JPH04194637A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH04194637A JPH04194637A JP2322280A JP32228090A JPH04194637A JP H04194637 A JPH04194637 A JP H04194637A JP 2322280 A JP2322280 A JP 2322280A JP 32228090 A JP32228090 A JP 32228090A JP H04194637 A JPH04194637 A JP H04194637A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure sensor
- case
- diaphragm
- section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、圧力検知部とダイアフラムとの間に圧力伝
達液が封入された圧力センサに関するものである。
達液が封入された圧力センサに関するものである。
第２図は従来エンジンの燃焼室内の圧力を検出するため
に用いられた圧力センサの一例を示す縦断面図であり、
１はエンジンに取り付けられたステンレス製のケース、
２はケース１の下端部に設けられた金属製のダイアフラ
ム、３はケース１内に設けられた絶縁材からなるベース
、４はケース１にろう付溶接で溶着されたセラミ・ツク
製の台座、５は台座４に接着されたシリコン製の半導体
ストレンゲージからなる圧力検知部で、二の圧力検知部
５とダイアフラム２との間には圧力伝達液として高沸点
のシリコンオイル１０が封入されている。
に用いられた圧力センサの一例を示す縦断面図であり、
１はエンジンに取り付けられたステンレス製のケース、
２はケース１の下端部に設けられた金属製のダイアフラ
ム、３はケース１内に設けられた絶縁材からなるベース
、４はケース１にろう付溶接で溶着されたセラミ・ツク
製の台座、５は台座４に接着されたシリコン製の半導体
ストレンゲージからなる圧力検知部で、二の圧力検知部
５とダイアフラム２との間には圧力伝達液として高沸点
のシリコンオイル１０が封入されている。
６はベース３に取り付けられた端子、７は端子６と圧力
検知部５とを接続するボンディングワイヤ、８はケース
１に嵌着されたプラグ、９はプラグ８を貫通して端子６
と接続された出力線である。
検知部５とを接続するボンディングワイヤ、８はケース
１に嵌着されたプラグ、９はプラグ８を貫通して端子６
と接続された出力線である。
上記のように構成された圧力センサにおいては、燃焼室
内の圧力上昇によりダイアフラム２が変形し、その変形
に伴いシリコンオイル１０内の圧力が上昇し、その上昇
圧力を圧力検知部５が検知する。
内の圧力上昇によりダイアフラム２が変形し、その変形
に伴いシリコンオイル１０内の圧力が上昇し、その上昇
圧力を圧力検知部５が検知する。
この圧力検知部５では、その圧力変化に応じた電気信号
がボンディングワイヤ７、端子６および出力線９により
外部に出力され、燃焼室内の燃焼状態に応じて点火プラ
グの点火時期が制御される。
がボンディングワイヤ７、端子６および出力線９により
外部に出力され、燃焼室内の燃焼状態に応じて点火プラ
グの点火時期が制御される。
上記のように構成された従来の圧力センサにおいては、
ケース１内に端子６の接着されたベース３および圧力検
知部５の接着された台座４をそれぞれ接合し、その後、
ワイヤボンディング作業を行い、圧力検知部５と端子６
とをボンディングワイヤ７を介して接続した後でないと
、圧力検知部５の生産時に生じた精度バラツキの補正を
行うことができず、場合によっては、圧力検知部５の精
度が使用範囲を超えた不良品であることが圧力検知部５
をケース１に組み込んだ後に判り、圧力センサの組み立
て作業が無駄になってしまうという課題があった。
ケース１内に端子６の接着されたベース３および圧力検
知部５の接着された台座４をそれぞれ接合し、その後、
ワイヤボンディング作業を行い、圧力検知部５と端子６
とをボンディングワイヤ７を介して接続した後でないと
、圧力検知部５の生産時に生じた精度バラツキの補正を
行うことができず、場合によっては、圧力検知部５の精
度が使用範囲を超えた不良品であることが圧力検知部５
をケース１に組み込んだ後に判り、圧力センサの組み立
て作業が無駄になってしまうという課題があった。
この発明は、かかる課題を解消するためになされたもの
で、ケースに組み込む前に圧力検知部のバラツキ補正を
行うことができるとともに、組み立て作業が無駄になる
ようなことのない圧力センサを得ることを目的とする。
で、ケースに組み込む前に圧力検知部のバラツキ補正を
行うことができるとともに、組み立て作業が無駄になる
ようなことのない圧力センサを得ることを目的とする。
この発明の圧力センサの圧力センサ部は、導通孔に指向
し圧力伝達液を圧力検知部に導くニップル部を有するも
のである。
し圧力伝達液を圧力検知部に導くニップル部を有するも
のである。
この発明においては、圧力センサ部は、ケース内にわざ
わざ組み入れることなく、ニップル部内に圧力伝達液を
圧入口、圧力検知部に印加して圧力検知部の生産時の精
度バラツキに伴う補正をすることができる。
わざ組み入れることなく、ニップル部内に圧力伝達液を
圧入口、圧力検知部に印加して圧力検知部の生産時の精
度バラツキに伴う補正をすることができる。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示すもので、第２図と同
一または相当部分は同一符号を付し、その説明は省略す
る。
一または相当部分は同一符号を付し、その説明は省略す
る。
図において、 ２０はエンジンにねじ部２０ａて取り付
けられるステンレス製のケース、２１は軸線方向に沿っ
て形成された導通孔２０ｂを有するケース２０の下端部
に設けられた金属製のダイアフラム、２２はねじ２３に
よりケース２０に固着されたカバーである。
けられるステンレス製のケース、２１は軸線方向に沿っ
て形成された導通孔２０ｂを有するケース２０の下端部
に設けられた金属製のダイアフラム、２２はねじ２３に
よりケース２０に固着されたカバーである。
２４はケース２０内に収納された缶型圧力センサ部、２
５は頭部、２６は頭部２５に連設されたんニップル部、
２７はセラミック製の台座２８に接着されたシリコン製
の半導体ストレンゲージからなる圧力検知部で、この圧
力検知部２７とダイアフラム２１との間には圧力伝達液
として高沸点のシリコンオイル２９が封入されている、 ３０は基板、３１は基板３０に固着されたプレート、３
２はプレート３１に貫通装着され先端が圧力検知部２７
に接続されたリード線、３３はプレート３１の端部には
んだ付けで溶着された出力線、３４は缶型圧力センサ部
２４をケース２０、カバー２２内に保持するためのホル
ダ、３５．３６はケース２０とニップル部２６との間に
配設されたＯリング、バックアップリングである。
５は頭部、２６は頭部２５に連設されたんニップル部、
２７はセラミック製の台座２８に接着されたシリコン製
の半導体ストレンゲージからなる圧力検知部で、この圧
力検知部２７とダイアフラム２１との間には圧力伝達液
として高沸点のシリコンオイル２９が封入されている、 ３０は基板、３１は基板３０に固着されたプレート、３
２はプレート３１に貫通装着され先端が圧力検知部２７
に接続されたリード線、３３はプレート３１の端部には
んだ付けで溶着された出力線、３４は缶型圧力センサ部
２４をケース２０、カバー２２内に保持するためのホル
ダ、３５．３６はケース２０とニップル部２６との間に
配設されたＯリング、バックアップリングである。
上記のように構成された圧力センサにおいては、燃焼室
内の圧力上昇によりダイアフラム２１が変形し、その変
形に伴いシリコンオイル２９内の圧力が上昇し、その上
昇圧力を圧力検知部２７が検知する。
内の圧力上昇によりダイアフラム２１が変形し、その変
形に伴いシリコンオイル２９内の圧力が上昇し、その上
昇圧力を圧力検知部２７が検知する。
この圧力検知部２７では、その圧力変化に応じた電気信
号がリード線３２、プレート３１を介して出力線３３に
より外部に出力され、燃焼室内の燃焼状態に応じて点火
プラグの点火時期が制御される。
号がリード線３２、プレート３１を介して出力線３３に
より外部に出力され、燃焼室内の燃焼状態に応じて点火
プラグの点火時期が制御される。
ところで、缶型圧力センサ部２４は、ケース２０内にわ
ざわざ組み入れることなく、ニップル部２６的にシリコ
ンオイルを圧入し、圧力検知部２７に印加して圧力検知
部２７の生産時の精度バラツキに伴う補正をすることが
できる。
ざわざ組み入れることなく、ニップル部２６的にシリコ
ンオイルを圧入し、圧力検知部２７に印加して圧力検知
部２７の生産時の精度バラツキに伴う補正をすることが
できる。
なお、上記実施例ではエンジンの燃焼室内の圧力を検知
するための圧力センサについて説明したが、この発明の
圧力センサはその他にも適用することができることは勿
論である。ｔた、圧力伝達液としてシリコンオイル２９
を用いたが、高沸点の他の液体であってもよい。
するための圧力センサについて説明したが、この発明の
圧力センサはその他にも適用することができることは勿
論である。ｔた、圧力伝達液としてシリコンオイル２９
を用いたが、高沸点の他の液体であってもよい。
以上説明したように、この発明の圧力センサによれば、
圧力検知部を有する圧力センサ部に、導通孔に指向し圧
力伝達液を圧力検知部に導くニップル部を備えたことに
より、圧力センサ部を単品として取り扱うことができ、
圧力センサ部をケース内にわざわざ組み入れることなく
、圧力検知部の生産時に生じた精度バラツキに伴う補正
をすることができるとともに、圧力検知部が不良品であ
ることが圧力センサの組み立て作業前に判るという効果
がある。
圧力検知部を有する圧力センサ部に、導通孔に指向し圧
力伝達液を圧力検知部に導くニップル部を備えたことに
より、圧力センサ部を単品として取り扱うことができ、
圧力センサ部をケース内にわざわざ組み入れることなく
、圧力検知部の生産時に生じた精度バラツキに伴う補正
をすることができるとともに、圧力検知部が不良品であ
ることが圧力センサの組み立て作業前に判るという効果
がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は
従来の圧力センサの一例を示す縦断面図である。 図において、 ２０はケース、２０ｂは導通孔、２１は
ダイアフラム、２４は缶型圧力センサ部、２６はニップ
ル部、２７は圧力検知部、２９はシリコンオイルである
。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示すも
のである。
従来の圧力センサの一例を示す縦断面図である。 図において、 ２０はケース、２０ｂは導通孔、２１は
ダイアフラム、２４は缶型圧力センサ部、２６はニップ
ル部、２７は圧力検知部、２９はシリコンオイルである
。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示すも
のである。
Claims (1)
- ケースに設けられたダイアフラムと、前記ケース内に
形成され前記ダイアフラムに指向した導通孔と、前記ケ
ース内に前記導通孔に指向して設けられ圧力を検知する
圧力検知部を有する圧力センサ部とを備え、前記ダイア
フラムと前記圧力検知部との間に圧力伝達液が封入され
た圧力センサにおいて、前記圧力センサ部は、前記導通
孔に指向し前記圧力伝達液を前記圧力検知部に導くニッ
プル部を有することを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2322280A JPH04194637A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧力センサ |
| KR1019910021097A KR950005891B1 (ko) | 1990-11-28 | 1991-11-25 | 압력센서 |
| US07/798,588 US5222397A (en) | 1990-11-28 | 1991-11-26 | Pressure sensor |
| DE4139147A DE4139147C2 (de) | 1990-11-28 | 1991-11-28 | Drucksensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2322280A JPH04194637A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04194637A true JPH04194637A (ja) | 1992-07-14 |
Family
ID=18141880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2322280A Pending JPH04194637A (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04194637A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5764263A (en) * | 1996-02-05 | 1998-06-09 | Xerox Corporation | Printing process, apparatus, and materials for the reduction of paper curl |
| JP2011099678A (ja) * | 2009-11-03 | 2011-05-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力検出装置 |
| JP2023011140A (ja) * | 2021-07-12 | 2023-01-24 | アズビル株式会社 | 圧力測定装置の製造方法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP2322280A patent/JPH04194637A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5764263A (en) * | 1996-02-05 | 1998-06-09 | Xerox Corporation | Printing process, apparatus, and materials for the reduction of paper curl |
| JP2011099678A (ja) * | 2009-11-03 | 2011-05-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 圧力検出装置 |
| JP2023011140A (ja) * | 2021-07-12 | 2023-01-24 | アズビル株式会社 | 圧力測定装置の製造方法 |
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