JPH04175648A - 螢光ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は螢光Ｘ線分析装置に関する。

〔従来の技術〕

第３図は従来までの螢光Ｘ線分析装置を示し、同図にお
いて、Ｘ線管１からの一次Ｘ線がコリメータ２を介して
試料ステージ３上の試料４の一部に照射され、螢光Ｘ線
を発生する。この螢光Ｘ線はたとえば半導体検出器（Ｓ
ＳＤ）よりなるＸ線検出器５で検出される。上記Ｘ線検
出器５からの出力はパルスプロセッサー６で処理され、
試料中に含まれる元素とその強度を判別する。その後、
このパルスプロセッサー６からの信号はコンピュータ７
に入力され、画像処理装置８にて画像表示を行う。

試料４における測定点の指定は、試料４の上方に設けら
れたテレビカメラ１１によって試料４を撮像し、その試
料像をテレビモニタ１２に表示することにより試料４の
一部を目視ｉｔ認できるようにしておく、その後、試料
ステージ３を所定の方向に移動させるステージコントロ
ーラ９をたとえばジョイスティック１０などを操作する
ことにより試料ステージ３を移動させ、前記Ｘ線が照射
される位置（ここではテレビモニタ１２にあらかじめ設
けられたスケール］３の中心）に試料４の測定点を移動
させてその部分の測定を行う。

また、測定点が複数ある場合には、あらかしめそれぞれ
の測定点をジョイスティック１０の操作により試料ステ
ージ３を移動させて、各測定点の位置を試料ステージ３
のＸ−Ｙ位置としてコンピュータ７に記憶させておき、
測定時にはコンピュータ７に記憶された位置毎に再び試
料ステージ３を移動させて測定をおこなう。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、測定点が複数ある場合には、１回１回試
料ステージ３を移動させてその都度コンピュータ７に各
測定点をメモリーしなければならず、また、測定点のｉ
Ｉ認や修正を行う場合にも試料ステージ３を移動させる
必要があり非常に時間のかかる作業であった。さらに、
テレビモニタ１２に表示される試料像と設定した複数の
測定点を同時に見ることができないので極めて操作性が
悪かった。

本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、非常に短時間で高精度な測定を可
能にするとともに極めて操作性に優れた螢光Ｘ線分析装
置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上述の目的を達成するため、本発明に係る螢光Ｘ線分析
装置は、テレビカメラからの信号とコンピュータからの
信号とをスーパーインポーズ装置に入力し、これらの信
号を画像処理装置に入力してテレビカメラによる試料像
とコンピュータからの画像を同一の画面上に重ね合わせ
るようにした点に特徴がある。

〔作用〕

上記特徴構成によれば、たとえ測定点が複数ある場合で
も試料ステージを移動させることなく測定点の設定がで
き、且つ、試料像と設定した複数の測定点を同一画面上
で観察できるため設定時間が大幅に短縮するとともに操
作性も向上する。

また、試料像とＸｖＡマツピング像を同一画面上に重ね
合わせることもできるためデータ解析が容易になる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明に係る螢光Ｘ線分析装置の一例を示し、
この図において、第３図に示す符号と同一のものは同一
物または相当物を示す。

ここで、この螢光Ｘ線分析装置が従来の螢光Ｘ線分析装
置と大きく異なる点は、テレビカメラ１１からの信号と
コンピュータ７からの信号とをスーパーインポーズ装置
１４に入力し、これらの信号を画像処理装置８に入力し
てテレビカメラ１１による試料像とコンピュータ７から
の画像を同一の画面上に重ね合わせるようにした点であ
る。

即ち、テレビカメラ１１で捉えた試料像の一部をスーパ
ーインポーズ装置１４に入力し、その後、画像処理装置
８で画像表示を行い、その同一画面上にコンピュータ７
からの信号による画像をスーパーインポーズ装置１４を
介して重ね合わせているのである。

第２図は画像処理装置８における上記画像の表示状態を
示し、同図においてＡは試＃Ｊ４に照射される一次Ｘｖ
Ａの照射位置を示し、Ｂはコンピュータ画像におけるカ
ーソル位置を示す、なお、本実施例ではカーソル位置Ｂ
の移動手段として例えばマウス１５を用い、このマウス
１５の移動に対応してカーソル位置Ｂが移動するように
しである。

次に測定点を指定するには、あらかじめ設けられた測定
枠Ｍ内において、上記マウス１５によりカーソル位置Ｂ
を測定点に移動させ、その位置でマウス１５のボタンを
操作することによりコンピュータ７に信号を送り、その
位置をコンピュータ７に記憶させると同時に画面上に測
定点Ｃとして表示を行う、そして、複数箇所について測
定を行う場合には他の測定点Ｃについても同様に、順次
コンビューク７に記憶させていく。

そして測定時には、指定された順番にそれぞれの測定点
Ｃが上記−次Ｘ線照射位置Ａに移動するように、コンピ
ュータ７に記憶された位置情報信号をステージコントロ
ーラ９に送信して試料ステージ３を移動させる。その後
、−次Ｘ線を試料４に照射することにより発生する螢光
Ｘ線はたとえば半導体検出Ｆｉ（ＳＳＤ）よりなるＸ線
検出器５で検出され、その出力はパルスプロセッサー６
で処理されて、それぞれの測定点に含まれる元素とその
強度を判別する。その後、このパルスプロセッサー６か
らの信号はコンピュータ７に入力され、スーパーインポ
ーズ装Ｗ１４を介して画像処理装置８で画像表示を行う
ことにより、試料４におけるＸ線マツピング像を前記試
料像と重ね合わせて見ることも可能となる。

なお、その他の測定方法として画像処理袋Ｗ８の画面上
にラインを引き、そのライン上を任意に分割指定するこ
とにより測定を行うこともできる。

また、同一パターンの試料がある場合にはすでにコンピ
ュータ７に記憶された測定点のコピーを行うことも可能
である。

以上、本実施例では測定点Ｃの指定方法としてマウス１
５を用いたが、キーボード操作等によるマニュアル操作
によっても行えることは云うまでもない。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、たとえ測定点が
複数ある場合でも試料ステージを移動させることなく測
定点の設定ができ、且つ、試料像と設定した複数の測定
点を同一画面上で観察できるため設定時間が大幅に短縮
するとともに操作性も向上する。

また、試料像とＸ線マツピング像を同一画面上に重ね合
わせることもできるためデータ解析が容易になるととも
に高精度な測定が行えるようになったのである。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の一寞施例を示し、第１図
は螢光ＸｖＡ分析装置を示す全体構成図、第２図はスー
パーインポーズ画面を示す図である。 第３図は従来の螢光ｘｖＡ分析装置を示す全体構成図で
ある。 １・・・Ｘ線管、３・・・試料ステージ、４・・・試料
、５・・・ＸｖＡ検出器、６・・・パルスプロセッサ、
７・・・コンピュータ、８・・・画像処理装置、９・・
・ステージコントローラ、１１・・・テレビカメラ、１
４・・・スーパーインポーズ装置。 出　願　人　　株式会社　堀場製作所 代　理　人　　弁理士　　藤本英夫 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料を載置する試料ステージと、前記試料にＸ線を照射
   するＸ線管と、該Ｘ線照射により前記試料において生ず
   る螢光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、このＸ線検出器の
   出力に基づいて試料中に含まれる元素とその強度を判別
   するパルスプロセッサーと、このパルスプロセッサーか
   らの信号が入力されるコンピュータと、このコンピュー
   タの出力を処理して画像表示する画像処理装置と、前記
   コンピュータからの制御信号に基づいて前記試料ステー
   ジを所定の方向に移動させるステージコントローラと、
   前記試料の像をモニターするためのテレビカメラとから
   なる螢光Ｘ線分析装置において、前記テレビカメラから
   の信号と前記コンピュータからの信号とをスーパーイン
   ポーズ装置に入力し、これらの信号を画像処理装置に入
   力して前記テレビカメラによる試料像と前記コンピュー
   タからの画像を同一の画面上に重ね合わせるようにした
   ことを特徴とする螢光Ｘ線分析装置。