JPH04181785A - レーザ周波数掃引制御回路 - Google Patents

レーザ周波数掃引制御回路

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JPH04181785A
JPH04181785A JP30880990A JP30880990A JPH04181785A JP H04181785 A JPH04181785 A JP H04181785A JP 30880990 A JP30880990 A JP 30880990A JP 30880990 A JP30880990 A JP 30880990A JP H04181785 A JPH04181785 A JP H04181785A
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Tadashi Fukami
正 深見
Akihiko Iwata
明彦 岩田
Tatsuki Okamoto
達樹 岡本
Hiroshi Ito
寛 伊藤
Yasutoshi Takeda
保敏 武田
Shigeo Eguri
成夫 殖栗
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、レーザ光の周波数掃引を制御するレーザ周
波数掃引制御回路に関するものである。
[従来の技術] 従来例の構成を第13図を参照しなから説明する。
第13図は、例えば米国特許第4,636.287号公
報に示された従来のレーザ周波数掃引制御回路を示すブ
ロック図である。
第13図において、(1)はアルゴンレーザ等のレーザ
発生源、Laはし・−ザ発生源(1)から出力されるレ
ーザ光、(2)はレーザ光Laの周波数を掃引するため
の電気光学素子、Lbは周波数が掃引されたレーザ出力
光、(3)は電気光学素子(2)に電界を印加する電力
増幅器、(4)はこの電力増幅器(3)に制御信号を与
えるための発振器である。
つぎに、前述した従来例の動作を説明する。
レーザ発生源(1)によって発せられたレーザ光Laは
、周波数を掃引できる電気光学素子(2)に入射される
。このとき、発振器(4)によって制御される電力増幅
器(3)の出力Uxは、電気光学素子(2)内の電界が
時開的に変化するように与えられ、その結果、電気光学
素子(2)を通過するレーザ光の屈折率が時間的に変化
する。
電気光学素子(2)内の屈折率の変化量Δnは。
Δn ” k O’ n 37”’ 2 ’ Eで与え
られる。ここて、Koは定数、nは屈折率、Eは電界で
ある。電界Eが時開的に変動するような電圧が電力増幅
器(3)から与えられれば、レーザ光Laの周波数掃引
量△fは、 Δf=に、  d(Δn)/dlf =に、・dE/dt l = K 3 ・d v x/ d t ・1となる。こ
こで、K1、K2、K3は定数、pはレーザ光Laが通
る電気光学素子(2)内の長さである。すなわち、電力
増幅器(3)から与えられる電圧υXの時間的変化量を
制御することで、レーザ光Laの周波数が掃引されたレ
ーザ出力光Lbが得られる。
[発明が解決しようとする課題] 前述したような従来のレーザ周波数掃引制御回路では1
周波数の掃引量を大幅に変えるには高いdυx/dtが
必要とされ、電力増幅器(3)は高電圧を高速に制御す
る必要があり、高速な電力増幅器(3)を構成する半導
体素子の耐圧は小さく、周波数の掃引量を大きくするの
は不可能であるという問題点があった。
また、高電圧が取り扱える真空管を用いた場合には信頼
性、寿命等に問題があり、品質を大幅に低下させるとい
う問題点があった。
この発明は、前述した問題点を解決するためになされた
もので、レーザ光の周波数掃引量を大幅に増加でき、か
つ品質を向上することができるレーザ周波数掃引制御回
路を得ることを目的とする。
[課題を解決するための手段] この発明の第1請求項に係るレーザ周波数掃引制御回路
は、次に掲げる手段を備えたものである。
〔1〕 高電圧を供給する高圧電源、リアクトル及びコ
ンデンサからなり前記高圧電源の正極に接続された直列
回路、及び前記高圧電源に並列接続されている直並列化
された半導体素子群から構成され、制御信号に基づいて
前記半導体素子群を一斉に導通させて前記コンデンサの
両端の電圧を出力する電力増幅器。
〔2〕 入射されたレーザ光を前記電圧に基づいてその
周波数を掃引して出力する電気光学素子。
また、この発明の第2請求項に係るレーザ周波数掃引制
御回路は、次に掲げる手段を備えたものである。
〔1〕 高電圧を供給する高圧電源、リアクトル及びコ
ンデンサからなり前記高圧電源の正極に接続された直列
回路、及び前記高圧電源に並列接続されている直並列化
された半導体素子群力・ら構成され、制御信号に基づい
て前記半導体素子群を一斉に導通させて前記リアクトル
の両端の電圧を出力する電力増幅器。
〔2〕 入射されたレーザ光を前記電圧に基づいてその
周波数を掃引して出力する電気光学素子。
さらに、この発明の第3請求項に係るレーザ周波数掃引
制御回路は、次に掲げる手段を備えたものである。
〔1〕 高電圧を供給する高圧電源、リアクトル及び第
1のコンデンサからなり前記高圧電源の正極に接続され
た直列回路、可変抵抗及び第2のコンデンサからなり前
記直列回路に接続された並列回路、及び前記高圧電源に
並列接続されている直並列化された半導体素子群から構
成され、制御信号に基づいて前記半導体素子群を一斉に
導通させて前記第2のコンデンサの両端の電圧を出力す
る電力増幅器。
〔2〕 入射されたレーザ光を前記電圧に基づいてその
周波数を掃引して出力する電気光学素子。
[作用コ この第1請求項の発明においては、高電圧を供給する高
圧電源、リアクトル及びコンデンサからなり前記高圧電
源の正極に接続された直列回路、及び前記高圧電源に並
列接続されている直並列化された半導体素子群から構成
された電力増幅器によって、制御信号に基づいて前記半
導体素子群が一斉に導通させられて前記コンデンサの両
端の電圧が出力される。
また、電気光学素子によって、入射されたレーザ光が前
記電圧に基づいてその周波数が掃引されて出力される。
この第2請求項の発明においては、高電圧を供給する高
圧電源、リアクトル及びコンデンサからなり前記高圧電
源の正極に接続された直列回路、及び前記高圧電源に並
列接続されている直並列化された半導体素子群から構成
された電力増幅器によって、制御信号に基づいて前記半
導体素子群が一斉に導通させられて前記リアクトルの両
端の電圧が出力される。
また、電気光学素子によって、入射されたレーザ光が前
記電圧に基づいてその周波数が掃引されて出力される。
この第3請求項の発明においては、高電圧を供給する高
圧電源、リアクトル及び第1のコンデンサからなり前記
高圧電源の正極に接続された直列回路、可変抵抗及び第
2のコンデンサからなり前記直列回路に接続された並列
回路、及び前記高圧電源に並列接続されている直並列化
された半導体素子群から構成された電力増幅器によって
、制御信号に基づいて前記半導体素子群が一斉に導通さ
せられて前記第2のコンデンサの両端の電圧が出力され
る。
また、電気光学素子によって、入射されたレーザ光が前
記電圧に基づいてその周波数が掃引されて出力される。
[実施例] これから、この発明の5つの実施例について順次説明す
る。
まず、この発明の第1実施例の構成を第1図及び第2図
を参照しなから説明する。
第1区は、この発明の第1実施例を示すブロック図であ
り、電力増幅器(3A)以外は前記従来回路のものと全
く同一である。
第2図は、この発明の第1実施例の電力増幅器(3A)
を示す回路図である。
第2図において、(5)は高圧電源、(6)はりアクド
ル、(7)はコンデンサ、(8)は例えばFETが直並
列に接続された半導体素子群である。
つぎに、前述した第1実施例の動作を第3図を参照しな
から説明する。
第3図(a)〜(d)は、この発明の第1実施例の電力
増幅器(3A)の動作を示すタイミングチャート図であ
る6 第3図において、横軸は時間tを表し、縦軸はそれぞれ
、(a)は制御信号υ。、(b)は電流io、(c)は
出力電圧Ux、(d)は電界Eの時間変化dE/dtを
示している。
発振器(4)から出力される制御信号U0は、直並列に
接続された半導体素子群(8)の各素子のゲートに供給
される。コンデンサ(7)の両端の端子a及びbは、電
力増幅器(3A)の出力端として扱い、電気光学素子(
2)に印加される。
高圧電源(5)からりアクドル(6)を通してコンデン
サ(7)に高圧電圧が充電される。このとき、制御信号
υ。によって半導体素子群(8)を−斉に導通させると
、第3図(a)及び(b)に示すように、リアクトル(
6)とコンデンサ(7)によって定まる振動周波数の電
流10が閉回路内に流れる。
したがって、第3図(c)に示すように、コンデンサ(
7)の両端の電圧υXも振動電流i。と同じ周波数で振
動する。ここで、U×は、υx=Vkc o s (t
/ (LC) ”’)で与えられる。ここて、Vkはコ
ンデンサく7)に充電された初期電圧値、Lはりアクド
ル(6)のインダクタンス値、Cはコンデンサ(7)の
容量値である。
そして、電気光学素子(2)に印加される電界Eは前記
電圧Uxに比例するのて、第3図(d)に示す電界Eの
時間変化dE/dtは、dE/ato=−vk/ <L
C) 1”・s i n (t/ (LC) ””tと
なる。よって、dE/dtは、Vk、L、Cの関数にな
る。つまり、dE/dtはVk、L、Cの値を任意に設
定することで所望の値を得ることができる。
また、この第1実施例では初期電圧値Vkをスイッチン
グする素子として直並列された半導体素子群(8)を用
いているため、高電圧で、かつ回路に影響と与えない高
速なスイ・ンチングか実現てき、d E 、、、’ d
 tを高くし、周波数掃引量を大きくとることができる
この発明の第1実施例は、前述したように、高圧電源(
5)と直列にリアクl−ル(6)とコンデンサ(7)が
接続され、高圧電源(5)と並列に半導体素子群(8)
が接続された電力増幅器(3A)を備えているのて、レ
ーザ光の周波数掃引量を大きくとることができ、スイッ
チング素子が全て半導体であるため信頼性が高く、寿命
が長いという効果を奏する。
この発明の第2実施例について第4図及び第5図を参照
しなから説明する。
第4図はこの発明の第2実施例の電力増幅器(3B)を
示す回路図、第5図は第4図の電力増幅器(3B)の動
作を示すタイミングチャー1〜図である。
この発明の第2実施例の構成は、上述した第1実施例と
ほとんどが同一であり、異なるところは第4図に示すよ
うに、電力増幅器(3B)の出力端としてリアクトル(
6)の両端の端子a及びbから取り出している。
第5図において、第3図と同様に、横軸は時間tを表し
、縦軸はそれぞれ、(a)は制御信号υ0、(b)は電
流10、(c)は出力電圧υ×、(d)は電界Eの時間
変化d E 、−’ d tを示している。
この発明の第2実施例の作用、効果は、上述した第1実
施例と同様である。
この発明の第3実施例について第6図を参照しなから説
明する。
この発明の第3実施例の構成は、電力増幅器(3C)以
外は前記従来回路のものと全く同一である。
第6図は、この発明の第3実施例の電力増幅器(3C)
を示す回路図であり、高圧電源(5)〜半導体素子群(
8)は上述した第1実施例の電力増幅器(3A)のもの
と同一である。
第6図において、(9)は可変抵抗である。
つぎに、前述した第3実施例の動作を第7図及び第8図
を参照しなから説明する。
第7図(a)〜(d)及び第8図は、この発明の第3実
施例の電力増幅器(3C)の動作を示すタイミングチャ
ート図である。
第7図において、横軸は時ptを表し、縦軸はそれぞれ
、(a)は制御信号U0、(b)は電流1o、(c)は
出力電圧U×、(d)は電界Eの時間変化dE/dtを
示している。
第8図において、横軸は時間tを表し、継軸は電界Eの
時間変化dE/dtを示している。
発振器(4)から出力される制御信号υ。は、直並列に
接続された半導体素子群(8)の各素子のゲートに供給
される。コンデンサ(7)の両端の端子a及びbは、電
力増幅器(3C)の出力端として扱い、電気光学素子(
2)に印加される。
高圧電源(5)からりアクドル(6)を通してコンデン
サ(7)に高圧電圧が充電される。このとき、制御信号
υ。によって半導体素子群(8)を−斉に導通させると
、第7図(a)及び(b)に示すように、リアクトル(
6)とコンデンサ(7)と可変抵抗(9)によって定ま
る振動周波数の電流i。が閉回路内に流れる。
したがって、第7図(c)に示すように、コンデンサ(
7)の両端の電圧U×も振動電流10と同し周波数で振
動する。ここで、U×は、Ux=Vk、’(I  R2
Cz’4L)””−ε−”−5in(ωt+jan−’
(ω、/α))で与えられる。ここで、V kはコンデ
ンサ(7)に充電された初期電圧値、Rは可変抵抗(9
)の抵抗値、Cはコンデンサ(7)の容量値、Lはりア
クドル(6)のインダクタンス値、α−R/2L、ω=
 (1,、・’LC) −(R/2 L ) ! ”2
、R2< (4L/C)である。
そして、電気光学素子(2)に印加される電界Eは前記
電圧U×に比例するので、第3図(d)に示す電界Eの
時間変化d E 、、/ d tは、dE、’dtヱ 一2Vk、/ (4LC−R2C2)”’・ε−″ts
inωt どなる。よって、dE/dtは、Vk、L、C1Rt7
)関数になる。つまり、dE/dtはVk、L、C,R
の値を任意に設定することで所望の値を得ることができ
る。
なお、第8図に示すように、可変抵抗(9)の抵抗値R
を変えることでd E / d tの値を大幅に制御で
きる。
また、この第3実施例では初期電圧値Vkをスイッチン
グする素子として直並列された半導体素子群く8)を用
いているため、高電圧で、かつ回路に影響を与えない高
速なスイッチングが実現でき、dE/dtを高くし、周
波数掃引量を大きくとることができる。
この発明の第3実施例は、前述したように、高圧電源(
5)と直列にリアクトル(6)とコンデンサ(7)と可
変抵抗(9)が接続され、高圧電源(5)と並列に半導
体素子群(8)が接続された電力増幅器(3C)を備え
ているので、レーザ光の周波数掃引量を大きくとること
ができ、スイッチング素子が全て半導体であるため信頼
性が高く、寿命が長いという効果を奏する。
この発明の第4実施例について第9図を参照しなから説
明する。
第9図はこの発明の第4実施例の電力増幅器(3D)を
示す回路図である。
この発明の第4実施例の構成は、上述した第3実施例と
ほとんどが同一であり、異なるところは第9図に示すよ
うに、電力増幅器(3D)の出力端としてリアクトル(
6)の両端の端子a及びbから取り出している。
この発明の第4実施例の作用、効果は、上述した第3実
施例と同様である。
この発明の第5実施例について第10図を参照しなから
説明する。
この発明の第5実施例の構成は、電力増幅器(3E)以
外は前記従来回路のものと全く同一である。
第10図は、この発明の第5実施例の電力増幅器(3E
)を示す回路ノであり、高圧電源(5)〜可変抵抗(9
)は上述した第3実施例の電力増幅器(3C)のものと
同一である。
第10図において、(10)は可変抵抗(9)に並列に
接続されたコンデンサである。
つぎに、前述した第5実施例の動作を第11図及び第1
2図を参照しなから説明する。
第11図(a)〜(d)及び第12図は、この発明の第
5実施例の電力増幅器(3E)の動作を示すタイミング
チャート図である。
第11図において、横軸は時間tを表し、縦軸はそれぞ
れ、(a)は制御信号υ。、(b)は電流i。、(c)
は出力電圧υ×、(d)は電界Eの時間変化dE/dt
を示している。
第12図において、横軸は時間tを表し、縦軸は電界E
の時間変化dE/dtを示している。
発振器(4)から出力される制御信号υ。は、直並列に
接続された半導体素子群(8)の各素子のゲートに供給
される。コンデンサ(1o)の両端の端子a及びbは、
電力増幅器(3E)の出力端として扱い、電気光学素子
〈2)に印加される。
高圧電源(5)からりアクドル(6)を通してコンデン
サ(7)に高圧電圧が充電される。このとき、制御信号
U0によって半導体素子群(8)を−斉に導通させると
、第11図(a>及び(b)に示すように、リアクトル
(6)とコンデンサ(7)と可変抵抗(9)とコンデン
サ(10)によって定まる振動周波数の電流j0が閉回
路内に流れる。
したがって、第11図<c)に示すように、コンデンサ
(10)の両端の電圧U×も振動電流i。
と同じ周波数で振動する。以下、説明を簡単化するため
に可変抵抗(9)の抵抗値を無限大として取り扱う、こ
こで、(/Xは、 vx= (CI/C2) ・Vk(1−cosωt)で
与えられる。ここで、C4はコンデンサ〈7)の容量値
、C2はコンデンサ(10)の容量値、Vkはコンデン
サ(7)に充電された初期電圧値、ω= +CI/L 
(CI/C2+ 1 ) ) ””、Lはリアクトル(
6)のインダクタンス値である。
そして、電気光学素子(2)に印加される電界Eは前記
電圧υXに比例するのて、第11図(d)に示す電界E
の時間変化dE/’dtは、d E 、/ d t 0
1: (IJ 、(CI/’C2) ・Vks i nωtと
なる。よって、dE/dtは、Vk、L、C,、C2の
関数になる。つまり、dEz’dtはVk、L、C1、
C2の値を任意に設定することて所望の値を得ることが
できる。
なお、第12図に示すように、可変抵抗(9)に並列に
接続されたコンデンサく10)の容量値C2を変えるこ
とでdE、/dtの値を大幅に制御できる。ただし、C
、/C2> 1の範囲内である。
また、この第5実施例では初期電圧値〜・′kをスイッ
チングする素子として直並列された半導体素子群(8)
を用いているため、高電圧で、かつ回路に影響を与えな
い高速なスイッチングが実現でき、d E/d tを高
くし、周波数掃引量を大きくとることがてきる。
この発明の第5実施例は、前述したように、高圧電源(
5)と直列にリアクトル(6)とコンデンサく7)と、
可変抵抗(9)とコンデンサ(10)の並列回路とが接
続され、高圧電源く5)と並列に半導体素子群(8)が
接続された電力増幅器(3C)を備えているので、レー
ザ光の周波数掃引量を大きくとることがてき、スイッチ
ング素子が全て半導体であるため信頼性が高く、寿命が
長いという効果を奏する。
[発明の効果コ この発明は、以上説明したとおり、第1請求項において
は、高電圧を供給する高圧電源、リアクトル及びコンデ
ンサからなり前記高圧電源の正極に接続された直列回路
、及び前記高圧電源に並列接続されている直並列化され
た半導体素子群から構成され、制御信号に基づいて前記
半導体素子群を一斉に導通させて前記コンデンサの両端
の電圧を出力する電力増幅器と、入射されたレーザ光を
前記電圧に基づいてその周波数を掃引して出力する電気
光学素子とを備え、第2請求項においては、高電圧を供
給する高圧電源、リアクトル及びコンデンサからなり前
記高圧電源の正極に接続された直列回路、及び前記高圧
電源に並列接続されている直並列化された半導体素子群
から構成され、制御信号に基づいて前記半導体素子群を
一斉に導通させて前記リアクトルの両端の電圧を出力す
る電力増幅器と、入射されたレーザ光を前記電圧に基づ
いてその周波数を掃引して出力する電気光学素子とを備
え、また、第3請求項においては、高電圧を供給する高
圧電源、リアクI・ル及び第1のコンデンサからなり前
記高圧電源の正極に接続された直列回路、可変抵抗及び
第2のコンデンサからなり前記直列回路に接続された並
列回路、及び前記高圧電源に並列接続されている直並列
化された半導体素子群から構成され、制御信号に基づい
て前記半導体素子群を一斉に導通させて前記第2のコン
デンサの両端の電圧を出力する電力増幅器と、入射され
たレーザ光を前記電圧に基づいてその周波数を掃引して
出力する電気光学素子とを備えたので、レーザ光の周波
数掃引量を大幅に増加でき、かつ品質を向上することが
できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の第1実施例を示すブロック図、第2
図はこの発明の第1実施例の電力増幅器を示す回路図、
第3図はこの発明の第1実施例の電力増幅器の動作を示
すタイミングチャート図、第4図はこの発明の第2実施
例の電力増幅器を示す回路図、第5図はこの発明の第2
実施例の電力増幅器の動作を示すタイミングチャー1〜
図、第6図はこの発明の第3実施例の電力増幅器を示す
回路図、第7図及び第8図はこの発明の第3実施例の電
力増幅器の動作を示すタイミングチャート図、第9図は
この発明の第4実施例の電力増幅器を示す回路図、第1
0図はこの発明の第5実施例の電力増幅器を示す回路図
、第11図及び第12図はこの発明の第5実施例の電力
増幅器の動作を示すタイミングチャート図、第13図は
従来のドーザ周波数掃引制御回路を示すブロック図であ
る。 図において、 (1) ・・・ レーザ発生源、 (2) ・ 電気光学素子、 (3A)、(3B) ・・ 電力増幅器。 (3C)、(3D) ・ 電力増幅器、(3E)  ・
 電力増幅器、 (4) ・・ 発振器、 (5)  ・ 高圧電源、 (6) ・・ リアクトル、 (7) ・ コンデンサ、 (8) ・・ 半導体素子群、 (9) ・ 可変抵抗、 (10) ・・ コンデンサである。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)高電圧を供給する高圧電源、リアクトル及びコン
    デンサからなり前記高圧電源の正極に接続された直列回
    路、及び前記高圧電源に並列接続されている直並列化さ
    れた半導体素子群から構成され、制御信号に基づいて前
    記半導体素子群を一斉に導通させて前記コンデンサの両
    端の電圧を出力する電力増幅器、並びに入射されたレー
    ザ光を前記電圧に基づいてその周波数を掃引して出力す
    る電気光学素子を備えたことを特徴とするレーザ周波数
    掃引制御回路。
  2. (2)高電圧を供給する高圧電源、リアクトル及びコン
    デンサからなり前記高圧電源の正極に接続された直列回
    路、及び前記高圧電源に並列接続されている直並列化さ
    れた半導体素子群から構成され、制御信号に基づいて前
    記半導体素子群を一斉に導通させて前記リアクトルの両
    端の電圧を出力する電力増幅器、並びに入射されたレー
    ザ光を前記電圧に基づいてその周波数を掃引して出力す
    る電気光学素子を備えたことを特徴とするレーザ周波数
    掃引制御回路。
  3. (3)高電圧を供給する高圧電源、リアクトル及び第1
    のコンデンサからなり前記高圧電源の正極に接続された
    直列回路、可変抵抗及び第2のコンデンサからなり前記
    直列回路に接続された並列回路、及び前記高圧電源に並
    列接続されている直並列化された半導体素子群から構成
    され、制御信号に基づいて前記半導体素子群を一斉に導
    通させて前記第2のコンデンサの両端の電圧を出力する
    電力増幅器、並びに入射されたレーザ光を前記電圧に基
    づいてその周波数を掃引して出力する電気光学素子を備
    えたことを特徴とするレーザ周波数掃引制御回路。
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