JPH041948A - 情報記録装置及び情報再生装置及び情報記録再生装置 - Google Patents

情報記録装置及び情報再生装置及び情報記録再生装置

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JPH041948A
JPH041948A JP2104060A JP10406090A JPH041948A JP H041948 A JPH041948 A JP H041948A JP 2104060 A JP2104060 A JP 2104060A JP 10406090 A JP10406090 A JP 10406090A JP H041948 A JPH041948 A JP H041948A
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probes
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隆行 八木
Toshiyuki Komatsu
利行 小松
Katsunori Hatanaka
勝則 畑中
Toshihiko Miyazaki
俊彦 宮崎
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Signal Processing For Digital Recording And Reproducing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、情報の記録及び／又は再生を行う情報記録装
置及び情報再生装置に関するものである。
［従来の技術］ 現在、記録を要する情報はコンピューターの計算情報や
映像情報等増大しており、大容量を有する記録装置の要
求かますます高まっている。
さらに、半導体プロセス技術の進展により、マイクロプ
ロセッサか小型化し、計算能力か向上した為に記録装置
ユニットの小型化か望まれている。これらの要求を満た
す為に従来技術である磁気記録、半導体メモリー、光デ
ィスク等さまざまな方法において記録の最小単位である
１ｂｉｔ当りの記録面積（最小記録面積）の微小化の検
討が行われている。
しかしながら、磁気記録ては磁気記録媒体上の磁束の変
化を磁気記録ヘッドにて読み出す為には最低ても最小記
録面積として数十Ｂｍ平方が必要となる。その為に記録
ヘットと記録媒体との距離は制限される事となり数百か
ら数千オングストローム程度以下に距離を押さえる事が
困難となっている。また、光ディスクでは使用する光の
波長以下にビーム径を絞る事は難しく最小記録面積とし
ては数ｇｍ平方が必要である。
最小記録面積を著しく小さくする為の手段として、記録
媒体に対向してトンネル電流発生用の微小プローブ１又
はチップ等（以下プローブて総称）を微小間隔て配置し
、このプローブから発生して記録媒体を通過するトンネ
ル電流によって、記録媒体表面の仕事関数を変化させる
事により記録書込みし、又、この記録媒体表面の書込み
記録としての仕事関数変化によるプローブ媒体間のトン
ネル電流の変化を検知することにより情報の読み出しを
行って、最小記録面積が１０ｎｍ平方となる記録再生装
置が提供されている。この様な装置の中には、記録面積
の増加をはかる目的て前述の記録再生用プローブを複数
設けているものがある。これは複数のプローブに対して
記録媒体を移動させる事により、全プローブに一斉に記
録媒体表面上を走査させ、この際にトンネル電流によっ
て記録又は再生を行う様にして広範囲の記録再生を実現
している。
［発明か解決しようとしている課題］ しかしながら、かかる記録再生装置においては、各プロ
ーブによる記録再生の為の走査の際には、記録媒体側か
移動し、各プローブは相互に固定位置関係にあるか、・
媒体との間隔調整の為、おのおの媒体に垂直な方向にの
み可動になっているかてあった。この為各ブローフに、
媒体表面上の指定経路に沿って記録の為の走査をさせる
場合や、各部所の記録情報を記録順に再生する様に走査
させる場合、各プローブ毎の走査制御かてきない為に、
全体の走査制御を精密に行ってもプローブのうちの１個
あるいは複数個か指定経路、情報列を正しく走査できず
、そのプローブの記録、再生エラーとなる可能性かあっ
た。特にトンネル電流を利用した記録再生装置において
は、最小記録面積か小さいので、媒体の熱膨張、経時変
化が微少であっても、その為の記録位置の変動の影響は
大きく７１つのプローブを指定経路、情報列に沿って走
査させると、他のプローブについては指定経路、情報列
かプローブから全く離れてしまって記録再生が不能とな
る可能性かあった。
本発明は上述従来例の欠点に鑑み、トンネル電流を利用
した記録、再生の様に微小記録用の記録装置及び再生装
置において複数のプローブて記録、又は再生を行いなが
ら、媒体に熱膨張等の変形かあっても、すべてのプロー
ブて正確な位置ての記録、再生が可能な記録装置及び再
生装置を提供する事を目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上述の目的は情報を記録するための媒体上に情報を記録
する装置において、それぞれ媒体上の異なるブロックと
対向する位置に配置され各ブロックを相対的に走査して
情報記録を行うための複数の情報記録用プローブと、前
記プローブを各々用いて情報を各ブロック内の所定経路
に沿って記録するべく前記プローブをそれぞれ独立にト
ラッキングさせるトラッキング手段とを験け゛ること、
及び情報か記録された媒体上から情報を再生する装置に
おいて、それぞれ媒体上の異なるブロックと対向する位
置に配置され各ブロックを相対的に走査して情報再生を
行うための複数の情報再生用プローブと、前記複数のプ
ローブをそれぞれ独立にトラッキングさせるトラッキン
グ手段とを設ける事により達成される。
［実施例］ 以下に述べる実施例の記録装置及び再生装置に用いると
ころの記録媒体は、記録媒体層からなり、前記記録媒体
層はトンネル電流発生用針から発生するトンネル電流に
より記録媒体表面の形状を凸型（Ｓｔａｕｆｅｒ、Ａｐ
Ｈ，Ｐｈｙｓ、Ｌｅｔｔｅｒｓ、５１（４）、２７．Ｊ
ｕｌｙ、１９８７．ｐ２４４参照）または凹型（Ｈｅｉ
ｎｚｅｌｍａｎｎ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、Ｌｅｔｔｅｒ
ｓ、Ｖｏｌ、５３．Ｎｏ。
２４、Ｄｅｃ１９８８．ｐ、２４４７参照）に変形する
事が可能な金属、半導体、酸化物、有機薄膜、あるいは
前記トンネル電流により電気的性質か変化する有機薄膜
層等よりなる。前記電気特性か変化する有機薄膜として
は、好ましくは、ランクミュア・プロジェット膜よりな
る（注口、特開昭６３−１６１５５２参照）。さらに好
ましくは、前記ランクミュア・プロジット膜は層面内に
てアモルファス状態となる構造、または２次元結晶状態
となる構造を有するものである。
また、本実施例記録装置及び再生装置に用いるところの
トンネル電流発生用プローブはマイクロメカニクス技術
により半導体層を有する基板上に変位手段を備えた片持
ち梁と、その先端に形成されたトンネル電流発生用プロ
ーブからなる構造を有している。前記変位手段としては
圧電効果、静電気力等の手段か用いられ、好ましくは圧
電体バイモルフによる手段を用いる。
さらに、プローブが半導体層を有する基板上に形成され
ることからトンネル電流発生用プローブから生しる電流
信号を増幅する電流増幅回路と電流電圧変換回路、及び
前記変位手段の為の駆動用ドライバー回路等からなる半
導体集積回路をプローブ近傍に具備した記録再生チップ
を提供する事となる。
以下本発明の実施例を図面を用いて説明する。
本発明の第１実施例の記録再生装置の構成概略図を第１
図に、本装置に用いる記録再生ヘット１０口の概略を第
２図に示す。記録再生チッフｌ上に個々独立して三軸に
変位可能な３次元駆動機構２が複数形成されている（第
１図では１つのみ示している）。各３次元駆動機構２の
先端にトンネル電流発生用プローブ４か配置されている
。記録再生ヘッドはこの様なチップが複数配置されて形
成され、１つの記録媒体に対し複数のチップの複数のプ
ローブか１度に対向する（第１図ではこれらのうち１つ
についてのみ示しである）、＃３図５第４図に一例とし
て圧電体バイモルフの３次元駆動機構の詳細を示す。第
３図は正面図であり、第４図は側面図である。Ｓ　ｉ　
（１００）基板の裏面より異方性エツチングにて３次元
駆動機構２を形成する。３次元駆動機構２は、エツチン
グマスク７上にプローブを変位する手段としての圧電体
薄膜５及びそれを駆動する為の電極６からなるカンチレ
バー３より構成されている。圧電体薄膜５は第４図に示
す様に電極６をはさんて層状に２層形成され、この様な
組が第３図に示す様にカンチレバー３の幅方向（Ｘ方向
）に２組並べて配置されている。この層状に重ねた２つ
の圧電体薄膜５の伸縮のバランスでカンチレバー３はＸ
方向に変位し、又輻方向の２つの圧電体薄膜５の伸縮の
バランスてカンチレバー３はＸ方向に変位する。また４
つの圧電体薄膜の全体の伸縮によってカンチレバー３は
Ｚ方向に変位する。この様にして３次元駆動機構２はプ
ローブ４をｘ＋　ｙ＋　Ｚの３次元方向に駆動する。後
述する２軸駆動制御回路３６、ｘｙ軸駆動制御回路３７
は、各圧電体薄膜５に電極６を介して印加する電圧の値
及び各電圧値のバランスを変化させる事て、カンチレバ
ー３のそれぞれ２方向、ｘ、Ｘ方向の駆動制御を行う。
第１図にもどって２１は情報記録用の記録媒体、２２は
記録媒体ホルダーである。記録媒体としては例えば石英
ガラス基板の上に下地電極として真空蒸着法によってＣ
ｒを５ＯＡ堆積させ更にその上にＡｕを３０ＯＡ同法に
より蒸着したものを用い、その上にＬＢ法によって５Ｏ
ＡＺ　（スクアリリウム−ヒス−６−オクチルアスレン
）を４層積層したもの等を用いる。
３０は記録すべきデータを記録に適した信号に変調する
データ変調回路、３１はデータ変調回路で変調された信
号を、記録媒体２１とプローブ４の間に電圧を印加する
事て、記録媒体２１上に記録する為の記録電圧印加装置
である。プローブ４を記録媒体２１に所定間隔まで近づ
け記録電圧印加装置３１によって例えば高さ３ｖｏｌｔ
幅５０ｎｓの矩形状パルス電圧を印加すると記録媒体２
１か特性変化を起し電気抵抗の低い部分か生しる。この
操作を媒体面の所望の位置にわたってプローブ４て記録
媒体２１を走査しなから行うことにより記録媒体２１面
上に情報の記録かされる。３２はプローブ４と記録媒体
２１との間に電圧を印加して両者間に流れるトンネル電
流を検出する記録信号検出回路、３３は記録信号検出回
路３２の検出したトンネル電流信号を復調するデータ復
調回路３３である。再生時にはプローブ４と記録媒体２
１とを所定間隔にし記録電圧より低い例えば２０’Ｏｎ
＋ｖの直流電圧をプローン４記録媒体２１間に加える。
この状態て記録媒体２１上の記録ビット列に沿ってプロ
ーブ４て走査中に記録信号検出回路３２を用いて検出さ
れるトンネル電流信号か記録データ信号に対応する。従
ってこの検出したトンネル電流信号を電流電圧変換して
出力してデータ復調回路３３て復調する事により再生デ
ータ信号が得られる。
３４はプローフ高さ検出回路である。この回路３４は記
録信号検出回路３２の検出信号を受け、情報ビットの有
無による高周波の振動成分をカットして残った信号を処
理し、この残りの信号値か一定になる様にプローブ４を
上下動制御させるために、２軸駆動制御回路３６に命令
信号を発信する。これによりプローブ４と媒体２１との
間隔か略一定に保たれる。
３５はトラック検出回路である。トラック検出回路３５
はプローブ４て記録媒体２１上を走査する際にプローブ
４の、データかこれに沿って記録されるへき経路、ある
いは記録されたデータのヒツト列（以下これらをトラッ
クと称する）からのずれを検出する回路である。この検
出の１例を示す。
ＸＹ軸駆動制御回路３７は後述する ＣＰＵ５０からの指令信号により大まかにトラックの形
状に沿って走査か行なわれる様にプローブ４を駆動する
。この際トラック内のビットの並び方向と垂直な方向に
もプローブ４をビットの幅以下の振動かつビットの発生
周波数より低い周波数て振動させるようにする。この時
のプローブ４の動きを第５図に示す。図中１８はトラッ
ク、１９は情報ビット、２０はプローブ４の走査経路で
ある。ここてプローブ４かビットを通過する時に発生す
るトンネル電流信号の、プローブのトラック幅方向位置
毎の振幅を第６図（Ａ）て示す。この様にプローブ４の
トラック幅方向位置に応して発生する信号の振幅か変化
するのて、トラックの幅方向に振動しなからトラック走
査するプローブ４によって検出されるトンネル電流信号
には幅方向振動の周波数に応した変調成分か加わってい
る。ここてこの幅方向振動の中心かトラックの幅方向の
位置４ｂ、４ｃ、４ｄにある時の各検出信号を第６図（
Ｂ）に示す。ここで４ａはこれらの信号か発生する時の
プローブ４の幅方向振動の振動波形、即ち３次元駆動機
構に与えられるトラックの幅方向の制御信号波形である
。第６図（Ｂ）て４ｂ、４ｃ、４ｄに示した信号はプロ
ーブ４の各ヒツト通過毎に発生する信号の集合よりなる
か個々の信号は微小かつ大量なので図では略して包絡線
てのみ示しである。
第６図（Ｂ）に示すように検出信号の振幅は、第６図（
Ａ）に対応する符号で示した矢印の位置により、同図（
Ｂ）の信号４ｂ、４ｃ、４ｄのように包結線か変化する
。したかって、全波整流により、包絡線の信号を取り出
すと同図の信号４ｂ′、４ｃ　’　、４ｄ　’のように
なる。すなわちフローツ４の振動波形４ａに対してその
包絡線信号は、ブローク４か矢印４Ｃのように目盛列の
真上にあるときは信号４ｃ′のように小さくなり、矢印
４ｂのように上にずれた場合は振動波形４ａに対して１
８０’位相かずれて振幅も大きくなり、矢印４ｄのよう
に下にずれた時は振動波形４ａに対して同位相となり振
幅も大きくなる。それゆえ、プローブ４のトラック幅方
向振動制御信号を参照信号として、全波整流した検出信
号の位相検波を行なうと、トラックの中心からのずれ量
に比例した信号か得られる。以上の処理をトラック検出
回路３５て行ない、得られた信号をフィードバック信号
としてｘｙ軸駆動制御回路３７に加える事でｍフローツ
４をトラック上に保つようなフィードバック制御即ちト
ラッキングか可能となる。
以上の処理において、再生時のみのトラッキングを考え
る場合には記録されている情報に対応したビットを用い
て上述トラッキングを行なえば良い。
記録時のトラッキングについては、トラック内のあらか
しめ位置のわかっている複数ケ所にトラッキング用にヒ
ツトを複数記録しておき、ここをブローク４か通過する
時のみトラックの幅方向にブロークを振動させ記録信号
を検出してトラッキング及び前述の間隔検出を行ない、
プローン４かトラック内の記録領域に移動したら、プロ
ーフ高さ検出回路３４とトラック検出回路３５からの指
令信号を停止させ同時にトラックの幅方向の振動を中止
させる様にすれば良い。
以上のデータ変調回路３０、記録電圧印加装置３１、記
録信号検出回路３２、データ復調回路３３、ブローフ高
さ検出回路３４、トラック検出回路３５．２軸駆動制御
回路３６、Ｘ。
ｙ軸駆動制御回路３７で記録再生用回路４０を形成する
。記録再生用回路４０は記録媒体に対向する複数のプロ
ーン及びその三次元駆動機構それぞれに１つずつ設けら
れており、それぞれ各プローンによる記録、再生、各ブ
ロークの変位制御（トラッキング、間隔調整等）等の要
素を独立して行なっている。又、各記録再生用回路４０
内の各前記要素の制御をｃｐｕｓｏて回路４０毎に個別
に行なう。ｃｐｕｓｏの各回路４０毎の記録及び再生時
の制御のフローチャートをそれぞれ第７図（Ａ）（Ｂ）
に示す。これにより各フロラつて別々の情報の記録、再
生を一斉に（同時に）行なえる。
記録媒体または記録再生ヘット１００をどちらか一方ま
たは両方を独立に変位する制御方法として円筒型ピエゾ
アクチュエータ、平行はね、差動マイクロメーター、ボ
イスコイル、インチウオーム等の制御機構を用いて行な
う。この制御機構を第８図に部分断面図て示す。本実施
例においては、第８図に示す様に高速変位用のチューブ
型圧電体素子１４と広域変位用の平行ばね機構１５に積
層型圧電バイモルフ１６．１７を組み込んだ二種類の変
位手段を用いた制御機構により記録再生ヘット１００全
体を変位させている。チューフ型圧電素子の上端に記録
再生ヘットか配置され、この制御機構全体か記録媒体と
対向する位置に配置される。
積層型圧電バイモルフ１６．１７はそれぞれ記録再生ヘ
ット１００をｘ、ｙ軸に変位させる為のものてあり、こ
れらの駆動によって平行ばね機構中のチューブ型圧電体
素子固定部かそれぞれｘ、ｙ方向に移動する。この方式
により、１つのフローツ４に５００ｐｍ角の領域を変位
走査させることか可能となる。
第９図に本発明に用いる記録再生装置全体の断面図を示
す。第８図に示した変位制御機構により第２図の記録再
生へット１００をチップホルタ−１５ａにて保持し、さ
らに高速変位用のチューブ型圧電体素子１５を固定環１
５ｂにより保持している。記録媒体２１は記録媒体ホル
ダー２２に固定されている。トンネル電流を発生させる
際にバイアス電圧の供給は、電極ネジ２３により電極２
４を記録媒体２１に接触させて行う。記録媒体２１と記
録再生ヘット１００を接近させるために、微動ネジ２５
を回転させて微動用テコ２６を動かすことで行う。図で
はわかりやすい様に上下の間隔を広げて示しであるか実
際には記録媒体側と記録再生ヘット側はもっと近接して
いる。
第１Ｏ図は本装置における記録再生時の走査についての
説明図である。２８は記録媒体２１上の、ｌプローブが
走査して記録、再生を行う（例えば約５００ｐｍ角の領
域（ブロック）　、　２８ａは各ブロック２８上てのプ
ローブ４の大まかな軌跡、２７は軌跡２７ａの１部分の
拡大である。
積層圧電体バイモルフ１６．１７及びチューブ型圧電体
素子１５によって記録再生ヘット１００全体を矩形に移
動させる事により全プローフ４か各ブロック２８内を軌
跡２８で示す様に大まかに走査する。この時各プローブ
２８は三次元駆動機構２の駆動により拡大部分２７に示
す様に微小、例えば１０ｐｍ程度の振幅の三角波状に走
査してトラック走査を行っている。トラツキンク実行時
にはこれに更に第５図で示した様にトラックの幅方向の
微小振動か加わる。この様にプローブ４て蛇行走査させ
なから記録・再生を行う事により記録媒体上の所定領域
をくまなく、かつ迅速に走査でき、記録領域の有効利用
か可能である。又各ブロックを走査するフローフ毎に独
立にトラッキングか行われるので、例えば各ブロック間
に伸縮か生した場合も、すべてのプローブをトラック走
査させる事か可能である。
第１１図、第１２図に本発明の第２実施例の記録再生装
置の三次元駆動機構のそれぞれ正面図、断面図を示す。
他の構成、動作は第１実施例と同様である。以下第１実
施例と同様の部材には同じ符号を冠しである。本実施例
ては圧電効果及び静電気力を用いた両持ち梁カンチレバ
ー型の三次元駆動機構２′を用いている。両持ち梁９に
よりカンチレバー３′を幅方向両端から支持し圧電体薄
膜５の圧電効果を利用してカンチレバー３′の長尺方向
に先端のトンネル電流発生ブロー；Ｐ４を変位し、基板
方向に形成された第２カンチレバー１０上の電極８と第
２カンチレバー１０下の電極８′に電圧を印加し静電気
力により第２カンチレバーを変位させてカンチレバー３
′を前記変位方向に垂直な方向に変位させることか可能
となる。
第１３図は本発明の第３実施例の記録再生装置の記録再
生チップ１′部を示す。三次元駆動機構２″は第１実施
例の２方向に長手力向を有する三次元駆動機構２を長手
力向か媒体面に平行なｙ方向にくる様に又平板形状の幅
方向かＸ方向に、厚み方向かＸ方向にくる様に配置し、
プローブ４のみ２方向に向けた構成になっている（ただ
し幅〉厚み）。１１は第１実施例の２軸駆動制御回路３
６とｘｙ軸駆動回路３７を有する駆動用ドライバーであ
る。１２は第１実施例の記録信号検出回路３２てここて
はトンネル電流信号を増幅する電流増幅回路とトンネル
電流信号を電圧信号に変換する電流電圧変換回路とを有
する。他の構成動作は第１実施例と同様てあり、駆動用
ドライバー１１、記録信号検出回路は第１実施例と同様
に他部材と配線されている。本実施例では第１実施例の
記録再生回路４０のうちの１部、ここては駆動用ドライ
バー１１と記録信号検出回路１２かこの様に記録再生チ
ップ上に形成されている。本実施例においても複数組の
プローブ、三次元駆動機構の１組１組にそれぞれ前述の
記録再生回路か設けられている。従ってそれぞれのプロ
ーブ４に対し独立にトラッキング等か可能である。
第１３図に示すカンチレバー３″は圧電体バイモルフに
より駆動する事により第１４図に示す矢印方向に大きく
変位する。従って記録媒体面に沿ってプローブ走査の範
囲を大きくとれ、又２方向に場所をとらないので媒体と
の間に無駄な空間を必要としない。
第１４図のカンチレバー３″としては長さ４００ｐｍ、
幅１００ｇｍとして、バイモルフに電極をはさんて窒化
アルミニウムｌｐｍの積層膜を用いると３０ｖ、１ＫＨ
ｚの印加電圧にて１０μｍ変位することになる。また、
バイモルフの電極構成を第３図のようにしているのて、
第１４図に示すプローブ４の長さ方向（２方向）に０．
２ｐｍの変位か可能である。又同時にカンチレバー３″
の長平方向にも変位可能である。
このようにして記録媒体面に対して平行に変移させなか
ら記録媒体面との間の間隔を調整制御することとなる。
上記に示したカンチレバー３″は半導体を有するチップ
基板の端面に、形成された形態を持つ為に、本発明の記
録再生チップ１′はひとつの片持ち梁と見なすことかで
き、実装するさいに生じる基板面のソリを回避すること
か可能となる。
上述した実施例はすへて記録再生装置であるか、記録ま
たは再生のみの装置てあっても本発明か適用可能である
事は言うまてもない。
［発明の効果］ 以上述べた様に本発明によれば、複数の記録及び／又は
再生用プロー７を独立にトラツキンクする様にしている
ので例えは媒体の熱膨張・経詩変化等か発生しても常に
全プローフて安定して記録又は再生を行う車か可能にな
った。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の第１実施例の記録再生装置の構成概略
図、 第２図は同装置の記録再生ヘットの概略図、第３図、第
４図は同装置の三次元駆動機構のそれぞれ正面図、断面
図。 第５図は同装置におけるプローフ走査経路説明図、 第６図（Ａ）（Ｂ）は同装置におけるトラツキンクの原
理の説明図、 第７図（Ａ）（Ｂ）は同装置における ＣＰＵの制御フローチャート。 第８図は同装置の制御機構の説明図、 第９図は同装置の全体構成断面図 第１０図は同装置における記録再生時の走査についての
説明図、 第１１図、第１２図は本発明の第２実施例の記録再生装
置の三次元駆動機構のそれぞれ正面図、断面図、 第１３図は本発明の第３実施例の記録再生装置の記録再
生チップ部説明図、 第１４図は同装置のカンチレバーの変位の説明図、であ
る。 図中 ２．２’、２”・・・三次元駆動機構 ４・・・ブローン ２１・・・記録媒体 ４０・・・記録再生回路 ５０・・・ＣＰＵ 第７０ 昭６図 （Ｂ） 祖 ０輔）（ンｅ 砧べＶＮβソ爪

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）情報を記録するための媒体上に情報を記録する装置
    において、それぞれ媒体上の異 なるブロックと対向する位置に配置され各 ブロックを相対的に走査して情報記録を行 なうための複数の情報記録用プローブと、 前記プローブを各々用いて情報を各ブロッ ク内の所定経路に沿って記録するべく前記 プローブをそれぞれ独立にトラッキングさ せるトラッキング手段とを有することを特 徴とする情報記録装置。 ２）更に前記複数のプローブと媒体との間に電圧印加す
    る手段を有し、該電圧印加手段 の電圧印加によって情報記録がなされるこ とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載 の情報記録装置。 ３）前記電圧印加手段は前記複数のプローブ各々に独立
    に電圧印加し、これにより各ブ ロックに別々の情報が同時に記録されるこ とを特徴とする特許請求の範囲第２項記載 の情報記録装置。 ４）更に前記プローブを三次元方向に駆動する手段を有
    することを特徴とする特許請求 の範囲第１項記載の情報記録装置。 ５）前記駆動手段は先端に支持する片持ち梁と該片持ち
    梁を三次元方向に変形させるこ とによって前記プローブを駆動する変形手 段とを有することを特徴とする特許請求の 範囲第４項記載の情報記録装置。 ６）前記片持ち梁は媒体面に平行な方向に長手方向を有
    し、媒体面に垂直な方向に幅方 向を有することを特徴とする特許請求の範 囲第５項記載の情報記録装置。 ７）前記駆動手段は前記プローブを媒体方法に駆動する
    ことによって前記プローブと媒 体との間隔調整を行い、前記プローブを媒 体面に平行な方向に駆動することによって 前記プローブを各ブロック内の所定経路に 沿って走査させることを特徴とする特許請 求の範囲第４項記載の情報記録装置。 ８）更に前記プローブを駆動する手段を有 し、該駆動手段は前記プローブを媒体面に 平行な面内で蛇行するように駆動すること により前記プローブを各ブロック内の所定 経路に沿って操作させることを特徴とする 特許請求の範囲第１項記載の情報記録装 置。 ９）情報が記録された媒体上から情報を再 生する装置において、それぞれ媒体上の異 なるブロックと対向する位置に配置され各 ブロックを相対的に走査して情報再生を行 うための複数の情報再生用プローブと、前 記複数のプローブをそれぞれ独立にトラッ キングさせるトラッキング手段とを有する ことを特徴とする情報再生装置。 １０）更に前記複数のプローブと媒体との間に電圧印加
    する手段と、該電圧印加手段 の電圧印加によって前記プローブと媒体 との間に流れるトンネル電流を検出する 手段とを有し、該トンネル電流検出手段 の検出結果から情報再生がなされること を特徴とする特許請求の範囲第９項記載 の情報再生装置。 １１）前記トンネル電流検出手段は前記複数のプローブ
    各々で独立にトンネル電流検 出し、これにより各ブロックから別々の 情報が同時に再生されることを特徴とす る特許請求の範囲第１０項記載の情報再 生装置。 １２）更に前記プローブを三次元方向に駆動する手段を
    有することを特徴とする特許 請求の範囲第９項記載の情報再生装置。 １３）前記駆動手段は先端に支持する片持ち梁と該片持
    ち梁を三次元方向に変形させ ることによって前記プローブを駆動する 変形手段とを有することを特徴とする特 許請求の範囲第１２項記載の情報再生装 置。 １４）前記片持ち梁は媒体面に平行な方向に長手方向を
    有し、媒体面に垂直な方向に 幅方向を有することを特徴とする特許請 求の範囲第１３項記載の情報再生装置。 １５）前記駆動手段は前記プローブを媒体方向に駆動す
    ることによって前記プローブ と媒体との間隔調整を行い、前記プロー ブを媒体面に平行な方向に駆動すること によって前記プローブを各々ブロック内 の情報列に沿って走査させることを特徴 とする特許請求の範囲第１２項記載の情 報再生装置。 １６）更に前記プローブを駆動する手段を有し、該駆動
    手段は前記プローブを媒体面 に平行な面内で蛇行するように駆動する ことにより前記プローブを各ブロック内 の情報列に沿って走査させることを特徴 とする特許請求の範囲第９項記載の情報 再生装置。 １７）情報を記録するための媒体上に情報を記録し、情
    報が記録された媒体上から情 報を再生する装置において、それぞれ媒 体上の異なるブロックと対向する位置に 配置され各ブロックを相対的に走査して 情報記録及び再生を行うための複数の情 報記録再生用プローブと、前記プローブ を各々用いて情報を各ブロック内のトラ ックに沿って記録又は再生するべく前記 プローブをそれぞれ独立にトラッキング させるトラッキング手段とを有すること を特徴とする情報記録再生装置。
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