JPH04179622A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は、上流側装置から下流側装置ヘワークを搬送す
る搬送装置に関する。

（ロ）従来の技術 此種の従来技術としては、特開昭６２−１７５３０７号
公報に開示きれた技術がある。これは、丸ベルト等の送
り手段によりワークを下流側へ搬送するものである。

然し、ワークの後処理が施される面を下にして搬送しな
ければならない場合、その面に丸ベルトが接触するため
粉塵が付着してしまうことがあった。

（ハ）発明が解決しようとする課題 従って、本発明は後処理が施される面に接触することな
く、下流側ヘワークを搬送するようにすることである。

（ニ）課題を解決するための手段 そこで、本発明は上流側装置から下流側装置ヘワークを
搬送する搬送装置に於いて、前記上流側装置から送られ
て来たワークの裏面を載置して吸着する載置板と、該載
置板を反転させて前記ワーク表面を下方に向かせる回動
装置と、該回動装置により反転きせた状態で該載置板を
下流側へ移動させる移動装置とを設けたものである。

（ネ）作用 以上の構成から、ワークの裏面を吸着載置した載置板が
回動装置により回動されて、該ワーク表面は下方を向く
。この状態で、移動装置により載置板は下流側へ移動き
れる。

くべ）実施例 以下、本発明の一実施例について図面に基づき詳述する
。

（１）はワークとしての上ガラス板（２Ａ）が段積収納
されたマガジンで、該上ガラス板（２Ａ）は接合面を上
にして第７図に示すように溝（３）　、　（４）に支持
されている。尚、上ガラス板（２Ａ）と後述する下ガラ
ス板（２Ｂ）とは接合されることにより、ＬＣＤ（ＬＩ
ＱＵＩＤ　　ＣＲＹＳＴＡＬ　　ＤＩＳＰＬＡＹ）を構
成する前の液晶注入用容器となる。

（５）は前記マガジン（１）を上下動させて上ガラス板
（２Ａ）を搬出位置へ準備するエレベータ機構で、駆動
モータ（６）によるボールネジ（７）の回動により載置
台（８）を介してマガジン（１）が上下動される。

（９）は前記マガジン（１）内の上ガラス板（２Ａ）を
取り出して仮載置部（１０〉へ搬送する図示しない真空
源に連通する複数の吸着穴（１１）を有する吸着板（１
２）と、前記仮載置部（１０）に載置された上ガラス板
（２Ａ）を後述する第２の搬送装置（４１）の吸着板（
４３）へ搬送する載置部（１３）とから成る第１の搬送
装置である。該第１の搬送装置（９）は、ロッドレスシ
リンダ（１４）の駆動によりガイド（Ｉｓ）　、　（１
６）に案内されて前後移動される。

（１７）は前記搬送装置（９）をポールブツシュ（１ｇ
）。

（１９〉に案内させて上下動する上下動用シリンダで、
上動することによりマガジン（１）内に入り込んだ吸着
板（１２）が上ガラス板（２Ａ）を持ち上げると共に、
載置部（１３）が仮載置部（１０）に載置きれた上ガラ
ス板（２Ａ）を持ち上げる。

（２０）は前記吸着板（１２）を第７図に示すように左
右方向に揺動するための駆動モータである。即ち、該モ
ータ（２０）の回動がプーリ（２１）　、　（２２）及
びベルト（２３）を介してカップリング（２４）を通し
てカム（２５）に伝えられる。そして、該カム（２５）
の回動に基づいてカムフォロア（２６）が回動きれるこ
とにより、リニアガイド（２７）を介して揺動される。

従って、該吸着板（１２〉の揺動により上ガラス板（２
Ａ）も揺動される。尚、前記カム（２５）とカムフォロ
ア（２６）は、第７図に示すように一端が吸着板（１２
）の裏面より突設きれた取付板（２８）に取り付けられ
、他端が基台（２９）に突設きれた取付板（３０）に取
り付けられたバネ（３１）の付勢力により、お互いに押
し付けられている。

（３２）は前記搬送装置（９）の吸着板（１２）の前記
駆動モータ（２０）による揺動範囲を規制するストッパ
装置で、第７図に於ける左右方向の動きを夫々規制する
ストッパ（３３）　、　（３４）を有し、該搬送装置（
９）の基台（２９）に立設されたストッパ板（３５）に
所定長さに調整きれた前記ストッパ（３３）　、　（３
４）が夫々当接されることにより、それ以上の揺動を規
制する。

（３６）は前記ストッパ装置（３２）により吸着板（１
２）の揺動が途中で規制された場合、更に回動を読ける
駆動モータ（２０）によるカム（２５）の回動からカム
フォロア（２６）を逃がすためのバネである。即ち、該
バネ（３６）は一端が吸着板（１２）の裏面より突設さ
れた取付板（３７）に取り付けられ、他端がカムフォロ
ア（２６）が取り付けられたリニアガイド（３８）の可
動部（３９）より突設された取付部（４０）に取り付け
られており、カム（２５）が更に回動する際カムフォロ
ア（２６）が該バネ〈３６）の付勢力に抗してリニアガ
イド（３８）を介してカムク２５）から逃げる方向に移
動されることにより、過負荷による破損を防止している
。

（４１）は前記第１の搬送装置（９）の載置部（１３）
から上ガラス板（２Ａ〉を受は継ぐ第２の搬送装置で、
該ガラス板（２Ａ）は図示しない真空源に連通された複
数の吸着穴（４２）を有する吸着板（４３）に載置され
る。

（４４）は前記吸着板（４３）上の上ガラス板（２Ａ）
の位置決めを行なう位置決め部である。

（４５）は前記吸着板（４３）を上ガラス板（２Ａ）を
吸着した状態で反転させる反転装置で、ロッドレスシリ
ンダ〈４６）の駆動により該ロッドレスシリンダ（４６
）の可動部（４７）上に設けられたラック（４８）に噛
合されたピニオン（４９）が回動されることにより軸（
５０）を介して反転きせる。

（５１）は前記吸着板（４３）が反転された状態で前後
移動させるロッドレスシリンダで、該移動はりニアガイ
ド（５２）　、　（５２）により案内される。

（５３）は前記第２の搬送装置（４１）の吸着板（４３
）から上ガラス板（２Ａ）を受は取り、該上ガラス板（
２Ａ）と図示しない別の搬送装置から搬送されて来てＸ
Ｙθ移動可能な吸着テーブル（５４）上に位置決め部（
５５）により位置決めきれて載置きれた下ガラス板（２
Ｂ）とを重ね合わせて、予め接合面に塗られた接着剤を
介して接合するガラス組立機である。

（５６）は前記吸着板（４３）の隙間部（４３Ａ）の上
方から入り込んで、該吸着板（４３）に吸着された反転
されてその接合面が下側ときれた上ガラス板（２Ａ）を
吸着する仮装着装置である。第３０図に示すように該仮
装着装置（５６）は、駆動モータ（５７）の回動により
カップリング（５８）を介してボールネジ（５９）が回
動移れることにより、該ボールネジ（５９）に嵌合きれ
た可動部（６０）を介してリニアガイド（６１）　、　
（６１）に案内されて上下動される。

第２３図に示す（６２）は前記カップリング（５８）の
破損を検出する破損検出装置で、駆動モータ（５７）の
モータ軸側に取り付けられた遮光板（６３）とボールネ
ジ（５９）側に取り付けられた遮光板（６４）の夫々の
切欠き（６５）　、　（６６）をマイクロフォトセンサ
（６７）　、　（６８）で夫々検出することにより図示
しない制御装置によりカップリング（５８）が破損した
か否かが検出きれる。尚、該遮光板（６３）　、　（６
４）の切欠き（６５）　、　（６６）は第２４図及び第
２５図に示すように切欠き（６５）の方が切欠き（６６
）より大きく設定きれている。

（６９）は前記破損検出装置（６２）でカップリング（
５８）の破損が検出されたら、制御装置からの指令によ
り仮装着装置（５６）等の自重により回動を続けるボー
ルネジ（５９）を抑えて仮装着装置（５６）等が落下す
るのを肪止する電磁ブレーキである。

第２６図の（７０）は前記仮装着装！（５６）から上ガ
ラス板（２Ａ）を受は取る図示しない吸着機構を有する
本吸着装置で、移動板（７１）の下方に取り付けられて
いる。該移動板（７１）はその上部（７２）が前記可動
部（６０）の上部（７３）に当接きれた状態で該可動部
（６０）のボールネジ（５９）による上下動に連動して
上下動される。

第３１図の（７４）　、　（７５）は前記移動板（７１
）の移動を規制する一対の規制装置で、シリンダ（７６
）　、　（７７）の駆動により係止部（７ｇ）　、　（
７９）が移動板（７１）の両端を係止したり、解放した
りする。従って、該規制装置（７４）　、　（７５）に
よる移動板（７１）の規制が解放されると、前記ボール
ネジ（５９）の回動による仮装着装置（５６）の下降に
連動きれて、該移動板（７１）がガイド（８０）　、　
（８１）　、　（８２）、（図示せず）に案内されて下
降されるため、本吸着装置（７０）も下降される。

以下、動作について説明する。

第１図及び第２図に示すような待機位置に位置された第
１の搬送装置（９）が、ロッドレスシリンダ（１４）に
よりガイド（Ｉｓ）　、　（１６）に案内されてエレベ
ータ機構（５）により所定位置に準備きれたマガジン（
１）方向に後退移動され、第８図に示すように吸着板（
１２）がマガジン（１）内に入り込む。そして、該搬送
装置（９）は上下動用シリンダ（１７）によりボールブ
ツシュ（１８）　、　（１９）に案内されて上動されて
、第３図、第４図及び第９図に示すようにマガジン（１
）内の最下段の上ガラス板（２Ａ〉を支承する。尚、こ
の時吸着板（１２）により上ガラス板（２Ａ〉は吸着さ
れていない。

次に、駆動モータ（２０）によりプーリ（２１）　、　
（２２）及びベルト（２３）を介してカム（２５）が回
動きれ、その回動によりカムフォロア（２６）が回動さ
れて、該搬送装置（９）の吸着板（１２）が所定量揺動
きれる。

第３５図に示すように上ガラス板（２Ａ）の幅を（Ｌ）
とし、両溝（３）　、　（４）間の距離を（Ｌ＋α）と
すると、例えば第１０図に示すように吸着板（１２）を
揺動させて右方の溝（３）方向に上ガラス板（２Ａ）を
（α）だけ移動させて、該溝（３）に上ガラス板（２Ａ
）を押し付けた後、第１１図に示すように逆方向（左方
の溝（４）方向）に（α／２）だけ移動きせる。

これにより、上ガラス板（２Ａ）の側面を溝（３）　、
　（ａ）に当接しない状態に保てるため、該上ガラス板
（２Ａ）を吸着板（１２）で吸着しながらマガジン（１
）から引き出すが、この引き出す際、溝（３）　、　（
４）に上ガラス板（２Ａ）側面が接触して上ガラス板（
２Ａ）面に粉、埃等が付着してしまうことがなくなる。

そして、第１２図に示すように第１の搬送装置（９）は
吸着板（１２）に上ガラス板（２Ａ〉を吸着した状態で
ロッドレスシリンダ（１４）により前進移動され、この
移動後上下動用シリンダ（１７）の下動により上ガラス
板（２Ａ）を第１２図及び第１３図に示すように仮載置
部（１０）に受は渡す。再び、該搬送装置（９）は、マ
ガジン（１）方向へ移動し、前述したようにして上下動
用シリンダ（１７）の上動により吸着板（１２）で上ガ
ラス板（２Ａ〉を支承する。この時、第１４図及び第１
５図に示すように前記仮載置部（１０）に載置された上
ガラス板（２Ａ〉を前記シリンダ（１７）により上昇し
た載置部（１３）が支承する。

そして、前述したように上ガラス板（２Ａ）をセンタリ
ングした後、ロッドレスシリンダ（１４）により該搬送
装置（９）が前進移動され、この移動後シリンダ（１７
）によって下降することにより、第１６図及び第１７図
に示すように載置部（１３）上の上ガラス板（２Ａ）が
第２の搬送装置（４１）の吸着板（４３）に受は渡され
ると共に、吸着板（１２〉上の上ガラス板（２Ａ）は仮
載置部（１０）上に受は渡される。尚、この時吸着板（
４３）により上ガラス板（２Ａ）は吸着されず、位置決
め部（４４）により位置決めされた後、吸着板〈４３〉
に吸着きれる。

そして、該吸着板（４３）はロッドレスシリンダ（４６
）により可動部（４７）が移動され、該可動部（４７）
上に設けられたラック（４８）の移動により、ビニオン
（４９）が回動されて軸（５０）が回動されることによ
り吸着板（４３）が第２０図に示すように反転きれる。

該吸着板（４３）が反転され、上ガラス板（２Ａ）の接
合面を下にした状態で、ロッドレスシリンダ（５１）に
よりリニアガイド（５２）　、　＜５２）に案内きれて
前進移動されて、第２１図、第２２図及び第２６図に示
すようにガラス組立機（５３）の仮装着装置（５６）下
方に入り込む。

次に、駆動モータ（５７）による、ボールネジ（５９）
の回動により可動部（６０）がリニアガイド（６１）　
、　（６１）に案内されて下動きれることにより、仮装
着装置（５６）が下動されて、該仮装着装置（５６）は
、第２７図に示すように前記吸着板（４３）の隙間部（
４３Ａ）を介して上ガラス板（２Ａ）を吸着する。更に
、第２８図に示すように仮装着装置（５６）が下動され
た後、第２９図に示すように前記ロッドレスシリンダ（
５１）により前記吸着板（４３）が後退移動される。

そして、駆動モータ（５７）によるボールネジ（５９）
の逆回動により可動部（６０）を介して仮装着装置（５
６）が第３２図に示すように所定位置まで上動された後
、上ガラス板（２Ａ）が本吸着装置（７０）に吸着され
る。

そして、前記可動部（６０）の上部（７３）が移動板（
７１）の上部（７２）に当接しながら上昇きれることに
より移動板（７１）が上昇されると共に、規制装置（７
４）　、　（７５）の各シリンダ（７６）　、　（７７
）の駆動により係止部（７８）　、　（７９）による移
動板（７１）の規制が解放される。その後、駆動モータ
（５７）によるボールネジ（５９）の回動により、移動
板（７１〉の上部（７２）が可動部（６０）の上部（７
３）に当接した状態で下降きれることにより、本吸着装
置（７０）が下降されて第３３図乃至第３５Ｆ！！Ｊに
示すように本吸着装置（７０）に吸着きれた上ガラス板
（２Ａ）と吸着テーブル（５４）上のガラス板（２Ｂ）
とが当接芒れて、接合きれる。

ところで、前述の駆動モータ（５７）によるボールネジ
（５９）の回動時にカップリング（５８）が破損したら
、以下のように動作される。即ち、モータ軸側に取り付
けられた遮光板（６３）の切欠き（６５）とボールネジ
（５９）側に取り付けられた遮光板（６４）の切欠き（
６６）を夫々マイクロフォトセンサ（６７）　、　（６
８）で検出し、制御装置はその検出結果から前記遮光板
（６３）　、　（６４）の切欠き（６５）　、　（６６
）によるマイクロ７ｔトセンサ（６７）　、　（６８）
（７）ＯＮ　、　ＯＦ　Ｆ（Ｍ　イミングのズレがある
許容範囲を越えたら、即ち第３８図に示すように切欠き
（６５）をマイクロフォトセンサ（６７）が検出してい
ない時に切欠き（６６〉をマイクロフォトセンサ（６８
）が検出したら、駆動モータ（５７）の運転を停止する
と共に電磁ブレーキ（６９）を作動させて仮装着装置（
５６）等の自重により回動を続けるボールネジ（５９）
を抑え、仮装着装置等の落下を陣止する。尚、第３７図
は正常時の一例である。

（ト〉発明の効果 以上、本発明によれば後処理が施きれる面に接触するこ
となしに、下流側へ搬送することができ、ワーク上に粉
塵が付着することがなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は半導体組立装置の正面図及び平面図
、第３図及び第４図は第１の搬送装置が１枚目の上ガラ
ス板を取り出す状態を示す図、第５図及び第６図は第１
の搬送装置の一部平面図及び正面図、第７図乃至第１１
図は第１の搬送装置の揺動動作を示す図、第１２図及び
第１３図は仮載置部に上ガラス板を載置した図、第１４
図及び第１５図は２枚目の上ガラス板を取り出す状態を
示す図、第１６図及び第１７図は第２の搬送装置に上ガ
ラス板を受は渡した状態を示す図、第１８図乃至第２０
図は第２の搬送装置の反転動作を示す図、第２１図及び
第２２図及び第２６図は反転した徒弟２の搬送装置がガ
ラス組立機内に入り込んだ状態を示す図、第２３図は破
損検出装置を示す図、第２４図及び第２５図は遮光板の
形状を示す図、第２７図乃至第２９図は仮装着装置によ
る上ガラス板の仮装着動作図、第３０図乃至第３２図は
本吸着装置による上ガラス板の本吸着状態を示す図、第
３３図乃至第３５図は上ガラス板の接合状態を示す図、
第３６図は上ガラス板の幅と両溝間の距離値を示す図、
第３７図及び第３８図は破損検出装置による検出結果を
示す図である。 （２Ａ）・・・上ガラス板、　（４１）・・・第２の搬
送装置、（４３）・・・吸着板、　（４５）・・・反転
装置、　（４６）　、　（５１）・・・ロッドレスシリ
ンダ、　（４７）・・・可動部、　（４８）・・・ラッ
ク、（４９）・・・ピニオン、　（５０）・・・軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）上流側装置から下流側装置ヘワークを搬送する搬
   送装置に於いて、前記上流側装置から送られて来たワー
   クの裏面を載置して吸着する載置板と、該載置板を反転
   させて前記ワーク表面を下方に向かせる回動装置と、該
   回動装置により反転させた状態で該載置板を下流側へ移
   動させる移動装置とを設けたことを特徴とする搬送装置
   。