JPH06349005A

JPH06349005A - 磁気記録装置

Info

Publication number: JPH06349005A
Application number: JP13074893A
Authority: JP
Inventors: Takehiko Kawasaki; 岳彦川崎; Tsutomu Ikeda; 勉池田; Akira Kuroda; 亮黒田; 清 ▲瀧▼本; Kiyoshi Takimoto; Toshihiko Miyazaki; 俊彦宮▲崎▼; Harunori Kawada; 春紀河田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1993-06-01
Filing date: 1993-06-01
Publication date: 1994-12-22

Abstract

(57)【要約】【目的】原子間力顕微鏡の原理を利用する磁気記録装
置において、磁気記録媒体とカンチレバー型プローブと
の間隔調整を簡単に行え、装置の簡略化によって大容量
記録再生を可能とする。【構成】カンチレバー１０１に弾性を持たせ、この弾
性力と磁気記録媒体１０７−カンチレバー型プローブ間
に働く作用力とを平衡させることによって両者間の間隔
を一定に保持する。カンチレバー型プローブを複数個並
設しても小型である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体を用いた
高密度磁気記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、α−Ｆｅ₂ Ｏ₃ などの磁性体
を含む磁気記録媒体に、高透磁材料にコイルを巻いた記
録再生用磁気ヘッドを近接し、前記磁気ヘッドに流す信
号電流により発生する磁界によって前記磁気記録媒体を
磁化することにより記録を行う磁気記録装置が用いられ
ている。このような装置は、コンピュータ等のディジタ
ル情報を記録再生するフロッピーディスクシステムやハ
ードディスクシステム、あるいは音声情報を記録再生す
るコンパクトカセットシステムや画像情報を記録再生す
るＶＴＲシステムなど、多くの形態に発展し、極めて広
範に用いられている。

【０００３】ドラム状、ディスク状などの磁気記録媒体
を用いる磁気記録装置においては、記録再生時に磁気記
録媒体と磁気ヘッドを相対的に走査する際、磁気記録媒
体と磁気ヘッドの間に一定の間隔を保つ必要がある。こ
の方法としては、磁気ヘッドと磁気記録媒体が近接して
高速で相対的に移動するために生じる空気流によって、
磁気ヘッドが磁気記録媒体から浮き上がる現象を利用す
ることが一般に行われている。

【０００４】さらに最近、磁気記録装置に原子間力顕微
鏡（以下ＡＦＭ）の原理を応用して改良し、高密度な記
録再生を行えるような装置が提案されている（特開平４
−１８２９１７公報）。この装置は記録再生用ヘッドと
して、先端に信号電流を流せるような配線部を設けた微
小なカンチレバー型プローブを用い、前記信号電流によ
り発生する磁界で磁気記録媒体に記録を行うものであ
る。この装置では記録ビット径を０．１μｍ程度にで
き、従来のコイルによる記録ヘッドを用いた記録再生装
置よりも記録ビットを大幅に小さくできるため、高密度
記録が可能である。

【０００５】ただし、このような装置においては、記録
ビット径が非常に小さくなるため、磁気記録媒体と、記
録再生用ヘッドであるカンチレバー型プローブとの間隔
制御において、記録媒体の微小な凹凸が無視できなくな
る。このため磁気記録媒体と、カンチレバー型プローブ
との間隔制御は以下のようにして行っていた。カンチレ
バー型プローブ先端と磁気記録媒体を接近させていく
と、ある程度以下まで接近した際に、両者の間隔に対応
した大きさの原子間力が生じ、この原子間力による作用
力によりカンチレバー型プローブに撓みが生じる。さら
に、記録再生時には、両者を接近させたままカンチレバ
ー型プローブと磁気記録媒体とを相対的に走査するが、
この際に磁気記録媒体の凹凸によりカンチレバー型プロ
ーブのたわみ量が変化することを、カンチレバー型プロ
ーブにレーザー光を照射し、その反射光よりカンチレバ
ー型プローブのたわみ量を検知し、このたわみ量が一定
になるように（すなわち磁気記録媒体とカンチレバー型
プローブの間に働く作用力が一定になり、これにともな
って両者の間隔が一定になるように）記録媒体の高さを
調節する圧電素子にリアルタイムでフィードバックをか
けることで行っていた。

【０００６】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら上記
従来例のＡＦＭを応用した磁気記録装置では、上述のよ
うな複雑な方法で記録再生時の磁気記録媒体とカンチレ
バー型プローブの間隔制御を行うため、従来例の磁気記
録装置には大掛かりな制御系が必要となる。とりわけ、
このカンチレバーを複数本にして集積化し、記録容量を
拡大させようとする場合などには装置が非常に大掛かり
なものとなってしまう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記問題点は、以下に述
べる本発明により解決される。

【０００８】本発明は第一に、磁気記録媒体と、先端部
に記録用信号電流を流せるような導電体よりなる配線部
を設けた弾性体よりなるカンチレバー型プローブとを用
い、前記磁気記録媒体にカンチレバー型プローブを近接
させて相対的に平行移動させながら前記信号電流により
発生する磁界によって前記磁気記録媒体を磁化すること
により記録を行う磁気記録装置において、前記磁気記録
媒体とカンチレバー型プローブとの間に働く作用力によ
って前記弾性体を変形させることにより前記カンチレバ
ー型プローブと前記磁気記録媒体との間隔制御を行うこ
とを特徴とする磁気記録装置である。

【０００９】第二に、前記カンチレバー型プローブに用
いた弾性体の弾性定数が、前記磁気記録媒体表面の弾性
定数よりも小さいことを特徴とする。

【００１０】第三に、前記カンチレバー型プローブを複
数個設けたことを特徴とする。

【００１１】第四に、前記磁気記録媒体に対して前記カ
ンチレバー型プローブを非平行となるように配置した構
成を持つことを特徴とする。

【００１２】

【作用】先ずカンチレバー型プローブと磁気記録媒体の
間隔制御を行いながらカンチレバー型プローブと磁気記
録媒体を相対的に走査し、記録再生動作を行う磁気記録
装置について説明する。

【００１３】図５に、本発明の磁気記録装置における、
記録再生時のカンチレバー型プローブと磁気記録媒体を
拡大した模式図を示す。図５において、５０１は弾性体
よりなるカンチレバー、５０２は信号電流を流す配線
部、５０３はマイクロティップ、５０４はカンチレバー
支持部材、５０６は磁気記録媒体を支持する基体、５０
７は磁気記録媒体、５１５はカンチレバー先端部、５１
６は配線部５０２に流した信号電流により発生する磁
界、５１７は磁界５１６により変化した磁気記録媒体の
部分である。尚、カンチレバー５０１と配線部５０２及
びマイクロティップ５０３と合わせてカンチレバー型プ
ローブと呼ぶこととする。

【００１４】図に示したように、本発明においては、カ
ンチレバー型プローブと磁気記録媒体を相対的に走査し
ながら、カンチレバー５０１上に設けた配線部５０２に
信号電流を流し、前記信号電流によりカンチレバー先端
部５１５の周りに発生する磁界５１６により磁気記録媒
体５０７の所望の部分５１７を磁化し、記録を行う。さ
らに、再生動作は、記録時と同様に走査しながら、記録
を行った磁気記録媒体５０７から漏れ出た磁束によりカ
ンチレバー５０１上に設けた配線部５０２に発生する誘
導電流を検出して行う。

【００１５】このような記録時には、前記信号電流によ
る磁界がカンチレバー先端部５１５以外の部分にも発生
したり、また再生時にカンチレバー先端部５１５以外の
部分の配線部５０２にも誘導電流が発生することで、記
録ビット径が大きくなったり、所望の部分以外の情報を
読み出してしまうような問題が生じる恐れがある。本発
明においては、磁気記録媒体に対してカンチレバー型プ
ローブを非平行となるように配置した構成とし、図５に
示したようにカンチレバー先端部５１５以外の部分を磁
気記録媒体５０７から相対的に遠ざけることにより、カ
ンチレバー型プローブの先端部以外の部分と磁気記録媒
体との相互作用を低減し、上記の問題が発生しないよう
にすることができる。このことは、カンチレバー型プロ
ーブを複数本として集積化した場合等、より高密度に記
録を行う場合に特に有効である。

【００１６】カンチレバーの材料、形状を必要に応じて
選択することで、任意の弾性定数を持ったカンチレバー
が作製可能となる。

【００１７】また、マイクロティップは、カンチレバー
先端部と磁気記録媒体の間隔制御を行う際に、記録再生
の磁界を発生する配線部と磁気記録媒体の間の間隔が前
記作用力により保たれる距離だけでは不十分な場合、ス
ペーサーの役割を持たせるために設ける。あるいは、カ
ンチレバー先端部に磁気記録媒体よりも硬度の低い材料
を用いた場合などで、装置の誤動作等によるカンチレバ
ー先端部と磁気記録媒体の接触により、カンチレバー先
端部の破損が心配される場合などにも設けられる。これ
らの必要性がない場合は、マイクロティップは特に設け
なくともかまわない。

【００１８】カンチレバーの撓みの検知方法としては、
カンチレバーにレーザー光等の光を照射してその反射光
の変位を検知することで行う光てこ方式が一般的に用い
られる。またカンチレバーにピエゾ抵抗効果を持つもの
を使用して、撓みによる抵抗変化を検知することで撓み
量を検知する方法（Ｍ．Ｔｏｒｔｏｎｅｓｅ、Ｒ．Ｃ．
ＢａｒｒｅｔｔａｎｄＣ．Ｆ．ＱｕａｔｅＡｐｐ
ｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．６２、８３４−８３６）等も
用いることができ、特に方法は問わない。

【００１９】また、磁気記録媒体に対してカンチレバー
型プローブを非平行となるように配置した構成とする方
法としては、特に限定されるものではなく、代表的な例
を実施例中に後述する。

【００２０】上記においては、カンチレバー型プローブ
を一個のみ用いているが、必要に応じてこれを複数個と
し、集積化することで大記録容量化を行うことができ
る。カンチレバー型プローブを複数個とした例について
は実施例中に後述する。

【００２１】また、磁気記録媒体とカンチレバー型プロ
ーブの相対走査はｘｙｚの３軸方向に行う方法や、磁気
記録媒体を回転させて行う方法がある。この例について
も実施例中に後述する。

【００２２】

【実施例】

＜実施例１＞まず、本実施例の磁気記録装置の構成図を
図１に示す。図１において、１０１は弾性体よりなるカ
ンチレバー、１０２は信号電流を流す配線部、１０３は
マイクロティップ、１０４はカンチレバー支持部材、１
０５は記録媒体支持部材、１０６は磁気記録媒体を支持
する基体、１０７は磁気記録媒体、１０８は横方向駆動
素子、１０９は縦方向駆動素子、１１０はカンチレバー
と磁気記録媒体の間隔や横方向の走査などを制御する位
置制御回路、１１１は記録再生の信号電流の制御を行う
電流制御装置、１１２は装置の全体を制御する制御コン
ピュータである。なお、弾性体よりなるカンチレバー１
０１と、その上に設けた配線部１０２及びマイクロティ
ップ１０３の部分を合わせてカンチレバー型プローブと
呼ぶ事とする。１１５はカンチレバー先端部である。

【００２３】また本実施例においては、カンチレバーの
撓みを検知するために、光てこ方式による位置検出系を
設けている。図１において、１１７はレーザー光源、１
１８は位置検出のための反射光の受光素子、１１９は位
置検出回路である。

【００２４】また、本実施例の磁気記録装置に用いるカ
ンチレバー型プローブの代表的な一例を、図２（ａ）に
側面図を、図２（ｂ）に下面から見た図を示す。２０１
は弾性体よりなるカンチレバー、２０２は信号電流を流
す配線部、２０３はマイクロティップ、２０４はカンチ
レバー支持部材である。

【００２５】本実施例の磁気記録装置に用いるカンチレ
バー型プローブの作製方法について述べる。まずＳｉ基
板を熱酸化により表面に厚さ０．３μｍのＳｉＯ₂ 膜を
生成し、長さ１００μｍ、幅２０μｍのカンチレバー形
状をパターニングする。次にＡｕ、Ｐｔなどの薄膜を堆
積した後パターニングし、信号電流を流すための配線部
２０２を形成する。続いて基板裏面よりのＫＯＨ溶液に
よるＳｉの異方性エッチングを行い、カンチレバー下部
のＳｉ基板を除去し、片持ちのカンチレバー２０１を作
製する。このようにして作製したカンチレバーの先端の
撓みに対する弾性定数は０．０１Ｎ／ｍ程度となる。こ
のカンチレバーの先端部に、必要に応じて真空蒸着など
の技術を用いてマイクロティップ２０３を形成し、カン
チレバー型プローブを作製した。最後にこのカンチレバ
ー型プローブを２００℃で熱処理することで配線部２０
２に用いたＡｕ、Ｐｔ等の薄膜を引っ張り応力とし、図
２（ａ）に示したような、カンチレバー支持部材２０４
に対してカンチレバーの先端部２１５がやや図中下方に
湾曲したようなカンチレバー型プローブとした。

【００２６】カンチレバー型プローブをカンチレバー支
持部材に対して湾曲した形状に作製する方法の一例とし
て、上記のようにしてカンチレバー型プローブを作製す
る際に、カンチレバーと、カンチレバーに積層して形成
する配線部に用いる材料の間に応力差を意図的に生成
し、カンチレバー型プローブ全体を湾曲させる方法があ
る。一般にＡｕ、Ｐｔなどの金属薄膜は、成膜後に熱処
理を加えて冷却することで、引っ張り応力の薄膜とする
ことができる。このことを利用し、上記のようにしてカ
ンチレバー型プローブを作製した後に、２００℃程度の
熱処理を加えることで、配線部２０２に用いたＡｕ、Ｐ
ｔ等の金属薄膜を引っ張り応力に変化させ、図２（ａ）
に示したような、カンチレバー支持部材２０４に対して
カンチレバーの先端部２１５がやや図中下方に湾曲した
ようなカンチレバー型プローブとすることができる。

【００２７】本実施例の磁気記録装置の動作の概要を以
下に述べる。

【００２８】まず、縦方向駆動素子１０９を駆動し、カ
ンチレバー先端部１１５を磁気記録媒体１０７に接近さ
せていくと、マイクロティップ１０３と磁気記録媒体１
０７が、ある距離（およそ１ｎｍ）まで近づくと両者の
間に作用力（斥力）が働き、前記作用力に応じてカンチ
レバー１０１に撓みが生じる。本発明においては、この
撓みを検知しながら縦方向駆動素子１０９を調整し、カ
ンチレバー１０１の撓み量を一定の範囲に制御すること
により、カンチレバー型プローブと磁気記録媒体の間に
働く作用力が一定の範囲に納まるように両者を接近させ
る。

【００２９】本実施例においてはカンチレバーの撓みの
検知方法としては、光てこ方式を用いている。これはレ
ーザー光源１１７からビーム状のレーザー光をカンチレ
バー１０１に照射し、その反射光を受光素子１１８で受
光し位置検出回路１１９で解析し、カンチレバーの撓み
量の変化による反射光の変位を検知するものである。

【００３０】このようにして、カンチレバー先端部１１
５を磁気記録媒体１０７に接近させた後、記録、あるい
は再生のためにカンチレバー型プローブと磁気記録媒体
を相対的に走査する。この際のカンチレバー先端部１１
５と磁気記録媒体１０７の間隔制御は、光てこ方式によ
る位置検出系は用いず、カンチレバー先端部に設けたマ
イクロティップと磁気記録媒体の間に発生する前記作用
力自身によって、カンチレバーを構成する弾性体自体を
変形させることにより行う。

【００３１】また、カンチレバー１０１に、磁気記録媒
体１０７表面の弾性定数よりも小さい弾性定数を有する
弾性体を用いることにより、磁気記録媒体１０７とマイ
クロティップ１０３との間に働く力を一定レベル以下に
することができる。従って磁気記録媒体やマイクロティ
ップの材質が両者の間に働く力により破壊しやすいもの
であっても、その破壊のしきい値以上の力が加わらない
ようにすることができ、記録、再生中の破壊を避けるこ
とができる。

【００３２】以上のようにしてカンチレバー型プローブ
と磁気記録媒体の間隔制御を行いながらカンチレバー型
プローブと磁気記録媒体を相対的に走査し、記録再生動
作を行う。以下に記録再生方法について説明する。

【００３３】本実施例においては、カンチレバー型プロ
ーブと磁気記録媒体を相対的に走査しながら、カンチレ
バー１０１上に設けた配線部１０２に信号電流を流し、
前記信号電流によりカンチレバー先端部１１５の周りに
発生する磁界により、磁気記録媒体１０７の所望の部分
を磁化し、記録を行う。さらに、再生動作は、記録時と
同様に走査しながら、記録を行った磁気記録媒体１０７
から漏れ出た磁束によりカンチレバー１０１上に設けた
配線部１０２に発生する誘導電流を検出して行う。

【００３４】このようにして作製した磁気記録装置にお
いて、磁気記録媒体を破壊することなく、簡易なシステ
ムで間隔制御を行い、高密度の磁気記録が可能となっ
た。

【００３５】＜実施例２＞本発明の第２の実施例の磁気
記録装置の構成図を図３に示す。本実施例は、カンチレ
バー型プローブを複数個用いた本発明の装置の例であ
る。

【００３６】図３において、３０１ａ、３０１ｂ、３０
１ｃは弾性体よりなる複数個のカンチレバー（以下マル
チカンチレバー）、３０２ａ、３０２ｂ、３０２ｃは信
号電流を流す配線部、３０３ａ、３０３ｂ、３０３ｃは
マイクロティップ、３０４は複数のカンチレバーを支持
するマルチカンチレバー支持部材、３０５は記録媒体支
持部材、３０６は磁気記録媒体を支持する基体、３０７
は磁気記録媒体、３０８は横方向駆動素子、３０９は縦
方向駆動素子、３１０はカンチレバーと磁気記録媒体の
間隔や横方向の走査などを制御する位置制御回路、３１
１は記録再生の信号電流の制御を行う電流制御装置、３
１２は装置の全体を制御する制御コンピュータ、３１３
は記録再生の信号電流を各カンチレバー型プローブに振
り分ける切り換え回路である。なお、複数個の弾性体よ
りなるカンチレバーと、それぞれのカンチレバー上に設
けた配線部及びマイクロティップの部分を合わせてマル
チカンチレバー型プローブと呼ぶ事とする。３１５ａ、
３１５ｂ、３１５ｃはカンチレバー先端部である。

【００３７】なお、マルチカンチレバー型プローブは、
図では代表して３個のみ表記している。なお、不図示と
したが、本実施例においても実施例１と同様に、カンチ
レバーの撓みを検知するために、光てこ方式による位置
検出系を設けている。

【００３８】本実施例の磁気記録装置に用いるマルチカ
ンチレバー型プローブは、実施例１と同様にして、図２
に示すような形状に作製した。図２には不図示である
が、実際にはこのカンチレバー型プローブは同時に複数
個同一基板上に作製してある。また、やはり実施例１と
同様に、図２（ａ）に示したような、カンチレバー支持
部材２０４に対してカンチレバーの先端部２１５がやや
図中下方に湾曲したようなカンチレバー型プローブとし
た。

【００３９】本実施例のように、カンチレバー型プロー
ブを複数個同一基板上に形成した場合においては、カン
チレバー支持部材２０４である基板が磁気記録媒体と不
必要に接触することを避けるため、磁気記録媒体に対し
てほぼ平行にカンチレバー支持部材である基板を配置す
る必要があるが、カンチレバー支持部材２０４に対して
カンチレバーの先端部２１５がやや図中下方に湾曲した
ようなカンチレバー型プローブとすることで、基板面に
対して全てのカンチレバーの先端部２１５が下方に突出
する構成とすることができ、カンチレバー支持部材であ
る基板が磁気記録媒体と不必要に接触することなく、全
てのカンチレバーの先端部２１５を磁気記録媒体２０７
に接近させることができる。

【００４０】このようにして作製したマルチカンチレバ
ー型プローブは、個々のカンチレバーのそり、マイクロ
ティップの高さのプロセス誤差などを考慮すると、マル
チカンチレバー支持部材３０４を基準にしたマイクロテ
ィップの先端の高さ方向のばらつきは１μｍ程度とな
る。

【００４１】本実施例の磁気記録装置の動作の概要を以
下に述べる。まず、図３において縦方向駆動素子３０９
を駆動してマルチカンチレバー支持部材３０４に対して
磁気記録媒体３０７を接近させる。この際、磁気記録媒
体３０７はマイクロティップ３０３ａ、３０３ｂ、３０
３ｃ・・・のうち最も近いものから順に力を及ぼし、こ
の作用力によってそれぞれのマイクロティップを支持す
る弾性体よりなるカンチレバーに作用力の大きさに比例
した量の撓みが生じる。そのため、この際に個々のカン
チレバーの撓み量を前述のような方法で検知しながら、
縦方向駆動素子３０９を用いてマルチカンチレバー支持
部材３０４と磁気記録媒体３０７との間隔、傾きを調整
することによりすべてのカンチレバー型プローブと磁気
記録媒体の間に働く作用力が一定の範囲に納まるように
両者を接近させることができる。

【００４２】またここで、個々のカンチレバー型プロー
ブと磁気記録媒体との間に働く力の大きさのばらつきを
更に小さくするためには、マイクロティップ先端部高さ
のばらつきの程度が同じと考えられる場合、カンチレバ
ーの弾性定数を小さく、すなわちレバー長を大きくする
か、レバー膜厚を小さくすれば良い。

【００４３】また、マルチカンチレバー３０１ａ、３０
１ｂ、３０１ｃ・・・に、磁気記録媒体３０７表面の弾
性定数よりも小さい弾性定数を有する弾性体を用いるこ
とにより、磁気記録媒体３０７とマイクロティップ３０
３ａ、３０３ｂ、３０３ｃ・・・との間に働く力をすべ
て一定レベル以下にすることができる。従って磁気記録
媒体やマイクロティップの材質が両者の間に働く力によ
り破壊しやすいものであっても、その破壊のしきい値以
上の力が加わらないようにすることができ、記録、再生
中の破壊を避けることができる。

【００４４】このようにしてマルチカンチレバー型プロ
ーブと磁気記録媒体を近接させた後、実施例１と同様の
方法で記録再生を行う。

【００４５】このようにして作製した磁気記録装置にお
いて、磁気記録媒体を破壊することなく、簡易なシステ
ムで間隔制御を行い、複数のカンチレバー型プローブを
用いた大容量の磁気記録が可能となった。

【００４６】＜実施例３＞本発明の第３の実施例の磁気
記録装置の構成図を図４に示す。本実施例は、カンチレ
バー型プローブを複数個用い、ディスク状の磁気記録媒
体の直径方向に複数のカンチレバー型プローブを並べて
配置し、磁気記録媒体を回転させることで相対走査を行
うようにした本発明の装置の例である。

【００４７】図４において、４０１ａは弾性体よりなる
カンチレバー、４０２ａは信号電流を流す配線部、４０
３ａはマイクロティップである。本図においてはカンチ
レバー、配線部、マイクロティップは代表して１個ずつ
のみ表記したが、実際にはいずれも複数個設けており、
マルチカンチレバー型プローブを構成している。４０４
は複数のカンチレバーを支持するマルチカンチレバー支
持部材、４０５は記録媒体等の支持部材、４０６は磁気
記録媒体を支持する基体、４０７はディスク状の磁気記
録媒体、４０８は横方向駆動素子、４０９は縦方向駆動
素子、４１０はカンチレバーと磁気記録媒体の間隔や横
方向の走査などを制御する位置制御回路、４１１は記録
再生の信号電流の制御を行う電流制御装置、４１２は装
置の全体を制御する制御コンピュータ、４１３は記録再
生の信号電流を各カンチレバー型プローブに振り分ける
切り換え回路、４１４は磁気記録媒体を回転させる回転
駆動装置である。

【００４８】なお、不図示としたが、本実施例において
も実施例２と同様に、カンチレバーの撓みを検知するた
めに、光てこ方式による位置検出系を設けている。

【００４９】本実施例の磁気記録装置に用いるマルチカ
ンチレバー型プローブは、実施例２と同様にして作製し
た。なお、作製プロセス上の誤差によりプローブ高さに
は、実施例２と同程度のばらつきがある。

【００５０】このようにして作製した磁気記録装置も実
施例２と同様に動作し、磁気記録媒体を破壊することな
く、簡易なシステムで間隔制御を行い、複数のカンチレ
バー型プローブを用いた大容量の磁気記録が可能となっ
た。

【００５１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ＡＦＭを
応用した磁気記録装置において、カンチレバー型プロー
ブと磁気記録媒体との間隔調整がより簡単に行え、個々
のプローブごとの間隔制御のための特別なサーボ回路を
必要とせず、装置の簡略化が図れ、高密度磁気記録が可
能となる。さらに複数のプローブを用いて集積化した大
容量記録装置も容易に提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の磁気記録装置の概略図

【図２】本発明のカンチレバー型プローブの代表的な構
成を示す図

【図３】本発明の第２の実施例の磁気記録装置の概略図

【図４】本発明の第３の実施例の磁気記録装置の概略図

【図５】本発明の磁気記録装置における、記録再生時の
カンチレバー型プローブと磁気記録媒体の模式図

【符号の説明】

１０１弾性体よりなるカンチレバー１０２配線部１０３マイクロティップ１０４カンチレバー支持部材１０５記録媒体支持部材１０６磁気記録媒体を支持する基体１０７磁気記録媒体１０８横方向駆動素子１０９縦方向駆動素子１１０位置制御回路１１１電流制御装置１１２制御コンピュータ１１５カンチレバー先端部１１７レーザー光源１１８受光素子１１９位置検出回路２０１弾性体よりなるカンチレバー２０２配線部２０３マイクロティップ２０４カンチレバー支持部材２１５カンチレバー先端部３０１ａ、３０１ｂ、３０１ｃ弾性体よりなる複数
個のカンチレバー（マルチカンチレバー）３０２ａ、３０２ｂ、３０２ｃ配線部３０３ａ、３０３ｂ、３０３ｃマイクロティップ３０４マルチカンチレバー支持部材３０５記録媒体支持部材３０６磁気記録媒体を支持する基体３０７磁気記録媒体３０８横方向駆動素子３０９縦方向駆動素子３１０位置制御回路３１１電流制御装置３１２制御コンピュータ３１３切り換え回路３１５ａ、３１５ｂ、３１５ｃカンチレバー先端部４０１ａ弾性体よりなるカンチレバー４０２ａ配線部４０３ａマイクロティップ４０４マルチカンチレバー支持部材４０５記録媒体等の支持部材４０６磁気記録媒体を支持する基体４０７ディスク状の磁気記録媒体４０８横方向駆動素子４０９縦方向駆動素子４１０位置制御回路４１１電流制御装置４１２制御コンピュータ４１３切り換え回路４１４回転駆動装置４１５カンチレバー先端部５０１弾性体よりなるカンチレバー５０２配線部５０３マイクロティップ５０４カンチレバー支持部材５０５記録媒体支持部材５０６磁気記録媒体を支持する基体５０７磁気記録媒体５１５カンチレバー先端部５１６信号電流により発生する磁界５１７磁界５１６により変化した磁気記録媒体の部
分

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲瀧▼本清東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者宮▲崎▼ 俊彦東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者河田春紀東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気記録媒体と、先端部に記録用信号電
流を流せるような導電体よりなる配線部を設けた弾性体
よりなるカンチレバー型プローブとを用い、前記磁気記
録媒体にカンチレバー型プローブを近接させて相対的に
平行移動させながら、前記信号電流により発生する磁界
によって前記磁気記録媒体を磁化することにより記録を
行う磁気記録装置において、前記磁気記録媒体とカンチ
レバー型プローブとの間に働く作用力によって前記弾性
体を変形させることにより前記カンチレバー型プローブ
と前記磁気記録媒体との間隔制御を行うことを特徴とす
る磁気記録装置。
【請求項２】前記カンチレバー型プローブに用いた弾
性体の弾性定数が、前記磁気記録媒体表面の弾性定数よ
りも小さいことを特徴とする請求項１記載の磁気記録装
置。
【請求項３】前記カンチレバー型プローブを複数個設
けたことを特徴とする請求項１記載の磁気記録装置。
【請求項４】前記磁気記録媒体に対して前記カンチレ
バー型プローブを非平行となるように配置した構成を持
つことを特徴とする請求項１記載の磁気記録装置。