JPH0419996Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0419996Y2 JPH0419996Y2 JP1985102950U JP10295085U JPH0419996Y2 JP H0419996 Y2 JPH0419996 Y2 JP H0419996Y2 JP 1985102950 U JP1985102950 U JP 1985102950U JP 10295085 U JP10295085 U JP 10295085U JP H0419996 Y2 JPH0419996 Y2 JP H0419996Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- piezoelectric elements
- rod
- axial direction
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
考案の目的
(産業上の利用分野)
この考案はリニア型アクチユエータに係り、詳
しくは圧電素子にて駆動制御されるアクチユエー
タに関するものである。
しくは圧電素子にて駆動制御されるアクチユエー
タに関するものである。
(従来の技術)
従来、物体を直線状に変位移動させ、かつその
変位量を正確に制御したい場合、フイードバツク
制御を採用しないときにはステツピングモータに
頼る以外にはなかつた。
変位量を正確に制御したい場合、フイードバツク
制御を採用しないときにはステツピングモータに
頼る以外にはなかつた。
このステツピングモータは例えば第8図に示す
ように固定部20に設けられる少なくとも3個の
電磁石(2個のみ図示)のうち1つの電磁石21
Aが励磁されると、可動軸22が歯23の突部2
3aと一致して可動軸22が制止状態となつてお
り、この状態で電磁石21Aを消磁して隣接する
電磁石21Bを励磁すると、同電磁石21Bは可
動軸22の歯23の突部23aの近いものを吸引
するため可動軸22を右方向に移動させ、以下同
様にこの動作を繰り返すものである。
ように固定部20に設けられる少なくとも3個の
電磁石(2個のみ図示)のうち1つの電磁石21
Aが励磁されると、可動軸22が歯23の突部2
3aと一致して可動軸22が制止状態となつてお
り、この状態で電磁石21Aを消磁して隣接する
電磁石21Bを励磁すると、同電磁石21Bは可
動軸22の歯23の突部23aの近いものを吸引
するため可動軸22を右方向に移動させ、以下同
様にこの動作を繰り返すものである。
(考案が解決しようとする問題点)
ところが、ステツピングモータは軸の変位方向
のパワーが出ない割に消費電力が大きく、電磁石
を使用することから発熱を伴うとともに装置が重
くなる欠点があつた。又、ステツピングモータは
脱調する虞があり、さらに、制止状態においても
励磁し続けなければならないという問題があつ
た。
のパワーが出ない割に消費電力が大きく、電磁石
を使用することから発熱を伴うとともに装置が重
くなる欠点があつた。又、ステツピングモータは
脱調する虞があり、さらに、制止状態においても
励磁し続けなければならないという問題があつ
た。
この考案の目的は前記問題点を解決すべく消費
電力を押えることができ、発熱がほとんどなく、
簡単な構成よりなるリニア型アクチユエータを提
供するにある。
電力を押えることができ、発熱がほとんどなく、
簡単な構成よりなるリニア型アクチユエータを提
供するにある。
考案の構成
(問題点を解決するための手段)
この考案は前記目的を達成するために、ロツド
を軸線方向へ移動可能に配置するとともに、同ロ
ツドには軸線方向に沿つて連続する波状の当接面
を備えた被動部を設け、この被動部に対応して前
記軸線方向と直交する方向に変位する複数の圧電
素子を前記波状の当接面に対して互いに異なる位
相で固定配置し、前記各圧電素子をそれらの変位
時において相対する前記波状当接面の傾斜部に押
圧接触するようにしたものである。
を軸線方向へ移動可能に配置するとともに、同ロ
ツドには軸線方向に沿つて連続する波状の当接面
を備えた被動部を設け、この被動部に対応して前
記軸線方向と直交する方向に変位する複数の圧電
素子を前記波状の当接面に対して互いに異なる位
相で固定配置し、前記各圧電素子をそれらの変位
時において相対する前記波状当接面の傾斜部に押
圧接触するようにしたものである。
(作用)
前記構成により、各圧電素子に電圧が印加され
ると、各圧電素子が伸長変位して相対する波状当
接面の傾斜部に押圧接触する。すると、その傾斜
部に加えられた押圧力によりロツドは軸線方向へ
移動される。
ると、各圧電素子が伸長変位して相対する波状当
接面の傾斜部に押圧接触する。すると、その傾斜
部に加えられた押圧力によりロツドは軸線方向へ
移動される。
(実施例)
以下、この考案を具体化した一実施例を第1図
〜第6図に従つて説明する。
〜第6図に従つて説明する。
第1図はこの考案を具体化したリニア型アクチ
ユエータの要部正断面図を示し、互いに離間した
一対の軸受1に対し軸線方向へ摺動可能に支持さ
れたロツド2は前記軸受1間において被動部3が
四角枠状に形成されている。同被動部3の互いに
相対する側壁内面にはそれぞれ波状の当接面4が
互いに面対象状に形成されている。
ユエータの要部正断面図を示し、互いに離間した
一対の軸受1に対し軸線方向へ摺動可能に支持さ
れたロツド2は前記軸受1間において被動部3が
四角枠状に形成されている。同被動部3の互いに
相対する側壁内面にはそれぞれ波状の当接面4が
互いに面対象状に形成されている。
前記四角枠状の被動部3内において固定支持部
材5が図示しないフレームに対し固定されてい
る。なお、後記圧電素子におけるロツド2の軸線
方向に対し直交する方向への伸縮を妨げないよう
に前記固定支持部材5はできる限り幅を狭くする
のが好ましい。
材5が図示しないフレームに対し固定されてい
る。なお、後記圧電素子におけるロツド2の軸線
方向に対し直交する方向への伸縮を妨げないよう
に前記固定支持部材5はできる限り幅を狭くする
のが好ましい。
同固定支持部材5に3個並列に固定された積層
型の第一〜第三の圧電素子6,7,8は電圧が印
加されるとピエゾ効果によりロツド2の軸線方向
に対して直交する方向に伸長する素子であつて、
その上下両端には一対の接触子9,10,11が
それぞれ固着されている。同接触子9,10,1
1は前記当接面4の凹凸に対しそれぞれ120度の
位相差をもつて配置され、前記圧電素子6,7,
8に電圧が印加されると、軸線方向に対し直交す
る方向に伸長して前記接触子9,10,11を被
動部3の当接面4に押圧接触するようになつてい
る。又、前記接触子9,10,11の先端部には
前記当接面4に対し転動可能に転動球12が取着
されている。
型の第一〜第三の圧電素子6,7,8は電圧が印
加されるとピエゾ効果によりロツド2の軸線方向
に対して直交する方向に伸長する素子であつて、
その上下両端には一対の接触子9,10,11が
それぞれ固着されている。同接触子9,10,1
1は前記当接面4の凹凸に対しそれぞれ120度の
位相差をもつて配置され、前記圧電素子6,7,
8に電圧が印加されると、軸線方向に対し直交す
る方向に伸長して前記接触子9,10,11を被
動部3の当接面4に押圧接触するようになつてい
る。又、前記接触子9,10,11の先端部には
前記当接面4に対し転動可能に転動球12が取着
されている。
なお、第一〜第三の圧電素子6,7,8は第3
図に示すように制御装置13にてそれぞれ電圧が
印加されるとともに、その投入タイミング(動作
タイミング)も制御されるようになつている。
図に示すように制御装置13にてそれぞれ電圧が
印加されるとともに、その投入タイミング(動作
タイミング)も制御されるようになつている。
次に上記のように構成されたリニア型アクチユ
エータの作用について説明する。
エータの作用について説明する。
さて、第2図はいずれの圧電素子6,7,8に
も電圧を印加していない状態である。この状態か
ら制御装置13が第一の圧電素子6に電圧を印加
すると、第一の圧電素子6が第4図に示すように
ピエゾ効果により軸線方向に対し直交する方向に
伸長して接触子9が被動部3の当接面4に当接す
る。すると、被動部3は前記接触子9に押圧さ
れ、ロツド2が位相で120度右方向へ移動する。
も電圧を印加していない状態である。この状態か
ら制御装置13が第一の圧電素子6に電圧を印加
すると、第一の圧電素子6が第4図に示すように
ピエゾ効果により軸線方向に対し直交する方向に
伸長して接触子9が被動部3の当接面4に当接す
る。すると、被動部3は前記接触子9に押圧さ
れ、ロツド2が位相で120度右方向へ移動する。
その直後に制御装置13にて第一の圧電素子6
への電圧の印加を解除し、同時に第三の圧電素子
8に電圧を印加すると、前記と同様に第三の圧電
素子8がピエゾ効果により軸線方向に対し直交す
る方向へ伸長して接触子11を介して当接面4を
押圧し、位相で120度右方向へ移動する。さらに
その直後に制御装置13にて第三の圧電素子8へ
の電圧の印加を解除し、第二の圧電素子7に電圧
を印加すると、同様に軸線方向に対し直交する方
向に伸長することにより接触子10を介して当接
面4を押圧し、ロツド2を右方向へ移動させる。
への電圧の印加を解除し、同時に第三の圧電素子
8に電圧を印加すると、前記と同様に第三の圧電
素子8がピエゾ効果により軸線方向に対し直交す
る方向へ伸長して接触子11を介して当接面4を
押圧し、位相で120度右方向へ移動する。さらに
その直後に制御装置13にて第三の圧電素子8へ
の電圧の印加を解除し、第二の圧電素子7に電圧
を印加すると、同様に軸線方向に対し直交する方
向に伸長することにより接触子10を介して当接
面4を押圧し、ロツド2を右方向へ移動させる。
以下同様に制御装置13にて第一の圧電素子6
→第三の圧電素子8→第二の圧電素子7の順に電
圧を印加すればロツド2を右方向へ移動させるこ
とができる。
→第三の圧電素子8→第二の圧電素子7の順に電
圧を印加すればロツド2を右方向へ移動させるこ
とができる。
そして所望の位置にて位置決め固定するときに
は当接面4の凹部内に接触子が位置している圧電
素子に電圧を印加し続ければよい。このとき、圧
電素子に電圧を印加し続けても電流はほとんど流
れないため、消費電力は微小である。
は当接面4の凹部内に接触子が位置している圧電
素子に電圧を印加し続ければよい。このとき、圧
電素子に電圧を印加し続けても電流はほとんど流
れないため、消費電力は微小である。
なお、逆に前記ロツド2を左方向へ移動させた
いときには第2図の状態から制御装置13にて電
圧の印加を第三の圧電素子8→第一の圧電素子6
→第二の圧電素子7の順に電圧を印加すれば良
い。
いときには第2図の状態から制御装置13にて電
圧の印加を第三の圧電素子8→第一の圧電素子6
→第二の圧電素子7の順に電圧を印加すれば良
い。
次に他の実施例を第7図に従つて説明する。
なお、前記第1実施例と同一又は相当する構成
については同一符号を付してその説明を省略し、
異なるところのみを説明する。
については同一符号を付してその説明を省略し、
異なるところのみを説明する。
この実施例においては図示しないフレームに固
定された箱体15の両端壁に一対の軸受1を設
け、ロツド17が同軸受1を介して左右方向へ摺
動可能に支持されている。前記箱体15内におい
て同ロツド17の被動部3上下両部にはロツド1
7の軸心を中心に互いに180度反対外周に互いに
同一形状をなす波状の当接面4が形成されてい
る。
定された箱体15の両端壁に一対の軸受1を設
け、ロツド17が同軸受1を介して左右方向へ摺
動可能に支持されている。前記箱体15内におい
て同ロツド17の被動部3上下両部にはロツド1
7の軸心を中心に互いに180度反対外周に互いに
同一形状をなす波状の当接面4が形成されてい
る。
さらに前記実施例の構成中、前記箱体15の上
下内側面にはそれぞれ上下一対を一組となす三組
の第一〜第三の圧電素子6,7,8が取着され、
同圧電素子6,7,8の先端面に前記被動部3の
当接面4に当接する接触子9,10,11が設け
られているところのみが異なつている。
下内側面にはそれぞれ上下一対を一組となす三組
の第一〜第三の圧電素子6,7,8が取着され、
同圧電素子6,7,8の先端面に前記被動部3の
当接面4に当接する接触子9,10,11が設け
られているところのみが異なつている。
この実施例においては制御装置13にて第一の
圧電素子6→第三の圧電素子8→第二の圧電素子
7の順に上下に配置した各圧電素子に対し同時に
電圧を印加すればロツド17は図面右方向へ移動
する。
圧電素子6→第三の圧電素子8→第二の圧電素子
7の順に上下に配置した各圧電素子に対し同時に
電圧を印加すればロツド17は図面右方向へ移動
する。
又、反対に制御装置13にて第三の圧電素子8
→第一の圧電素子6→第二の圧電素子7の順に上
下一対の各圧電素子に同時に電圧を印加すればロ
ツド17は図面左方向へ移動する。
→第一の圧電素子6→第二の圧電素子7の順に上
下一対の各圧電素子に同時に電圧を印加すればロ
ツド17は図面左方向へ移動する。
このようにこの実施例では前記実施例と異な
り、被動部3が大型にならないため、軽量化を図
ることができ、その結果高速駆動がしやすくな
る。
り、被動部3が大型にならないため、軽量化を図
ることができ、その結果高速駆動がしやすくな
る。
なお、この考案は前記両実施例に限定されるも
のではなく、例えば前記第7図の実施例では上下
に一対を一組とする三組の圧電素子を配置した
が、その代わりに箱体15に対しリング状に形成
された第一〜第三の圧電素子を配置するとともに
同リング状の圧電素子内に前記ロツド17を挿通
配置し、各圧電素子に電圧が印加されると、その
半径方向に圧電素子が伸縮して圧電素子の内周に
配置した接触子9,10,11を介して駆動軸1
7を移動するようにしてもよい。
のではなく、例えば前記第7図の実施例では上下
に一対を一組とする三組の圧電素子を配置した
が、その代わりに箱体15に対しリング状に形成
された第一〜第三の圧電素子を配置するとともに
同リング状の圧電素子内に前記ロツド17を挿通
配置し、各圧電素子に電圧が印加されると、その
半径方向に圧電素子が伸縮して圧電素子の内周に
配置した接触子9,10,11を介して駆動軸1
7を移動するようにしてもよい。
考案の効果
以上、詳述したようにこの考案は従来と異な
り、電磁石を使用する必要が無いため、リニア型
アクチユエータの装置全体を軽量化できるととも
に、発熱が極めて少なく、駆動時の消費電力は実
験によれば従来の電磁石を使用したステツピング
モータのものと比較して1/5以下に押えることが
でき、制止状態においては圧電素子に電圧を印加
し続けても電流はほとんど流れないため、消費電
力を減らすことができる。しかも、ロツドを移動
させるためには圧電素子をロツドの軸線方向と直
交する方向に変位させて波状当接面の傾斜部に押
圧接触させるだけでよく、かつ、その移動方向を
逆転させるには各圧電素子に対する印加順序を変
えるだけでよいため、装置全体の構成を極めて簡
単にすることができる。さらに、印加電圧に基づ
く圧電素子の変位力を利用したことにより、磁気
回路の1/100以下の時間で理論上は応答するため、
磁気回路を使用するステツピングモータと比較し
て駆動制御のための応答する時間を早くすること
ができる。
り、電磁石を使用する必要が無いため、リニア型
アクチユエータの装置全体を軽量化できるととも
に、発熱が極めて少なく、駆動時の消費電力は実
験によれば従来の電磁石を使用したステツピング
モータのものと比較して1/5以下に押えることが
でき、制止状態においては圧電素子に電圧を印加
し続けても電流はほとんど流れないため、消費電
力を減らすことができる。しかも、ロツドを移動
させるためには圧電素子をロツドの軸線方向と直
交する方向に変位させて波状当接面の傾斜部に押
圧接触させるだけでよく、かつ、その移動方向を
逆転させるには各圧電素子に対する印加順序を変
えるだけでよいため、装置全体の構成を極めて簡
単にすることができる。さらに、印加電圧に基づ
く圧電素子の変位力を利用したことにより、磁気
回路の1/100以下の時間で理論上は応答するため、
磁気回路を使用するステツピングモータと比較し
て駆動制御のための応答する時間を早くすること
ができる。
第1図はこの考案を具体化したリニア型アクチ
ユエータの要部正断面図、第2図は同拡大断面
図、第3図は同じく電気ブロツク回路図、第4図
〜第6図は第1図の作用を示す要部正断面図、第
7図は他の実施例のリニア型アクチユエータの要
部正断面図、第8図は従来例を示す要部断面図で
ある。 1は軸受、2はロツド、3は被動部、4は当接
面、5は固定支持部材、6は第一の圧電素子、7
は第二の圧電素子、8は第三の圧電素子、9〜1
1は接触子、13は制御装置、17はロツド、1
8は当接面である。
ユエータの要部正断面図、第2図は同拡大断面
図、第3図は同じく電気ブロツク回路図、第4図
〜第6図は第1図の作用を示す要部正断面図、第
7図は他の実施例のリニア型アクチユエータの要
部正断面図、第8図は従来例を示す要部断面図で
ある。 1は軸受、2はロツド、3は被動部、4は当接
面、5は固定支持部材、6は第一の圧電素子、7
は第二の圧電素子、8は第三の圧電素子、9〜1
1は接触子、13は制御装置、17はロツド、1
8は当接面である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 ロツド2,17を軸線方向へ移動可能に配置
するとともに、同ロツド2,17には軸線方向
に沿つて連続する波状の当接面4,18を備え
た被動部3を設け、この被動部3に対応して前
記軸線方向と直交する方向に変位する複数の圧
電素子6,7,8を前記波状の当接面4,18
に対して互いに異なる位相で固定配置し、前記
各圧電素子6,7,8をそれらの変位時におい
て相対する前記波状当接面4,18の傾斜部に
押圧接触するようにしたリニア型アクチユエー
タ。 2 前記ロツド2の被動部3は四角枠状に形成さ
れ、その被動部3の互いに相対する内側面に当
接面4が形成され、同四角枠状の被動部3内に
前記圧電素子6,7,8が配置されたものであ
る実用新案登録請求の範囲第1項に記載のリニ
ア型アクチユエータ。 3 前記圧電素子6,7,8は互いに位相で120
度ずつ異なるように3個配置されたものである
実用新案登録請求の範囲第1項又は第2項のう
ちいずれか1項に記載のリニア型アクチユエー
タ。 4 前記当接面18は前記ロツド17の被動部3
において軸心を中心に互いに反対外周にそれぞ
れ形成され、同当接面18に対しそれぞれ複数
の圧電素子6,7,8を配置したものである実
用新案登録請求の範囲第1項に記載のリニア型
アクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985102950U JPH0419996Y2 (ja) | 1985-07-06 | 1985-07-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985102950U JPH0419996Y2 (ja) | 1985-07-06 | 1985-07-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6211392U JPS6211392U (ja) | 1987-01-23 |
| JPH0419996Y2 true JPH0419996Y2 (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=30975056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985102950U Expired JPH0419996Y2 (ja) | 1985-07-06 | 1985-07-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0419996Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5930912A (ja) * | 1982-08-09 | 1984-02-18 | Unitika Ltd | 易染性複合繊維 |
| JPS59178984A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-11 | Canon Inc | 振動波モ−タの制御装置 |
-
1985
- 1985-07-06 JP JP1985102950U patent/JPH0419996Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6211392U (ja) | 1987-01-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1997036366A1 (en) | Piezoelectric actuator or motor, method therefor and method for fabrication thereof | |
| JPH04229082A (ja) | ピエゾ電気モータ | |
| JPH0653563A (ja) | 磁気アクチュエータ | |
| JPH05284722A (ja) | リニアパルスモータ及びこれを具備した直動ユニット | |
| JP4830165B2 (ja) | 超音波モータ用振動子 | |
| JPH0344713A (ja) | 静電駆動装置および静電駆動装置の制御回路 | |
| JP3052469B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPS60204272A (ja) | 圧電制動機構 | |
| JP3173261B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH06101938B2 (ja) | 静電アクチユエ−タ | |
| JPS6142268A (ja) | 送り装置 | |
| WO2012041370A1 (en) | Electromechanical actuator | |
| JPH06106029B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JPS61177155A (ja) | 駆動装置 | |
| JP2850413B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JP2007006590A (ja) | 保持ブレーキ内蔵モータ | |
| JPS62159819A (ja) | 微小変位アクチユエ−タ型摩擦ブレ−キ | |
| JPS6395861A (ja) | 静電アクチユエ−タ | |
| JP2645026B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JP3021460B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPS60245481A (ja) | 圧電型アクチュエータ | |
| JPH0842569A (ja) | 軸受装置 | |
| KR20240000745A (ko) | 축 타입 모터의 공극 조절 장치 | |
| JPS63195117U (ja) | ||
| JPH0993961A (ja) | 圧電アクチュエータ |