JPH04192480A - エキシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方法 - Google Patents
エキシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方法Info
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- JPH04192480A JPH04192480A JP32391790A JP32391790A JPH04192480A JP H04192480 A JPH04192480 A JP H04192480A JP 32391790 A JP32391790 A JP 32391790A JP 32391790 A JP32391790 A JP 32391790A JP H04192480 A JPH04192480 A JP H04192480A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はエキシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方
法に関する。
法に関する。
（従来の技術）
周知のようにエキシマレーザ装置は、絶縁性の基台に放
電用の一対の主電極、予備電離電極、２次側コンデンサ
などを搭載するとともに、この基台をもって出力窓を備
えたチャンバーを閉塞するようにして構成されている。
電用の一対の主電極、予備電離電極、２次側コンデンサ
などを搭載するとともに、この基台をもって出力窓を備
えたチャンバーを閉塞するようにして構成されている。
そしてチャンバー内にレーザガスを充満させた状態で、
主電極間で放電を発生することによってレーザガスを励
起して光を発生させ、その光を主電極の長手方向に沿う
両側に設けた部分反射形の共振用のミラーと全反射形の
共振用ミラーとの間で往復させ、この誘導放出現象で増
幅した光を、前記部分反射形の共振用ミラー側から出力
としてレーザ光をとりだすようにしている。
主電極間で放電を発生することによってレーザガスを励
起して光を発生させ、その光を主電極の長手方向に沿う
両側に設けた部分反射形の共振用のミラーと全反射形の
共振用ミラーとの間で往復させ、この誘導放出現象で増
幅した光を、前記部分反射形の共振用ミラー側から出力
としてレーザ光をとりだすようにしている。
このような構成のエキシマレーザ装置において、前記両
共振用ミラーの反射面を主電極間の中心、すなわち光軸
に対して垂直に配置することが必要であり、これが垂直
に配置されていない場合は、出力効率が低下するように
なる。
共振用ミラーの反射面を主電極間の中心、すなわち光軸
に対して垂直に配置することが必要であり、これが垂直
に配置されていない場合は、出力効率が低下するように
なる。
従来では、主電極、予備電離電極、コンデンサなどを搭
載した基台にチャンバーを取り付けた後、チャンバー外
の両側であって設計上決まる光軸上に調整用のピンホー
ルを設置し、これらピンホール間にアライメント光を通
過せしめ、このアライメント光を用いて共振用ミラーの
反射面の傾きを調整していた。
載した基台にチャンバーを取り付けた後、チャンバー外
の両側であって設計上決まる光軸上に調整用のピンホー
ルを設置し、これらピンホール間にアライメント光を通
過せしめ、このアライメント光を用いて共振用ミラーの
反射面の傾きを調整していた。
（発明が解決しようとする課題）
しかしこの調整方法では、実際に主電極などを基台に組
み立てた状態では、製作上の寸法誤差、組立精度などに
より、設計上の光軸と合致するとは限らず、主電極間の
長手方向の中心軸である真の光軸上に前記ピンホールが
設置されず、したがって共振用ミラーの反射面が光軸に
対して垂直に配置されるとは限らない。そのような場合
は出力効率が悪いままに使用せざるを得なかった。
み立てた状態では、製作上の寸法誤差、組立精度などに
より、設計上の光軸と合致するとは限らず、主電極間の
長手方向の中心軸である真の光軸上に前記ピンホールが
設置されず、したがって共振用ミラーの反射面が光軸に
対して垂直に配置されるとは限らない。そのような場合
は出力効率が悪いままに使用せざるを得なかった。
この発明はエキシマレーザ装置における光軸に対し、共
振用ミラーの反射面が垂直となるように、その傾きを調
整可能とすることを目的とする。
振用ミラーの反射面が垂直となるように、その傾きを調
整可能とすることを目的とする。
（課題を解決するための手段）
この発明は、次の順序にしたがって調整する。
最初にチャンバーに装着する以前の基台について、主電
極のうちの一方を支持している支持具上に、第１の治具
を主電極の長手方向に沿う両側に配置し、これに設けて
ある小孔が主電極の光軸上に位置するように、実測しな
がらその治具の位置をセットする。これによって前記小
孔の位置を光軸とみなすことができるようになる。
極のうちの一方を支持している支持具上に、第１の治具
を主電極の長手方向に沿う両側に配置し、これに設けて
ある小孔が主電極の光軸上に位置するように、実測しな
がらその治具の位置をセットする。これによって前記小
孔の位置を光軸とみなすことができるようになる。
次に第２の治具を使用する。この治具は一対の起立面を
一体的に備えており、各起立面がこのあと取り付けられ
るであろうチャンバーの各外側に位置するようにセット
される。各起立面には孔が開けられてある。
一体的に備えており、各起立面がこのあと取り付けられ
るであろうチャンバーの各外側に位置するようにセット
される。各起立面には孔が開けられてある。
そして第１の治具の両小孔を同時に通過するようにアラ
イメント光の位置を調整し、そのアライメント光が同時
に第２の治具の孔を通過するように、その第２の治具の
セット位置を調整する。
イメント光の位置を調整し、そのアライメント光が同時
に第２の治具の孔を通過するように、その第２の治具の
セット位置を調整する。
この状態で第２の治具の孔にシートを貼り、そのシート
に照射された前記アライメント光による光点に小孔を開
ける。このように開けられた小孔が以後光軸の位置とみ
なされる。このようにして光軸の位置は、このあと取り
付けられるであろうチャンバーの外側に移されたことに
なる。
に照射された前記アライメント光による光点に小孔を開
ける。このように開けられた小孔が以後光軸の位置とみ
なされる。このようにして光軸の位置は、このあと取り
付けられるであろうチャンバーの外側に移されたことに
なる。
次に第１の治具を取りはずし、チャンバーに基台を組み
込む。
込む。
次に第２の治具に貼られたシートの両小孔に、同時にア
ライメント光が通過するように、そのアライメント光の
位置を調整する。
ライメント光が通過するように、そのアライメント光の
位置を調整する。
最後に主電極の光軸上の一方側に部分反射形の共振用ミ
ラーを、他方側に全反射形の共振用ミラーをそれぞれ設
け、これら共振用ミラーから反射されたアライメント光
が、いずれか一方の第２の治具に貼られたシートの小孔
を通過するように、その傾きを調整する。以上によって
共振用ミラーの調整は終了する。
ラーを、他方側に全反射形の共振用ミラーをそれぞれ設
け、これら共振用ミラーから反射されたアライメント光
が、いずれか一方の第２の治具に貼られたシートの小孔
を通過するように、その傾きを調整する。以上によって
共振用ミラーの調整は終了する。
（作用）
以上のようにして共振用ミラーの傾きを調整すると、共
振用ミラーの反射面が光軸に垂直に位置するようになり
、主電極間で発生した光が、その長手方向の放電中心、
すなわち真の光軸上を中心に往復することになり、最適
なレーザ発振が可能となる。
振用ミラーの反射面が光軸に垂直に位置するようになり
、主電極間で発生した光が、その長手方向の放電中心、
すなわち真の光軸上を中心に往復することになり、最適
なレーザ発振が可能となる。
（実施例）
この発明の実施例を図によって説明する。第１図におい
て、１，２は放電発生用の主電極、３゜４は各主電極を
支持する支持具で、基台５に支持されている。６は主電
極１，２間の物理的なセンター、すなわち光軸である。
て、１，２は放電発生用の主電極、３゜４は各主電極を
支持する支持具で、基台５に支持されている。６は主電
極１，２間の物理的なセンター、すなわち光軸である。
７は主電極１，２の長手方向に沿う両側に配置された第
１の治具で、ここには小孔８が形成されてあり、また複
数の支持棒７１によって、支持具４の上で、上下に移動
自在に支持されている。
１の治具で、ここには小孔８が形成されてあり、また複
数の支持棒７１によって、支持具４の上で、上下に移動
自在に支持されている。
そして光軸６上に小孔８が位置するように、主電極１，
２間の寸法をノギスなどで実測しなから治具１の位置を
セットする。このセットによって、小孔８が光軸６上に
位置することになる（第２図参照。）。
２間の寸法をノギスなどで実測しなから治具１の位置を
セットする。このセットによって、小孔８が光軸６上に
位置することになる（第２図参照。）。
次に第２の治具９を使用する。治具９は第３図に示すよ
うに一対の起立面１ｏを一体的に備えており、各起立面
１０がこのあと取り付けられるであろうチャンバー（第
４図中−点鎖線で示す。）の各外側に位置するようにセ
ットされる。各起立面１０には孔１１が開けられてある
。
うに一対の起立面１ｏを一体的に備えており、各起立面
１０がこのあと取り付けられるであろうチャンバー（第
４図中−点鎖線で示す。）の各外側に位置するようにセ
ットされる。各起立面１０には孔１１が開けられてある
。
そして第４図に示すように、アライメント光源たとえば
可視晃を発するＨｅ−Ｎｅレーザ光源１２からのアライ
メント光を１反射［１３を介して孔１１を通過するよう
に、治具９を取り付ける。このとき小孔８にもアライメ
ント光が通過するようにしであることはもちろんである
。
可視晃を発するＨｅ−Ｎｅレーザ光源１２からのアライ
メント光を１反射［１３を介して孔１１を通過するよう
に、治具９を取り付ける。このとき小孔８にもアライメ
ント光が通過するようにしであることはもちろんである
。
この状態で治具９の孔１１にシート１４を貼り、そのシ
ート１４に照射されているアライメント光による光点に
小孔１５を開ける。この小孔１５が以後光軸上に位置し
ているものとみなされる。
ート１４に照射されているアライメント光による光点に
小孔１５を開ける。この小孔１５が以後光軸上に位置し
ているものとみなされる。
このようにして光軸の位置は、このあと取り付けられる
であろうチャンバーの外側に移されたことになる。この
あと治具７を取りはずし、チャンバー１６に基台５を組
み込む。
であろうチャンバーの外側に移されたことになる。この
あと治具７を取りはずし、チャンバー１６に基台５を組
み込む。
次に第５図に示すように、アライメント光源たとえば可
視光を発するＨｅ −Ｎｅレーザ光源１７からのアライ
メント光を１反射鏡１８を介して両小孔１５を通過する
ように、反射鏡１８を調節する。
視光を発するＨｅ −Ｎｅレーザ光源１７からのアライ
メント光を１反射鏡１８を介して両小孔１５を通過する
ように、反射鏡１８を調節する。
そして前記主電極１，２の光軸６上の一方側に部分反射
形の共振用ミラー２３を、他方側に全反射形の共振用ミ
ラー２２をそれぞれ設け、部分反射形の共振用ミラー２
３の反射面で反射されたアライメント光が、紙面左側（
第５図参照。）にある第２の治具９に貼られたシート１
４の小孔１５を通過するように、その傾きを調整する。
形の共振用ミラー２３を、他方側に全反射形の共振用ミ
ラー２２をそれぞれ設け、部分反射形の共振用ミラー２
３の反射面で反射されたアライメント光が、紙面左側（
第５図参照。）にある第２の治具９に貼られたシート１
４の小孔１５を通過するように、その傾きを調整する。
同様に全反射形の共振用ミラー２２の反射面で反射され
たアライメント光が１紙面右側にある第２の治具９に貼
られたシート１４の小孔１５を通過するように、その反
射面の傾きを調整する。以上により両共振用ミラー２２
．２３の調整は終了する。２１は出力窓である。
たアライメント光が１紙面右側にある第２の治具９に貼
られたシート１４の小孔１５を通過するように、その反
射面の傾きを調整する。以上により両共振用ミラー２２
．２３の調整は終了する。２１は出力窓である。
なお上述の説明では省略したが、共振用ミラー２２．２
３は、ねじなどの調整機構を備えており。
３は、ねじなどの調整機構を備えており。
これを調整することによって、その入反射面の傾きが調
整できるようになっていることはもちろんである。共振
用ミラーとして凹面のものを用いた場合には、その反射
面の接線が光軸に垂直になるように調整すればよい。
整できるようになっていることはもちろんである。共振
用ミラーとして凹面のものを用いた場合には、その反射
面の接線が光軸に垂直になるように調整すればよい。
またこの発明は、出力窓２１として共振用ミラーを用い
、両機能を兼ねるようにしたエキシマレーザ装置につい
ても適用できるのはもちろんである。
、両機能を兼ねるようにしたエキシマレーザ装置につい
ても適用できるのはもちろんである。
第２の治具９はレーザ発振動作中は除去が、定期点検時
など再確認のためにこれを必要の都度、同じところにセ
ットしてチエツクするようにするとよい。
など再確認のためにこれを必要の都度、同じところにセ
ットしてチエツクするようにするとよい。
またチャンバーの外側において光軸が認識できる状態、
すなわち第２の治具に貼られたシートに小孔を設ければ
、それ以後ただちに共振用ミラーの調整を行なわず、ア
ライメント光と第３の治具によって光軸が認識できるよ
うにし、その後共振用ミラーの調整を実施するようにし
てもよいのはもちろんである。
すなわち第２の治具に貼られたシートに小孔を設ければ
、それ以後ただちに共振用ミラーの調整を行なわず、ア
ライメント光と第３の治具によって光軸が認識できるよ
うにし、その後共振用ミラーの調整を実施するようにし
てもよいのはもちろんである。
（発明の効果）
以上詳述したようにこの発明によれば、エキシマレーザ
装置における光軸に対し、共振用ミラーの反射面が垂直
となるように調整することができる効果を奏する。
装置における光軸に対し、共振用ミラーの反射面が垂直
となるように調整することができる効果を奏する。
第１図はこの発明の実施例における第１の治具の取付状
態を示す部分斜視図、第２図は同概略正面図、第３図は
第２の治具の斜視図、第４図はその取付状態を示す概略
正面図、第５図は部分反射形と全反射形の共振用ミラー
を取り付けた状態を示す正面図である。 １．２・・・主電極、５・・・基台、６・・・光軸、７
・・・第１の治具、８・・・小孔、９・・・第２の治具
、１０・・・起立面１０．１１・・・孔、１４・・・シ
ート、１５・・・小孔。
態を示す部分斜視図、第２図は同概略正面図、第３図は
第２の治具の斜視図、第４図はその取付状態を示す概略
正面図、第５図は部分反射形と全反射形の共振用ミラー
を取り付けた状態を示す正面図である。 １．２・・・主電極、５・・・基台、６・・・光軸、７
・・・第１の治具、８・・・小孔、９・・・第２の治具
、１０・・・起立面１０．１１・・・孔、１４・・・シ
ート、１５・・・小孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 エキシマレーザを発生させる放電を起こす一対の主電
極のうちの一方を支持している支持具上に、第１の治具
を主電極の長手方向に沿う両側に配置し、これに設けて
ある小孔が主電極の光軸上に位置するように、前記治具
の位置をセットする第１の工程、 孔が開けられてある一対の起立面を一体的に備えている
第２の治具の、その各起立面を、チャンバーの取付位置
よりも各外側に位置するようにセットする第２の工程、 前記第１の治具の両小孔を同時に通過するようにアライ
メント光の位置を調整し、そのアライメント光が同時に
前記第２の治具の孔を通過するように、前記第２の治具
のセット位置を調整する第３の工程、 前記第２の治具の孔にシートを貼り、前記シートに照射
された前記アライメント光による光点に小孔を開ける第
４の工程、 前記第１の治具を取りはずし、チャンバーに基台を組み
込んだあと、前記第２の治具に貼られたシートの両小孔
に、同時にアライメント光が通過するように、そのアラ
イメント光の位置を調整する第５の工程、 前記主電極の光軸上の一方側に部分反射形の共振ミラー
を、他方側に全反射形の共振ミラーをそれぞれ設け、こ
れら共振用ミラーから反射されたアライメント光が、い
ずれか一方の第２の治具に貼られたシートの小孔を通過
するように、その傾きを調整する第６の工程からなるエ
キシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32391790A JP2940153B2 (ja) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | エキシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32391790A JP2940153B2 (ja) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | エキシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04192480A true JPH04192480A (ja) | 1992-07-10 |
| JP2940153B2 JP2940153B2 (ja) | 1999-08-25 |
Family
ID=18160067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32391790A Expired - Fee Related JP2940153B2 (ja) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | エキシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2940153B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5914648A (en) * | 1995-03-07 | 1999-06-22 | Caddock Electronics, Inc. | Fault current fusing resistor and method |
| EP1026538A3 (en) * | 1999-02-01 | 2004-03-10 | Cymer, Inc. | Narrow band uv laser with visible light alignment laser |
| JP2006024596A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | レーザ装置の調整方法 |
-
1990
- 1990-11-26 JP JP32391790A patent/JP2940153B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5914648A (en) * | 1995-03-07 | 1999-06-22 | Caddock Electronics, Inc. | Fault current fusing resistor and method |
| US6253446B1 (en) | 1995-03-07 | 2001-07-03 | Richard E. Caddock, Jr. | Fault current fusing resistor and method |
| EP1026538A3 (en) * | 1999-02-01 | 2004-03-10 | Cymer, Inc. | Narrow band uv laser with visible light alignment laser |
| JP2006024596A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | レーザ装置の調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2940153B2 (ja) | 1999-08-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |