JPH04193462A - 製造条件の指示設定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は多品種少量生産ラインにおいて、各種製造装置
の品種切換えに伴う条件設定上の単純な作業ミスを防止
するための支援方法に関する。

［従来の技術］ 半導体製造は、複数の製造装置や検査装置から構成され
た製造ラインの中で、目的とするＬＳＩを製造するため
、当初に設計された製造仕様に基づいて各種製造装置を
動作させ、制御しながら半導体ウェハを加工処理してい
る。ここでは各装置がコンピュータによって制御されて
いる場合もあるが、製造条件の設定は人間が行なう場合
がほとんどである。

このような中で従来は、製造仕様書に基づいて作業者が
装置に条件を設定する方法、もしくは、特開昭６３−１
３９６４５号、特開平１−１０６１７０号公報に記載の
ように、携帯用記録媒体と計算機端末画面を用いた作業
者への条件指示方法を採ってきた。

しかし、これらの方法では、品種切換えに伴う装置条件
の設定し直しや、その場における人間の単純な作業ミス
（条件の見間違い、装置への条件設定ミス等）の発生ポ
テンシャルについては必ずしも考慮されていなかった。

従って、多品種少量生産ラインにおいて、頻繁な品種切
換えに伴う製造装置への条件設定を人間がより着実に実
行できるような支援方法が求められるようになった。

〔発明が解決しようとする課題ｌ ＬＳＩの製造プロセスは近年の高集積化、微細化に伴っ
て益々複雑、長大なものになっている。

一方、製造ラインでは多品種少量生産に伴って、製造装
置の品種切換えに伴う条件設定のし直し頻度が必然的に
高くなっている。

ところが品種切換え時にその装置状態を確認し。

所定の製造条件を装置に適切に設定するのは人間が行な
うため、指示条件の見間違いや装置へ設定ミス等のイー
ジーミスを必ずしもゼロにはできないという問題があっ
た。

本発明の目的は、多品種少量のＬＳＩ生産ラインにおい
て、高品質の半導体製品を歩留り良く安定的に製造する
ため、それらの各製造条件を各装置に人間が着実に効率
良く設定できる支援方法を提供することにある。

（課題を解決するための手段〕 上記目的は以下の方法により達成される。本発明では、
各種ＬＳＩの製造仕様を計算機システＬ上で作成・蓄積
・管理し、現場設置端末からの間合わせに対して被加工
物の該当する装置対応製造条件を迅速に端末画面上で指
示し、かつ使用装置の稼動実績を収集管理する製造条件
指示システムを具備する。

次に、ここでは本システムに前記端末画面に条件を表示
したままで、作業者の指差確認操作に呼応した画面動作
を実行するソフトウェアを設ける。

これらにより、製造条件の指示並びに各指示項目と装置
設定の指差確認が着実となり、さらに各製造条件を各装
置に人間が効率良く設定できるようになる。

［作用］ 本発明ではまず各製造仕様を品種、工程、装置対応に分
類し、先の製造条件指示システムの蓄積管理ステーショ
ンに予め準備しておく。

このため製造装置の仕掛品に対し、作業者はシステムの
現場端末からその品種、工程、使用装置等を入力してそ
の製造条件を間合せ、システムはこの間合せに応じて該
当する製造条件を、−旦、端末画面上に指示する。

そこで作業者は被加工物を装置内にセットした後、端末
上の指示項目を装置に順次設定していくとともに端末上
でも指差確認していく。この時システムはこの指差確認
操作に呼応した画面動作を端末上で実行する。

これらにより、指示条件の見間違いや装置への設定ミス
等を極力回避もしくは防止することが可能になる。

従って、高品質の半導体製品を歩留り良く安定的に製造
することが可能になる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について第１図、第２図を用いて
説明する。

第１図は本発明の製造条件指示システム構成である。同
図に示すように、本発明では製造仕様データをそのデー
タベースに記録する製造仕様管理ステーションと装置稼
動実績データを収集管理する装置稼動実績管理ステーシ
ョン、そしてこれらとＬＡＮ　（ローカルエリアネット
ワークンで連結した現場の製造装置の近傍に設置した条
件データ入出力端末とからなる。データ入出力端末はそ
の必要性に応じてＬＡＮ上に複数台設置することもある
。ここでは製造仕様管理ステーションと装置稼動実績管
理ステーションとをＬＡＮ上に配置することによって、
他システムとの結合や処理分散化、機能拡張性を考慮し
ている。しかしこれらの必要性がない場合は、システム
構成がスタンドアロン型であっても構わない。

第２図は先のシステム構成を用いた本発明の条件指示設
定方法における端末画面の概要である。

ここでは半導体製造におけるイオン打込み工程を例とし
て、本発明の条件指示設定方法を説明する。

第２図（ａ）は作業開始における着工画面の例である。

作業者はイオン打込み装置の仕掛品の中から、それらの
着工優先度に応じて着工ロットを選択し、先の現場端末
から第２図（ａ）の例のように、そのロットＮα２１．
品種名２２．工程Ｎα２３．使用装置２４等を入力して
その製造条件を間合せる。

本システムはこの間合せに応じて、第２図（ｂ）の例の
ように、該当する製造条件を検索し、端末画面上に指示
する。そこで作業者は着工ロットの被加工物をイオン打
込み装置内にセットした後、指示項目を装置に、順次、
設定していくと同時に端末上でも指差確認していく。こ
の時、端末ではこの指差確認操作に呼応した画面動作が
実行される。即ち、システムが端末画面上の確認欄２５
に誘導的にカーソルを移動し、作業者がそこでの指示項
目と装置への設定とを、順次、確認（ＯＫならば送信キ
ーを押す）していくと同図に示す各確認欄をその都度塗
りつぶしていくものである。

このような指差確認操作に呼応した画面動作は、上記の
方法に限らず、例えば、確認欄のブリンク表示とその停
止で行う方法、また、条件項目とその設定値の各行毎に
リバース表示していく方法、表示色、輝度に変化を付け
る方法、さらにはそれらと同時に音を出す方法等であっ
ても良い。

全指示項目と装置設定を指差確認した後、本システムは
第２図（Ｃ）に示すような装置の稼動実績を求める入力
画面を右半分側に出力する。なお、本システムではこの
稼動実績入力画面を、先の指差確認動作が完了しないと
画面出力しないように設定している。これは条件指示の
際、指差確認ステップを必然的に通過するようにするた
めである。

そこで、次に作業者は着工ロットの被加工物を処理した
後、同図（Ｃ）の入力要求に応じて所定の実績データを
入力する。本システムはこの操作に応じて使用装置の稼
動実績データを端末から装置稼動実績管理ステーション
に転送し、そこで装置の稼動実績管理を行う。

以上のような支援方法により、製造条件の検索効率の向
上、また、作業者の指示条件の見間違いや装置への条件
設定ミス等のイージーミスを、極力回避、もしくは、防
止することが可能になる。

従って、本発明により、多品種の半導体製品を安定的に
しかも高品質、高歩留りで製造するための製造条件の指
示設定が非常に効率的になる。

［発明の効果］ 本発明では以上説明したように構成されているので、次
のような効果がある。すなわち、まず、装置稼動実績管
理ステーションのデータベースに製造装置の生産品に対
する加工来歴と実績データとを処理単位毎に記録するた
め、それらのデータを装置１品種、工程２条件２期間等
で分類加工することによって、各製造装置の稼動実績や
状態推移等が容易に評価できるようになる。

また、各種ＬＳＩの製造仕様を予めプロセス。

品種、工程、装置対応で分類した条件を先の製造仕様管
理ステーションのデータベースで蓄積・管理しているた
め、多品種仕様の中から特定の一条件を検索することが
容易であり、その検索レスポンスも速い。このため、条
件の検索と指示が非常に効率的に行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の製造条件指示システムのブロック図、
第２図は本発明の実施例で用いたイオン打込み工程の条
件指示設定方法の説明図である。 ２１・・・ロットＮｏ、、２２・・・品種名、２３・・
・工程Ｎα。 ２４・・・使用装置、２５・・・確認欄。 第　１　図 第　２　図 （ｂ） （す

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被加工物の製造条件とその加工実績を計算機端末画
   面上で入出力指示する製造条件指示システムを具備し、
   かつ、端末での指示条件に基づいて作業者が製造装置に
   条件を設定し、そこでの処理実績データを前記端末で入
   力する製造方法において、 前記製造条件指示システムの中に作業者の指示項目と装
   置設定の指差確認操作に呼応した画面動作を、指示端末
   上で実行する機能を設けたことを特徴とする製造条件の
   指示設定方法。