（ｂ）に示すようにフィルタ１０の
表面上に粘着しており、特に水分等の溶媒を含んだ粘性
のある異物２７は形が定まらず、フィルタ１０の表面上
で互いに結び付き合って膜を張ったように拡がることも
ある。
このような状態でフィルタ１０の表面上に粘着している
異物２７を、負圧によって異物を吸引する構造の引き込
みノズル２５でフィルタ１０から離脱させようとしても
、ノズルの引き込み力には１気圧を超えられない限界が
あるために殆どが無理である。
異物２７を、負圧によって異物を吸引する構造の引き込
みノズル２５でフィルタ１０から離脱させようとしても
、ノズルの引き込み力には１気圧を超えられない限界が
あるために殆どが無理である。
また、ガス状の異物２９は、粘性の無い小片状（固体）
の異物１９がフィルタ１０の表面上に補集されるのと異
なり、第７図（ｂ）に示すようにフィルタ１０に形成さ
れている透孔１０ａを通過して流体導出管６へ抜けてし
まうため、補集できない。これは、フィルタ１０に形成
されている透孔１０ａの径が可及的小さく形成したとし
ても０゜数μｍであるのに対して、ガス状異物２９の径
が数〜数１０ｎｍ（μｍ／１０００）であることによる
。
の異物１９がフィルタ１０の表面上に補集されるのと異
なり、第７図（ｂ）に示すようにフィルタ１０に形成さ
れている透孔１０ａを通過して流体導出管６へ抜けてし
まうため、補集できない。これは、フィルタ１０に形成
されている透孔１０ａの径が可及的小さく形成したとし
ても０゜数μｍであるのに対して、ガス状異物２９の径
が数〜数１０ｎｍ（μｍ／１０００）であることによる
。
本発明に係る異物の補集、摘出方法は、粒子状の異物補
集材が流体供給側に堆積された薄膜状フィルタによって
異物混入流体を濾過し、しかる後、前記異物補集材をフ
ィルタから吸引法によって離脱させて回収するものであ
る。
集材が流体供給側に堆積された薄膜状フィルタによって
異物混入流体を濾過し、しかる後、前記異物補集材をフ
ィルタから吸引法によって離脱させて回収するものであ
る。
本発明に係る異物の補集、摘出装置は、フィルタの流体
供給側に、摘出装置によってフィルタから離脱されて回
収される粒子状の異物補集材を堆積させたものである。
供給側に、摘出装置によってフィルタから離脱されて回
収される粒子状の異物補集材を堆積させたものである。
粘性を有する異物やガス状の異物は、フィルタに堆積さ
れた異物補集材に付着することで補集され、この異物補
集材と共にフィルタから離脱されて摘出される。
れた異物補集材に付着することで補集され、この異物補
集材と共にフィルタから離脱されて摘出される。
以下、本発明の一実施例を第１図（ａ）、 （ｂ）ない
し第３図（ａ）、 （ｂ）によって詳細に説明する。
し第３図（ａ）、 （ｂ）によって詳細に説明する。
第１図（ａ）、 （ｂ）は本発明に係る異物補集装置に
よって粘性を有する異物を補集している状態を示す図で
、同図（ａ）は本発明に係る異物補集装置の縦断面図、
同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す断面図である。第
２図は本発明に係る異物摘出装置の縦断面図、第３図は
本発明に係る異物補集装置によってガス状の異物を補集
している状態を示す縦断面図である。これらの図におい
て前記第４図（ａＬ （ｂ）ないし第７図（ａ）、 （
ｂ）で説明したものと同一もしくは同等部材については
、同一符号を付し詳細な説明は省略する。これらの図に
おいて、３１は粒子状に形成された異物補集材で、この
異物補集材３１はフィルタ１０の流体供給側に多数個堆
積されている。また、この異物補集材３１は、互いに結
合しようとする力（結合力）が小さく、流体１８等の流
れにより帯電しないような材質のものであって、しかも
粘性を有する異物２７によてその特性が変化しないもの
が使用される。具体例としては、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の
金属の粉体や、５ｉＯｚの粉体等が挙げられる。
よって粘性を有する異物を補集している状態を示す図で
、同図（ａ）は本発明に係る異物補集装置の縦断面図、
同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す断面図である。第
２図は本発明に係る異物摘出装置の縦断面図、第３図は
本発明に係る異物補集装置によってガス状の異物を補集
している状態を示す縦断面図である。これらの図におい
て前記第４図（ａＬ （ｂ）ないし第７図（ａ）、 （
ｂ）で説明したものと同一もしくは同等部材については
、同一符号を付し詳細な説明は省略する。これらの図に
おいて、３１は粒子状に形成された異物補集材で、この
異物補集材３１はフィルタ１０の流体供給側に多数個堆
積されている。また、この異物補集材３１は、互いに結
合しようとする力（結合力）が小さく、流体１８等の流
れにより帯電しないような材質のものであって、しかも
粘性を有する異物２７によてその特性が変化しないもの
が使用される。具体例としては、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ等の
金属の粉体や、５ｉＯｚの粉体等が挙げられる。
このように構成された異物補集材３１は粘性を有する異
物２７を補集、摘出する場合に使用する。
物２７を補集、摘出する場合に使用する。
この異物補集材３１はフィルタユニット２を組立てた状
態でフィルタ１０上に堆積される。そして、粘性を有す
る異物２７を補集するには、異物補集材３１を内蔵した
フィルタユニット２を異物補集装置１に装着し、異物補
集装置１を従来通りに動作させて行なう。フィルタユニ
ット２に流体１８が供給されると、流体１８の異物以外
の液体は異物補集材３１およびフィルタ１０を通過して
流体導出管６へ導かれるが、流体１８中の粘性を有する
異物２７は、流体１８が異物補集材３１の表面に沿って
流れる際に異物補集材３１に粘着するようにして付着す
る。すなわち、粘性を有する異物２７は異物補集材３１
に付着して補集されることになる。そして、このように
補集された異物２７を摘出するには、フィルタユニット
２を異物補集装置１から異物摘出装置へ移して行なう。
態でフィルタ１０上に堆積される。そして、粘性を有す
る異物２７を補集するには、異物補集材３１を内蔵した
フィルタユニット２を異物補集装置１に装着し、異物補
集装置１を従来通りに動作させて行なう。フィルタユニ
ット２に流体１８が供給されると、流体１８の異物以外
の液体は異物補集材３１およびフィルタ１０を通過して
流体導出管６へ導かれるが、流体１８中の粘性を有する
異物２７は、流体１８が異物補集材３１の表面に沿って
流れる際に異物補集材３１に粘着するようにして付着す
る。すなわち、粘性を有する異物２７は異物補集材３１
に付着して補集されることになる。そして、このように
補集された異物２７を摘出するには、フィルタユニット
２を異物補集装置１から異物摘出装置へ移して行なう。
異物摘出装置で引き込みノズル２５を従来通りフィルタ
１０に近付けると、異物補集材３１が引き込みノズル２
５によって吸引され、フィルタ１０から離脱されて回収
される。すなわち、粘性を有する異物２７は異物補集材
３１と共にフィルタ１０から摘出されることになる。
１０に近付けると、異物補集材３１が引き込みノズル２
５によって吸引され、フィルタ１０から離脱されて回収
される。すなわち、粘性を有する異物２７は異物補集材
３１と共にフィルタ１０から摘出されることになる。
また、ガス状の異物２９を補集、摘出するには第３図（
ａ）、 （ｂ）に示すガス用異物補集材３２を使用する
。このガス用異物補集材３２も粒子状に形成されており
、前記異物補集材３１と同様にしてフィルタ１０上に堆
積されている。また、このガス用異物補集材３２として
は、前記異物補集材３１と同様に互いに結合力が小さく
、流体２８等の流れによって帯電しないものを使用する
必要があり、ガス状の異物２９によってその特性が変化
しないような材質のものが用いられる。具体例としては
、活性炭の粉体、活性炭に化学吸着剤を含ませたものの
粉体等が挙げられる。
ａ）、 （ｂ）に示すガス用異物補集材３２を使用する
。このガス用異物補集材３２も粒子状に形成されており
、前記異物補集材３１と同様にしてフィルタ１０上に堆
積されている。また、このガス用異物補集材３２として
は、前記異物補集材３１と同様に互いに結合力が小さく
、流体２８等の流れによって帯電しないものを使用する
必要があり、ガス状の異物２９によってその特性が変化
しないような材質のものが用いられる。具体例としては
、活性炭の粉体、活性炭に化学吸着剤を含ませたものの
粉体等が挙げられる。
このガス用異物補集材３２を使用してガス状異物２９を
補集、摘出するには、前記実施例と同様にして行なう。
補集、摘出するには、前記実施例と同様にして行なう。
すなわち、ガス状異物２９は、ガス用異物補集材３２の
表面に多数存在する微小孔の中に吸着されて補集され、
このガス用異物補集材３２と共に異物摘出装置によって
摘出される。
表面に多数存在する微小孔の中に吸着されて補集され、
このガス用異物補集材３２と共に異物摘出装置によって
摘出される。
したがって、粘性を有する異物２７やガス状の異物２９
は、フィルタ１０に堆積された異物補集材３１．３２に
付着することで補集され、この異物補集材３１．３２と
共にフィルタ１０から離脱されて摘出される。
は、フィルタ１０に堆積された異物補集材３１．３２に
付着することで補集され、この異物補集材３１．３２と
共にフィルタ１０から離脱されて摘出される。
以上説明したように本発明に係る異物の補集。
摘出方法は、粒子状の異物補集材が流体供給側に堆積さ
れた薄膜状フィルタによって異物混入流体を濾過し、し
かる後、前記異物補集材をフィルタから吸引法によって
離脱させて回収するものであり、また、本発明に係る異
物の補集、摘出装置は、フィルタの流体供給側に、摘出
装置によってフィルタから離脱されて回収される粒子状
の異物補集材を堆積させたものであるため、粘性を有す
る異物やガス状の異物は、フィルタに堆積された異物補
集材に付着することで補集され、この異物補集材と共に
フィルタから離脱されて摘出される。したがって、本発
明によれば、水分等の溶媒を含んだ粘性のある異物や、
ガス状の異物の補集、摘出を確実に行なうことができる
。
れた薄膜状フィルタによって異物混入流体を濾過し、し
かる後、前記異物補集材をフィルタから吸引法によって
離脱させて回収するものであり、また、本発明に係る異
物の補集、摘出装置は、フィルタの流体供給側に、摘出
装置によってフィルタから離脱されて回収される粒子状
の異物補集材を堆積させたものであるため、粘性を有す
る異物やガス状の異物は、フィルタに堆積された異物補
集材に付着することで補集され、この異物補集材と共に
フィルタから離脱されて摘出される。したがって、本発
明によれば、水分等の溶媒を含んだ粘性のある異物や、
ガス状の異物の補集、摘出を確実に行なうことができる
。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）、 （ｂ）は本発明に係る異物補集装置に
よって粘性を有する異物を補集している状態を示す図で
、同図（ａ）は本発明に係る異物補集装置の縦断面図、
同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す断面図である。第
２図は本発明に係る異物摘出装置の縦断面図、第３図は
本発明に係る異物補集装置によってガス状の異物を補集
している状態を示す縦断面図である。第４図（ａＬ （
ｂ）は従来の異物補集装置を示す図で、同図（ａ）は縦
断面図、同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す断面図で
ある。第５図は従来の異物摘出装置を示す縦断面図であ
る。第６図（ａ）、 （ｂ）はフィルタユニットに補集
された粘性を有する異物を従来の異物摘出装置で摘出し
ている状態を示す図で、同図（ａ）は粘性を有する異物
を補集したフィルタユニットが装着された従来の異物摘
出装置を示す縦断面図、同図（ｂ）は粘性を有する異物
を補集したフィルタを拡大して示す断面図である。第７
図（ａＬ （ｂ）はガス状の異物を従来の異物補集装置
で補集している状態を示す図で、同図（ａ）は異物補集
装置の縦断面図、同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す
断面図である。 １９０．・異物補集装置、２・・、・フィルタユニット
、１０・・・・フィルタ、１８．２８・、・・流体、２
５・。 ・・引き込みノズル、２６・・・・ノズル駆動装置、２
７０．・・粘性を有する異物、２９・・・・ガス状異物
、３１・、・・異物補集材、３２・・・・ガス用異物補
集材。
よって粘性を有する異物を補集している状態を示す図で
、同図（ａ）は本発明に係る異物補集装置の縦断面図、
同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す断面図である。第
２図は本発明に係る異物摘出装置の縦断面図、第３図は
本発明に係る異物補集装置によってガス状の異物を補集
している状態を示す縦断面図である。第４図（ａＬ （
ｂ）は従来の異物補集装置を示す図で、同図（ａ）は縦
断面図、同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す断面図で
ある。第５図は従来の異物摘出装置を示す縦断面図であ
る。第６図（ａ）、 （ｂ）はフィルタユニットに補集
された粘性を有する異物を従来の異物摘出装置で摘出し
ている状態を示す図で、同図（ａ）は粘性を有する異物
を補集したフィルタユニットが装着された従来の異物摘
出装置を示す縦断面図、同図（ｂ）は粘性を有する異物
を補集したフィルタを拡大して示す断面図である。第７
図（ａＬ （ｂ）はガス状の異物を従来の異物補集装置
で補集している状態を示す図で、同図（ａ）は異物補集
装置の縦断面図、同図（ｂ）はフィルタを拡大して示す
断面図である。 １９０．・異物補集装置、２・・、・フィルタユニット
、１０・・・・フィルタ、１８．２８・、・・流体、２
５・。 ・・引き込みノズル、２６・・・・ノズル駆動装置、２
７０．・・粘性を有する異物、２９・・・・ガス状異物
、３１・、・・異物補集材、３２・・・・ガス用異物補
集材。
Claims (2)
- （１）粒子状の異物補集材が流体供給側に堆積された薄
膜状フィルタによって異物混入流体を濾過し、しかる後
、前記異物補集材をフィルタから吸引法によって離脱さ
せて回収することを特徴とする異物の補集、摘出方法。 - （２）薄膜状のフィルタで異物混入流体を濾過させる異
物補集装置と、前記フィルタの表面に残留した異物を濾
過方向とは逆の方向へ吸引して回収する摘出装置とから
なる異物の補集、摘出装置において、前記フィルタの流
体供給側に、前記摘出装置によってフィルタから離脱さ
れて回収される粒子状の異物補集材を堆積させたことを
特徴とする異物の補集、摘出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2296365A JPH04171012A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 異物の補集，摘出方法および補集，摘出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2296365A JPH04171012A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 異物の補集，摘出方法および補集，摘出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04171012A true JPH04171012A (ja) | 1992-06-18 |
Family
ID=17832609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2296365A Pending JPH04171012A (ja) | 1990-10-31 | 1990-10-31 | 異物の補集，摘出方法および補集，摘出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04171012A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100401315B1 (ko) * | 1999-05-27 | 2003-10-10 | 산요덴키가부시키가이샤 | 반도체 장치의 제조 방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01266894A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-24 | Hitachi Ltd | クラツドプリコート装置 |
-
1990
- 1990-10-31 JP JP2296365A patent/JPH04171012A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01266894A (ja) * | 1988-04-18 | 1989-10-24 | Hitachi Ltd | クラツドプリコート装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100401315B1 (ko) * | 1999-05-27 | 2003-10-10 | 산요덴키가부시키가이샤 | 반도체 장치의 제조 방법 |
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