JPH04196452A

JPH04196452A - モニタ・パッド・セル

Info

Publication number: JPH04196452A
Application number: JP2328083A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Yasue; 匡安江
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1990-11-28
Filing date: 1990-11-28
Publication date: 1992-07-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は半導体集積回路装置に係わり、特に、セミ・カ
スタム方式の半導体集積回路装置を構成するモニタ・パ
ッド・セルに関するものである。

−［従来の、技術］ ″　近年、半導体集積回路装置の高集積化が進む中で、
半導゛体集積回路装置の内部信号波形をモーニタするた
めに、従来より、セミ・カスタム方式のセル・ライブラ
リの中に、第２図（ａ）に示されるような内部信号波形
モニタ用のモニタ・パッド・セルを設け、モニタすべき
信号線にこのモニタ・パッド・セルを付加するという方
法がとられていた。

第２図において、　（ａ）は従来のモニタ・パッド・セ
ルの構成図、　（ｂ）は従来のモニタ・パッド・セルを
含む半導体集積回路のブロック図、　（Ｃ）は従来のモ
ニタ・パッド・セルを含む半導体集積回路装置の構成図
である。

第２図（ａ）に示されるように、従来のモニタ・パッド
・セル（１４〕は、モニタ・パッド（１５）及び引き込
み線（１６）とから構成されている。

そこで、第２図（ｂ）に示されるように、モニタ・パッ
ド・セル（１４）を、モニタすべき信号線、例えば、ブ
ロック１（７）とブロック２（８）とを接続する信号線
３（１７）に付加することにより、第２図（Ｃ）に示さ
れるように配置配線される。

従って、モニタ・パッド（１５）に探針または電子ビー
ムを当てることで、内部信号波形をモニタすることがで
きる。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、第２図に示されるような従来の構成では
、半導体集積回路装置の評価を行なう際、内部信号波形
をモニタすることは可能であるが、各ブロック独立にモ
ニタ・パッドを通じ信号を入出力し各ブロック単体での
評価を行うことは困難であるため、大きな評価工数を必
要としていた。

そこで、本発明は、このような課題を解決するもので、
その目的とするところは、半導体集積回路装置の評価工
数を大幅に削減し、開発期間を短縮するとともに開発費
を削減することにある。

［課題を解決するための手段］本発明のモニタ・パッド・セルは、第１のモニタ・パッ
ドと、該第１のモニタ・パッドと第１の信号線との接続
手段と、第２のモニタ・パッドと、該第２のモニタ・パ
ッドと第２の信号線との接続手段と、前記第１のモニタ
・パッドと前記第２のモニタ・パッドとを接続するヒユ
ーズ素子とから構成されることを特徴とする。

［実施例］以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図において、　（ａ）は本発明のモニタ・パッド・
セルの構成図、　（ｂ）は本発明のモニタ・パッド・セ
ルを含む半導体集積回路のブロック図、（Ｃ）は本発明
のモニタ・パッド・セルを含む半導体集積回路装置の構
成図である。

第１図（ａ）に示されるように、本発明のモニタ・パッ
ド・セル（１）は、第１のモニタ・パッド（２）と、該
第１のモニタ・パッド（２）の引き込み＃（４）と、第
２のモニタ・パッド（３）と、該第２のモニタ・パッド
（３）の引出し線（５）と、前記第１のモニタ・パッド
（２）と前記第２のモニタ・パッド（３）とを接続する
ヒユーズ素子（６）とから構成されている。

そこで、第１図（ｂ）に示されるように、本発明のモニ
タ・パッド・セル（１）を、モニタすべき信号線、例え
ば、ブロック１（７）の出力である信号線１（９）とブ
ロック２（８）の入力である信号＄１１２（１０，）と
の間に挿入することにより、第１図（Ｃ）に示されるよ
うに配置配線される。

従って、従来と同様、第１のモニタ・パッド（２）また
は第２のモニタ・パッド（３）に探針または電子ビーム
を当てることで、内部信号波形をモニタすることができ
る。

また、ヒユーズ素子（６）をレーザ・ビーム等で切断す
ることにより、ブロック１（７）の出力信号は第１のモ
ニタ・パッド（２）から出力することができ、ブロック
２（８）の入力信号は第２のモニタ・パッド（３）から
入力することができる。

さらに、近年、半導体集積回路装置の高集積化が進む中
で、過去に開発された半導体集積回路を一ブロックとし
て利用する手段がよく用いられているが、そのブロック
の入出力信号線に、本発明のモニタ・パッド・セル（１
）を付加し、配置配線した半導体集積回路装置において
、本発明のモニタ・パッド・セル（１）の構成要素であ
るヒユーズ素子（６）をレーザ・ビーム等で切断するこ
とにより、モニタ・パッドを通じ、ブロック単体に信号
を入出力することができるため、過去の設計・評価資産
を有効に活用することも可能となる。

〔発明の効果］以上説明したように、本発明によれば、半導体集積回路
装置の評価を行なう際、各ブロック独立にモニタバッド
を通じ信号を人出力し各ブロック単体での評価を行うこ
とができるため、半導体集積回路装置の評価工数を大幅
に削減し、開発期間を短縮するとともに開発費を削減す
ることに大きな効果がある。

４、図面の簡単な説明５−　。

、７１図は本発明ｐモニタ・パッド・セルの一実施例で
あり、　（ａ　、）はその構成図、　（ｂ）は本発明の
モニタ・パッド・セルを含む半導体集積回路のブロック
図、、＜Ｃ）は本発明の、モニタ・パ、ツド・セルを含
む半導体集積回路装置の構成図である。

第２図は従来のモニタ・パッド・セルであり、（ａ）は
その構成図、　（ｂ）は従来のモニタ・パッド・セルを
含む半導体集積回路のブロック図、（Ｃ）は従来のモニ
タ・パッド・セルを含む半導体集積回路装置の構成図で
ある。

１・・・モニタ・パッド・セル２・・・モニタ・パッド３・・・モニタ・パッド４・・・引き込み線５・・・引出し線６・・・ヒユーズ素子７・・・ブロック１８・・・ブロック２９・・・信号線１１０・・信号線２１１・・半導体集積回路装置１２・・セル領域１３・・配線領域１４・・モニタ・パッド・セル１５・・モニタ・パッド１６・・引き込み線１７・・信号ｗＡ３以上出願人　セイコーエプソン株式会社代理人　弁理士　鈴木喜三部（他１名）Ｃα）（Ｃ）茎１自（α）ｃｂ＞（Ｃ）Ｘ　ｚ　ＩＺ

Claims

【特許請求の範囲】

　半導体集積回路装置において、第１のモニタ・パッド
と、該第１のモニタ・パッドと第１の信号線との接続手
段と、第２のモニタ・パッドと、該第２のモニタ・パッ
ドと第２の信号線との接続手段と、前記第１のモニタ・
パッドと前記第２のモニタ・パッドとを接続するヒュー
ズ素子とから構成されることを特徴とするモニタ・パッ
ド・セル。