JPH04177773A - パルスレーザ用スイッチ - Google Patents
パルスレーザ用スイッチInfo
- Publication number
- JPH04177773A JPH04177773A JP2305203A JP30520390A JPH04177773A JP H04177773 A JPH04177773 A JP H04177773A JP 2305203 A JP2305203 A JP 2305203A JP 30520390 A JP30520390 A JP 30520390A JP H04177773 A JPH04177773 A JP H04177773A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- series
- switch
- discharge
- parallel
- speed switches
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は充電用コンデンサからの放電エネルギーを放
電電極間に与えるように、上記充電用コンデンサの放電
路を開閉するパルスレーザ用スイッチに関する。
電電極間に与えるように、上記充電用コンデンサの放電
路を開閉するパルスレーザ用スイッチに関する。
〔従来の技術］
第５図は、例えばｒＯＰＩＬＩＳ Ｅｌ １９８３年１
１月号、 Ｐ、 １１２〜１１８に示された従来の放電
励起レーザ装置の放電部の構造の電気的等価回路を示し
た図である。図において、１は放電エネルギーとして高
電圧を供給する高電圧電源、２ばこの高電圧電源１から
後段のレーザ装置の放電電極に印加される高電圧を断続
制御する高電圧高速スイッチとしてのサイラトロン、３
は高電圧電源１からの電荷をサイラトロン２の断続によ
り蓄積し、一対の放電電極５に放電する充電用コンデン
サ、４はこの充電用コンデンサ３から放電電極に加える
放電エネルギー波形を急峻にするピーキングコンデンサ
である。
１月号、 Ｐ、 １１２〜１１８に示された従来の放電
励起レーザ装置の放電部の構造の電気的等価回路を示し
た図である。図において、１は放電エネルギーとして高
電圧を供給する高電圧電源、２ばこの高電圧電源１から
後段のレーザ装置の放電電極に印加される高電圧を断続
制御する高電圧高速スイッチとしてのサイラトロン、３
は高電圧電源１からの電荷をサイラトロン２の断続によ
り蓄積し、一対の放電電極５に放電する充電用コンデン
サ、４はこの充電用コンデンサ３から放電電極に加える
放電エネルギー波形を急峻にするピーキングコンデンサ
である。
次に動作について説明する。
第５図において、サイラトロン２が開いているときは高
電圧型／ＴＸ１から充電用コンデンサ３に電荷が蓄積さ
れ、サイラトロン２が閉じられると、充電用コンデンサ
３に蓄積された電荷がピーキングコンデンサ４に移行さ
れる。
電圧型／ＴＸ１から充電用コンデンサ３に電荷が蓄積さ
れ、サイラトロン２が閉じられると、充電用コンデンサ
３に蓄積された電荷がピーキングコンデンサ４に移行さ
れる。
これに伴って、放電電極５間の電圧か急速に立上り、し
ばらくして放電電極５間の放電空間が絶縁破壊しピーキ
ングコンデンサ４のエネルギーが放電電極５間に投入さ
れる。これにより、放電空間のレーザ媒質ガスが励起さ
れ、誘導放出によりレーザ発振が得られ、外部にレーザ
光が取り出される。
ばらくして放電電極５間の放電空間が絶縁破壊しピーキ
ングコンデンサ４のエネルギーが放電電極５間に投入さ
れる。これにより、放電空間のレーザ媒質ガスが励起さ
れ、誘導放出によりレーザ発振が得られ、外部にレーザ
光が取り出される。
ところで、高電圧スイッチとしてザイラトロンを使用す
ると、ザイラトロンを含む放電経路のインダクタンスを
小さくできず、従って放電電極間の電圧の立上り速度ｄ
ｖ ／ ｄ ｔを大きくできないという問題点があっ
た。
ると、ザイラトロンを含む放電経路のインダクタンスを
小さくできず、従って放電電極間の電圧の立上り速度ｄ
ｖ ／ ｄ ｔを大きくできないという問題点があっ
た。
第６図はこのような問題点を解決するため、ザイラトロ
ンの代わりにＦＥＴ、ＩＧＢＴ、ＳＩＴ等に代表される
半導体素子の高速スイッチ６を用いたもので、放電経路
のインダクタンスを小さくでき、安定で均一な放電を得
ることができる。しかし、この高速スイッチ６は耐電圧
が低く、電流容量が小さいため、複数個を直列接続また
は並列接続あるいは直並列接続することが必要である。
ンの代わりにＦＥＴ、ＩＧＢＴ、ＳＩＴ等に代表される
半導体素子の高速スイッチ６を用いたもので、放電経路
のインダクタンスを小さくでき、安定で均一な放電を得
ることができる。しかし、この高速スイッチ６は耐電圧
が低く、電流容量が小さいため、複数個を直列接続また
は並列接続あるいは直並列接続することが必要である。
従来のパルスレーザ用スイッチは上記のように構成され
ているので、直列接続または並列接続あるいは直並列接
続した高速スイッチのいくつかに事故が生じ短絡状態に
なると、正常な高速スイッチの電圧分担が増加する。従
って、各々の高速スイッチの定格電圧に余裕をもたせて
直並列数を設計しても、正常な高速スイッチに定格電圧
以上の電圧がかかり、そのまま運転を続けると急峻な電
圧パルスが発生したとき高速スイッチを破壊する恐れが
あった。また、このように直列接続または並列接続ある
いは直並列接続した高速スイッチのいくつかが短絡状態
になっても、残りの正常な高速スイッチが動作していれ
ば事故に気づかず非常に危険になるという問題点がある
。
ているので、直列接続または並列接続あるいは直並列接
続した高速スイッチのいくつかに事故が生じ短絡状態に
なると、正常な高速スイッチの電圧分担が増加する。従
って、各々の高速スイッチの定格電圧に余裕をもたせて
直並列数を設計しても、正常な高速スイッチに定格電圧
以上の電圧がかかり、そのまま運転を続けると急峻な電
圧パルスが発生したとき高速スイッチを破壊する恐れが
あった。また、このように直列接続または並列接続ある
いは直並列接続した高速スイッチのいくつかが短絡状態
になっても、残りの正常な高速スイッチが動作していれ
ば事故に気づかず非常に危険になるという問題点がある
。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、直列または並列、あるいは直並列接続した複
数個の高速スイッチのいくつかが短絡状態になっても、
この短絡事故の発生を知ることができると共に接続部位
のどこに短絡が生じたかを知ることができるパルスレー
ザ用スイッチを提供することを目的とする。
たもので、直列または並列、あるいは直並列接続した複
数個の高速スイッチのいくつかが短絡状態になっても、
この短絡事故の発生を知ることができると共に接続部位
のどこに短絡が生じたかを知ることができるパルスレー
ザ用スイッチを提供することを目的とする。
この発明に係るパルスレーザ用スイッチは、スイッチ群
を構成する複数個の高速スイッチの各直列接続間または
並列接続間あるいは直並列接続間が短絡状態にあるか否
かを表示する複数個のインジケータとを具備したもので
ある。
を構成する複数個の高速スイッチの各直列接続間または
並列接続間あるいは直並列接続間が短絡状態にあるか否
かを表示する複数個のインジケータとを具備したもので
ある。
〔作 用］
この発明におけるインジケータは、スイッチ群を構成す
る高速スイッチの直列接続間または並列接続間あるいは
直並列接続間に生じた短絡事故を表示するもので、短絡
事故の発生を迅速に知ることができるとともにどの接続
位置で短絡が生じたかを適確に知ることができる。
る高速スイッチの直列接続間または並列接続間あるいは
直並列接続間に生じた短絡事故を表示するもので、短絡
事故の発生を迅速に知ることができるとともにどの接続
位置で短絡が生じたかを適確に知ることができる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明のパルスレーザ用スイッチの一実施例
による放電励起形レーザの励起回路を示す回路図、第２
図はこの発明のパルスレーザ用スイッチの他の実施例に
よる放電励起形レーザの励起回路を示す回路図、第３図
は本発明によるパルスレーザ用スイッチを使用した放電
励起形レーザの励起回路の外観を示した図である。図に
おいて、第５図および第６図の従来例と同じ部分には同
一の参照番号が（ｔ Ｌである。
による放電励起形レーザの励起回路を示す回路図、第２
図はこの発明のパルスレーザ用スイッチの他の実施例に
よる放電励起形レーザの励起回路を示す回路図、第３図
は本発明によるパルスレーザ用スイッチを使用した放電
励起形レーザの励起回路の外観を示した図である。図に
おいて、第５図および第６図の従来例と同じ部分には同
一の参照番号が（ｔ Ｌである。
図において、１は放電エネルギーを供給する高電圧電源
、３は高電圧電源１からの放電エネルギーを蓄積し、レ
ーザの放電電極に与える充電用コンデンサ、４は放電エ
ネルギー波形を急峻にするピーキングコンデンサ、５は
対をなす上記放電電極、６は充電用コンデンサ３からピ
ーキングコンデンサ４を介して放電電極５に印加される
高電圧を断続制御するスイッチ群であり、このスイッチ
群６は例えばＦＥＴ、ＩＧＢＴ、ＳｊＴなどで代表され
る半導体素子の高速スイッチを複数個、直列または並列
あるいは直並列接続して構成している。７はスイッチ群
６の各直列接続間、または並列接続間あるいは直並列接
続間に接続されたインジケータであり、このインジケー
タ７は例えば発光ダイオード、半導体レーザなどの発光
素子からなり、高速スイッチの各々が短絡状態にあるか
否かを表示する。８は導体、９はレーザ筐体、１０゜１
１は導電板である。
、３は高電圧電源１からの放電エネルギーを蓄積し、レ
ーザの放電電極に与える充電用コンデンサ、４は放電エ
ネルギー波形を急峻にするピーキングコンデンサ、５は
対をなす上記放電電極、６は充電用コンデンサ３からピ
ーキングコンデンサ４を介して放電電極５に印加される
高電圧を断続制御するスイッチ群であり、このスイッチ
群６は例えばＦＥＴ、ＩＧＢＴ、ＳｊＴなどで代表され
る半導体素子の高速スイッチを複数個、直列または並列
あるいは直並列接続して構成している。７はスイッチ群
６の各直列接続間、または並列接続間あるいは直並列接
続間に接続されたインジケータであり、このインジケー
タ７は例えば発光ダイオード、半導体レーザなどの発光
素子からなり、高速スイッチの各々が短絡状態にあるか
否かを表示する。８は導体、９はレーザ筐体、１０゜１
１は導電板である。
次に動作について説明する。
インジケータ７はスイッチ群６の直列間またぼ並列間あ
るいは直並列間に接続され、いずれの高速スイッチにト
ラブルがあってもその１−ラブル位置を表示できるよう
に配置されている。
るいは直並列間に接続され、いずれの高速スイッチにト
ラブルがあってもその１−ラブル位置を表示できるよう
に配置されている。
このインジケータ７を付設した以外は従来装置と木質的
には同様に動作する。このようにインジケータ７を設け
ることにより、高速スイッチのいくつかに事故が生して
短絡状態になったとき、直ちにその事故の存在、事故が
生した位置を知ることができる。
には同様に動作する。このようにインジケータ７を設け
ることにより、高速スイッチのいくつかに事故が生して
短絡状態になったとき、直ちにその事故の存在、事故が
生した位置を知ることができる。
第４図はインジケータ７の一実施例を示す回路図で、ス
イッチ群６を構成する高速スイッチにはＦＥＴを、イン
ジケータ７には発光ダイオードを使用している。図にお
いて、１２Δ〜１２Ｅは抵抗、１３ばハイアスコンデン
ザ、１４は高速スイッチのＦＥＴの短絡、切断を検出し
て発光ダイオードをオン・オフ１ｌｉｌｌ １卸するＩ
・ランシスク、１５ば上記発光ダイオード、１６はＦＥ
Ｔである。動作時には、スイッチ群６を構成するいずれ
かのＦＥＴ１６が短絡すると、抵抗１２Ａ、１２Ｂを介
してｊ・ランジスク１４がこれを検出する。その結果、
発光ダイオード１５は消灯する。この例では通常時は発
光ダイオード１５は点灯するようにしである。
イッチ群６を構成する高速スイッチにはＦＥＴを、イン
ジケータ７には発光ダイオードを使用している。図にお
いて、１２Δ〜１２Ｅは抵抗、１３ばハイアスコンデン
ザ、１４は高速スイッチのＦＥＴの短絡、切断を検出し
て発光ダイオードをオン・オフ１ｌｉｌｌ １卸するＩ
・ランシスク、１５ば上記発光ダイオード、１６はＦＥ
Ｔである。動作時には、スイッチ群６を構成するいずれ
かのＦＥＴ１６が短絡すると、抵抗１２Ａ、１２Ｂを介
してｊ・ランジスク１４がこれを検出する。その結果、
発光ダイオード１５は消灯する。この例では通常時は発
光ダイオード１５は点灯するようにしである。
（発明の効果］
以上のように、この発明によれば、複数個のインジケー
タを、スイッチ群を構成する高速スイッチの直列接続間
または並列接続間あるいは直並列接続間に設けたので、
高速スイッチのいずれに短絡事故が生じてもその発生を
知ることができると共に、どの接続位置で短絡が生じた
かを知ることができ、簡単な構成で装置の信頼度を高め
る効果がある。
タを、スイッチ群を構成する高速スイッチの直列接続間
または並列接続間あるいは直並列接続間に設けたので、
高速スイッチのいずれに短絡事故が生じてもその発生を
知ることができると共に、どの接続位置で短絡が生じた
かを知ることができ、簡単な構成で装置の信頼度を高め
る効果がある。
第１図は本発明によるパルスレーザ用スイッチの一実施
例を用いた放電励起形レーザの励起回路を示す回路図、
第２図は同様に他の実施例を用いた放電励起形レーザ′
の励起回路例を示す回路図、第３図は本発明によるパル
スレーザ用スイッチを用いた放電励起形レーザを示す外
観図、第４図は本発明のパルスレーザ用スイッチのイン
ジケータの一実施例を示す回路図、第５図および第６図
は従来の放電励起形レーザの励起回路を示す回路図であ
る。 １は高電圧電源、３は充電用コンデンサ、４はピーキン
グコンデンザ、５ば放電電極、６ばスイッチ群、■はイ
ンジケータ。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
例を用いた放電励起形レーザの励起回路を示す回路図、
第２図は同様に他の実施例を用いた放電励起形レーザ′
の励起回路例を示す回路図、第３図は本発明によるパル
スレーザ用スイッチを用いた放電励起形レーザを示す外
観図、第４図は本発明のパルスレーザ用スイッチのイン
ジケータの一実施例を示す回路図、第５図および第６図
は従来の放電励起形レーザの励起回路を示す回路図であ
る。 １は高電圧電源、３は充電用コンデンサ、４はピーキン
グコンデンザ、５ば放電電極、６ばスイッチ群、■はイ
ンジケータ。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- 複数個の高速スイッチを直列接続または並列接続あるい
は直並列接続して形成し、充電用コンデンサからの放電
エネルギーを放電電極間に与える該充電用コンデンサの
放電路に設けたスイッチ群と、前記スイッチ群の各直列
接続間または並列接続間あるいは直並列接続間が短絡状
態にあるか否かを表示する複数個のインジケータとを備
えたパルスレーザ用スイッチ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2305203A JPH04177773A (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | パルスレーザ用スイッチ |
| US07/757,419 US5305338A (en) | 1990-09-25 | 1991-09-10 | Switch device for laser |
| GB9119426A GB2250131B (en) | 1990-09-25 | 1991-09-11 | Switch device for laser |
| DE4131949A DE4131949C2 (de) | 1990-09-25 | 1991-09-25 | Schalteinrichtungen für ein entladungserregtes Impulslasergerät |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2305203A JPH04177773A (ja) | 1990-11-09 | 1990-11-09 | パルスレーザ用スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04177773A true JPH04177773A (ja) | 1992-06-24 |
Family
ID=17942294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2305203A Pending JPH04177773A (ja) | 1990-09-25 | 1990-11-09 | パルスレーザ用スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04177773A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010108131A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Yokogawa Electric Corp | スイッチング装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6190481A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振器 |
| JPS6216063A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-24 | Toshiba Corp | スイツチング素子の故障検出装置 |
| JPS62211976A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-17 | Tsutomu Takahashi | レ−ザ装置 |
| JPH01291521A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-24 | Toshiba Corp | 半導体スイッチング回路 |
| JPH02155423A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-14 | Nec Corp | スイッチングレギュレータ |
-
1990
- 1990-11-09 JP JP2305203A patent/JPH04177773A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6190481A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-08 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振器 |
| JPS6216063A (ja) * | 1985-07-12 | 1987-01-24 | Toshiba Corp | スイツチング素子の故障検出装置 |
| JPS62211976A (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-17 | Tsutomu Takahashi | レ−ザ装置 |
| JPH01291521A (ja) * | 1988-05-19 | 1989-11-24 | Toshiba Corp | 半導体スイッチング回路 |
| JPH02155423A (ja) * | 1988-11-30 | 1990-06-14 | Nec Corp | スイッチングレギュレータ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010108131A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Yokogawa Electric Corp | スイッチング装置 |
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