JPH0417828U - - Google Patents

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JPH0417828U
JPH0417828U JP5785190U JP5785190U JPH0417828U JP H0417828 U JPH0417828 U JP H0417828U JP 5785190 U JP5785190 U JP 5785190U JP 5785190 U JP5785190 U JP 5785190U JP H0417828 U JPH0417828 U JP H0417828U
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JP
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partition wall
hole
chemical liquid
drive shaft
processing apparatus
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JP5785190U
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  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に従つて構成した薬液処理装置
の仕切壁の概念的な要部断面構成図、第２図は本
考案による薬液処理装置の上部仕切壁を上方にず
らした状態の説明図、そして、第３図は従来構造
による薬液処理装置の仕切壁を説明する為の概念
的要部断面構成図である。 １……薬液槽本体、２……薬液槽の仕切壁、３
……基板貫通用穴、４……コンベア駆動軸、５…
…駆動軸用貫通穴、６……上部仕切壁、７……基
板搬送用切欠き、８……下部仕切壁、９……駆動
軸の挿通用切欠き、１０……駆動軸の挿通用切欠
き、１１……上部仕切壁ガイド。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 薬液槽間に仕切壁を設けるように構成した薬液
    処理装置に於いて、上記仕切壁に設けるべき基板
    搬送用穴に関しては該穴の上縁又は下縁の部分で
    、また、コンベア駆動軸用貫通穴に関しては該穴
    の水平中心線近傍の部分でこの仕切壁を上部仕切
    壁と下部仕切壁とに分離形成し、且つ前記上部仕
    切壁を着脱可能な構造に構成したことを特徴とす
    る薬液処理装置の仕切壁。
JP5785190U 1990-05-31 1990-05-31 Pending JPH0417828U (ja)

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JP5785190U JPH0417828U (ja) 1990-05-31 1990-05-31

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JPH0417828U true JPH0417828U (ja) 1992-02-14

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