JPH04178601A - グレーティング・アレイおよびその製造方法 - Google Patents
グレーティング・アレイおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPH04178601A JPH04178601A JP30616590A JP30616590A JPH04178601A JP H04178601 A JPH04178601 A JP H04178601A JP 30616590 A JP30616590 A JP 30616590A JP 30616590 A JP30616590 A JP 30616590A JP H04178601 A JPH04178601 A JP H04178601A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- array
- gratings
- substrate
- light
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- Pending
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- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景
技術分野
この発明は、グレーティング・アレイおよびその製造方
法に関する。
法に関する。
従来技術とその問題点
グレーティングの性質は、グレーティングの形状１周期
、高さ、屈折率、光の波長等によって定まる。たとえば
光の回折角はグレーティングの周期と入射する光の波長
によって定まる。また回折効率は、グレーティングの屈
折率、高さおよび入射する光の波長の関数で表わされる
。
、高さ、屈折率、光の波長等によって定まる。たとえば
光の回折角はグレーティングの周期と入射する光の波長
によって定まる。また回折効率は、グレーティングの屈
折率、高さおよび入射する光の波長の関数で表わされる
。
従来のグレーティング作製法の１つとして電子ビーム描
画法を用いたものがある。基板上に塗布された電子ビー
ム・レジストを電子ビーム描画によってバターニングす
るから、電子ビームの制御によりグレーティングの形状
および周期を制御Ａることができる。グレーティングの
屈折率は電子ビーム・レジストの種類によ−）で定まる
。グレーティングの高さ（厚さ、または深さ）は電子ビ
ーム・レジストの厚さによって決まる。最大回折効率ま
たは所望の回折効率を得ようとするためには電子ビーム
・レジストの厚さを制御しなければならない。複数種類
のグレーティングをもつグレーティング・アレイを考え
、これらの複数のグレーティングにおいて回折効率をそ
れぞれ異なる値としたい場合には電子ビーノ、・レジス
トの厚さをそれぞれ異なる値とし、なければならないの
で、従来の電子ビーム描画ではそのようなグレーティン
グ・アｌノイを作製することは非常に困難である。
画法を用いたものがある。基板上に塗布された電子ビー
ム・レジストを電子ビーム描画によってバターニングす
るから、電子ビームの制御によりグレーティングの形状
および周期を制御Ａることができる。グレーティングの
屈折率は電子ビーム・レジストの種類によ−）で定まる
。グレーティングの高さ（厚さ、または深さ）は電子ビ
ーム・レジストの厚さによって決まる。最大回折効率ま
たは所望の回折効率を得ようとするためには電子ビーム
・レジストの厚さを制御しなければならない。複数種類
のグレーティングをもつグレーティング・アレイを考え
、これらの複数のグレーティングにおいて回折効率をそ
れぞれ異なる値としたい場合には電子ビーノ、・レジス
トの厚さをそれぞれ異なる値とし、なければならないの
で、従来の電子ビーム描画ではそのようなグレーティン
グ・アｌノイを作製することは非常に困難である。
発明の概要
発明の目的
この発明は１周期および高さがそれぞれ異なる複数のグ
レーティングか一基板上に形成されたグレーティング・
アレイおよびそれを比較的容易に作製できる製造方法を
提供することを１−］的２−七−る。
レーティングか一基板上に形成されたグレーティング・
アレイおよびそれを比較的容易に作製できる製造方法を
提供することを１−］的２−七−る。
発明の構成１作用および効果
この発明によるグし・−ティ〉グ・アレイは、一基板上
に複数のグレーディング傾城を有Ｌ−１ご第１らのグレ
ーティング領域には周期および高さか異なるグレーティ
ングがそれぞれ形成されていることを特徴とする。
に複数のグレーディング傾城を有Ｌ−１ご第１らのグレ
ーティング領域には周期および高さか異なるグレーティ
ングがそれぞれ形成されていることを特徴とする。
グレーティングの回折角はグ１ノーティングの周期によ
って定まる。グレーティジグ・アレイ十、の複数のグレ
ーティングの周期か異な−）でいるので、グレーティン
グごとに四ゼｉ角を異なら七ることかできる。また、グ
１ノーティングの回折効率はグ１．・−ティングの高さ
（深さまたは厚さというときもある）によって定まる。
って定まる。グレーティジグ・アレイ十、の複数のグレ
ーティングの周期か異な−）でいるので、グレーティン
グごとに四ゼｉ角を異なら七ることかできる。また、グ
１ノーティングの回折効率はグ１．・−ティングの高さ
（深さまたは厚さというときもある）によって定まる。
グレーティング・アＩノイ上の複数のグレーティングの
高さか異なっているので、グレーティングごとに回折効
率を異ならせることかできる。このようにして、所望の
回折角と回折効率をもつ複数のグレーティングを一基板
トにもつグレーティング・アレ・イか得られる。
高さか異なっているので、グレーティングごとに回折効
率を異ならせることかできる。このようにして、所望の
回折角と回折効率をもつ複数のグレーティングを一基板
トにもつグレーティング・アレ・イか得られる。
この発明によるグレーティング・アレイの製造方法は、
グレ−ティングの周期および高さか異なる複数のグレ−
ティング原盤を用意し、−上記複数のグレーティング原
盤を組合せることによりグレーティング・アレイ原盤を
作製し、」−記グレーティング・アレイ原盤を型として
スタンパを作製し、上記スタンパと基板との間にエネル
ギ照射により硬化する材料を充填し、エネルギを照射し
て上記液状材料を硬化させることにより１周期および高
さの異なる複数のグレーティングを有するグレーティン
グ・アレイを形成し、その後、上記グレーティング・ア
レイを上記スタンパから分離することを特徴とする。
グレ−ティングの周期および高さか異なる複数のグレ−
ティング原盤を用意し、−上記複数のグレーティング原
盤を組合せることによりグレーティング・アレイ原盤を
作製し、」−記グレーティング・アレイ原盤を型として
スタンパを作製し、上記スタンパと基板との間にエネル
ギ照射により硬化する材料を充填し、エネルギを照射し
て上記液状材料を硬化させることにより１周期および高
さの異なる複数のグレーティングを有するグレーティン
グ・アレイを形成し、その後、上記グレーティング・ア
レイを上記スタンパから分離することを特徴とする。
エネルギ照射により硬化する液状材料には、光硬化性ま
たは熱硬化性の樹脂、たとえば紫外線（ＵＶ）硬化樹脂
がある。液状とはゲル状も含む。エネルギ照射により硬
化する他の液状材料には、たとえば熱硬化性無機材料を
挙げることかできる。熱硬化性無機材料の例としては、
熱硬化性膜形成用塗布液を挙げることができる。多くの
種類の塗布液があるが、焼成後膜形成物としてＺｒ０ｐ
、 Ｔｉｏ２． ＡｚｙＯ，、ＳｉＯ２等を含むも
のが好適である。
たは熱硬化性の樹脂、たとえば紫外線（ＵＶ）硬化樹脂
がある。液状とはゲル状も含む。エネルギ照射により硬
化する他の液状材料には、たとえば熱硬化性無機材料を
挙げることかできる。熱硬化性無機材料の例としては、
熱硬化性膜形成用塗布液を挙げることができる。多くの
種類の塗布液があるが、焼成後膜形成物としてＺｒ０ｐ
、 Ｔｉｏ２． ＡｚｙＯ，、ＳｉＯ２等を含むも
のが好適である。
この発明によると、所望のグレーティング周期および高
さをもつ複数種類のグレーティング原盤さえあらかしめ
作製してお（ｊば、それらを組合せてグレーティング・
アレイ原盤を容易に作製できる。そして１ グレーティ
ング・アレイ原盤からスタンパの作製も比較的容易に可
能である。グレーティング・アレイのスタンパさえ作製
すれば１ そのスタンパによって形状か定まるグレーテ
ィング・アレイを比較的容易に量産することができるよ
うになる。このようにして、この発明によると、所望の
回折角と回折効率をもつ複数のグレーティングからなる
グレーティング・アレイを容易に得ることかできるよう
になる。
さをもつ複数種類のグレーティング原盤さえあらかしめ
作製してお（ｊば、それらを組合せてグレーティング・
アレイ原盤を容易に作製できる。そして１ グレーティ
ング・アレイ原盤からスタンパの作製も比較的容易に可
能である。グレーティング・アレイのスタンパさえ作製
すれば１ そのスタンパによって形状か定まるグレーテ
ィング・アレイを比較的容易に量産することができるよ
うになる。このようにして、この発明によると、所望の
回折角と回折効率をもつ複数のグレーティングからなる
グレーティング・アレイを容易に得ることかできるよう
になる。
実施例の説明
第１図はこの発明によるグレーティング・ア１ノイの実
施例を示すもので、グレーティング・アレイの斜視図で
ある。
施例を示すもので、グレーティング・アレイの斜視図で
ある。
グレーティング・アレイ６はガラス基板８十に４つのグ
レ−ティング領域］、 Ａ ＝ ４ Ａを有し、ている
６、グレーティング領域１Ａ〜４Ａに１；ｌそれぞれグ
レーティング９か形成さ才１ている。グレーアイ〉グ領
域１Ａへ４Ａごとにグレーティシタ９の高さ１．および
周期ｄが異なっている。
レ−ティング領域］、 Ａ ＝ ４ Ａを有し、ている
６、グレーティング領域１Ａ〜４Ａに１；ｌそれぞれグ
レーティング９か形成さ才１ている。グレーアイ〉グ領
域１Ａへ４Ａごとにグレーティシタ９の高さ１．および
周期ｄが異なっている。
グレーティング素子による１次回折角θは入射光の波長
をλとすると次式で表わさ第１る。
をλとすると次式で表わさ第１る。
Ｓｉｎθ：λ／４ ・ （１）
またグレ−ティング素子の１次回折効率Ｐ１は次式で表
わされる３、 １） ニー （Ｊ、（２Ｋｌｌ） ・・
・（２）■ ここで、Ｊ＋は１次のベッセル関数、には結合係数であ
り１次式で与えられる。
またグレ−ティング素子の１次回折効率Ｐ１は次式で表
わされる３、 １） ニー （Ｊ、（２Ｋｌｌ） ・・
・（２）■ ここで、Ｊ＋は１次のベッセル関数、には結合係数であ
り１次式で与えられる。
）（＝πΔｎ／’λ
但し、Δｎはグレーティング９の屈折率とグレ−ティン
グ・アレイ６が置かれる雰囲気中（たとえば空気）の屈
折率との差である。
グ・アレイ６が置かれる雰囲気中（たとえば空気）の屈
折率との差である。
第１図に示１グレーティング・アレイ６はグレーティン
グ領域ＩＡ〜４Ａごとにクレー＝’ｆイ：−グ周期ｄお
よび高さ１、か異なるので、グ１．−ｉイレグ・アレイ
６に光を入射することによりそイ１それのグレーティン
グ領域１Ａ〜４Ａご己に第（１）式を満足する１次回折
角および第（２）式をｌする１次回折効率の１次回折光
か得られる６、第１図に示すグレーディング・アし・イ
６は以下のようにして作製さねる。
グ領域ＩＡ〜４Ａごとにクレー＝’ｆイ：−グ周期ｄお
よび高さ１、か異なるので、グ１．−ｉイレグ・アレイ
６に光を入射することによりそイ１それのグレーティン
グ領域１Ａ〜４Ａご己に第（１）式を満足する１次回折
角および第（２）式をｌする１次回折効率の１次回折光
か得られる６、第１図に示すグレーディング・アし・イ
６は以下のようにして作製さねる。
０製しようとするグしノーティング・アレイ６の各グレ
ーティング領域ＩＡへ４Ａのグｌ／−ｆイ二グ周期ｄお
よびグレーティングの高さ１．に対応したグレーティン
グ原盤１〜４を電子ビーム描画法により作製する。具体
的には、カラス基板７土に電ｒビーム・レジストを塗布
し、このレジスト」−にグレ−ティシタのパターンを電
子ヒームにより描画後、現象することにより、カラス基
板７上にグＬ／−ティンクとなる残膜１ノジストをもつ
原盤１〜４を作製する（第２１ｇｌ （Ａ） ）。電子
ビーム・レジストの厚さによってグレーティシタの高さ
を、電子ビーム描画パターンによってグレーティングの
周期をそれそ才１制御することができる。
ーティング領域ＩＡへ４Ａのグｌ／−ｆイ二グ周期ｄお
よびグレーティングの高さ１．に対応したグレーティン
グ原盤１〜４を電子ビーム描画法により作製する。具体
的には、カラス基板７土に電ｒビーム・レジストを塗布
し、このレジスト」−にグレ−ティシタのパターンを電
子ヒームにより描画後、現象することにより、カラス基
板７上にグＬ／−ティンクとなる残膜１ノジストをもつ
原盤１〜４を作製する（第２１ｇｌ （Ａ） ）。電子
ビーム・レジストの厚さによってグレーティシタの高さ
を、電子ビーム描画パターンによってグレーティングの
周期をそれそ才１制御することができる。
グレーティング原盤１〜４を接着等により貼り白わせる
ことによって、１枚のグレーティング・アレイｈｐ盤５
を作製する（第２図（Ｂ））。このとき、接着のために
共通の基板を用いてもよい。
ことによって、１枚のグレーティング・アレイｈｐ盤５
を作製する（第２図（Ｂ））。このとき、接着のために
共通の基板を用いてもよい。
次にこのグレーティング・アレイ原盤５上に電鋳法によ
りニッケル（Ｎ１）を堆積させ、その後グレーティング
・アレイ原盤５を離ずことによりニラゲル製スタンパを
得る。
りニッケル（Ｎ１）を堆積させ、その後グレーティング
・アレイ原盤５を離ずことによりニラゲル製スタンパを
得る。
続いてガラス基板か用意される３、このガラス基板士に
グレーティングの材料であるＬＩＶ（紫列線）硬化樹脂
を滴下し、その上にニッケル・スタンバを乗ぜ、ガラス
基板とニッケル・スタンバとの開の間隔が所定値となる
ように、ガラス基板とスタンパとの間に圧力を加え、ま
た必要ならば振動を与える。
グレーティングの材料であるＬＩＶ（紫列線）硬化樹脂
を滴下し、その上にニッケル・スタンバを乗ぜ、ガラス
基板とニッケル・スタンバとの開の間隔が所定値となる
ように、ガラス基板とスタンパとの間に圧力を加え、ま
た必要ならば振動を与える。
ガラス基板の裏面から紫外線を照射し、Ｕ■硬化樹脂を
硬化させる。
硬化させる。
Ｕ■硬化樹脂が硬化したのちスタンパを剥離する。これ
により第１図に示すようにガラス基板８」二に複数のグ
レーティンク゛軸域１Ａ〜４Ａか形成さ狛たグレーティ
ング・アレイ６か得られる。
により第１図に示すようにガラス基板８」二に複数のグ
レーティンク゛軸域１Ａ〜４Ａか形成さ狛たグレーティ
ング・アレイ６か得られる。
第３図はグレーティング・アレイを複写機に用いられる
原稿サイズ判別装置の原稿サイズ判別用フォトセンサに
応用した例を示すもので、投写機全体の一部切欠き斜視
図である。
原稿サイズ判別装置の原稿サイズ判別用フォトセンサに
応用した例を示すもので、投写機全体の一部切欠き斜視
図である。
第３図において、捨写機１０の内部の適所に原稿サイズ
判別用フォトセン′＋ｊ２０が配置されている。
判別用フォトセン′＋ｊ２０が配置されている。
複写機１０はその上面がカラス板１１で覆オ＞ ｉｌ、
、 、 このガラス板１１上の所定位置に１種々のジ
イズの袴写すべき原稿ｊ２か置かれる。フォトセンサ２
０はガラス板１１上の原稿１２か置かれる場所内の異な
る位置Ｐ 、Ｐ 、Ｐ 、Ｐｄに向って複数（こ
の実施ａ ｂ ｃ 例て１４４個）の光ビームを投射し、そのガラス板１１
または原稿１２からの反射光を受光することによって、
原稿サイズを判別する。または判別のための検知信号を
出力する。
、 、 このガラス板１１上の所定位置に１種々のジ
イズの袴写すべき原稿ｊ２か置かれる。フォトセンサ２
０はガラス板１１上の原稿１２か置かれる場所内の異な
る位置Ｐ 、Ｐ 、Ｐ 、Ｐｄに向って複数（こ
の実施ａ ｂ ｃ 例て１４４個）の光ビームを投射し、そのガラス板１１
または原稿１２からの反射光を受光することによって、
原稿サイズを判別する。または判別のための検知信号を
出力する。
原稿サイズ判別用フォトセンサ２０の構成例か第４図に
示されている。フォトセン→ノー２０はケース２９を有
し、このケース２９内にマルチビーム光源２１゜結像レ
ンズ２２および受光素子アレイ２３が配置、固定されて
いる。
示されている。フォトセン→ノー２０はケース２９を有
し、このケース２９内にマルチビーム光源２１゜結像レ
ンズ２２および受光素子アレイ２３が配置、固定されて
いる。
マルチビーム光源２１は、投光器２４とその上方に配置
され、投光器２４の出射光から４つの１次回折光生成し
、これらの回折光をそれぞれ異なる位置に向けて投射す
るグレーティング・アレイ２５とから構成される。投光
器２４は第５図に示すように発光ダイオード３０と発光
ダイオード３ｅからの出射光をコリメート光とするコリ
メート・レンズ３１とから構成される。グレーティング
・アレイ２５は第１図に示すものと異なり、グレーティ
ングの高さと周期が互いに異なる４つのグレーティング
領域がほぼ一列上に配列されているものである。
され、投光器２４の出射光から４つの１次回折光生成し
、これらの回折光をそれぞれ異なる位置に向けて投射す
るグレーティング・アレイ２５とから構成される。投光
器２４は第５図に示すように発光ダイオード３０と発光
ダイオード３ｅからの出射光をコリメート光とするコリ
メート・レンズ３１とから構成される。グレーティング
・アレイ２５は第１図に示すものと異なり、グレーティ
ングの高さと周期が互いに異なる４つのグレーティング
領域がほぼ一列上に配列されているものである。
受光素子アレイ２３は多くの受光素子を備えている。こ
の実施例では４個の受光素子のみが用いられる。もちろ
ん受光素子アレイ２３には使用する個数の受光素子のみ
を配列し、でもよいのはいうまでもない。結像レンズ２
２は、後述するように、上記回折光の主に原稿１２から
の拡散反射光（乱反射光）を対応する受光素子上に結像
させるためのものである。ケース２９の上面には、マル
チビーム光源２１および結像レンズ２２の上方の位置に
それぞれ可視光カットフィルタ２６． ２７か設けられ
ている。
の実施例では４個の受光素子のみが用いられる。もちろ
ん受光素子アレイ２３には使用する個数の受光素子のみ
を配列し、でもよいのはいうまでもない。結像レンズ２
２は、後述するように、上記回折光の主に原稿１２から
の拡散反射光（乱反射光）を対応する受光素子上に結像
させるためのものである。ケース２９の上面には、マル
チビーム光源２１および結像レンズ２２の上方の位置に
それぞれ可視光カットフィルタ２６． ２７か設けられ
ている。
グレーティング・アレイ２５を用いて、投光器２４の出
射光ビームを回折してほぼ一列状に配列された光ビーム
・スポットＰ 、Ｐ 、Ｐ 、Ｐｄをａ
ｂ ｃ カラス板１１上に形成することかできる。これらの光ビ
ーム・スポットの位置は１判別すべき複数の異なるサイ
ズの原稿をその反射光の糾合せに基づいて判別できるよ
うに、複数種類の原稿の一辺の間に決められる。
射光ビームを回折してほぼ一列状に配列された光ビーム
・スポットＰ 、Ｐ 、Ｐ 、Ｐｄをａ
ｂ ｃ カラス板１１上に形成することかできる。これらの光ビ
ーム・スポットの位置は１判別すべき複数の異なるサイ
ズの原稿をその反射光の糾合せに基づいて判別できるよ
うに、複数種類の原稿の一辺の間に決められる。
第５図から第７図は上記のフォトセンサ２０を用いて原
稿サイズを判別するための原理を示すものである。
稿サイズを判別するための原理を示すものである。
上述したように、投光器２４から出射されたコリメート
光はグレーティング・アレイ２５によって４つの回折光
に分割されて、適当な面積のビーム・スポットＰ −
Ｐ、をもってガラス板１１または原稿１２に照射される
。
光はグレーティング・アレイ２５によって４つの回折光
に分割されて、適当な面積のビーム・スポットＰ −
Ｐ、をもってガラス板１１または原稿１２に照射される
。
原稿１２に照射された光は、第６図に示すように、原稿
１２によって拡散的に反射される。すなわぢ、原稿１２
上のスポットの輝度はどの方向からみてもほぼ一定であ
る。これに対して、ガラス板１１の表面および裏面にお
ける反射は鏡面反射に近く、第７図に示すように、入射
角αと等しい反射角αをもつ反射光（正反射光）の成分
が大きくなる。
１２によって拡散的に反射される。すなわぢ、原稿１２
上のスポットの輝度はどの方向からみてもほぼ一定であ
る。これに対して、ガラス板１１の表面および裏面にお
ける反射は鏡面反射に近く、第７図に示すように、入射
角αと等しい反射角αをもつ反射光（正反射光）の成分
が大きくなる。
受光素子アレイ２３は、ガラス面１１からの正反射光を
受光しない位置に配置される。これにより、受光素子ア
レイ２３の４個の受光素子ＰＤ 〜ＰＤｄは原稿１２
からの拡散光を検出てきることになる。
受光しない位置に配置される。これにより、受光素子ア
レイ２３の４個の受光素子ＰＤ 〜ＰＤｄは原稿１２
からの拡散光を検出てきることになる。
結像レンズ２２は、原稿１２からの微弱な拡散光を集光
し、各ビーム・スポットＰ、Ｐｂ、ｐｃ。
し、各ビーム・スポットＰ、Ｐｂ、ｐｃ。
Ｐ、からの拡散反射光を受光素子アレイ２３のそれぞれ
対応する受光素子ＰＤ 、ＰＤ、、ＰＤｃ。
対応する受光素子ＰＤ 、ＰＤ、、ＰＤｃ。
ＰＤ、上に結像させる働きをする。
原稿サイズに応して４つの光ビーム・スポットＰ、〜Ｐ
、からの拡散反射光のうち受光素子によって受光される
ものと受光されないものがあるのでこれにより複数種類
の原稿サイズを判別することができる。すなわち、受光
素子ＰＤ 〜ＰＤｄの受光信号を適当なしきい値でレ
ベル弁別することにより得られる２値信号の組合せに基
づいて原稿サイズの判別ができる。
、からの拡散反射光のうち受光素子によって受光される
ものと受光されないものがあるのでこれにより複数種類
の原稿サイズを判別することができる。すなわち、受光
素子ＰＤ 〜ＰＤｄの受光信号を適当なしきい値でレ
ベル弁別することにより得られる２値信号の組合せに基
づいて原稿サイズの判別ができる。
ビーム・スポットＰ −Ｐ、の位置の変更またはビー
ム・スポットの数を増加させることにより多くの種類の
大きさの判別が可能となる。
ム・スポットの数を増加させることにより多くの種類の
大きさの判別が可能となる。
第１図はグレーティング・アレイの斜視図である。
第２図（Ａ）および（Ｂｌ はグレーティング・アレイ
の製造工程の一部を示すものである。 第３図は複写機内に原稿サイズ判別用フォトセンサが内
蔵されている様子を示す一部切欠き斜視図である。 第４図は原稿サイズ判別用フォトセンサの構成を示す一
部切欠き拡大斜視図である。 第５図から第７図は原稿サイズ判別原理を示すもので、
第５図は投光、受光光学系の構成図、第６図は原稿面か
らの拡散反射の様子を示す図、第７図はガラス面からの
正反射の様子を示す図である。 １〜４・・・グレーティング原盤。 ＩＡ〜４Ａ・・・グレーティング領域。 ５・・・グレーティング・アレイ原盤。 ６・・・グレーティング・アレイ。 ９・・・グレーティング。 以 上
の製造工程の一部を示すものである。 第３図は複写機内に原稿サイズ判別用フォトセンサが内
蔵されている様子を示す一部切欠き斜視図である。 第４図は原稿サイズ判別用フォトセンサの構成を示す一
部切欠き拡大斜視図である。 第５図から第７図は原稿サイズ判別原理を示すもので、
第５図は投光、受光光学系の構成図、第６図は原稿面か
らの拡散反射の様子を示す図、第７図はガラス面からの
正反射の様子を示す図である。 １〜４・・・グレーティング原盤。 ＩＡ〜４Ａ・・・グレーティング領域。 ５・・・グレーティング・アレイ原盤。 ６・・・グレーティング・アレイ。 ９・・・グレーティング。 以 上
Claims (2)
- （１）一基板上に複数のグレーティング領域を有し、こ
れらのグレーティング領域には周期および高さが異なる
グレーティングがそれぞれ形成されているグレーティン
グ、アレイ。 - （２）グレーティングの周期および高さが異なる複数の
グレーティング原盤を用意し、 上記複数のグレーティング原盤を組合せることによりグ
レーティング・アレイ原盤を作製し、上記グレーティン
グ・アレイ原盤を型としてスタンパを作製し、 上記スタンパと基板との間にエネルギ照射により硬化す
る材料を充填し、 エネルギを照射して上記液状材料を硬化させることによ
り、周期および高さの異なる複数のグレーティングを有
するグレーティング・アレイを形成し、 その後、上記グレーティング・アレイを上記スタンパか
ら分離する、 グレーティング・アレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30616590A JPH04178601A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | グレーティング・アレイおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30616590A JPH04178601A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | グレーティング・アレイおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04178601A true JPH04178601A (ja) | 1992-06-25 |
Family
ID=17953831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30616590A Pending JPH04178601A (ja) | 1990-11-14 | 1990-11-14 | グレーティング・アレイおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04178601A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993018419A1 (en) * | 1992-03-12 | 1993-09-16 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organisation | Security diffraction grating with special optical effects |
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