JPH04176332A - 真空装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空装置、特に、成膜２分析等に使用するた
めの真空装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図は、従来の一例を説明するための概略断面図であ
る。

第２図に示す真空装置本体１には真空計２が取り付けら
れている。真空計２の交換が必要になった場合には、通
常減圧状態の真空装置本体１を大気圧状態にした後に真
空計２を交換していた。

口発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、このような上述した従来の真空装置は、
真空装置本体の内壁に大気が吸着する等のため、良好な
真空状態に復帰するのにかなりの時間を要してしまうと
いう欠点があった。

本発明は、減圧状態の真空装置の内部を大気圧状態にす
ることなしに真空計を交換することのできる真空装置を
提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の真空装置は、真空装置本体と真空計との接続部
に両側を遮断するための開閉弁を具備し、さらに真空計
側の部分に真空排気用ポンプ、その開閉弁、ベント用気
体導入部およびその開閉弁を具備して構成された。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図である。

第１図に示す真空装置は、使用している状態では、真空
装置本体１と真空計２との接続部に両側を遮断するため
の開閉弁３は開いており、開閉弁５および７は閉じてい
る。真空計２の交換を行うときには、まず開閉弁３を閉
じることによって真空装置本体１と真空計２とを遮断す
る。

次に、開閉弁７を開きベント用気体導入部７から大気を
導入することによって開閉弁３で遮断された真空計２側
の部分を大気圧状態にして真空計２の交換を行う。

真空計２の交換が終了した後、開閉弁７を閉じて真空排
気用ポンプ４を差動させ開閉弁５を開けることによって
開閉弁３で遮断された大気状態の真空計２側の部分を真
空排気する。

真空排気を終了した後開閉弁５を閉じ真空排気用ポンプ
４を停止して開閉弁３を開ける。

〔発明の効果〕

本発明の真空装置は、減圧状態の真空装置本体の内部を
大気圧状態にする必要がないため、真空装置本体の内壁
に大気が吸着する等のこともなく良好な真空状態を保っ
たまま、真空計を交換することができるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図、第２図は
従来の一例を示す概略断面図である。 ｌ・・・・・真空装置本体、２・・・・・真空計、３・
・・・・・開閉弁、４・・・・・・真空排気用ポンプ、
５・・・・・・開閉弁、６′・・・・・・ベント用気体
導入部、７・・・・・・開閉弁である。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空装置本体と、真空計と、前記真空装置本体と前記真
   空計との接続部に両側を遮断するための第１の開閉弁と
   、真空計側の部分に設けられた真空排気用ポンプと、前
   記真空排気用ポンプのための第２の開閉弁と、ベント用
   気体導入部と、前記ベント用導入部のための第３の開閉
   弁とを具備することを特徴とする真空装置。