JPH0419918B2 - - Google Patents

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JPH0419918B2
JPH0419918B2 JP22471086A JP22471086A JPH0419918B2 JP H0419918 B2 JPH0419918 B2 JP H0419918B2 JP 22471086 A JP22471086 A JP 22471086A JP 22471086 A JP22471086 A JP 22471086A JP H0419918 B2 JPH0419918 B2 JP H0419918B2
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workpiece
cleaning
wiping
unit
drying
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Shigenori Tsuchida
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Speedfam Corp
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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、磁気デイスク用基板や光デイスク用
基板などのように、中心穴を備えたデイスク形の
ワークの洗浄に好適な洗浄装置に関するものであ
る。
[従来の技術] 近年、コンピユータやオーデイオ機器などの発
達と共に磁気デイスクや光デイスクの需要が急速
に増大し、それに伴つて高品質の磁気デイスクや
光デイスク用の基板を安定供給することが要求さ
れるようになつた。
例えば光デイスク用の合成樹脂基板は、射出成
形により製造されたあと、付着した油分や切粉な
どの汚れを除去するために洗浄されるが、記憶容
量が大きいため、僅かな汚れがあつてもそれが性
能に著しく悪影響を及ぼし、製品として不適切な
ものとなつてしまう。従つて、その洗浄に当つて
は、洗浄精度を高めてより高い清浄度に保つこと
が必要であり、そのためには、基板の両面を均質
に洗浄して洗浄むらをなくすことが必要であるこ
とはもちろんであるが、洗浄後の乾燥を迅速且つ
確実に行うことも非常に重要である。即ち、乾燥
が迅速且つ確実に行われない場合には、洗浄液が
長時間付着したり流れたりした部分がしみとして
残り易く、このしみがデイスクの性能を低下させ
るばかりでなく、外観も悪くして商品価値を著し
く低下させることになる。
[発明が解決しようとする問題点] 本発明の課題は、洗浄が終つたワークの乾燥を
迅速且つ確実に行うことのできる洗浄装置を提供
することにある。
[問題点を解決するための手段] 上記課題を解決するため、本発明における洗浄
装置は、デイスク形のワークを洗浄する洗浄部
と、洗浄されたワークを乾燥させる乾燥部とを備
えた洗浄装置において、上記洗浄部と乾燥部との
間に洗浄が終つたワークの中心付近に付着した水
分を拭き取るための拭取り機構を設けると共に、
乾燥部に、ワークを高速回転させて水切り乾燥さ
せるための支持回転軸を設けたことを特徴とする
ものである。
[作用] 洗浄の終つたワークは、その中心付近に付着し
た洗浄液などの水分が拭取り機構により拭き取ら
れ、その後で、乾燥部における支持回転軸により
高速回転され、付着した水分が吹き飛ばされるこ
とによつて乾燥される。
このとき、中心付近の水分が予め拭き取られて
いるので、この水分が回転によりワークの表面を
伝つて外方へ飛散することがなく、拭き取りを行
わない場合に比べてしみ等の発生する確率は非常
に小さい。しかも、ワークを高速回転させて水切
りと乾燥とを行うようにしているため、加熱によ
る乾燥などに比べて乾燥が非常に速く、且つ確実
である。
[実施例] 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
第1図及び第2図に示す洗浄装置は、工程の増
減や組み替え等を行うことのできるユニツト形と
して構成した場合を例示するもので、未洗浄ワー
ク1を供給する供給ユニツト2と、供給されたワ
ーク1をブラシにより洗浄する第1及び第2の洗
浄ユニツト3,4、ブラシ洗浄後のワーク1の仕
上げ洗浄と乾燥とを行う乾燥ユニツト5、及び乾
燥後のワーク1を取出し収納する取出ユニツト6
からなつており、これらの各ユニツト2〜6が、
それらの工程中心間距離aが等しくなるよう横一
列に配列されて分離可能に連結されている。
上記供給ユニツト2は、図示しない移送手段に
よつてローデイング位置に搬入された容器10内
に竪向きに収容されているワーク1の中心穴1a
内に挿入係合し、該ワーク1を1枚ずつ持上げる
上下動自在の持上げアーム11と、ガイド14に
沿つて前後進自在の基台15上に互いに開閉自在
に取付けられ、上記持上げアーム11で持上げら
れたワーク1の外周面を挟持する2つの溝付きロ
ーラ形の挟持片13,13を備えた上下一対の供
給アーム12,12と、該供給アーム12,12
の前方に設けられ、該供給アーム12,12から
のワーク1を受取つて隣の第1洗浄ユニツト3に
搬送する搬送体16と、該搬送体16の移動を案
内するレール部材17とを備えている。
上記搬送体16は、第4図からも分るように、
レール部材17上に移動自在に取付けられた台板
18上に、左右一対の挟持アーム21,21をそ
の基端を支点として接離方向へ回動自在に立設
し、これらの挟持アーム21,21にそれぞれ2
つの溝付きローラ形の挟持片22,22を取付け
たもので、上記挟持アーム21,21を回動させ
ることによつてそれらの挟持片22,22間にワ
ーク1の外周を挟持するようになつている。而し
て、供給アーム12,12からのワーク1を挟持
アーム21,21が受取る場合には、第5図に示
すように、挟持アーム21,21における挟持片
22,22は左右方向から、供給アーム12,1
2における挟持片13,13は上下方向からそれ
ぞれワーク1を挟持するため、それらの挟持位置
が競合することはない。
また、上記レール部材17は、供給ユニツト2
における第1洗浄ユニツト3側の端部にまで延設
され、該第1洗浄ユニツト3を接続したときにそ
のレール部材36と相互に連結できるようになつ
ている。
上記供給ユニツト2に隣接して設けられた第1
洗浄ユニツト3は、洗剤を使用してワーク1の洗
浄を行うもので、第3図に具体的に示すように、
自動開閉する扉30aを前面に備えた洗浄室30
を有し、この洗浄室30内に、ワーク1を竪向き
に支持して回転させる支持回転軸31と、ワーク
1を洗浄するブラシ機構32と、洗浄部位に洗浄
液を供給する洗浄液供給ノズル33,33(第6
図)と、上記支持回転軸31との間でワーク1の
受渡しを行う受渡しアーム34,34とを配設す
ると共に、洗浄室30の前方に、ワーク1を搬送
する搬送体35と、該搬送体35の移動を案内す
るレール部材36とを配設してなるものである。
上記支持回転軸31は、洗浄室30の後壁30
bに軸受部材37により水平に支承され、該支持
回転軸31の後端部は、洗浄室30の背後に区画
形成された駆動室38内に突出せしめられ、ベル
ト39によつてモータ40に連結されている。ま
た、該支持回転軸31の先端には、第6図から明
らかなように、複数の爪41aを該回転軸31の
径方向に拡縮自在としたチヤツク部41が形成さ
れ、該チヤツク部41をワーク1の中心穴1a内
に挿入して拡開させることにより、該ワーク1の
支持が行われるようになつている。
一方、上記ブラシ機構32は、第3図から明ら
かなように、洗浄室30内に枢軸44を中心にし
て洗浄位置と待機位置とに回動自在に支持アーム
45を設け、この支持アーム45の先端の支軸4
7に、一対のブラシアーム48,48を該支軸4
7を中心に揺動自在且つ互いに接離方向に移動自
在に取付け、これらのブラシアーム48,48に
それぞれ円板形のブラシ50,50を回転自在に
取付けたもので、上記一対のブラシアーム48,
48の揺動及び接離方向への移動は、支持アーム
45に取付けられた図示しない駆動手段により行
われるようになつており、また、上記ブラシ5
0,50の駆動回転は、上記支軸47を貫通する
駆動軸51により、歯車52a〜52cを介して
行われるようになつている。
従つて、ブラシアーム48,48を移動させて
2つのブラシ50,50間にワーク1を挟持さ
せ、該ブラシ50,50の回転と支軸47を中心
とするブラシアーム48,48の揺動とを生じさ
せることにより、上記ワーク1の洗浄が行われ
る。
上記ブラシ50,50は、第7図に示すよう
に、基板50aの対向面にスポンジ状部材や繊維
状部材からなる多数の払拭片50bを取付けるこ
とにより構成されている。
また、上記ノズル33,33は、第6図に示す
ように、支持回転軸31に支持されたワーク1に
対してそのワーク面内の斜め上方に2個配設さ
れ、その一方から洗剤が、他方から純水が供給さ
れるようになつている。
さらに、上記受渡しアーム34,34は、第1
図及び第3図から明らかなように、支持回転軸3
1の軸線と平行に設けられたガイド杆55に支持
部材56を移動自在に取付け、この支持部材56
にそれぞれ上下動自在に取付けたもので、これら
の受渡しアーム34,34の先端には、ワーク1
の外周を挟持する2つの溝付きローラ形の挟持片
58,58がそれぞれ設けられ、上記供給アーム
12,12と同様にワーク1を上下から挟持でき
るようになつている。
また、上記搬送体35は、供給ユニツト2にお
ける搬送体16と実質的に同一構成を有するもの
であるから、同一部分に同一符号を付してその説
明は省略する。
一方、レール部材36は、その両側に位置する
供給ユニツト2及び第2洗浄ユニツト4のレール
部材17及び36と連結できるようにするため、
洗浄ユニツト3の幅と略々同じに形成されてい
る。
また、第2洗浄ユニツト4は、純水のみを使用
してワーク1を洗浄するもので、上記第1洗浄ユ
ニツト3は、搬送体60がワーク1に付着した洗
浄液の拭取り機構61を有している点、及び、2
つの洗浄液供給ノズル33,33が、第8図に示
すように、ワーク1に対してその軸線方向の斜め
上方に配設され、その両方から純水が供給される
ようになつている点が相違するのみで、その他の
基本構成は実質的に同一である。従つて、基本構
成については同一部分に同一符号を付してその説
明を省略する。
上記拭取り機構61は、洗浄が終了したワーク
1を次の乾燥ユニツト5に搬送する間に、ワーク
1の中心孔1aに近い部分に付着した洗浄液を拭
取るもので、第9図及び第10図に具体的に示す
ように、ワーク1の両側に配設された第1テープ
ユニツト61a及び第2テープユニツト61bか
らなつており、これらのテープユニツト61a,
61bは、台板18上に取付けられたプレート6
2a,62b上に、両端を巻取ローラ64a,6
4bと供給ローラ65a,65bとに巻掛けら
れ、且つ中間位置を複数のガイドローラ66a,
66bに巻掛けられた拭取りテープ63a,63
bを配設すると共に、該拭取りテープ63a,6
3bをワーク1に押付ける押圧子67a,67b
及びその押付用シリンダ68a,68bを配設す
ることにより構成されており、第1テープユニツ
ト61aは台板18上に固定され、第2テープユ
ニツト61bは、図示しないシリンダ等の駆動手
段によつて、第9図に示すように拭取りテープ6
3bが他方の拭取りテープ63aと相対向する拭
取り位置と、第10図に示すように拭取りテープ
63bが起立する待機位置とに回動自在に取付け
られている。そして、通常はこの待機位置に回動
保持せしめられている。なお、第2図において
は、分り易くするために第2テープユニツト61
bを拭取り位置に回動させて示しているが、実際
にこの状態では、第2テープユニツト61bは上
記待機位置にある。
なお、上記押圧子67a,67bの押圧面は、
ワーク1の中心穴1aや溝1b(第5図)など、
表面の凹凸形状に合わせた形状に形成しておくこ
ともできる。
このような拭取り機構61を搬送体60上に設
けることは、専用の拭取り機構設置空間を設ける
場合に比してスペースの節約になるばかりでな
く、ワーク1の搬送途中でその拭取りを行うこと
により、作業時間の短縮にもつながる。また、ワ
ーク1の中心孔1aに近い部分に付着した洗浄液
を拭取ることにより、次の乾燥工程で、ワークの
回転によりその中心孔1aに近い部分に付着した
洗浄液が該ワークの表面を伝つて周囲に飛散し、
しみを作るのが防止される。
上記第2の洗浄ユニツト4に隣接して配設され
た乾燥ユニツト5は、第1図及び第2図に示すよ
うに、他と区画された乾燥室70を有し、該乾燥
室70内にワーク1を縦向きに支持して回転させ
る支持回転軸71と、回転するワーク1の両面に
洗浄用の温純水及び冷純水を供給するための供給
ノズル72,72と、水の飛散を防止するカバー
73と、ワーク1の受渡しアーム74とが配設さ
れ、乾燥室70の前方には、搬送体75とレール
部材76とが配設されている。
上記支持回転軸71は、上記洗浄ユニツト3,
4における支持回転軸31と同一構造を有するも
のであるから、対応部分に洗浄ユニツト3,4と
同一の符号を付してその説明は省略する。
また、上記供給ノズル72,72は、第11図
にも示すように、上記拭取り機構61により拭き
取りが行われた部位よりも外側の位置、即ち信号
面上の位置にワーク1の半径方向へ変移可能に配
設され、該信号面にまず温純水を、続いて冷純水
を供給して仕上げ洗浄を行うものである。この場
合、温純水用と冷純水用に別々の供給ノズルを設
けてもよい。
さらに、上記カバー73は、支持回転軸71の
軸線方向に移動自在に配設され、ワーク1を仕上
げ洗浄及び乾燥する際に前進してそれを被うよう
になつており、その内部には、第11図からも明
らかなように、傾斜する多数の遮蔽板78が一定
間隔で円周状に設けられ、ワーク1から四散して
カバー73に衝突した洗浄液がはね返つてワーク
1に付着するのを防止している。
また、上記受渡しアーム74及び搬送体75、
レール部材76は、第1洗浄ユニツト3のものと
実質的に同一構成を有している。
上記乾燥ユニツト5に隣接して配設された取出
ユニツト6は、乾燥されたワーク1をアンローデ
イング位置にセツトされた容器10内に順次収納
するもので、供給ユニツト2における供給アーム
12,12及び持上げアーム11と同様の構成を
有する受取アーム81,81及び収納アーム82
を備え、該受取アーム81,81の前方にレール
部材83が配設されている。
而して、上記各ユニツト2〜6は、それらの工
程中心間距離aが等しくなるように構成され、ま
た、各ユニツトにおける搬送体16,35,6
0,75は、それらの間に設けられた連結部材2
3によつて上記工程中心間距離aと同じ間隔で連
結されている。そして、これらの搬送体を駆動す
るシリンダ等の駆動源84(第1図)が供給ユニ
ツト2に設けられると共に、該供給ユニツト2の
搬送体16に連結され、この駆動源84によつて
各搬送体16,35,60,75が上記工程中心
間距離aだけ同期的に往復駆動され、ワーク1を
次々に隣接するユニツトに搬送するようになつて
いる。即ち、上記連結部材23と駆動源84とに
よつて、搬送体16,35,60,75を一定間
隔で同期的に駆動するための駆動手段が構成され
ている。
上記搬送体の駆動手段としては、それらを電気
的に同期をとりながら駆動するタイプのものを使
用することもできる。
なお、図中79は、洗浄室30及び乾燥室70
にそれぞれ設けられ、各室内の塵埃を除去してそ
れらを高度の清浄状態に保持するためのクリーン
ユニツトである。このようなクリーンユニツト
は、取出ユニツト6にも同様に設けることができ
る。
次に、上記構成を有する洗浄装置の作用につい
て説明する。
まず、洗浄すべきワーク1の種類や洗浄方法等
に応じて各ユニツトの数や種類、配列順序等が決
められ、それらが横一列に接続される。この接続
により、各ユニツト2〜6のレール部材17,3
6,36,76,83は一体に連結されて一本の
レールを構成し、また、各搬送体16,35,6
0,75も連結部材23により一定間隔aで一体
的に連結される。
供給ユニツト2において、持上げアーム11に
より容器10から持上げられた未洗浄ワーク1が
供給アーム12,12によつて搬送体16に渡さ
れると、このワーク1は、該搬送体16によつて
第1洗浄ユニツト3に搬送され、受渡しアーム3
4によつて支持回転軸31に供給される。このと
き、洗浄室30の扉30aは開放している。そし
て、この扉30aが閉鎖したあと、上記支持回転
軸31に保持されたワーク1は、高速で回転駆動
されながらブラシ機構32における一対のブラシ
50,50間に挟持されて洗浄液供給ノズル33
から供給される洗剤により洗浄される。このと
き、各搬送体は元の位置に復帰している。
洗浄の終つたワーク1は、扉30aの開いた洗
浄室30から受渡しアーム34により搬出されて
搬送体35に渡されたあと、該搬送体35によつ
て次の第2洗浄ユニツト4に送られ、同様にして
純水による洗浄が行われる。
純水による洗浄の終つたワーク1は、受渡しア
ーム34により搬送体60に渡されて乾燥ユニツ
ト5に送られるが、その搬送の途中で、中心穴1
aに近い部分に付着した水分が拭取り機構61に
おける2つのテープユニツト61a,61bの拭
取りテープ63a,63bによつて拭き取られ
る。即ち、上記搬送の途中で、第10図の待機位
置にあつた第2テープユニツト61bが第9図の
拭取り位置に回動し、同時に押圧シリンダ68
a,68bが作動して押圧子67a,67bを前
進させるため、拭取りテープ63a,63bがワ
ーク1に圧接して拭取りが行われる。
そして、上記ワーク1が受渡しアーム74によ
り支持回転軸71に渡されて保持されると、カバ
ー73が前進してきてワーク1を被い、回転する
ワーク1の両面に供給ノズル72から温純水と冷
純水とが経時的に供給されて仕上げ洗浄が行わ
れ、同時に、高速回転により水分が吹飛ばされて
その乾燥が行われる。上記温純水及び冷純水は、
第11図に示すように、拭取りの行われた部分よ
り外側の部分に、ノズル72をワーク1の内側か
ら外側に向けて半径方向へ移動させながら供給さ
れ、これによつて、信号面に残留している界面活
性剤などが除去される。
上記乾燥工程においては、ワーク1の中心付近
の水分が予め拭き取られているので、それが回転
によりデイスク面を伝つて外方へ飛散することが
なく、拭き取りを行わない場合に比べてしみ等の
発生する確率は非常に小さい。しかも、ワーク1
を高速回転させて水切りと乾燥とを行うようにし
ているため、加熱による乾燥などに比べて乾燥が
非常に速く、且つ確実である。
而して、仕上げ洗浄と乾燥とが終つたワーク1
は、搬送体75により取出ユニツト6に送られ、
受取りアーム81,81によつて収納アーム82
に渡されたあと、容器10内に順次収納される。
なお、上記一連の動作は、マイクロコンピユー
タによつて自動的に制御されるものである。
[発明の効果] 上記構成を有する本発明によれば、洗浄の終つ
たワークを高速回転させて水切りすると共に乾燥
させるようにしているため、その乾燥を非常に短
時間で確実に行うことができ、しかも、乾燥の前
に中心付近に付着した水分を拭き取るようにして
いるので、その部分の水分が回転によりワークの
表面を伝つて外方へ流動することがなく、水分に
よるしみの発生が抑えられる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す部分破断正面
図、第2図はその平断面図、第3図は第2図の部
分拡大図、第4図は搬送体の側面図、第5図はワ
ークの受渡し状態を説明するための正面図、第6
図及び第8図は洗浄液供給ノズルの配置について
の説明図、第7図はブラシの側面図、第9図及び
第10図は拭取り機構の異なる使用状態での平面
図及び正面図、第11図は乾燥室の部分拡大正面
図である。 1……ワーク、3,4……洗浄ユニツト、5…
…乾燥ユニツト、60……搬送体、61……拭取
り機構、61a,61b……拭取りユニツト、6
3a,63b……拭取りテープ、71……支持回
転軸。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 デイスク形のワークを洗浄する洗浄部と、洗
    浄されたワークを乾燥させる乾燥部とを備えた洗
    浄装置において、上記洗浄部と乾燥部との間に洗
    浄が終つたワークの中心付近に付着した水分を拭
    き取るための拭取り機構を設けると共に、乾燥部
    に、ワークを高速回転させて水切り乾燥させるた
    めの支持回転軸を設けたことを特徴とする洗浄装
    置。 2 上記拭取り機構が、洗浄部から乾燥部へワー
    クを搬送する搬送体上に設けられていることを特
    徴とする特許請求の範囲第1頁記載の洗浄装置。 3 上記拭取り機構が、巻取り自在の拭取りテー
    プを備えた2つの拭取りユニツトからなつてお
    り、一方の拭取りユニツトが、拭取り位置と待機
    位置とに回動自在であることを特徴とする特許請
    求の範囲第1頁記載の洗浄装置。
JP22471086A 1986-09-22 1986-09-22 洗浄装置 Granted JPS6380890A (ja)

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JP22471086A JPS6380890A (ja) 1986-09-22 1986-09-22 洗浄装置

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JPS6380890A JPS6380890A (ja) 1988-04-11
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