JPH04199729A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH04199729A JPH04199729A JP2334210A JP33421090A JPH04199729A JP H04199729 A JPH04199729 A JP H04199729A JP 2334210 A JP2334210 A JP 2334210A JP 33421090 A JP33421090 A JP 33421090A JP H04199729 A JPH04199729 A JP H04199729A
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- Japan
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- arms
- pair
- arm
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- fulcrum
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Program-controlled manipulators
- B25J9/10—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
- B25J9/106—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links
- B25J9/1065—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms
- B25J9/107—Program-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with articulated links with parallelograms of the froglegs type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/70—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
- H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
- H10P72/7602—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade or gripped by a gripper for conveyance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、搬送装置に関する。
（従来の技術）
例えば、１へ導体素子製造装置において半導体ウェハを
搬送する装置として、フロブレツブ方式の搬送装置が多
用されている。これは、基台に離間配置した２つの第１
の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアームと
、この一対の第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のアー
ムと、この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持
する２つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを
有して構成される。この種のフロブレツブ方式の搬送装
置は、特開昭５４−１０９７８．６２−１８１６７、６
１−２７８１４９ 、 ６２−１５０７３５ 、 ６２
−２１６４４．６０ｉ２０５２０ 。
搬送する装置として、フロブレツブ方式の搬送装置が多
用されている。これは、基台に離間配置した２つの第１
の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアームと
、この一対の第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のアー
ムと、この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持
する２つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを
有して構成される。この種のフロブレツブ方式の搬送装
置は、特開昭５４−１０９７８．６２−１８１６７、６
１−２７８１４９ 、 ６２−１５０７３５ 、 ６２
−２１６４４．６０ｉ２０５２０ 。
６０−１８３７３６ 、６２−２１１３４９．６２−１
６１６０８ 、 Ｉ’１ｌ−９９３４５゜Ｂ１−９９３
４４．６１−９０９０３．８１−９０８８７．６ｉ８７
３５１．６１−７１３８３．６２−４１１２９等に多数
開示されている。
６１６０８ 、 Ｉ’１ｌ−９９３４５゜Ｂ１−９９３
４４．６１−９０９０３．８１−９０８８７．６ｉ８７
３５１．６１−７１３８３．６２−４１１２９等に多数
開示されている。
また、特開昭６１−８７３５１号公報では、第１．第２
のアームの重なり状態を経た後に、上記支持部を基台の
反対方向に移動させる装置が開示されている。
のアームの重なり状態を経た後に、上記支持部を基台の
反対方向に移動させる装置が開示されている。
（発明が解決しようとする課題）
被搬送体の支持部を基台の前後または左右に移動させる
には、一対の第１のアームを１．、８０度回転駆動させ
ることで、原理的に達成できる。この種の搬送装置とし
てスカラーロボットが一般に用いられている。しかし、
占有スペースが大きくロードロックチャンバーのように
スルーブツトを向」ニさせる半導体ウェハ処理装置には
適用できない。さらに、」二連したフロブレツブ方式の
搬送装置では、第１．第２の重なり合う状態では、両ア
ームの支点間距離の有効長さが同一である場合に、］二
二重なり状態を乗り越える際にアームに負荷か作用し、
装置の振動、駆動不良を生じてしまい円滑な搬送が不可
能であることが判明した。
には、一対の第１のアームを１．、８０度回転駆動させ
ることで、原理的に達成できる。この種の搬送装置とし
てスカラーロボットが一般に用いられている。しかし、
占有スペースが大きくロードロックチャンバーのように
スルーブツトを向」ニさせる半導体ウェハ処理装置には
適用できない。さらに、」二連したフロブレツブ方式の
搬送装置では、第１．第２の重なり合う状態では、両ア
ームの支点間距離の有効長さが同一である場合に、］二
二重なり状態を乗り越える際にアームに負荷か作用し、
装置の振動、駆動不良を生じてしまい円滑な搬送が不可
能であることが判明した。
そこで、本発明のｌ」的とするところは、被搬送体の支
持部を基台の前後また（、；ｌ左右に円滑に移動させる
ことができる搬送装置を提供することにある。
持部を基台の前後また（、；ｌ左右に円滑に移動させる
ことができる搬送装置を提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
第１の発明は、基台に離間配置して設けられた２つの第
１の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアーム
と、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のアー
ムと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する２
つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有し、
上記第１．第２のアームの重なり状態を経て、上記支持
部を上記基台の前または後ろに直線移動させる搬送装置
において、前記第１の支点間距離または第３の支点間距
離の少なくともいずれか一方を可変としたことを特徴と
する。
１の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアーム
と、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のアー
ムと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する２
つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有し、
上記第１．第２のアームの重なり状態を経て、上記支持
部を上記基台の前または後ろに直線移動させる搬送装置
において、前記第１の支点間距離または第３の支点間距
離の少なくともいずれか一方を可変としたことを特徴と
する。
第２の発明は、基台に離間配置して設けられた２つの第
１の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアーム
と、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する−−は − 対の第２のアームと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する２
つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有し、
上記第１．第２のアームの重なり状態を経て、上記支持
部を上記基台の前または後ろに直線移動させる搬送装置
において、上記一対の第１のアームまたは一対の第２の
アームの少なくともいずれか一方に、アーム長軸方向へ
の変形を許容する撓み部を設けたことを特徴とする。
１の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアーム
と、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する−−は − 対の第２のアームと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する２
つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有し、
上記第１．第２のアームの重なり状態を経て、上記支持
部を上記基台の前または後ろに直線移動させる搬送装置
において、上記一対の第１のアームまたは一対の第２の
アームの少なくともいずれか一方に、アーム長軸方向へ
の変形を許容する撓み部を設けたことを特徴とする。
（作用）
第１．第２のアームの重なり状態を乗り越える際にアー
ムに負荷が作用することは、第１．第２のアーム長が同
一である場合に逃げ場がないことに起因していることを
見出した。第１の発明では、支点間距離を可変とするこ
とで、第２の発明ではアームの長手方向への変形を許容
することで、それぞれ逃げ場を確保し、円滑な搬送を可
能としている。
ムに負荷が作用することは、第１．第２のアーム長が同
一である場合に逃げ場がないことに起因していることを
見出した。第１の発明では、支点間距離を可変とするこ
とで、第２の発明ではアームの長手方向への変形を許容
することで、それぞれ逃げ場を確保し、円滑な搬送を可
能としている。
（実施例）
以下、本発明の一実施例について、図面を参照して説明
する。まず、この搬送装置３０の概要について、第２図
および第３図を参照して説明する。
する。まず、この搬送装置３０の概要について、第２図
および第３図を参照して説明する。
この搬送装置３０は、フロブレツブ方式の搬送アームを
採用しており、トップアーム３２の自由端側には被搬送
体例えば半導体ウニ１１を載置するための載置部３２ａ
が設けられている。とのト・ツブアーム３２を搬送移動
させるために、固定端側には第１支点３４ａ、３４ ａ
を中心に回転駆動されるように一対の第１のアーム３４
’、３４が設けられ、これら一対の第１のアーム３４．
３４と前記トップアーム３２と連結する一対の第２のア
ーム３６．３６が設けられている。前記一対の第２のア
ーム３６．３６は、一対の第１のアーム３４゜３４側に
設けた第２支点３６ａ、３６ａを中心に回転駆動される
ように構成されている。一方、前記トップアーム３２は
第３支点３２ｂ、３２ｂを介して前記第２のアーム３６
．３６に回転自在に支持されている。このフロブレツブ
方式の搬送アームの駆動原理については、上述した各種
公報により開示され公知であるので、その詳細な説明は
省略する。
採用しており、トップアーム３２の自由端側には被搬送
体例えば半導体ウニ１１を載置するための載置部３２ａ
が設けられている。とのト・ツブアーム３２を搬送移動
させるために、固定端側には第１支点３４ａ、３４ ａ
を中心に回転駆動されるように一対の第１のアーム３４
’、３４が設けられ、これら一対の第１のアーム３４．
３４と前記トップアーム３２と連結する一対の第２のア
ーム３６．３６が設けられている。前記一対の第２のア
ーム３６．３６は、一対の第１のアーム３４゜３４側に
設けた第２支点３６ａ、３６ａを中心に回転駆動される
ように構成されている。一方、前記トップアーム３２は
第３支点３２ｂ、３２ｂを介して前記第２のアーム３６
．３６に回転自在に支持されている。このフロブレツブ
方式の搬送アームの駆動原理については、上述した各種
公報により開示され公知であるので、その詳細な説明は
省略する。
前記第１支点３４ａ、３４ａおよび第２支点３６ａ、３
６ａの駆動力伝達経路は下記のとおりである。
６ａの駆動力伝達経路は下記のとおりである。
まず、アーム駆動を行なうための基台４０が設けられ、
この基台４０には第３図に示すように駆動源４２例えば
モータの回転軸が連結されている。
この基台４０には第３図に示すように駆動源４２例えば
モータの回転軸が連結されている。
この駆動源４２からの駆動力は、内部にベルト伝達機構
およびギア駆動機構等が内蔵された駆動伝達部４４に伝
達される。また、前記第１のアーム３４を覆うアームカ
バ−３８内部には、前記駆動伝達部４４からの駆動力を
受けて第１支点３４ａ。
およびギア駆動機構等が内蔵された駆動伝達部４４に伝
達される。また、前記第１のアーム３４を覆うアームカ
バ−３８内部には、前記駆動伝達部４４からの駆動力を
受けて第１支点３４ａ。
３４ａ自体を回転駆動する機構と、第２支点３６ａ、３
６ａに回転力を伝達する駆動機構とが内蔵され、これら
は例えばベルト伝達駆動によって実現されている。
６ａに回転力を伝達する駆動機構とが内蔵され、これら
は例えばベルト伝達駆動によって実現されている。
次に、トップアーム３２を第１図の基台４０の左側より
右側に円滑に移動させる機構について、第１図を参照し
て説明する。
右側に円滑に移動させる機構について、第１図を参照し
て説明する。
まず、各第１のアーム３４の支点間距離りと、各第２の
アーム３６の支点間距離りとは等しく設定され、また、
トップアーム３２と一対の第２のアーム３６の連□結点
である第３支点３２ａに特徴的な構成を有している。
アーム３６の支点間距離りとは等しく設定され、また、
トップアーム３２と一対の第２のアーム３６の連□結点
である第３支点３２ａに特徴的な構成を有している。
すなわち、トップアーム３２の裏面側には２カ所に溝６
０．６０が形成され、この溝６０．６０に臨んで２本の
リニアスライド軸６２．６２が固定されている。この溝
６０．６０内部には、溝幅よりもわずかに幅の狭いスラ
イドハウジング６４゜６４が収容され、２本のリニアス
ライド軸６２゜６２にベアリング６６．６６を介して挿
通支持されることで、スライドハウジング６４．６４は
第１図（Ａ）の矢印Ｅ方向に移動可能となっている。
０．６０が形成され、この溝６０．６０に臨んで２本の
リニアスライド軸６２．６２が固定されている。この溝
６０．６０内部には、溝幅よりもわずかに幅の狭いスラ
イドハウジング６４゜６４が収容され、２本のリニアス
ライド軸６２゜６２にベアリング６６．６６を介して挿
通支持されることで、スライドハウジング６４．６４は
第１図（Ａ）の矢印Ｅ方向に移動可能となっている。
また、前記スライドハウジング６４．６４の外側の側面
にはそれぞれ切欠部６４ ａ、６４ ａが形成され、こ
の切欠部６４ａ、６４ａと前記溝６０の壁面との間には
圧縮コイルスプリング６８．６８が配設されている。こ
の結果、前記スライドハウジンク６４，６４は共に内側
に移動するように付勢されている。さらに、前記第２の
アーム３６゜３６の先端側にはそれぞれ支点軸７０．７
０が固定され、その上端側にて前記スライドハウジング
６４．６４を回転自在に支持している。この結果、この
スライドハウジング６４．６４を介することで、前記ト
ップアーム３２を一対の第２のアーム３６．３６に対し
て回転自在に支持できるように構成されている。
にはそれぞれ切欠部６４ ａ、６４ ａが形成され、こ
の切欠部６４ａ、６４ａと前記溝６０の壁面との間には
圧縮コイルスプリング６８．６８が配設されている。こ
の結果、前記スライドハウジンク６４，６４は共に内側
に移動するように付勢されている。さらに、前記第２の
アーム３６゜３６の先端側にはそれぞれ支点軸７０．７
０が固定され、その上端側にて前記スライドハウジング
６４．６４を回転自在に支持している。この結果、この
スライドハウジング６４．６４を介することで、前記ト
ップアーム３２を一対の第２のアーム３６．３６に対し
て回転自在に支持できるように構成されている。
次に、作用について説明する。
トップアーム３２を第１図（Ａ）に示す状態より右側に
後退駆動させる場合には、第１支点３４ａの駆動により
第１図（Ａ）に示す下側の第１のアーム３４を反時計方
向に回転させ、同時に、第２駆動支点３６ａの駆動によ
り、下側の第２のアーム３６を時計方向に回転させる。
後退駆動させる場合には、第１支点３４ａの駆動により
第１図（Ａ）に示す下側の第１のアーム３４を反時計方
向に回転させ、同時に、第２駆動支点３６ａの駆動によ
り、下側の第２のアーム３６を時計方向に回転させる。
他方の第１゜第２のアーム３４．３６は、上記アームに
対して反転するように駆動されることになる。ここで、
一対の第１のアーム３４．３４の移動軌跡は第４図の通
りとなる。そして、一対の第１のアーム３４．３４が９
０度回転することで、一対の第１のアーム３４．３４と
一対の第２のアーム３６，３６か重なり合うことになる
。従来は、アームが重なり合う際及びその復電なり点を
乗り越える際には、支点及びアームに負荷が作用し、こ
れに起因して装置の振動、駆動不良か生して円滑な搬送
動作を確保できなかった。本実施例では従動軸である前
記支点軸７０．．７０が、外側に向って移動可能である
ことから、その負荷を吸収して円滑な駆動を実現してい
る。すなわち、スライドハウジング６４．６４は、前記
圧縮コイルスプリング６８゜６８の（＝ｌＩ勢力に抗し
て、リニアスライド輔６２゜６２に沿って外側に向く矢
印Ｅ方向に開くことが可能であるので、アーム重なり時
の支点軸７０゜７０の逃げを確保することかでき、装置
の振動。
対して反転するように駆動されることになる。ここで、
一対の第１のアーム３４．３４の移動軌跡は第４図の通
りとなる。そして、一対の第１のアーム３４．３４が９
０度回転することで、一対の第１のアーム３４．３４と
一対の第２のアーム３６，３６か重なり合うことになる
。従来は、アームが重なり合う際及びその復電なり点を
乗り越える際には、支点及びアームに負荷が作用し、こ
れに起因して装置の振動、駆動不良か生して円滑な搬送
動作を確保できなかった。本実施例では従動軸である前
記支点軸７０．．７０が、外側に向って移動可能である
ことから、その負荷を吸収して円滑な駆動を実現してい
る。すなわち、スライドハウジング６４．６４は、前記
圧縮コイルスプリング６８゜６８の（＝ｌＩ勢力に抗し
て、リニアスライド輔６２゜６２に沿って外側に向く矢
印Ｅ方向に開くことが可能であるので、アーム重なり時
の支点軸７０゜７０の逃げを確保することかでき、装置
の振動。
駆動不良を生ずることを確実に防止できる。尚、トップ
アーム３２は、同じスプリング力の圧縮コイルスプリン
グ６８．６８によって固定されているため、前記スライ
ドハウジング６４．６４の動きに関係なく、その進退方
向に沿って直線軌道を確保することができる。
アーム３２は、同じスプリング力の圧縮コイルスプリン
グ６８．６８によって固定されているため、前記スライ
ドハウジング６４．６４の動きに関係なく、その進退方
向に沿って直線軌道を確保することができる。
」二重実施例と同様に、第３支点３２ａ、３２ａの距離
を可変する構成としては、第５図に示すものでも良い。
を可変する構成としては、第５図に示すものでも良い。
同図ではｌ・ツブアーム３２と一対の第２のアーム３６
．３６とを連結する連結部材８０に撓み部を設けること
で対処している。すなわち、前記連結部材８０は一対の
第２のアーム３６．３６を回転自在に支持する第３支点
３２ａ。
．３６とを連結する連結部材８０に撓み部を設けること
で対処している。すなわち、前記連結部材８０は一対の
第２のアーム３６．３６を回転自在に支持する第３支点
３２ａ。
３２ａを有する支点支持部材８２と、トップアーム３２
を固定するアーム固定部材８４とから構成されている。
を固定するアーム固定部材８４とから構成されている。
そして、前記支点支持部材８２にはＴ時型の切り欠き部
８６が設けられ、かつ、部材８２．８４の境界には、そ
の幅方向両端部より中央に向けて切り欠かれた切り欠き
部８８．８８が形成されている。この結果、一対の第１
のアーム３４．３４が９０度回転して負荷が作用した際
には、強度的に弱い部分である切り欠き部８６，８８．
８８の存在によって、前記連結部材８０の弾性変形し、
第３支点３２ａ、、３２ａの支点間距離を可変できる。
８６が設けられ、かつ、部材８２．８４の境界には、そ
の幅方向両端部より中央に向けて切り欠かれた切り欠き
部８８．８８が形成されている。この結果、一対の第１
のアーム３４．３４が９０度回転して負荷が作用した際
には、強度的に弱い部分である切り欠き部８６，８８．
８８の存在によって、前記連結部材８０の弾性変形し、
第３支点３２ａ、、３２ａの支点間距離を可変できる。
第９図は、弾性変形により支点間距離を可変摺る他の実
施例を示したものである。
施例を示したものである。
同図において、一対の第２のアーム１００，１００は、
アームホルダー１２０を介してトップアーム１１０を回
転可能に支持している。一対の６第２のアーム１００の
先端側にはベアリング１０２が設けられ、このベアリン
グ１０２により回転体１０４を回転可能に支持している
。そして、この回転体が前記ボルダ−１２０にネジ１２
６により固定され、ホルダー１２０はネジ１１２により
トップアーム］］０に固定されている。
アームホルダー１２０を介してトップアーム１１０を回
転可能に支持している。一対の６第２のアーム１００の
先端側にはベアリング１０２が設けられ、このベアリン
グ１０２により回転体１０４を回転可能に支持している
。そして、この回転体が前記ボルダ−１２０にネジ１２
６により固定され、ホルダー１２０はネジ１１２により
トップアーム］］０に固定されている。
ボルダ−１２０は例えば４〜５ ｍｍ＋の板厚のＡＩ板
で構成され、前記回転体１０４，１．０４を固定支持す
る２つの位置の中心線に沿って、端面より中間部に亘っ
て所定幅で切り欠いたスリット１２２を合する。また、
スリッｌ−１，２２が開口しない側の領域では、スリッ
ト１２２の両側に大きく切り欠いた２つの切欠部１２４
ａ、１．２４ｂを有する。
で構成され、前記回転体１０４，１．０４を固定支持す
る２つの位置の中心線に沿って、端面より中間部に亘っ
て所定幅で切り欠いたスリット１２２を合する。また、
スリッｌ−１，２２が開口しない側の領域では、スリッ
ト１２２の両側に大きく切り欠いた２つの切欠部１２４
ａ、１．２４ｂを有する。
このような構造により、負荷によってホルダー１２０は
同図（Ａ）の矢印方向に弾性変形するので、第２の支点
間距離を可変できる。
同図（Ａ）の矢印方向に弾性変形するので、第２の支点
間距離を可変できる。
なお、第１支点３４ａ、３４ａ間距離を可変することで
も同様な作用か実現できるが、この場合には、第１支点
３４ａ、３４ａに回転駆動力を伝達する軸との関係を考
慮し、例えば撓み軸などとして、支点ずれの場合にも円
滑な回転伝達できる構成とする必要がある。
も同様な作用か実現できるが、この場合には、第１支点
３４ａ、３４ａに回転駆動力を伝達する軸との関係を考
慮し、例えば撓み軸などとして、支点ずれの場合にも円
滑な回転伝達できる構成とする必要がある。
また、アーム重なり時の負荷を吸収するためには、必ず
しも第１支点３４ａ、３４ ａ間距離、または第３支点
３２ａ、３２ａ間距離を可変するものに限らず、第１−
のアーム３４又は第２のアーム３６が、その軸方向に長
さを可変するものでも良い。このためにの−例としては
、例えば第６図に示すように、第２のアーム３６途中に
、負荷の作用によりアーム軸方向に変形するようにアー
ムを切り欠いて構成した撓み部９０を形成するものを挙
げることができる。
しも第１支点３４ａ、３４ ａ間距離、または第３支点
３２ａ、３２ａ間距離を可変するものに限らず、第１−
のアーム３４又は第２のアーム３６が、その軸方向に長
さを可変するものでも良い。このためにの−例としては
、例えば第６図に示すように、第２のアーム３６途中に
、負荷の作用によりアーム軸方向に変形するようにアー
ムを切り欠いて構成した撓み部９０を形成するものを挙
げることができる。
なお、本発明は」二足各実施例に限定されるものではな
く、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能であ
る。
く、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能であ
る。
次に、搬送装Ｗ３０のアームを一体的に回転する場合の
好適な実施例について説明する。
好適な実施例について説明する。
一般にこの種の搬送アームは、例えばセンダーよりウェ
ハを受は取り、プロセス室にウェハを受渡す場合には、
搬送アームをセンダ一部へ向かう方向とプロセス室へ向
かう方向とに回転駆動可能とする必要がある。この際、
従来はこの回転中心Ｂを第８図（Ａ）に示すようにトッ
プアーム３２の進退方向であるＡ方向と、前記第１支点
３４ａ。
ハを受は取り、プロセス室にウェハを受渡す場合には、
搬送アームをセンダ一部へ向かう方向とプロセス室へ向
かう方向とに回転駆動可能とする必要がある。この際、
従来はこの回転中心Ｂを第８図（Ａ）に示すようにトッ
プアーム３２の進退方向であるＡ方向と、前記第１支点
３４ａ。
３４ａを結んだ線との交点に設定していた。上記の回転
駆動は、同図（Ｂ）に示すようにトップアーム３２を後
退駆動させた位置にて実現されるので、同図に示すよう
に回転半径り、が大きくなり、搬送装置３０を収容する
ロードロックチャンバー１０の容積を大きく確保せざる
を得なかった。このような構成ては、ロードロックチャ
ンバー１０内部のデッドスペースが大きく、特に、大気
、真空状態を繰返すこの種のロードロックチャンバー１
０では、大気状態から所定真空度に達するまでの真空引
き時間が長くかかるという問題があった。
駆動は、同図（Ｂ）に示すようにトップアーム３２を後
退駆動させた位置にて実現されるので、同図に示すよう
に回転半径り、が大きくなり、搬送装置３０を収容する
ロードロックチャンバー１０の容積を大きく確保せざる
を得なかった。このような構成ては、ロードロックチャ
ンバー１０内部のデッドスペースが大きく、特に、大気
、真空状態を繰返すこの種のロードロックチャンバー１
０では、大気状態から所定真空度に達するまでの真空引
き時間が長くかかるという問題があった。
このような問題を解決するため、第７図に示すような構
成を採用することが望ましい。すなわち、同図（Ａ）に
示すように、前記第１支点３４ａ。
成を採用することが望ましい。すなわち、同図（Ａ）に
示すように、前記第１支点３４ａ。
３４ａを結ぶ辺を底辺とする二等辺三角形の頂点（この
頂点はトップアーム３２の後退移動方向に存在する）Ｂ
を回転中心とすることで解決することができる。特に、
この回転中心Ｂは、前記トップアーム３２を後退移動駆
動した際のトップアーム３２の長さを２分する位置に設
けるものが望ましい。そうすると、搬送装置３０を回転
駆動する際の回転半径は、トップアーム３２を２分する
長さである半径Ｄ２となり、この搬送装置３０を収容す
るロードロックチャンバー１０の容積を最小限に小さく
することが可能となり、回転時のデッドスペースをより
小さくすることができる。この結果、ロードロックチャ
ンバー１０が小型化され、大気状態より所定真空度に達
するまでの真空引き時間をも短縮することが可能となる
。
頂点はトップアーム３２の後退移動方向に存在する）Ｂ
を回転中心とすることで解決することができる。特に、
この回転中心Ｂは、前記トップアーム３２を後退移動駆
動した際のトップアーム３２の長さを２分する位置に設
けるものが望ましい。そうすると、搬送装置３０を回転
駆動する際の回転半径は、トップアーム３２を２分する
長さである半径Ｄ２となり、この搬送装置３０を収容す
るロードロックチャンバー１０の容積を最小限に小さく
することが可能となり、回転時のデッドスペースをより
小さくすることができる。この結果、ロードロックチャ
ンバー１０が小型化され、大気状態より所定真空度に達
するまでの真空引き時間をも短縮することが可能となる
。
［発明の効果コ
以上説明したように、本発明によれば一対の第１．第２
のアームが重なり合う際に作用する負荷を、支点間距離
を可変とし、あるいはアームの撓み変形によりアーム長
を可変とすることで吸収でき、被処理体を基台の反対方
向に搬送する駆動を、振動を生ずること無く確実かつ円
滑に実現できる。
のアームが重なり合う際に作用する負荷を、支点間距離
を可変とし、あるいはアームの撓み変形によりアーム長
を可変とすることで吸収でき、被処理体を基台の反対方
向に搬送する駆動を、振動を生ずること無く確実かつ円
滑に実現できる。
第１図（Ａ）、（Ｂ）は、本発明を適用した搬送装置の
主要部の一部を切欠した平面図、Ｉ−Ｉ断面図、 第２図は、第１図の搬送装置の全体平面図、第３図は、
第１図の搬送装置の全体正面図、第４図は、第１のアー
ムの移動軌跡を示す概略説明図、 第５図は、支点間距離を可変する構成の変形例を示す概
略説明図、 第６図は、アームを弾性変形させてアーム長を可変とす
る変形例を示す概略説明図、 第７図（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ回転半径を小さくで
きる搬送装置を説明するための概略説明図、 第８図（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ回転半径の大きな搬
送装置を説明するための概略説明図、第９図（Ａ）、（
Ｂ）は、支点間距離を可変する構成の変形例を示す概略
説明図である。 １０・・・ロードロックチャンバー、 ３０・・・搬送装置、 ３２・・・支持部材（トップアーム）、３２ａ・・・第
３の支点、 ３４・・・第１のアーム、 ３４ａ・・・第１の支点、 ３６・・・第２のアーム、 ３６ａ・・・第２の支点。 代理人 弁理士 井 上 −（他１名）−１８〜
主要部の一部を切欠した平面図、Ｉ−Ｉ断面図、 第２図は、第１図の搬送装置の全体平面図、第３図は、
第１図の搬送装置の全体正面図、第４図は、第１のアー
ムの移動軌跡を示す概略説明図、 第５図は、支点間距離を可変する構成の変形例を示す概
略説明図、 第６図は、アームを弾性変形させてアーム長を可変とす
る変形例を示す概略説明図、 第７図（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ回転半径を小さくで
きる搬送装置を説明するための概略説明図、 第８図（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ回転半径の大きな搬
送装置を説明するための概略説明図、第９図（Ａ）、（
Ｂ）は、支点間距離を可変する構成の変形例を示す概略
説明図である。 １０・・・ロードロックチャンバー、 ３０・・・搬送装置、 ３２・・・支持部材（トップアーム）、３２ａ・・・第
３の支点、 ３４・・・第１のアーム、 ３４ａ・・・第１の支点、 ３６・・・第２のアーム、 ３６ａ・・・第２の支点。 代理人 弁理士 井 上 −（他１名）−１８〜
Claims (3)
- （１）基台に離間配置して設けられた２つの第１の支点
を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアームと、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のアー
ムと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する２
つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有し、
上記第１、第２のアームの重なり状態を経て、上記支持
部を前または後ろに直線移動させる搬送装置において、 前記第１の支点間距離または第３の支点間距離の少なく
ともいずれか一方を可変としたことを特徴とする搬送装
置。 - （２）基台に離間配置して設けられた２つの第１の支点
を中心にそれぞれ回転する一対の第１のアームと、 この一対の各第１のアームの端部にそれぞれ設けられた
第２の支点を中心にそれぞれ回転する一対の第２のアー
ムと、 この一対の第２のアームの端部を回転自在に支持する２
つの第３の支点を形成した被搬送体の支持部とを有し、
上記第１、第２のアームの重なり状態を経て、上記支持
部を前または後ろに直線移動させる搬送装置において、 上記一対の第１のアームまたは一対の第２のアームの少
なくともいずれか一方に、アーム長軸方向への変形を許
容する撓み部を設けたことを特徴とする搬送装置。 - （３）請求項（１）または（２）において、上記基台は
、上記支持部の移動軌跡上であって２つの第１の支点を
結ぶ線上より離れた位置に設けた回転軸を中心に回転可
能である搬送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334210A JP2919065B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 搬送装置 |
| KR1019910021566A KR0165549B1 (ko) | 1990-11-29 | 1991-11-28 | 반송장치 |
| US07/799,999 US5195866A (en) | 1990-11-29 | 1991-11-29 | Conveying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2334210A JP2919065B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04199729A true JPH04199729A (ja) | 1992-07-20 |
| JP2919065B2 JP2919065B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=18274775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2334210A Expired - Fee Related JP2919065B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 搬送装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5195866A (ja) |
| JP (1) | JP2919065B2 (ja) |
| KR (1) | KR0165549B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100457339B1 (ko) * | 1997-09-30 | 2005-01-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 이송암 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69027273T2 (de) * | 1989-10-20 | 1997-01-23 | Applied Materials Inc | Biaxialer Roboter mit magnetischer Kupplung |
| JPH06132380A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-05-13 | Fujitsu Ltd | 搬送装置 |
| US5643366A (en) * | 1994-01-31 | 1997-07-01 | Applied Materials, Inc. | Wafer handling within a vacuum chamber using vacuum |
| US6102164A (en) * | 1996-02-28 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Multiple independent robot assembly and apparatus for processing and transferring semiconductor wafers |
| US20040005211A1 (en) * | 1996-02-28 | 2004-01-08 | Lowrance Robert B. | Multiple independent robot assembly and apparatus and control system for processing and transferring semiconductor wafers |
| JP3907889B2 (ja) * | 1999-11-01 | 2007-04-18 | 康人 唐澤 | 基板搬送装置 |
| FR2812281A1 (fr) * | 2000-07-25 | 2002-02-01 | Dubuit Mach | Dispositif de chargement et/ou de dechargement de support de pile et poste de chargement et/ou dechargement correspondant |
| JP5306908B2 (ja) * | 2009-06-03 | 2013-10-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送モジュール |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5244985A (en) * | 1975-10-06 | 1977-04-08 | Maeda Kogyo Kk | Lateral shifting equipmnt of load supporting table |
| US4483654A (en) * | 1981-02-13 | 1984-11-20 | Lam Research Corporation | Workpiece transfer mechanism |
| US4909701A (en) * | 1983-02-14 | 1990-03-20 | Brooks Automation Inc. | Articulated arm transfer device |
| US4666366A (en) * | 1983-02-14 | 1987-05-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Articulated arm transfer device |
| EP0137819B1 (en) * | 1983-02-14 | 1987-08-12 | Aeronca Electronics, Inc. | Articulated arm transfer device |
| JPS6187351A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-05-02 | Canon Inc | ウエハ搬送用ハンドラ |
| SU1278201A1 (ru) * | 1985-04-30 | 1986-12-23 | Ордена Ленина Институт Кибернетики Им.В.М.Глушкова | Манипул тор |
| JPH0292153A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-03-30 | Canon Inc | 画像通信方式 |
| JP2629920B2 (ja) * | 1988-12-28 | 1997-07-16 | 株式会社デンソー | 工業用ロボット |
| JPH02311237A (ja) * | 1989-05-25 | 1990-12-26 | Fuji Electric Co Ltd | 搬送装置 |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2334210A patent/JP2919065B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-11-28 KR KR1019910021566A patent/KR0165549B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1991-11-29 US US07/799,999 patent/US5195866A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100457339B1 (ko) * | 1997-09-30 | 2005-01-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼 이송암 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920010817A (ko) | 1992-06-27 |
| JP2919065B2 (ja) | 1999-07-12 |
| KR0165549B1 (ko) | 1999-02-01 |
| US5195866A (en) | 1993-03-23 |
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