JPH0418958U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図は本考案の一実施例を
示すブロツク図、第４図は電界放出電流の経時変
化を示す図である。 １……電界放出電流発生部、２……電子銃鏡筒
、３……電界放出チツプ、４……アノード電極、
５……フラツシング電流電源回路、６……引き出
し電圧電源回路、７……加速電圧電源回路、８…
…制御部、９……フラツシング電流印加信号、１
０……高電圧状態信号、１１……警告表示タイマ
、１２……警告表示信号、１３……警告表示ラン
プ、１４……高電圧遮断タイマ、１５……高電圧
遮断信号、１６……Ｉ／Ｏインターフエース、１
７……コンピユータ、１８……メモリ、１９……
タイマーカウンタ、２０……警告表示時間データ
、２１……高電圧遮断時間データ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 電界放出電子銃と電界放出チツプ表面の清浄
   化のためのフラツシング手段を有する電子顕微鏡
   およびその類似装置において、前回フラツシング
   後の使用時間を監視する機能と、あらかじめ設定
   された上記時間が経過したら警告を発する手段を
   有することを特徴とした電界放出型電子銃の制御
   装置。 ２ 請求項１の警告表示は、専用の表示器を有す
   ることを特徴とする電界放出型電子銃の制御装置
   。 ３ 請求項１の警告表示は、画像表示ＣＲＴに表
   示することを特徴とする電界放出型電子銃の制御
   装置。 ４ 請求項１の警告表示は、音、又は音声を用い
   ることを特徴とする電界放出型電子銃の制御装置
   。 ５ 警告表示後、一定時間経過した場合には、電
   子銃電源電圧を遮断する手段を有することを特徴
   とする電界放出型電子銃の制御装置。 ６ 請求項５の使用時間は、任意に設定できるこ
   とを特徴とする電界放出型電子銃の制御装置。