JPH10167462A - 物品の移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】一方のラック１ａから他方のラック１ｂにガラ
ス基板Ｗを正確かつ高速で移送でき、また構造が簡単で
設置に必要な面積も小さい移送装置を提供する。 【解決手段】ラック１ａ，１ｂ間の直線的な移送経路に
沿って往復移動するキヤリッジ機構１８と、ガラス基板
Ｗを載置保持するハンド機構１９を設け、キヤリッジ機
構１８が一方側に移動した場合にはハンド機構１９がキ
ヤリッジ機構１８の一端部から突出してガラス基板を受
け取り、キヤリッジ機構１８が他方側に移動した場合に
はハンド機構１９がキヤリッジ機構１８の他端部から突
出してガラス基板を受け渡す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、物品を一方のコン
ベアや容器等から他方のコンベアや容器等に移送する移
送装置に関する。さらに特定すれば、本発明はたとえば
液晶表示パネルのガラス基板を一方のラックから他方に
移送する装置等、脆弱な物品を正確かつ確実に高速で移
送するに適した物品の移送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、各種の物品の製造や流通にお
いて、これらの物品を一方のコンベアや容器等から、他
方のコンベアや容器等に移送する移送装置が用いられて
いる。これらの移送装置には、当然ながら、移送すべき
物品を損傷することなく、正確かつ確実に所定の場所に
高速で移送することが要求される。また、このような移
送装置を設置するに必要な床面積も可能な限り小さいこ
とが望ましい。

【０００３】ところで、上記のような移送すべき物品と
して、たとえば液晶表示パネルの製造工程におけるガラ
ス基板がある。このガラス基板は、その面積が比較的大
きく、かつ厚さが薄く、脆弱で破損しやすいという特徴
がある。また、このような液晶表示パネルの製造工程に
おいては、これらのガラス基板は複数枚がラックに収容
された状態で搬送され、次の工程に送られる際に移送装
置によって別のラックに移送される。

【０００４】上記のラックは、一般的には図１に示すよ
うな構造をなし、このラック１の本体部は前面が開放さ
れた箱状をなしている。そして、このラック１の両内側
面には、複数の突条を有するホルダ部材２が取り付けら
れており、上記のガラス基板Ｗは、それらの両縁部が上
記のホルダ部材２に保持された状態でこのラック１内に
水平に収容され、また互いに上下に比較的狭い間隔で複
数段に重ねて配置される。

【０００５】上述のように、上記のガラス基板Ｗは、薄
くかつ大面積で脆弱であるとともに、上記のラック１に
上下に狭い間隔で重ねられて収容されているので、これ
らガラス基板Ｗを上記のラック１の前面から一枚ずつ取
り出して別のラックに収容するための移送装置は、高い
精度が要求される。

【０００６】従来、このような移送装置として図２およ
び図３に示すようなアーム形のロボット３が使用されて
いた。このロボット３は、昇降機構４と関節形のアーム
機構５を備えており、このアーム機構５の先端部にはハ
ンド６と称される薄い板状の部材が突設されている。そ
して、上記の昇降装置４により、上記のハンド６が移送
すべきガラス基板Ｗの高さに対応した高さに位置決めさ
れ、上記のアーム機構５が水平面内で回動し、上記のハ
ンド６が移送すべき一方のラック１ａのガラス基板Ｗの
下面に沿って挿入される。そして、次に上記の昇降機構
４によりこのハンド６が上昇し、その上にガラス基板Ｗ
を載置する。次いで、アーム機構５により、このハンド
６がガラス基板Ｗを載置したままこのラック１ａ内から
引き抜かれる。そして、このアーム機構５が反転回動
し、他方のラック１ｂの前面にこのガラス基板Ｗを移動
させ、さらにこのアーム機構５によりこのガラス基板Ｗ
がこのラック内に挿入されて移送が完了する。

【０００７】しかしながら、上記のような従来の移送装
置では、次のような不具合があった。まず、このような
移送装置では、アーム機構５が回動する際に、その回動
半径に相当する広い面積を必要とし、この移送装置の設
置および作動に必要な床面積が大きい。また、このよう
なアーム機構５は、その作動の際の各部品の移動距離が
大きく、したがって作動速度が制限され、作動の高速化
に制約がある。

【０００８】さらに、上記のようなアーム機構５は、片
持形の複数のアームを回動自在に組み合わせたものであ
るから、その先端部すなわちハンド６の支持部分の剛性
が低く、よってこのハンド６の位置決め精度に限界があ
る。したがって、たとえば上記のラック１内に収容され
ているガラス基板Ｗの上下の間隔が狭い場合に、このハ
ンド６が隣接するガラス基板Ｗに接触したり、また取り
出したガラス基板を別のラック内に挿入する際に、この
ガラス基板がラックに接触したりする可能性があり、こ
のガラス基板Ｗを破損する可能性もある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は以上の事情に
基づいてなされたもので、構造および作動が単純で設置
および作動のための床面積が小さく、また作動速度を高
速化することが容易であるとともに位置決め精度も高い
移送装置を提供するものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載された本
発明は、上記の一方の物品保持装置から他方の物品保持
装置までの間の直線的な移送経路を往復移動するキヤリ
ッジ機構と、このキヤリッジ機構とともに上記の経路を
往復移動するとともにこのキヤリッジ機構に対しても上
記の移送経路に沿って往復移動し、上記の移送経路の両
終端部において上記のキヤリッジ機構の一端部または他
端部から突出するハンド機構とを備え、上記の移送経路
の一方の終端部においては上記のキヤリッジ機構の一端
部から上記のハンド機構が突出して一方の物品保持装置
の物品を受取り、またこの移送経路の他方の終端部にお
いては上記のキヤリッジ機構の他端部から上記のハンド
機構が突出して物品を他方の物品保持装置に受け渡すも
のである。

【００１１】したがって、これらキヤリッジ機構および
ハンド機構は、物品保持装置の間を直線的に往復移動す
るだけで物品を移送することができ、その構造や作動が
簡単で、作動が正確であるとともに作動の高速化が容易
であり、またこの装置の設置およびその作動のために必
要な占有面積が小さくてすみ、狭い場所に設置可能であ
る。

【００１２】また、請求項２に記載の本発明は、前記の
ハンド機構はその両端部でそれぞれ物品を保持すること
ができるものであり、前記の移送経路の一方の終端部に
おいて前記のキヤリッジ機構からこのハンド機構の一端
部が突出し、また前記の移送経路の他方の終端部におい
てこのハンド機構の他端部が突出するものであり、また
前記の移送経路の中間部には上記のハンド機構によって
移送される物品を一時載置する載置テーブル機構が設け
られており、上記の移送経路の一方の終端部において上
記のハンド機構の突出した一端部に一方の物品保持装置
の物品が受け取られ、このハンド機構は前記の移送経路
の中間部においてその一端部が上記の載置テーブル機構
に対応してこの一端部に受け取られている物品を一旦上
記の載置テーブル機構に載置させ、この後に上記のハン
ド機構が移動してその他端部がこの載置テーブル機構に
対応してこの載置テーブル機構上の物品をこのハンド機
構の他端部で受取り、この後にこのハンド機構の他端部
に受け取られている物品を前記の他方の物品保持装置に
受け渡すものである。

【００１３】したがって、このハンド機構はその両端部
で物品を保持可能な構造であればよく、このハンド機構
の構造が単純となり、また各作動も単純であるから作動
が正確かつ高速であり、またこれら機構の制御も容易で
正確となる。

【００１４】また、請求項３に記載の本発明は、前記の
物品は薄板状の物品であり、また前記の物品保持装置は
複数の上記薄板状の物品を上下に隙間を存して保持する
ラックである場合において、前記のハンド機構は上記の
薄板状の物品を上面に載置して保持する板状のハンド部
材を備えており、前記の経路の両終端部においてこの板
状のハンド部材が上記のラック内に挿入されてこの物品
の受取りおよび受け渡しをするものである。

【００１５】よって、このハンド機構の構造が簡単であ
り、またその作動も正確であり、上記のようなラック間
で薄板状の物品を確実に移送することができる。

【００１６】また、請求項４に記載の本発明は、前記の
ハンド部材は、前記の経路の一方の終端部において前記
のキヤリッジ機構からその一端部が突出し、また前記の
経路の他方の終端部においてその他端部が突出するもの
であり、また前記の経路の中間部には上記のハンド部材
によって移送される物品を一時載置する載置テーブル機
構が設けられており、上記の経路の一方の終端部におい
て上記のハンド部材の突出した一端部が上記の一方のラ
ック内に挿入されてこの一端部上に物品が受け取られ、
このハンド部材は上記の経路の中間部においてその一端
部が上記の載置テーブル機構に対応してこの一端部に受
け取られている物品を一旦上記の載置テーブル機構に載
置させ、この後に上記のハンド部材が移動してその他端
部がこの載置テーブル機構に対応してこの載置テーブル
機構上の物品をこのハンド部材の他端部で受取り、この
後にこのハンド部材の他端部が上記の他方のラック内に
挿入されてその他端部に受け取られている物品をこの他
方のラックに受け渡すものである。

【００１７】したがって、このハンド機構の構造は簡単
で、また各作動も単純であるから作動が正確かつ高速で
あり、またこれら機構の制御も容易であり、上記のよう
なラック間で薄板状の物品を確実に移送することができ
る。

【００１８】また、請求項５に記載の本発明は、前記の
ハンド機構は、前記の経路の両終端部において一方また
は他方の端部が前記のキヤリッジ機構から突出する第１
のハンド部材と、この第１のハンド部材上をその一端部
から他端部に移動する第２のハンド部材とを備えてお
り、前記の経路の一方の終端部においては上記の第１の
ハンド部材の一端部が前記のキヤリッジ機構から突出す
るとともに上記の第２のハンド部材がこの第１のハンド
部材の一端部に移動し、この第１のハンド部材の一端部
および第２のハンド部材が前記の一方のラック内に挿入
されてこの第２のハンド部材の中央部上に物品を載置し
て保持し、また前記の経路の他方の終端部においては上
記の第１のハンド部材の他端部が前記のキヤリッジ機構
から突出するとともに上記の第２のハンド部材がこの第
１のハンド部材の他端部に移動し、この第１のハンド部
材の他端部および第１のハンド部材が前記の他方のラッ
ク内に挿入されて、この第２のハンド部材上に載置され
ている物品をこの他方のラックに受け渡すものである。

【００１９】したがって、移送経路の中間位置において
物品を載置テーブル機構に一旦保持させてハンド部材の
他端部に保持しなおす必要がなく、物品はこの第２のハ
ンド部材に保持されたまま一方のラックから他方のラッ
クに直接移送させることができ、作動がより一層高速化
される。

【００２０】また、請求項６に記載の本発明は、前記の
ハンド部材の上面には吸着パッド機構が設けられ、負圧
機構により吸引される負圧によりこのハンド部材上に載
置された物品を吸着保持するものである。したがって、
このハンド部材上に載置された物品が確実に吸着保持さ
れ、移送の途中でずれたり、またこのハンド部材上から
落下したりすることがなく、確実な移送ができる。

【００２１】また、請求項７に記載された本発明は、前
記のキヤリッジ機構は、前記の移送経路に沿って設けら
れたキヤリッジガイドと、このキヤリッジガイドに沿っ
て移動自在なキヤリッジと、このキヤリッジを往復移動
させる駆動機構とを備え、上記のキヤリッジが上記のキ
ヤリッジガイドに沿って移動する際に、前記のハンド部
材がこのキヤリッジに対してこのキヤリッジの移動方向
と同じ方向に移動し、これによって上記のキヤリッジが
前記の移送経路の一方の終端部に移動した場合にはこの
キヤリッジの一端部から上記のハンド部材の一端部が突
出してキヤリッジ機構の一端部から突出し、またこのキ
ヤリッジが前記の移送経路の他方の終端部に移動した場
合にはこのキヤリッジの他端部から上記のハンド部材の
他端部が突出してキヤリッジ機構の他端部から突出する
ものである。

【００２２】したがって、このキヤリッジとハンド部材
の移動が共通の機構でかつ同期して行われ、駆動機構等
が単純化されるとともに、これらの作動が動機して正確
に行われるので、移送が確実に行われる。

【００２３】また、請求項８に記載された本発明は、前
記のハンド機構には、その両端部に、物品を負圧により
吸着保持する吸着パッドが設けられ、この吸着パッドは
可撓性の負圧チューブを介して負圧機構に接続されてお
り、上記負圧チューブの両端部は上記吸着パッドに接続
され、この接続部位からハンド機構に沿って張設されて
おり、かつ、この張設部分に連続してキヤリッジ機構内
を通して案内されており、その中間部分は移動可能な負
圧供給チューブを介して上記の負圧機構に接続されてお
り、前記のキヤリッジ機構の移動およびこのキヤリッジ
機構に対する前記のハンド機構の移動に際して上記負圧
チューブは上記のハンド機構に沿って張設された状態を
維持するものである。

【００２４】よって、前記のキヤリッジ機構の移動およ
びこのキヤリッジ機構に対する前記のハンド機構の移動
による上記の負圧チューブの移動は上記の中間部が走行
することにより吸収され、この負圧チューブは前記のハ
ンド機構に沿って張設された状態を維持する。したがっ
て、この負圧チューブがハンド機構等に沿ってコンパク
トに合理的に配置されるとともに、弛み等を生じないの
で他の物と緩衝する可能性もなく、信頼性も高い。

【００２５】また、請求項９に記載の本発明は、前記の
ハンド機構には物品を負圧により吸着保持する吸着パッ
ド機構が設けられ、この吸着パッド機構は可撓性の負圧
チューブを介して負圧機構に接続されており、この負圧
チューブの基端はこの移送装置の本体側に固定されると
ともに上記の負圧機構に接続され、またこの負圧チュー
ブの基端側部分は前記のキヤリッジ機構の移動経路に沿
って張設され、またこの負圧チューブの中間部は前記の
キヤリッジ機構を通して反転して案内されており、また
この負圧チューブの先端側部分は上記のハンド機構に沿
って張設され、またこの負圧チューブの先端は前記のハ
ンド機構の先端部に取り付けられて上記の吸着パッド機
構に接続されており、また前記のハンド機構は、前記の
キヤリッジ機構に対して、このキヤリッジ機構の移動方
向と同じ方向にこのキヤリッジ機構の移動量と等しい移
動量で移動するものである。

【００２６】よって、これらキヤリッジ機構の移動とこ
のキヤリッジ機構に対するハンド機構の移動量が相殺さ
れて上記の負圧チューブが前記のハンド機構に沿って張
設された状態を維持する。したがって、この負圧チュー
ブがハンド機構等に沿ってコンパクトに合理的に配置さ
れるとともに、弛み等を生じないので他の物と干渉する
可能性もなく、信頼性も高い。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
形態を説明する。図４ないし図２５は本発明の第１の実
施形態を示す。この実施形態のものは、物品保持装置と
して図１に示すようなラック１を使用し、一方のラック
１ａ内に上下に間隔を存して重ねられて収納された物品
たとえば液晶表示パネルのガラス基板Ｗを他方のラック
１ｂに移送するものである。

【００２８】まず、図４および図５を参照して本発明の
移送装置の概略を説明する。図４はこの移送装置の概略
的な平面図、図５は概略的な正面図である。図中の１１
ａ，１１ｂは、コンベア装置であって、これらコンベア
装置１１ａ，１１ｂは互いに所定の間隔をもって互いに
対向して配置されている。そして、これらのコンベア装
置１１ａ，１１ｂの上には、たとえばそれぞれ３個ずつ
のラック１ａ，１ｂの前面が互いに対向して載置されて
いる。

【００２９】図中の１２はこの移送装置の基台で、この
基台１２には上記のコンベア装置１１ａ，１１ｂの間
に、これらコンベア装置の長手方向すなわち上記のラッ
ク１ａ，１ｂの幅方向に沿って配置された一対のレール
部１３が設けられている。

【００３０】また、この基台１２の上には移動台１４が
設けられ、この移動台１４は上記のレール部１３に沿っ
て移動自在に支承されている。そして、この基台１２に
は、この移動台１４をこのレール部１３に沿って往復移
動させ、かつこの移動台１４を任意の位置に停止して位
置決めすることができる幅方向駆動機構１５が設けられ
ている。なお、この幅方向駆動機構１５については、後
に詳説する。

【００３１】また、この移動台１４上には、昇降台１６
が上下に昇降自在に設けられ、またこの移動台１４内に
は、この昇降台１６を上下に移動させ、かつ任意の位置
に停止して位置決めすることができる昇降駆動機構１７
が設けられている。なお、この昇降駆動機構１７につい
ては、後に詳述する。

【００３２】また、上記の昇降台１６の上端部には、キ
ヤリッジ機構１８とハンド機構１９が設けられている。
このキヤリッジ機構１８は、上記の互いに対向するラッ
ク１の間を結ぶ直線的な移送経路、すなわち上記のレー
ル部１３と直交する方向の移送経路に沿って水平に往復
移動するように構成されている。また、上記のハンド機
構１９は、たとえば一対の細長薄板状のハンド部材２０
を備えており、これらのハンド部材２０は上記のキヤリ
ッジ機構１８に対して、上記の移送経路に沿って往復移
動するように構成されている。

【００３３】また、上記の昇降台１６の上端部には、上
記の移送経路の中間部において上記の一対のハンド部材
２０の間に位置して載置テーブル機構２１が設けられて
いる。なお、この載置テーブル機構２１については、後
に詳述する。

【００３４】そして、上記のキヤリッジ機構１８がこの
移送経路の一方の終端部すなわち一方のラック１ａに近
接した位置に移動した場合には、図に２点鎖線で示すよ
うに、この板状のハンド部材２０の一端部がこのキヤリ
ッジ機構１８の一端部から突出してこの一方のラック１
ａ内に挿入され、ガラス基板Ｗをこのハンド部材２０の
一端部で受取る。次に、上記のキヤリッジ機構１８が移
送経路の他方の終端部側、すなわち他方のラック１ｂ側
に移動し、またこれとともに上記のハンド部材２０がガ
ラス基板Ｗを載置保持したままこのキヤリッジ機構１８
上を他方のラック１ｂ側に移動する。

【００３５】そして、このハンド部材２０の一端部に載
置保持されたガラス基板Ｗが上記の載置テーブル機構２
１の真上まで移動すると、上記のラック機構１８および
ハンド機構１９が停止し、この後にこの載置テーブル機
構２１が上昇し、その上に上記のガラス基板Ｗを一旦載
置する。次に、上記のキヤリッジ機構１８およびハンド
部材２０が一方のラック１ａ側に戻るように移動し、こ
のハンド部材２０の他端部がこの載置テーブル機構１８
に保持されているガラス基板Ｗの下に位置するまで移動
して停止する。

【００３６】次に、この載置テーブル機構２１が下降
し、その上に載置されていたガラス基板Ｗを上記のハン
ド部材２０の他端部上に載置させる。そして、このハン
ド部材２０および上記のキヤリッジ機構１８は、他方の
ラック１ｂ側に移動し、移送経路の他方の終端部におい
てこのハンド部材２０の他端部がこのキヤリッジ機構１
８の他端部から突出して他方のラック１ｂ内に挿入さ
れ、その上に載置されていたガラス基板Ｗをこの他方の
ラック１ｂ内に受け渡す。そして、このような作動を繰
り返し、上記の一方のラック１ａ内のガラス基板Ｗを他
方のラック１ｂ内に移送する。

【００３７】なお、上記の各機構の作動および作動のタ
イミング等は、制御装置２２によって制御される。この
制御装置２２は、従来公知の制御回路その他の機構から
構成され、その作動については後に各機構の作動の説明
とともに詳述する。

【００３８】次に、上記の各機構について説明する。図
６および図７には、前記の幅方向駆動機構１５および昇
降駆動機構１７を示す。前記の移動台１４は矩形断面の
角筒形をなし、その両側面部からは支持片３１が突設さ
れている。また、上記の基台１２のレール部１３の上面
にはレール３２が敷設され、上記の支持片３１の下面に
設けられた摺動部材３３がこれらのレール３２に摺動自
在に嵌合し、この移動台１４をラック１ａ，１ｂの幅方
向に移動自在に案内している。

【００３９】また、上記の基台１２に設けられた幅方向
駆動機構１５は、上記のレール３２と平行に配置された
回転自在のスクリューロッド３５と、このスクリューロ
ッド５３を両方向に回転駆動する回転駆動機構３４を備
え、この回転駆動機構３４はステッピングモータ、減速
機等から構成されている。また、上記の移動台１４には
スクリューナット３６が取り付けられ、このスクリュー
ナット３６は上記のスクリューロッド３５に螺合してい
る。

【００４０】したがって、上記の回転駆動機構３４によ
り上記のスクリューロッド３５が回転されると、これに
螺合しているスクリューナット３６が螺進し、上記の移
動台１４がこのスクリユーロッド３５およびレール３２
の方向、すなわちラック１の幅方向に移動する。なお、
この回転駆動機構３４の回転は、前記の制御機構２２に
よって制御され、上記の移動台１４の上のハンド機構１
９がラック１ａ，１ｂの前面に対して所定の幅方向位置
に位置決めされるように制御する。

【００４１】また、前記の昇降台１６は、断面矩形の角
筒形をなし、上記の移動台１４内に上下に移動自在に収
容されている。また、この移動台１４の内面には、上下
方向に沿ってレール４１が取り付けられ、また上記の昇
降台１６の外側面には摺動部材４２が取り付けられ、こ
れらの摺動部材４２は上記のレール４１に摺動自在に嵌
合し、この昇降台１６をこの移動台１４に対して正確に
上下方向に移動自在に案内している。

【００４２】また、前記の昇降駆動機構１７は、この移
動部材１４内に上下方向に沿って回転自在に支承された
スクリューロッド４３と、これを両方向に回転する回転
駆動機構４５とを備えている。この回転駆動機構４５
は、ステッピングモータ、プーリ、ベルト等の減速伝達
機構等から構成されている。そして、上記の昇降台１６
の外側面にはスクリューナット４４が取り付けられ、こ
のスクリューナット４４は上記のスクリューロッド４３
に螺合している。

【００４３】そして、上記の回転駆動機構４５によりス
クリューロッド４３が回転されると、上記のスクリュー
ナット４４が螺進し、上記の昇降台１６を上下方向に移
動させる。なお、上記の回転駆動機構４５は前記の制御
装置２２により制御され、上記の昇降台１６の上に設け
られているハンド機構１９をラック１ａ，１ｂ内の任意
のガラス基板Ｗの高さ位置に対応して位置決めがなされ
る。

【００４４】次に、図８ないし図１２を参照して、前記
のキヤリッジ機構１８およびハンド機構１９の構成を説
明する。上記のキヤリッジ機構１８は、キヤリッジガイ
ド５０を備えている。このキヤリッジガイド５０は、図
９に示すように、たとえば断面Ｌ字形の型材を、前記の
移送経路に沿った細長矩形の枠状に組み立てたもので、
上記の昇降台１６の上端部に水平に取り付けられてい
る。そして、このキヤリッジガイド５０の両側には２個
のキヤリッジ５１が設けられている。これらのキヤリッ
ジ５１は、上記のキヤリッジガイド５０の側面に設けら
れたレール５２に摺動自在に嵌合する摺動部材５３が設
けられ、これらのキヤリッジ５１はこのレール５２に沿
って摺動自在に案内されている。

【００４５】また、このキヤリッジ５１の上端部には、
それぞれ案内部材５４が設けられ、この案内部材５４に
はそれぞれ前記のハンド機構１９のハンド部材２０が前
記の移送経路に沿って移動自在に案内されている。これ
らのハンド部材２０は、図１０に示すように細長板状を
なしており、その下面にはレール６１が取り付けられ、
また上記の案内部材５４の上面には摺動部材６２が取り
付けられ、この摺動部材６２は上記のレール６１を摺動
自在に案内している。したがって、これらのハンド部材
２０は、上記のキヤリッジ５１に対して移送経路に沿っ
て移動自在に案内され、これらのハンド部材２０の一端
部は、このキヤリッジ５１の一端部から突出してキヤリ
ッジ機構１８の一端部から突出し、またこれらのハンド
部材２０の他端部はこのキヤリッジ５１の他端部から突
出してキヤリッジ機構１８の他端部から突出するように
構成されている。

【００４６】そして、この実施形態では、上記のキヤリ
ッジ機構１８のキヤリッジ５１を移動させる機構と、ハ
ンド機構１９のハンド部材２０を移動させる機構とが一
体化されている。

【００４７】以下、このキヤリッジ５１とハンド部材２
０の移動機構を図９および図１２を参照して説明する。
この図１２は、この移動機構を片側のキヤリッジおよび
ハンド部材についてのみ概略的に示したもので、各部を
構成する機械要素は、従来公知のものが使用される。ま
た、この図１２には、上記のハンド部材２０に設けられ
た吸着パッドに負圧を供給する負圧系統が破線で示され
ているが、この負圧系統については後に説明する。

【００４８】まず、上記のキヤリッジ５１を移動させる
機構を説明する。すなわち、前記のキヤリッジガイド５
０の両端部の下面には、それぞれプーリ７０が設けられ
ている。そして、これらのプーリ７０の間には無端状の
ベルト７１の中間部が掛け渡されており、このベルト７
１の中間部は連結部材７７によって上記のキヤリッジ５
１に連結されている。また、このキヤリッジガイド５０
の他端側のプーリ７０は、その左右のプーリ７０が軸７
２により一体的に連結されており、この軸７２の中間部
には駆動プーリ７３が取り付けられている。そして、こ
の駆動プーリ７３は、無端ベルト７４、プーリ７５を介
してステッピングモータ７６に連結されている。

【００４９】したがって、上記のステッピングモータ７
６により、上記のプーリ７０がそれぞれ両方向に回転駆
動され、これにより上記のベルト７１が走行し、上記の
キヤリッジ５１がキヤリッジガイド５０に沿って往復移
動する。なお、このステッピングモータ７６は、前述の
制御装置２２によって制御され、上記のキヤリッジ５１
やハンド部材２０の作動はこの制御装置により制御され
る。

【００５０】また、上記のキヤリッジ５１には、第１の
プーリ８１と第２のプーリ８２とが設けられ、これらの
プーリ８１，８２は共通の軸により一体的に回転するよ
うに支承されている。そして、上記のキヤリッジガイド
５０の下面に沿って、第１のベルト８４が張設され、こ
の第１のベルト８４の両端部はそれぞれこのキヤリッジ
ガイド５０の両端部に固定されている。そして、この第
１のベルト８４の中間部は、上記の第１のプーリ８１の
周囲に巻回されている。なお、８３はこの第１のベルト
８４を案内するガイドローラである。

【００５１】また、上記のハンド部材２０の下面に沿っ
て第２のベルト８５が張設されており、この第２のベル
ト８５の両端部はこのハンド部材２０の両端部に固定さ
れている。そして、この第２のベルト８５の中間部は、
上記のキヤリッジ５１の第２のプーリ８２の周囲に巻回
されている。なお、８６はこの第２のベルト８５を案内
するガイドローラである。

【００５２】上記のような機構は、上記のキヤリッジ５
１がキヤリッジガイド５０に対して移動すると、上記の
第１のベルト８４により第１のプーリ８１が回転され
る。そして、この第１のプーリ８１の回転とともに、上
記の第２のプーリ８２が回転し、第２のベルト８５がこ
のキヤリッジ５１に対して走行される。したがって、上
記のハンド部材２０は、このキヤリッジ５１に対して移
動される。

【００５３】この場合、上記の第１のプーリ８１と第２
のプーリ８２の回転方向は同じ方向であるから、図１２
から明らかなように、このキヤリッジ５１の移動方向
と、このキヤリッジ５１に対するハンド部材２０の移動
方向は同じ方向である。したがって、このキヤリッジ５
１がこのキヤリッジガイド５０の一端部まで移動した場
合には、上記のハンド部材２０の一端部がこのキヤリッ
ジ５１の一端部から突出してキヤリッジ機構１８の一端
部から突出し、またこのキヤリッジ５１がこのキヤリッ
ジガイド５０の他端部に移動した場合には、上記のハン
ド部材２０の他端部がこのキヤリッジ５１の他端部から
突出してキヤリッジ機構１８の他端部から突出する。ま
た、このキヤリッジガイド５０に対するキヤリッジ５１
の移動量と、このキヤリッジ５１に対するハンド部材２
０の移動量とは、上記の第１のプーリ８１と第２のプー
リ８２との径の比に対応して設定される。

【００５４】次に、上記のハンド部材２０の構成を図１
０および図１１を参照して説明する。このハンド部材２
０は、上述のように細長板状をなし、その両端部上にガ
ラス基板Ｗを載置保持できるものである。そして、この
ハンド部材２０の上面には、複数の吸着パッド６３が設
けられ、載置されるガラス基板Ｗがずれないように吸着
保持する。この吸着パッド６３は、たとえば合成ゴム材
料で形成された吸盤状をなし、このハンド部材２０に埋
設されたホルダ６５に保持されている。そして、このホ
ルダ６５および吸着パッド６３は、ポート６６を介して
このハンド部材２０の下面に沿って配置された可撓性の
負圧チューブ９１に接続され、この負圧チューブ９１は
真空ポンプ等の負圧機構に接続されている。

【００５５】上記の負圧機構は、この移送装置の本体側
に取り付けられており、上記の負圧チューブ９１は上記
のキヤリッジ５１やハンド部材２０の移動によって弛み
を生じることがないように、図１２に示すような機構に
よって張設されている。

【００５６】すなわち、この移送装置の本体側、たとえ
ば前記の昇降台１６にはこのキヤリッジ５１やハンド部
材２０の移動方向に互いに離間した一対のローラ９４が
設けられている。そして、この負圧チユーブ９１の中間
部は、この一対のローラ９４の間に掛け渡され、略１８
０°折り返されている。そして、この負圧チューブ９１
は、上記のキヤリッジ５１内に挿通され、このキヤリッ
ジ５１側に設けられたローラ９２，９３に案内されてい
る。この負圧チューブ９１の両端部は、上記のローラ９
２，９３によって案内されて互いに反転するように１８
０°折り返され、上記のハンド部材２０の下面に沿って
配置され、その両端はこのハンド部材２０の両端部に固
定され、かつこの両端がこのハンド部材２０の吸着パッ
ド６３に連通している。

【００５７】また、上記の一対のローラ９４間の負圧チ
ューブ９１の中間部には、接続部材９５が設けられ、こ
の接続部材９５を介して可撓性の負圧供給チューブ９６
が分岐接続されている。そして、この負圧供給チューブ
９６は、前述の負圧機構に接続されている。また、上記
の負圧チューブ９１は、図１２に示すようにな経路に所
定の張力で張設されており、また上記の負圧供給チュー
ブ９６は弛みを与えられており、上記の接続部材９５が
移動可能となっている。

【００５８】次に、上記のような負圧チューブ９１の張
設機構の作動を説明する。まず、仮に上記のハンド部材
２０が移動せずに、上記のキヤリッジ５１のみがたとえ
ば一方側すなわち図１２中の左方に移動した場合には、
これによってこの負圧チューブ９１の中間部の接続部材
９５がその反対方向すなわち右方に移動する。また、仮
にこのキヤリッジ５１が移動せずに、上記のハンド部材
２０のみがこのキヤリッジ５１に対してたとえば左方に
移動した場合には、この負圧チューブ９１はこのキヤリ
ッジ５１内で１８０°折り返されているので、この接続
部材９５は上記とは逆に右方に移動する。そして、上述
のように、このキヤリッジ５１とハンド部材２０とは、
同時に同じ方向に移動するので、上記のような負圧チュ
ーブ９１の中間部の走行すなわち接続部材９５の移動
は、互いに相殺される。

【００５９】この場合に、上記の第１のプーリ８１と第
２のプーリ８２の径を互いに等しく設定しておけば、キ
ヤリッジ５１の移動量と、このキヤリッジ５１に対する
ハンド部材２０の移動量とは互いに等しくなり、これら
の移動による負圧チューブ９１の走行は互いに完全に相
殺され、この負圧チューブ９１の中間部すなわち接続部
材９５は移動しない。しかし、このキヤリッジ５１の移
動量と、このキヤリッジ５１に対するハンド部材２０の
移動量とは、前記のガラス基板やラックの寸法、このハ
ンド部材２０のラック内への挿入量等の各種の条件に対
応して設定され、この実施形態の場合には、上記の第１
のプーリ８１の直径は第２のプーリ８２の直径の１．８
倍に設定されている。

【００６０】したがって、この実施形態の場合には、上
記のこのキヤリッジ５１の移動量と、このキヤリッジ５
１に対するハンド部材２０の移動量の差に対応した量だ
け、この負圧チューブ９１の中間部の接続部材９５が移
動することになる。この場合に、上記の負圧供給チュー
ブ９６は上記のように弛みが与えられており、この接続
部材９５の移動を許容する。

【００６１】このような負圧チューブ９１の張設機構に
よれば、上記のキヤリッジ５１やハンド部材２０の移動
に伴って移動するのは負圧供給チューブ９６のみであ
り、負圧チューブ９１は所定の経路に張設された状態を
維持する。よって、この負圧チューブ９１が他の物に干
渉することがなく、またこの負圧チューブ９１の配置の
ために要するスペースを節減でき、この装置を小形化す
ることができる。

【００６２】次に、前述した載置テーブル機構２１を図
１３を参照して説明する。この載置テーブル機構２１
は、前述したように、上記のハンド部材２０の一端部に
載置保持したガラス基板Ｗを一旦受取り、このガラス基
板Ｗをこのハンド部材２０の他端部に受け渡すものであ
る。

【００６３】図中の１０１は、この載置テーブル機構２
１のベース板であり、このベース板１０１は前記の昇降
台１６の上端に取り付けられている。そして、このベー
ス板１０１の下面中央から下方に向けて支承部材１０２
が突設され、この支承部材１０２にはテーブル軸１０３
が支承されている。このテーブル軸１０３は、鉛直方向
に沿って配置され、この支承部材１０２に回転自在およ
び上下に摺動自在に支承されている。

【００６４】このテーブル軸１０３の上端部は、上記の
ベース板１０１を貫通してその上方に突出しており、そ
の上端には円板状の載置テーブル１０４が取り付けられ
ている。この載置テーブル１０４は、その上にガラス基
板Ｗを載置可能なものであり、前記のキヤリッジガイド
５０の中央位置で、かつ両側の一対のハンド部材２０の
間に配置されている。また、この載置テーブル１０４の
上面は、上記のハンド部材２０の上面すなわちガラス基
板Ｗの移送される搬送面Ａよりやや下方に位置してい
る。

【００６５】また、上記の支承部材１０２の下端部に
は、このテーブル軸１０３を回転駆動する回転駆動機構
１０５と、このテーブル軸１０３を上下に昇降する昇降
駆動機構１０６が設けられている。上記の回転駆動機構
１０５は、ステッピングモータ１０７、ピニオン１０
８、歯車１０９等から構成され、上記のテーブル軸１０
３および載置テーブル１０４を所定の角度回動させる。
また、上記の昇降駆動機構１０６は、モータ１１０、カ
ム機構１１１、スイベル継手１１２等から構成されてお
り、上記のテーブル軸１０３を上昇させ、上記の載置テ
ーブル１０４を上記の載置搬送面Ａより上方まで上昇さ
せる。なお、上記の回転駆動機構１０５のピニオン１０
８と歯車１０９とは、軸方向に摺動自在に噛合してお
り、上記のテーブル軸１０３の上下の移動を許容する。

【００６６】また、上記の載置テーブル１０４の周縁部
には、複数の吸着パッド１１３が設けられ、これらの吸
着パッド１１３は、負圧チューブ１１４、上記のテーブ
ル軸１０３内に形成された通路、その他を介して負圧機
構に接続されている。そして、これらの吸着パッド１１
３は、この載置テーブル１０４上に載置されたガラス基
板Ｗを吸着保持し、このガラス基板Ｗがずれたり、落下
したりすることを防止する。

【００６７】なお、上記の回転駆動機構１０５、昇降駆
動機構１０６等の作動は、前述した制御装置２２によっ
て制御されることはもちろんである。

【００６８】次に、上記のような実施形態の移送装置の
作動を図１４ないし図２５を参照して説明する。図１４
ないし図１９には、一方のラック１ａから他方のラック
１ｂにガラス基板Ｗを移送する基本的な作動を示す。

【００６９】まず、前記の移動台１４が幅方向駆動機構
１５によって移送すべきガラス基板Ｗを収容したラック
１ａの幅方向に対して所定の位置に移動し、また昇降台
１６が昇降駆動機構１７によって上下方向に移動し、ハ
ンド部材２０の上面が移送すべきガラス基板Ｗの下面よ
りやや下方の位置に位置決めされる。

【００７０】次に、図１４に示すように、前記のキヤリ
ッジ５１がキヤリッジガイド５０に沿って、すなわち直
線的な移送経路に沿って一方側に移動し、これと同時に
ハンド部材２０がこのキヤリッジ５１に対して一方側に
移動し、このハンド部材２０の一端部がこのキヤリッジ
５１の一端部から突出してキヤリッジ機構１８の一端部
から突出し、一方のラック１ａ内に挿入され、移送すべ
きガラス基板Ｗの下面に対応する。この後に、上記の昇
降台１６が少し上昇し、このハンド部材２０の一端部上
にこのガラス基板Ｗを載置する。この後に、このハンド
部材２０の吸着パッド６３に負圧が供給され、このガラ
ス基板Ｗを吸着保持する。

【００７１】次に、図１５に示すように、上記のキヤリ
ッジ５１およびハンド部材２０がガラス基板Ｗを保持し
たまま、他方側に移動する。そして、このハンド部材２
０の一端部に載置されているガラス基板Ｗの中心が前記
の載置テーブル機構２１の載置テーブル１０４の中心に
位置した状態で、このキヤリッジ５１およびハンド部材
２０が停止し、また吸着パッド６３による吸着が解除さ
れる。そして、この後に上記の載置テーブル１０４が上
昇し、このガラス基板Ｗをこの載置テーブル１０４上に
載置し、吸着パッド１１３により吸着保持する。

【００７２】次に、この実施形態の場合には、図１６に
示すように、この載置テーブル１０４が１８０°回動
し、このガラス基板Ｗを１８０°回動させる。また、こ
れと同時に、上記のキヤリッジ５１とハンド部材２０が
一方側に戻るように移動する。そして、図１７に示すよ
うに、このハンド部材２０の他端部がこのガラス基板Ｗ
の下方に位置した状態で、このキヤリッジ５１およびハ
ンド部材２０が停止する。この後に、上記の載置テーブ
ル１０４が下降するとともに、その吸着パッド１１３に
よる吸着保持が解除され、このガラス基板Ｗはこのハン
ド部材２０の他端部の上に載置され、このハンド部材２
０の吸着パッド６３がこのガラス基板Ｗを吸着保持す
る。

【００７３】そして、この後に図１８に示すように、こ
のキヤリッジ５１およびハンド部材２０が他方側に移動
し、このキヤリッジ５１がキヤリッジガイド５０の他端
部に位置するとともに、上記のハンド部材２０がこのキ
ヤリッジ５１の他端部から突出してキヤリッジ機構１８
の他端部から突出し、他方のラック１ｂ内に挿入され、
この他端部の上に載置されているガラス基板Ｗをこの他
方のラック１ｂ内に挿入し、このラック１ｂ内のホルダ
部材に保持させる。

【００７４】この後に、このハンド部材２０の吸着パッ
ド６３の吸着保持が解除されるとともに、上記の移動台
１６が少し下降し、このハンド部材２０の上面がガラス
基板Ｗの下面から離れる。そして、図１９に示すよう
に、このキヤリッジ５１およびハンド部材２０が一方側
に移動し、他方のラック１ｂ内から抜き去られる。そし
て、このような作動を繰り返し、一方のラック１ａ内の
ガラス基板Ｗを他方のラック１ｂ内に移送する。

【００７５】なお、上記のようなラック１ａ，内のホル
ダ２にはガラス基板Ｗの両縁部が係合して保持されてい
るものであるが、このホルダ２に保持されているガラス
基板Ｗの縁部と、このラック１ａの側壁の内面および奥
壁の内面との間にはある程度の隙間が存在している。し
たがって、上記のガラス基板Ｗは、ラック１ａ内には必
ずしも正確には収容されておらず、このラック１ａの幅
方向および前後方向にずれて収容されている場合があ
る。このような場合には、前述のようにハンド部材２０
がこのラック１ａ内に挿入されてその一端部にガラス基
板Ｗを受け取る際に、このハンド部材２０に対してガラ
ス基板Ｗがずれて載置されることがある。このような場
合には、その後に前述のようにこのガラス基板Ｗを他方
のラック１ｂ内に挿入する際に、このガラス基板Ｗの縁
部がこの他方のラック１ｂの側壁内面や奥壁内面に衝突
し、破損する可能性がある。この実施形態では、上記の
ような不具合を防止するために、前記の制御装置２２に
よって上記の移送作動の際に図２０ないし図２３に示す
ような位置決め作動がなされる。

【００７６】すなわち、まず図２０に示すように、ハン
ド部材２０の一端部が一方のラック１ａ内に挿入され、
昇降台１６が上昇してこのハンド部材２０の一端部にガ
ラス基板Ｗが載置された後で、かつこのハンド部材２０
の吸着パッド６３によってこのガラス基板Ｗがまだ吸着
保持されていない状態において、図２１に示すように、
このハンド部材２０がさらに所定距離だけ前進する。

【００７７】このようなハンド部材２０の前進によっ
て、ガラス基板Ｗはこのラック１ａの奥方に移動し、そ
の奥壁の内面に当接する。この場合に、このガラス基板
Ｗは吸着保持されていないので、このガラス基板Ｗが奥
壁に当接して停止した後もこのハンド部材２０はガラス
基板Ｗと摺動しつつ前進し、所定の位置で停止する。こ
のハンド部材２０の停止位置、たとえばその先端からラ
ック１ａの奥壁内面との距離ｘは、あらかじめ一定の距
離となるように設定されている。したがって、このガラ
ス基板Ｗは、その奥方の縁からこのハンド部材２０の先
端までの位置が常に上記のｘの距離となり、前後方向に
関してこのハンド部材２０に対して常に一定の位置に正
確に載置される。

【００７８】次に、図２２に示すように、前述の幅方向
駆動機構１５によって移動台１４が側方に移動し、この
ハンド部材２０はこのラック１ａの幅方向の一方側に移
動する。この場合も上記と同様に、このガラス基板Ｗの
側縁がこのラック１ａの側壁の内面に当接して停止し、
ハンド部材２０はこのガラス基板Ｗと摺動しつつこの側
壁内面に対して所定の位置、たとえばこれらのハンド部
材２０の中心から側壁の内面までの距離が所定のｙの位
置で停止する。したがって、このガラス基板Ｗは、この
ラック１ａの幅方向に関してこのハンド部材２０上に常
に一定の位置に正確に載置されることになる。

【００７９】次に、このハンド部材２０の吸着パッド６
３によってこのガラス基板Ｗが吸着保持され、このハン
ド部材２０はこのガラス基板Ｗを所定の位置に載置吸着
したまま図２３に示すようにこのラック１ａの略中央ま
で戻り、この後に前述のように他方側に移動し、このラ
ック１ａ内からこのガラス基板Ｗを抜き出す。

【００８０】なお、上記のような作動により、このガラ
ス基板Ｗはこのハンド部材２０の一端部の中心からずれ
て載置保持されることになるが、このガラス基板Ｗはこ
のハンド部材２０の一端部の基準位置に対して常に一定
の位置に正確に載置されている。したがって、この後の
前述した移送作動、たとえば載置テーブル１０４上での
回動や、このハンド部材２０の他端部で載置保持された
ガラス基板Ｗを他方のラック１ｂ内に挿入する際に、上
記のようなずれ分は正確に補正することができ、このガ
ラス基板Ｗを他方のラック１ｂに対して正確に位置決め
して挿入することができる。よって、このガラス基板Ｗ
の縁部がこの他方のラック１ｂの内面に衝突して破損す
るようなことが確実に防止される。また、このようにガ
ラス基板Ｗを他方のラック１ｂ内に正確に挿入できるの
で、このラックとガラス基板との間の遊びを少なくする
ことも可能である。

【００８１】上記のような作動は、この実施形態の装置
の標準的な作動であるが、この移送装置は上記の制御装
置２２のプログラムを適宜設定することにより、各種の
作動が可能である。

【００８２】たとえば、図２４の（ａ）ないし（ｃ）に
は、このガラス基板Ｗの移送の際の姿勢変更の例を示
す。この図２４の（ａ）は、前述のように載置テーブル
１０４上でこのガラス基板Ｗを１８０°回動させた場合
である。この場合には、このガラス基板ＷのＡ端とＢ端
とが反転するので、対向した他方のラック１ｂに同じ向
き、すなわちＡ端が常にラックの前面側に位置するよう
に移送できる。

【００８３】また、図２４の（ｂ）は、上記の載置テー
ブル１０４上でこのガラス基板Ｗを回動させない場合で
ある。この場合には、対向する他方のラック１ｂ内にこ
のガラス基板Ｗが逆向きに、すなわちＡ端が奥方、Ｂ端
が前面側に向いた状態で移送することができる。また、
図２４の（ｃ）のように、９０°回動させた状態でガラ
ス基板Ｗを他方のラック１ｂに移送することもできる。

【００８４】また、この実施形態の移送装置では、図２
５に示すように、複数の一方のラック１ａから、複数の
他方のラック１ｂに移送する場合に、移送先の他方のラ
ック１ｂを任意に選択することができる。すなわち、こ
の図２５の（ａ）は、互いに対向するラック間で移送す
る場合である。また、一方のラック１ａから受け取った
ガラス基板Ｗを他方のラックＷに受け渡すまでの間に、
前述の幅方向駆動機構１５により移動台１４を移動させ
ることにより、この図２５の（ｂ）、（ｃ）に示すよう
に、任意の他方のラック１ｂに選択または振り分けてガ
ラス基板Ｗを移送することも可能である。

【００８５】上記のように、この移送装置ではガラス基
板Ｗを任意の角度回動させた状態、または任意のラック
に選択または振り分けてガラス基板を移送することがで
き、このガラス基板を用いた液晶表示パネルの各種の工
程やその変更に対応した柔軟な移送が可能である。

【００８６】なお、本発明は上述のような第１の実施形
態には限定されない。たとえば、本発明の移送装置は、
図２６に示す第２の実施形態のように構成してもよい。
この第２の実施形態のものは、前述のキヤリッジおよび
ハンド機構を移動する機構、および吸着パッドに負圧を
供給する負圧チューブの張設の機構を変更したものであ
る。

【００８７】この第２の実施形態のものは、前記の図１
２に示す第１のプーリ８１と第２のプーリ８２の径を互
いに等しくし、また前述の接続部材９５、負圧供給チュ
ーブ９６、プーリ９４等を省略したものである。この第
２の実施形態のものは、図２６に示すように２本の負圧
チューブ１９１を備え、これらの負圧チューブ１９１の
基端部はこの装置の本体側、たとえば昇降台１６に取り
付けられ、前述したような負圧機構に接続されている。

【００８８】そして、これらの負圧チューブ１９１は、
キヤリッジ５１内を通過し、ガイドプーリ９２，９３に
案内されてそれぞれ１８０°反転し、ハンド部材２０の
下面に沿って張設され、それらの先端はこのハンド部材
２０の両端部にそれぞれ取り付けられ、このハンド部材
２０の吸着パッド６３に接続されている。なお、この図
２６では、理解を容易にするために第１のプーリ８１と
第２のプーリ８２を異なる径で描いてあるが、上記のよ
うにこれら第１のプーリ８１と第２のプーリ８２とは等
しい径である。

【００８９】この第２の実施形態のものは、第１のプー
リ８１と第２のプーリ８２の径が等しいので、キヤリッ
ジガイド５０に対するキヤリッジ５１の移動量と、この
キヤリッジ５１に対するハンド部材２０の移動量とが互
いに等しい。したがって、このキヤリッジ５１の移動に
よる負圧チューブ１９１の走行と、ハンド部材２０の移
動による負圧チューブ１９１の走行とは、その走行量が
互いに等しく、かつその走行の方向が反対である。した
がって、実際にはこの負圧チューブ１９１は走行しな
い。よって、この図２６のように、これらの負圧チュー
ブ１９１の基端部を固定しても、この負圧チューブ１９
１を常に所定の張設状態に維持することができる。

【００９０】なお、この第２の実施形態のものは、上記
の点以外は前記の第１の実施形態のものと同様の構成で
あり、図２６中、第１の実施形態に対応する部分には同
一の符号を付してその説明は省略する。

【００９１】また、図２７には本発明の第３の実施形態
を示す。このものは、前述の第１の実施形態の第１のプ
ーリおよび第１のベルトの代わりに、ラック２０２とこ
れに噛合するピニオン２０１とを設けたものである。そ
して、このピニオン２０１にはこれと一体的に回転する
プーリ２０５が接続されている。また、キヤリッジ５１
またはこのキヤリッジ５１に取り付けられた部材には、
一対のプーリ２０３が設けられ、これらのプーリ２０３
の間には無端状のベルト２０４が走行自在に掛け渡さ
れ、このベルト２０４は上記のプーリ２０５に巻回され
ている。なお、２０６はガイドローラである。そして、
このベルト２０４の中間部にはハンド部材２２０が取り
付けられている。

【００９２】このような第３の実施形態のものは、上記
のキヤリッジ５１が移動すると、上記のラック２０２に
噛合したピニオン２０１が回転し、これによってプーリ
２０５が回転駆動され、上記のベルト２０５が走行し、
このベルト２０５の走行によってハンド部材２２０が移
動する。

【００９３】なお、この第３の実施形態のものは、上記
の点以外は前記の第１の実施形態と同様の構成であり、
図２７中第１の実施形態に対応する部分は同じ符号を付
してその説明を省略する。

【００９４】また、図２８には本発明の第４の実施形態
を示す。このものは、キヤリッジ５１上をこのキヤリッ
ジ５１の両端部から突出するように移動する第１のハン
ド部材２２０を設け、さらにこの第１のハンド部材２２
０上にこれに対して移動しかつこの第１のハンド部材２
２０の両端部から突出する第２のハンド部材３２１が設
けられている。なお、これらの第１のハンド部材３２０
および第２のハンド部材３２１は、いずれも薄い板状を
なしている。

【００９５】この第４の実施形態のものは、上記の第１
のハンド部材２２０がキヤリッジ５１の一端部から突出
するとともに、この第１のハンド部材２２０の一端部か
らさらに第２のハンド部材３２１が突出し、この第２の
ハンド部材３２１がラック１ａ内のガラス基板Ｗの直下
まで挿入され、この第２のハンド部材３２１の中央部で
ガラス基板Ｗを受け取る。そして、この第１のハンド部
材３２０および第２のハンド部材３２１が図２８の二点
鎖線で示すように他端側に移動し、他方のラック１ｂ内
にこのガラス基板Ｗを受け渡す。この実施形態のもの
は、前記の第１の実施形態のように、中間部で載置テー
ブルにガラス基板を一旦載置してハンド部材の他端部に
載置保持しなおす必要がなく、１作動でガラス基板Ｗの
移送が完了し、作動をより高速化することができる。

【００９６】なお、この第４実施形態において、上記の
第１のハンド部材３２０および第２のハンド部材３２１
の移動機構は、上記の第３の実施形態の移動機構を採用
することができる。すなわち、上記の図２７に示す一対
のプーリ２０３を第１のハンド部材３２９に取り付け、
また図２７のベルト２０４を第２のハンド部材３２１に
取り付ける。このようにすれば、キヤリッジ５１の移動
によりベルト２０４が走行して第２のハンド部材３２１
が第１のハンド部材３２０に対して移動し、この第２の
ハンド部材３２１が第１のハンド部材３２０の端部まで
移動してストッパ等に当接して停止した後は、この第１
のハンド部材３２０が第２のハンド部材３２１とともに
移動する。

【００９７】なお、この第４の実施形態の移動機構は、
もちろん上記のものには限定されない。たとえば、第１
のハンド部材３２０の移動機構は前述の第１の実施形態
のものと同様とし、この第１のハンド部材３２０に対し
て第２のハンド部材３２１を移動させる機構、たとえば
ベルト機構、ラックピニオン機構、スクリューロッド機
構、シリンダ機構等の別の移動機構を付加してもよい。

【００９８】さらに、図２９には本発明の第５の実施形
態を示す。このものは、前述した実施例と同様の構成の
ハンド部材の両端部に一対のプーリ４０３を設け、これ
らのプーリ４０３の間に歯付きベルト４０２を走行自在
に張設し、この歯付きベルト４０２の上にガラス基板Ｗ
を載置するようにしたものである。この歯付きベルト４
０２は、その歯が外側を向いて張設され、ガイドーロー
ラ４０４，４０５に案内されている。また、キヤリッジ
５１の上面にはラック４０１が設けられ、上記のガイド
ローラ４０５に案内された歯付きベルト４０２の歯がこ
のラック４０１に噛合している。

【００９９】このような実施形態のものは、キヤリッジ
５１に対してハンド部材が移動すると、このハンド部材
に張設された歯付きベルト４０２が走行し、この走行に
よりハンド部材の一端部に載置されたガラス基板Ｗがこ
のハンド部材の他端部まで移動される。したがって、こ
の実施形態のものも、前記の第４の実施形態のものと同
様に、中間部で載置テーブルにガラス基板を一旦載置し
てハンド部材の他端部に載置保持しなおす必要がなく、
１作動でガラス基板Ｗの移送が完了し、作動をより高速
化することができる。

【０１００】なお、本発明は上述の実施形態にも限定さ
れない。たとえば、この移送装置は、上記のようなガラ
ス基板を一方のラックから他方のラックに移送するもの
には限定されず、各種の物品を一方の収納容器またはコ
ンベア等から、他方の収納容器またはコンベア等に移送
する装置一般に適用でき、この場合には移送する物品の
種類等に対応して、上記のハンド部材の形状、構造も任
意のものを採用できることはもちろんである。

【０１０１】また、移送に際して物品を回転させる必要
のない場合には、載置テーブルは回転しなくても良い。
また、この場合には、この載置テーブルは一対のハンド
部材の間に配置する必要はなく、たとえば単一のハンド
部材の両側に載置テーブルを配置することもできる。

【０１０２】また、キヤリッジやハンド部材の移動機
構、その他の駆動機構も、上述のようなものには限定さ
れず、各種の機構が採用できる。

【０１０３】

【発明の効果】上述の如く本発明は、キヤリッジ機構お
よびハンド機構が直線的に移動してラック、コンベア等
の物品保持装置の間で物品を移送するものであるから、
その構造や作動が単純であり、作動が正確でかつ高速で
物品を移送することができる。また、この装置の設置や
作動のために必要な面積が小さくてすみ、狭い場所にも
設置が可能である等、その効果は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】物品保持装置の例としてのラックの斜視図。

【図２】従来の物品移送装置の側面図。

【図３】従来の物品移送装置の平面図。

【図４】本発明の物品の移送装置の第１の実施形態の平
面図。

【図５】第１の実施形態の正面図。

【図６】第１の実施形態の縦断面図。

【図７】図６の７−７線に沿う断面図。

【図８】第１の実施形態のキヤリッジ機構およびハンド
機構の平面図。

【図９】図８の９−９線に沿う断面図。

【図１０】第１の実施形態のハンド部材の平面図。

【図１１】図１０の１１−１１線に沿う断面図。

【図１２】第１の実施形態のキヤリッジ機構およびハン
ド機構の移動機構の概略図。

【図１３】第１の実施形態の載置テーブル機構の縦断面
図。

【図１４】第１の実施形態の移送作動を説明する図。

【図１５】第１の実施形態の移送作動を説明する図。

【図１６】第１の実施形態の移送作動を説明する図。

【図１７】第１の実施形態の移送作動を説明する図。

【図１８】第１の実施形態の移送作動を説明する図。

【図１９】第１の実施形態の移送作動を説明する図。

【図２０】第１の実施形態の位置合わせ作動を説明する
図。

【図２１】第１の実施形態の位置合わせ作動を説明する
図。

【図２２】第１の実施形態の位置合わせ作動を説明する
図。

【図２３】第１の実施形態の位置合わせ作動を説明する
図。

【図２４】第１の実施形態のガラス基板の回転移送作動
を説明する図。

【図２５】第１の実施形態のガラス基板の分配移送作動
を説明する図。

【図２６】第２の実施形態の負圧チューブの張設機構の
概略図。

【図２７】第３の実施形態のキヤリッジ機構およびハン
ド機構の移動機構の概略図。

【図２８】第４の実施形態のキヤリッジ機構およびハン
ド機構の概略側面図。

【図２９】第５の実施形態のキヤリッジ機構およびハン
ド機構の移動機構の概略図。

【符号の説明】

１，１ａ，１ｂ ラック Ｗ ガラス基板 １４ 移動台 １５ 幅方向駆動機構 １６ 昇降台 １７ 昇降駆動機構 １８ キヤリッジ機構 １９ ハンド機構 ２０ ハンド部材 ２１ 載置テーブル機構 ５０ キヤリッジガイド ５１ キヤリッジ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 物品を収納または搬送する一方の物品保
   持装置から他方の物品保持装置に物品を移送する装置で
   あって、 上記の一方の物品保持装置から他方の物品保持装置まで
   の間の直線的な移送経路を往復移動するキヤリッジ機構
   と、このキヤリッジ機構とともに上記の経路を往復移動
   するとともにこのキヤリッジ機構に対しても上記の移送
   経路に沿って往復移動して上記の移送経路の両終端部に
   おいて上記のキヤリッジ機構の一端部または他端部から
   突出するハンド機構とを備え、上記の移送経路の一方の
   終端部においては上記のキヤリッジ機構の一端部から上
   記のハンド機構が突出して一方の物品保持装置の物品を
   受け取り、またこの移送経路の他方の終端部においては
   上記のキヤリッジ機構の他端部から上記のハンド機構が
   突出して物品を他方の物品保持装置に受け渡すことを特
   徴とする物品の移送装置。
2. 【請求項２】 前記のハンド機構はその両端部でそれぞ
   れ物品を保持することができるものであり、前記の移送
   経路の一方の終端部において前記のキヤリッジ機構から
   このハンド機構の一端部が突出し、また前記の移送経路
   の他方の終端部においてこのハンド機構の他端部が突出
   するものであり、また前記の移送経路の中間部には上記
   のハンド機構によって移送される物品を一時載置する載
   置テーブル機構が設けられており、前記の移送経路の一
   方の終端部において上記のハンド機構の突出した一端部
   に前記一方の物品保持装置の物品が受け取られ、このハ
   ンド機構は前記の移送経路の中間部においてその一端部
   が上記の載置テーブル機構に対応してこの一端部に受け
   取られている物品を一旦上記の載置テーブル機構に載置
   させ、この後に上記のハンド機構が移動してその他端部
   がこの載置テーブル機構に対応しこの載置テーブル機構
   上の物品をこのハンド機構の他端部で受取り、この後に
   このハンド機構の他端部に受け取られている物品を前記
   の他方の物品保持装置に受け渡すことを特徴とする請求
   項１の物品の移送装置。
3. 【請求項３】 前記の物品は薄板状の物品であり、また
   前記の物品保持装置は複数の上記薄板状の物品を上下に
   隙間を存して保持するラックであり、また前記のハンド
   機構は上記の薄板状の物品を上面に載置して保持する板
   状のハンド部材を備えており、前記の移送経路の両終端
   部においてこの板状のハンド部材が上記のラック内に挿
   入されてこの物品の受取りおよび受け渡しをするもので
   あることを特徴とする請求項１の物品の移送装置。
4. 【請求項４】 前記のハンド部材は、前記の移送経路の
   一方の終端部において前記のキヤリッジ機構からその一
   端部が突出し、また前記の移送経路の他方の終端部にお
   いてその他端部が突出するものであり、また前記の移送
   経路の中間部には前記のハンド部材によって移送される
   物品を一時載置する載置テーブル機構が設けられてお
   り、前記の移送経路の一方の終端部において前記のハン
   ド部材の突出した一端部が前記の一方のラック内に挿入
   されてこの一端部上に物品が受け取られ、このハンド部
   材は前記の移送経路の中間部においてその一端部が前記
   の載置テーブル機構に対応してこの一端部に受け取られ
   ている物品を一旦前記の載置テーブル機構に載置させ、
   この後に前記のハンド部材が移動してその他端部がこの
   載置テーブル機構に対応してこの載置テーブル機構上の
   物品をこのハンド部材の他端部で受取り、この後にこの
   ハンド部材の他端部が前記の他方のラック内に挿入され
   てその他端部に受け取られている物品をこの他方のラッ
   クに受け渡すことを特徴とする請求項３の物品の移送装
   置。
5. 【請求項５】 前記のハンド機構は、前記の移送経路の
   両終端部において一方または他方の端部が前記のキヤリ
   ッジ機構から突出する第１のハンド部材と、この第１の
   ハンド部材上をその一端部から他端部に移動する第２の
   ハンド部材とを備えており、前記の移送経路の一方の終
   端部においては上記の第１のハンド部材の一端部が前記
   のキヤリッジ機構から突出するとともに上記の第２のハ
   ンド部材がこの第１のハンド部材の一端部に移動し、こ
   の第１のハンド部材の一端部および第２のハンド部材が
   前記の一方のラック内に挿入されてこの第２のハンド部
   材の中央部上に物品を載置して受け取り、また前記の移
   送経路の他方の終端部においては上記の第１のハンド部
   材の他端部が前記のキヤリッジ機構から突出するととも
   に上記の第２のハンド部材がこの第１のハンド部材の他
   端部に移動し、この第１のハンド部材の他端部および第
   １のハンド部材が前記の他方のラック内に挿入されて、
   この第２のハンド部材上に載置されている物品をこの他
   方のラックに受け渡すことを特徴とする請求項３の物品
   の移送装置。
6. 【請求項６】 前記のハンド部材の上面には吸着パッド
   機構が設けられ、負圧機構の負圧によりこのハンド部材
   上に載置された物品を吸着保持することを特徴とする請
   求項３の物品の移送装置。
7. 【請求項７】 前記のキヤリッジ機構は、前記の移送経
   路に沿って設けられたキヤリッジガイドと、このキヤリ
   ッジガイドに沿って移動自在なキヤリッジと、このキヤ
   リッジを往復移動させる駆動機構とを備え、 上記のキヤリッジが上記のキヤリッジガイドに沿って移
   動する際に、前記のハンド部材がこのキヤリッジに対し
   てこのキヤリッジの移動方向と同じ方向に移動し、これ
   によって上記のキヤリッジが前記の移送経路の一方の終
   端部に移動した場合にはこのキヤリッジの一端部から上
   記のハンド部材の一端部が突出してキヤリッジ機構の一
   端部から突出し、またこのキヤリッジが前記の移送経路
   の他方の終端部に移動した場合にはこのキヤリッジの他
   端部から上記のハンド部材の他端部が突出してキヤリッ
   ジ機構の他端部から突出することを特徴とする請求項３
   の物品の移送装置。
8. 【請求項８】 前記のハンド機構には、その両端部に、
   物品を負圧により吸着保持する吸着パッドが設けられ、
   この吸着パッドは可撓性の負圧チューブを介して負圧機
   構に接続されており、上記負圧チューブの両端部は上記
   吸着パッドに接続され、この接続部位からハンド機構に
   沿って張設されており、かつ、この張設部分に連続して
   キヤリッジ機構内を通して案内されており、その中間部
   分は移動可能な負圧供給チューブを介して上記の負圧機
   構に接続されており、 前記のキヤリッジ機構の移動およびこのキヤリッジ機構
   に対する前記のハンド機構の移動に際して上記負圧チュ
   ーブは上記のハンド機構に沿って張設された状態を維持
   するものであることを特徴とする請求項１の物品の移送
   装置。
9. 【請求項９】 前記のハンド機構には物品を負圧により
   吸着保持する吸着パッド機構が設けられ、この吸着パッ
   ド機構は可撓性の負圧チューブを介して負圧機構に接続
   されており、この負圧チューブの基端はこの移送装置の
   本体側に固定されるとともに上記の負圧機構に接続さ
   れ、またこの負圧チューブの基端側部分は前記のキヤリ
   ッジ機構の移動経路に沿って張設され、またこの負圧チ
   ューブの中間部は前記のキヤリッジ機構を通して反転し
   て案内されており、またこの負圧チューブの先端側部分
   は上記のハンド機構に沿って張設され、またこの負圧チ
   ューブの先端は前記のハンド機構の先端部に取り付けら
   れて上記の吸着パッド機構に接続されており、また前記
   のハンド機構は、前記のキヤリッジ機構に対して、この
   キヤリッジ機構の移動方向と同じ方向にこのキヤリッジ
   機構の移動量と等しい移動量で移動するものであり、こ
   れらキヤリッジ機構の移動とこのキヤリッジ機構に対す
   るハンド機構の移動量が相殺されて上記の負圧チューブ
   が前記のハンド機構に沿って張設された状態を維持する
   ものであることを特徴とする請求項１の物品の移送装
   置。