JPH04176147A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents
ウェーハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH04176147A JPH04176147A JP30348190A JP30348190A JPH04176147A JP H04176147 A JPH04176147 A JP H04176147A JP 30348190 A JP30348190 A JP 30348190A JP 30348190 A JP30348190 A JP 30348190A JP H04176147 A JPH04176147 A JP H04176147A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- wafers
- wafer
- pulleys
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置を製造する設備間をウェーハを搬
送するウェーハ搬送装置に関する。
送するウェーハ搬送装置に関する。
従来、この種のウェーハ搬送装置は、半導体装置の自動
化設備の一つとして用いられているもので、各設備間の
ウェーハの受は渡し装置として広く利用されるようにな
った。
化設備の一つとして用いられているもので、各設備間の
ウェーハの受は渡し装置として広く利用されるようにな
った。
第２図は従来の一例を示ずウェーハ搬送装置の斜視図で
ある。このウェーハ搬送装置は、同図に示すように、ウ
ェーハ６を収納する棚５ａを多数段有するカセット５を
隣接し合う棚５ａの間隔ずつ定寸動し昇降させるエレベ
ータ（図示せず）と、カセット５一端側を潜らせ、ウェ
ーハ６を乗せてカセット５の棚５ａよりウェーハ６を引
き出したり、カセット５の棚５ａに移載したりするベル
ト２と、このベルト２を送り駆動させる一対のプーリー
７とで構成されれいた。
ある。このウェーハ搬送装置は、同図に示すように、ウ
ェーハ６を収納する棚５ａを多数段有するカセット５を
隣接し合う棚５ａの間隔ずつ定寸動し昇降させるエレベ
ータ（図示せず）と、カセット５一端側を潜らせ、ウェ
ーハ６を乗せてカセット５の棚５ａよりウェーハ６を引
き出したり、カセット５の棚５ａに移載したりするベル
ト２と、このベルト２を送り駆動させる一対のプーリー
７とで構成されれいた。
このウェーハ搬送装置の動作は、まず、全部の棚５ａが
空であるカセット５をエレベータに乗せる。次に、回転
軸３によりプーリー７か矢印の方向に回転し、ウェーハ
６が送られてくる。次に、ウェーハ６がカセット５外に
挿入されると、センサがウェーハを検知し、エレベータ
が棚５ａの一間隔だけ上昇する。このことにより、ベル
ト２に乗せられたウェーハ６は、棚５ａの上に移し変え
られる。次に、再び、ウェーハ６がベルト２で送られ、
ウェーハがカセット５に挿入されると、エレベータは一
間隔だけ」：昇し、ウェーハ６を棚５ａに移し変える。
空であるカセット５をエレベータに乗せる。次に、回転
軸３によりプーリー７か矢印の方向に回転し、ウェーハ
６が送られてくる。次に、ウェーハ６がカセット５外に
挿入されると、センサがウェーハを検知し、エレベータ
が棚５ａの一間隔だけ上昇する。このことにより、ベル
ト２に乗せられたウェーハ６は、棚５ａの上に移し変え
られる。次に、再び、ウェーハ６がベルト２で送られ、
ウェーハがカセット５に挿入されると、エレベータは一
間隔だけ」：昇し、ウェーハ６を棚５ａに移し変える。
このように、送られてぐるウェーハ６をカセットの棚に
満載されるまで、同様の動作を行ない。他のカセットに
満載されたウェーハをカセットに移し変える。
満載されるまで、同様の動作を行ない。他のカセットに
満載されたウェーハをカセットに移し変える。
また、逆に、ウェーハが満載されたカセットより他のカ
セットに移し変えるには、これと逆に、まず、ウェーハ
が満載されたカセットをエレベータに乗せ、エレベータ
の一間隔だけ下降させ、棚に乗せられたウェーハをベル
ト２の上に移し変える。このとき、センサが移し変えを
検知し、ベルト２がウェーハ６と接触し、カセット５外
に引き出し、他のカセットに送る。次に、送られたウェ
ーハが他のカセッＩ・に収納されたことを確認すると、
再び、エレベータが一間隔だけ下降し、次の棚のウェー
ハをベルト２の」二に移し変え、他の力セラ１〜に送る
。このよな動作を繰返して、カセット５に収納されてい
るウェーハを他のカセッ１〜に送り、収納していた。
セットに移し変えるには、これと逆に、まず、ウェーハ
が満載されたカセットをエレベータに乗せ、エレベータ
の一間隔だけ下降させ、棚に乗せられたウェーハをベル
ト２の上に移し変える。このとき、センサが移し変えを
検知し、ベルト２がウェーハ６と接触し、カセット５外
に引き出し、他のカセットに送る。次に、送られたウェ
ーハが他のカセッＩ・に収納されたことを確認すると、
再び、エレベータが一間隔だけ下降し、次の棚のウェー
ハをベルト２の」二に移し変え、他の力セラ１〜に送る
。このよな動作を繰返して、カセット５に収納されてい
るウェーハを他のカセッ１〜に送り、収納していた。
しかしながら、上述した従来のウェーハ搬送装置では、
カセッ１〜の棚の捩れ、エレベータの停止位置精度等に
よりベル１〜とウェーハの接触が十分でなく、しばしば
、ウェーハが搬送されないという欠点がある。
カセッ１〜の棚の捩れ、エレベータの停止位置精度等に
よりベル１〜とウェーハの接触が十分でなく、しばしば
、ウェーハが搬送されないという欠点がある。
本発明の目的は、かかる欠点を解消し、常に、円滑にウ
ェーハがベルトに移載され、搬送されるウェーハ搬送装
置を提供することである。
ェーハがベルトに移載され、搬送されるウェーハ搬送装
置を提供することである。
本発明のウェーハ搬送装置は、ウェーハを収納する棚を
多数段有するカセットを隣接し合う前記棚の間隔ずつ定
寸動し昇降させるエレベータと、前記カセット一端側を
潜らすとともに前記ウェーハを乗せて前記棚より前記ウ
ェーハを引き出したり、前記棚に移載したりするベルト
と、このベルＩ・を送り駆動させる一対のプーリーとを
有するウェーハ搬送装置において、 前記プーリーの回転軸が前記プーリーに偏心して取り付
けられていることを特徴としている。
多数段有するカセットを隣接し合う前記棚の間隔ずつ定
寸動し昇降させるエレベータと、前記カセット一端側を
潜らすとともに前記ウェーハを乗せて前記棚より前記ウ
ェーハを引き出したり、前記棚に移載したりするベルト
と、このベルＩ・を送り駆動させる一対のプーリーとを
有するウェーハ搬送装置において、 前記プーリーの回転軸が前記プーリーに偏心して取り付
けられていることを特徴としている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すウェーハ搬送装置の斜
視図である。このウェーハ搬送装置は、同図に示すよう
に、第２図に示す従来のプーリー７を、′回転軸３が偏
心して取り付けられる偏心プーリー１に変換したことで
ある。それ以外は、従来と同じである。
視図である。このウェーハ搬送装置は、同図に示すよう
に、第２図に示す従来のプーリー７を、′回転軸３が偏
心して取り付けられる偏心プーリー１に変換したことで
ある。それ以外は、従来と同じである。
この偏心プーリー３ａを取り付けることによって、エレ
ベータが下降し、さらに、この偏心プーリー］−の最大
直径部分が上にきたとき、確実にベルト２の接触面４ａ
が、−点鎖線で示すように盛り上り、ウェーハ６の裏面
を接触面４ａで押し上げ、棚５ａよりウェーハを引離ず
。このため、溝でなる棚が歪みによりベルト２の接触面
と棚５ａが並行でなく、ベルト２とウェーハ６との接触
面が不十分である場合でも、ウェーハ６は円滑にベルト
２に移載されることにある。
ベータが下降し、さらに、この偏心プーリー］−の最大
直径部分が上にきたとき、確実にベルト２の接触面４ａ
が、−点鎖線で示すように盛り上り、ウェーハ６の裏面
を接触面４ａで押し上げ、棚５ａよりウェーハを引離ず
。このため、溝でなる棚が歪みによりベルト２の接触面
と棚５ａが並行でなく、ベルト２とウェーハ６との接触
面が不十分である場合でも、ウェーハ６は円滑にベルト
２に移載されることにある。
また、この偏心プーリー１の偏心量は、カセット５の棚
５ａをなず溝幅とウェーハの板厚との差、すなわち、ウ
ェーハ６と溝とのクリアランスの半分以下に設定するの
が妥当である。
５ａをなず溝幅とウェーハの板厚との差、すなわち、ウ
ェーハ６と溝とのクリアランスの半分以下に設定するの
が妥当である。
さらに、この偏心プーリーを用いることによって、ウェ
ーハとカセットの棚が粘着して、取り出し難い場合でも
、この偏心プーリー１の偏心による振動によって、容易
に分離することが出来る。
ーハとカセットの棚が粘着して、取り出し難い場合でも
、この偏心プーリー１の偏心による振動によって、容易
に分離することが出来る。
勿論、この両側にある二つの偏心プーリー１は、互いに
最大直径位置が同時に同じ位置にくるように取り付けら
れている。
最大直径位置が同時に同じ位置にくるように取り付けら
れている。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、カセッ１〜の棚よりウェ
ーハを引き離すように、ベルトを押し上げる偏心プーリ
ーを設けることによって、常に、円滑にウェーハがベル
トに移載され、搬送されるウェーハ搬送装置が得られる
という効果がある。
ーハを引き離すように、ベルトを押し上げる偏心プーリ
ーを設けることによって、常に、円滑にウェーハがベル
トに移載され、搬送されるウェーハ搬送装置が得られる
という効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示ずウェーハ搬送装置の斜
視図、第２図は従来の一例を示すウェーハ搬送装置の斜
視図である。 １・・・偏心プーリー、２・・・ベルト、３・・回転軸
、４ａ、４ｂ・・〜接触面、５・・・カセッ１〜．５ａ
・・・棚、６・・・ウェーハ、７・・・プーリー。
視図、第２図は従来の一例を示すウェーハ搬送装置の斜
視図である。 １・・・偏心プーリー、２・・・ベルト、３・・回転軸
、４ａ、４ｂ・・〜接触面、５・・・カセッ１〜．５ａ
・・・棚、６・・・ウェーハ、７・・・プーリー。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ウェーハを収納する棚を多数段有するカセットを隣接し
合う前記棚の間隔ずつ定寸動し昇降させるエレベータと
、 前記カセット一端側を潜らすとともに前記ウェーハを乗
せて前記棚より前記ウェーハを引き出したり、前記棚に
移載したりするベルトと、 このベルトを送り駆動させる一対のプーリーとを有する
ウェーハ搬送装置において、 前記プーリーの回転軸が前記プーリーに偏心して取り付
けられていることを特徴とするウェーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30348190A JPH04176147A (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | ウェーハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30348190A JPH04176147A (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | ウェーハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04176147A true JPH04176147A (ja) | 1992-06-23 |
Family
ID=17921473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30348190A Pending JPH04176147A (ja) | 1990-11-08 | 1990-11-08 | ウェーハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04176147A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111891731A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-11-06 | 无锡豪帮高科股份有限公司 | 一种集成电路智能制造上料装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61119533A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ着脱装置 |
-
1990
- 1990-11-08 JP JP30348190A patent/JPH04176147A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61119533A (ja) * | 1984-11-16 | 1986-06-06 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ着脱装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111891731A (zh) * | 2020-06-17 | 2020-11-06 | 无锡豪帮高科股份有限公司 | 一种集成电路智能制造上料装置 |
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