JPH04203479A - 脱気装置 - Google Patents

脱気装置

Info

Publication number
JPH04203479A
JPH04203479A JP2336625A JP33662590A JPH04203479A JP H04203479 A JPH04203479 A JP H04203479A JP 2336625 A JP2336625 A JP 2336625A JP 33662590 A JP33662590 A JP 33662590A JP H04203479 A JPH04203479 A JP H04203479A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tube
gas
valve
vacuum pump
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2336625A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2994740B2 (ja
Inventor
Hideyuki Morikawa
秀行 森川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
UNIE FUROOZU KK
Original Assignee
UNIE FUROOZU KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by UNIE FUROOZU KK filed Critical UNIE FUROOZU KK
Priority to JP2336625A priority Critical patent/JP2994740B2/ja
Priority to US07/796,353 priority patent/US5205844A/en
Priority to DE4139735A priority patent/DE4139735C3/de
Publication of JPH04203479A publication Critical patent/JPH04203479A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2994740B2 publication Critical patent/JP2994740B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0063—Regulation, control including valves and floats

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ａ、　産業上の利用分野 本発明は分析装置、検査装置、実験装置等少量の液体を
扱うオンライン脱気装置において、非常に小形の装置を
提供するものである。
ｂ、　従来の技術 真空ポンプで減圧コントロールされた真空チ中ンバー内
に透過膜チューブを設け、このチューブ内に脱気したい
液体を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する方
法は分析装置、医療装置等で公知である。
Ｃ１発明が解決しようとする課題 しかし、従来の装置は透過膜チューブを通して気体と同
時に透過する少量の液体のために、透過気体量に比べて
非常に大きな排気速度の真空ポンプが必要になり、した
がって全体として大きな装置になっていた。
ｄ、　課題を解決するための手段 本発明は、透過膜チューブを透過する液体による真空ポ
ンプの排気速度の著しい低下を防ぐことにより、真空ポ
ンプを小さくし、装！の安定時間を短くしたもので、真
空ポンプで減圧コントロールされた真空チャンバー内に
透過膜チューブを設け、このチューブ内に液体を流し、
チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置において、
上記真空チャンバーを大気に開放する弁を設けた脱気装
置を提供するものである。
ｅ、実施例 以下において、添付図面に示した実施例を参照しながら
、本発明にがかる脱気装置を説明する。
第１図において、■は液体入口、２は液体出口、３は透
過膜チューブである。チューブ３の壁面は透ｉｓＭとし
て働き、チューブ３内の液体中の気体は壁面を通して透
過し、除去される。４は前記チューブ３を収納する真空
チャンバーであり、真空計５で圧力モニターされている
。また、６は透過膜であり、チャンバー４に大気（空気
）を微量供給する。７はチャンバー４を大気に開放する
弁である。８〜１７は真空ポンプの構成要素であり、１
８は大気開放弁である。
第２図は、第１図のチエツク弁８．１２．１５の１例で
あり、１９は気体入口、２０は気体出口、２１は弁座、
２２は弁、２３は圧縮バネである。入口１９と出口２０
の圧力差によって、弁２２にかかる力がバ：７．２３の
力より大きくなると、弁２２は右に移動して流路が開き
、圧力差による力がバネの力より小さくなると、弁２２
は左に移動し、弁座２１に当り流路を閉じる。
第３図は、真空ポンプ（８〜１７）と大気開放弁７．１
８のタイムチャートである。
１１作用 次に、上記本発明にがかる脱気装置の動作を詳しく説明
する。
装置の電源スィッチを入れる（オン）と大気開放弁７は
閉じ、大気開放弁１日は開き、真空ポンプ８〜１７をオ
ンにする。このとき、真空ポンプは大気開放弁工８より
大気を吸引し、排出する０次に、大気開放弁１８が閉じ
ると、チエツク弁８が開き、真空チャンバー４内を排気
する０次に、大気開放弁１８が開くと、チエツク弁８は
閉じ真空ポンプは大気を排出する。これをくり返し、真
空チャンバー４内が予定の圧力になると真空計５の出力
で真空ポンプを停止（オフ）する。
この状態で脱気しようとする液体は外部ポンプ（図示せ
ず）によって入口ｌより入り、透過膜チューブ３を遺り
、出口２より出てい（、このとき、チエ−１３の壁面は
透過膜となっているのでチューブ３の内圧と外圧（真空
チャンバー４内の圧力）の差により、液体中の気体は壁
面を通って透過し、除去される。しかし、気体と同時に
少量の液体も透過して出てきて蒸気（気体）となる、透
過気体により真空度が悪くなる々真空計５でそれを検出
し、真空ポンプを働かせ真空度が一定になるようにコン
トロールする。
次に、真空ポンプ内の気体の動きを説明する。
１０はプランジャーであり、このプランジャーｌＯは、
その中央に切られたカム溝と偏心カム１６とモーター１
７により左右に往復動する。９と１４は、シリンダーで
ありシール１１．１３によりプランジャー１０との間の
気密を保っている。ここでプランジャー１０が右に移動
するとシリンダー９内の圧力が下がり、チャンバー４内
の圧力とシリンダー９内の圧力の差がチエツク弁８の動
作圧以上になると、チエツク弁８が開き、チャンバー４
内の気体がシリンダー９内に入ってくる。同時にシリン
ダー１４内の圧力がチエツク弁１５の動作圧以上になる
と、シリンダー１４内の気体はチエツク弁１５を通って
排出される。プランジャーｌＯの動きが止まると圧力差
が小さくなりチエツク弁８．１５は閉しる。
次いで、プランジャー１０が左に移動すると、シリンダ
ー９内の圧力が高くなり、シリンダー１４内の圧力が低
くなる。すると、チエツク弁１２が開き、シリンダー９
内の気体はシリンダー１４内に入ってくる。これをくり
返すことによりチャンバー４内を真空にする。これは一
般のカスケードポンプと同様である。
しかし、脱気をする液体が低沸点で蒸気圧の高い有機溶
媒などで長時間真空チャンバー内を真空に保って放置し
た後や、液体の流速が低い時は真空チャンバー内に気体
が少なくなり、はとんど溶媒蒸気になることがある。
この様なときには、吸引工程でシリンダー９に吸引され
た蒸気を含む気体は吐出工程で圧縮され、これにより、
蒸気が凝縮して液化し、圧力上昇が小さくなるのでチエ
ツク弁１２を通して排出される気体はほんの少量か又は
排出されないことになる。
シリンダー９内で蒸気が凝縮して液化した次の吸引工程
によりシリンダー９内の圧力が少し下がると、前回凝縮
した液が気化するのでシリンダー内の圧力があまり下が
らず、チエツク弁８を開いてチャンバー４内の気体をほ
とんど岐引できなくなる。従来の装置は、この対策とし
て排気速度の大きな真空ポンプを用いていた。
本発明は透過膜６と、大気開放弁１８を設けることによ
り排気速度の低下を防いでいる。透過膜６は液体の流速
が低い時でも、真空チャンバー４内が、溶媒蒸気過多に
ならないように大気中より空気を少量供給する。
また、仮にシリンダー９内に蒸気が凝縮して液化したと
きでも大気開放弁１８を開けて、真空ポンプを運転する
と大気は弁１８を逼り、シリンダー９内に入り、気化し
た蒸気と供にチエツク弁１２、シリンダー１４、チエツ
ク弁１５を遺り排出される。シリンダー９内の液が乾燥
した後、大気開放弁１８を閉じると、真空チャンバー４
より排気を始める。
弁１８は、第３図のタイムチャートのようにタイマーコ
ントロールされている。これにより、この状態での真空
ポンプの排気速度を数十倍大きなポンプに相当するよう
にできる。
真空チャンバー４を真空のまま真空ポンプを停止（電源
オフ）して放置すると、真空チャンバー４内の気体と蒸
気が圧力バランスがとれるまで蒸気が透過しつづける。
このとき、室温が上下するとチャンバー４内で蒸気が凝
縮して液化することがある。これは次の機械の運転に支
障をきたす。
この対策として、大気開放弁７を設はチャンバー４内を
大気圧にすることにより蒸気の透過を防止する。
ｇ、効果 以上説明したように、本発明によれば、脱気装置を小型
化することができ、しかもこれを安定して運転できるの
で、実用上その効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明にかかる脱気装置の概念図、第２図は
、本発明に使用するチエツク弁の断面図、第３図は、本
発明に使用する真空ポンプと大気開放弁のタイムチャー
ト図である。 ３・・・チューブ、４・・・真空チャンバー７・・・弁
、１８・・・大気開放弁。 （ほか４名）

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）真空ポンプで減圧コントロールされた真空チャン
    バー内に透過膜チューブを設け、このチューブ内に液体
    を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置に
    おいて、上記真空チャンバーを大気に開放する弁を設け
    たことを特徴とする脱気装置。
  2. （２）真空ポンプで減圧コントロールされた真空チャン
    バー内に透過膜チューブを設け、このチューブ内に液体
    を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置に
    おいて、真空チャンバーと大気間に透過膜を取り付けた
    ことを特徴とする脱気装置。
  3. （３）真空ポンプで減圧コントロールされた真空チャン
    バー内に透過膜チューブを設け、このチューブ内に液体
    を流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置に
    おいて、カスケード方式の真空ポンプの一次弁と一次シ
    リンダーとの間に上記真空ポンプ大気に開放する弁を取
    り付けたことを特徴とする脱気装置。
  4. （４）カスケード方式の真空ポンプで減圧コントロール
    された真空チャンバー内に透過膜チューブを設け、この
    チューブ内に液体を流し、チューブ壁を通して気体を透
    過脱気する装置において、上記真空チャンバーを大気に
    開放する弁を取り付けることとし、上記真空ポンプを大
    気に開放する弁を該真空ポンプの一次弁と一次シリンダ
    ー間に設け、さらに上記真空チャンバーと大気間に透過
    膜を取り付けたことを特徴とする脱気装置。
JP2336625A 1990-11-30 1990-11-30 脱気装置 Expired - Fee Related JP2994740B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2336625A JP2994740B2 (ja) 1990-11-30 1990-11-30 脱気装置
US07/796,353 US5205844A (en) 1990-11-30 1991-11-22 Degassing apparatus
DE4139735A DE4139735C3 (de) 1990-11-30 1991-11-28 Entgasungsgerät

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2336625A JP2994740B2 (ja) 1990-11-30 1990-11-30 脱気装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04203479A true JPH04203479A (ja) 1992-07-24
JP2994740B2 JP2994740B2 (ja) 1999-12-27

Family

ID=18301090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2336625A Expired - Fee Related JP2994740B2 (ja) 1990-11-30 1990-11-30 脱気装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5205844A (ja)
JP (1) JP2994740B2 (ja)
DE (1) DE4139735C3 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007291896A (ja) * 2006-04-24 2007-11-08 Erc:Kk 真空系における減圧吸引システム
US8495906B2 (en) 2006-02-16 2013-07-30 Arkray, Inc. Degasifier and liquid chromatograph equipped therewith
JP2014508644A (ja) * 2011-03-25 2014-04-10 アイデックス ヘルス アンド サイエンス エルエルシー 液体脱気システム内の浸透気化を制御する装置
JP2014066384A (ja) * 2012-09-25 2014-04-17 Samson Co Ltd 真空冷却装置

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5584914A (en) * 1992-08-07 1996-12-17 Miura Co., Ltd Membrane deaerator apparatus
EP0598424A3 (en) * 1992-11-16 1996-05-15 Novellus Systems Inc Device for removing dissolved gas from a liquid.
DE9415480U1 (de) * 1994-09-24 1996-02-01 AEG Hausgeräte GmbH, 90429 Nürnberg Entlüftungseinrichtung für flüssigkeitsführende hohle Bauteile
US5762684A (en) * 1995-11-30 1998-06-09 Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. Treating liquid supplying method and apparatus
DE19837357C2 (de) * 1998-08-18 2001-08-02 Heinz Sievering Verfahren und Vorrichtung zur Entgasung flüssiger Medien
US6755899B2 (en) * 1998-10-09 2004-06-29 Erc, Inc. Vacuum deaeration device
US6248157B1 (en) * 1999-08-20 2001-06-19 Systec Inc. Vacuum degassing
WO2003041963A1 (fr) 2001-11-12 2003-05-22 Seiko Epson Corporation Cartouche d'encre
JP2004022056A (ja) * 2002-06-14 2004-01-22 Fujitsu Ltd 磁気記録媒体初期化方法、磁気記録媒体信号転写方法、磁気記録媒体信号処理装置及び両面垂直磁気記録媒体
US7713331B2 (en) * 2003-11-05 2010-05-11 Rheodyne, Llc Axial transfer line degassing
US6949132B2 (en) * 2003-11-05 2005-09-27 Systel, Llc Axial degassing transfer lines
US8469503B2 (en) * 2010-10-05 2013-06-25 Eastman Kodak Company Method of thermal degassing in an inkjet printer
US8465139B2 (en) * 2010-10-05 2013-06-18 Eastman Kodak Company Thermal degassing device for inkjet printer
DE102011001270A1 (de) 2011-03-15 2012-09-20 Dionex Softron Gmbh Lösungsmittel-Vorrats-System für HPLC-Systeme mit geringen Flussraten
US8440003B2 (en) 2011-03-25 2013-05-14 Idex Health & Science, Llc Apparatus for pervaporation control in liquid degassing systems
US8430949B2 (en) 2011-03-25 2013-04-30 Idex Health & Science Llc Apparatus for pervaporation control in liquid degassing systems
DE102011050314A1 (de) 2011-05-12 2012-11-15 Dionex Softron Gmbh Lösungsmittel-Entgasungs-System für HPLC-Systeme mit geringen Flussraten
WO2013039967A1 (en) 2011-09-12 2013-03-21 Idex Health & Science Llc Supersaturated fluid degassing
JP6616611B2 (ja) * 2015-07-23 2019-12-04 エドワーズ株式会社 排気システム
DE102016220107B4 (de) 2016-10-14 2020-01-02 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Entgasungsvorrichtung
DE102017112262A1 (de) 2017-06-02 2018-12-06 Agilent Technologies, Inc. - A Delaware Corporation - Bypass für Entgaser
US11465074B2 (en) * 2017-10-20 2022-10-11 Shimadzu Corporation Degassing device
GB2590130B (en) 2019-09-23 2022-10-19 Idex Health & Science Llc Fluid degassing system with reduced pressure pulsatility
CN112604324A (zh) * 2020-12-09 2021-04-06 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 显影浓度控制系统的脱气装置、方法及显影浓度控制系统
US20240075411A1 (en) * 2020-12-24 2024-03-07 Dic Corporation Degassing apparatus

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3193988A (en) * 1962-01-08 1965-07-13 Flick Reedy Corp Device for removing a gas from a liquid
US3751879A (en) * 1971-04-26 1973-08-14 Instrumentation Specialties Co Apparatus for reducing the dissolved gas concentration in a liquid
DE2141570A1 (en) * 1971-04-26 1972-11-16 Instrumentation Specialties Co., Lincoln, Nebr. (V.SLA.) Gas extraction - from fluid for analysis, through a membrane forming part of flow channel
US4325715A (en) * 1976-03-24 1982-04-20 Bowman Donald B Apparatus for degassing hemodialysis liquid
DE3116672A1 (de) * 1981-04-27 1982-11-18 Erma Optical Works, Ltd., Tokyo Verfahren und vorrichtung zum entgasen von fluessigkeiten mit darin geloesten gasen
SU980760A1 (ru) * 1981-04-28 1982-12-15 Московский станкоинструментальный институт Устройство дл дегазации масла
JPS58219067A (ja) * 1982-06-14 1983-12-20 Ricoh Co Ltd インクジエツトプリンタのインク供給装置
JPS59119304U (ja) * 1983-01-29 1984-08-11 株式会社エルマ 液体中の溶存ガス脱気装置
CN85104763B (zh) * 1985-06-13 1988-08-24 沈汉石 液压系统中消除气穴的方法和装置
JPS62132509A (ja) * 1985-12-03 1987-06-15 Mitsubishi Electric Corp 気泡除去装置
JPS62204086A (ja) * 1986-03-04 1987-09-08 株式会社エルマ、シーアール パイプ
JPH0326882Y2 (ja) * 1986-12-12 1991-06-11
JP2512937B2 (ja) * 1987-04-15 1996-07-03 大日本インキ化学工業株式会社 膜型気液接触装置
DE3832028A1 (de) * 1988-09-21 1990-03-22 Minh Bach Dr Ing Dr Med Quang Vorrichtung zum entlueften von in medizinischen fluessigkeitssystemen stroemenden fluessigkeiten
DE3844460A1 (de) * 1988-12-31 1990-07-05 Storz Medical Ag Vorrichtung zur entgasung von fluessigkeiten
JP2799435B2 (ja) * 1989-06-19 1998-09-17 富士写真フイルム株式会社 溶解・脱泡方法
JPH0698345B2 (ja) * 1989-06-29 1994-12-07 三浦工業株式会社 脱酸素システムの制御装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8495906B2 (en) 2006-02-16 2013-07-30 Arkray, Inc. Degasifier and liquid chromatograph equipped therewith
JP5324913B2 (ja) * 2006-02-16 2013-10-23 アークレイ株式会社 脱気装置およびそれを備えた液体クロマトグラフィ装置
JP2007291896A (ja) * 2006-04-24 2007-11-08 Erc:Kk 真空系における減圧吸引システム
JP2014508644A (ja) * 2011-03-25 2014-04-10 アイデックス ヘルス アンド サイエンス エルエルシー 液体脱気システム内の浸透気化を制御する装置
JP2014066384A (ja) * 2012-09-25 2014-04-17 Samson Co Ltd 真空冷却装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE4139735A1 (de) 1992-06-04
DE4139735C3 (de) 1999-04-08
DE4139735C2 (de) 1994-02-24
JP2994740B2 (ja) 1999-12-27
US5205844A (en) 1993-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH04203479A (ja) 脱気装置
US7189066B2 (en) Light gas vacuum pumping system
US20160356273A1 (en) Vacuum pump system with light gas pumping and leak detection apparatus comprising the same
US5119635A (en) Method of a means for purging non-condensable gases from condensers
KR20070085630A (ko) 진공 배기 장치 및 가스 배기 방법
KR20170062513A (ko) 진공을 발생시키기 위한 펌핑 시스템 및 이 펌핑 시스템에 의한 펌핑 방법
US11519811B2 (en) Leak detector and leak detection method for leak-testing objects
CN103314214A (zh) 压缩机以及用于压缩工业气体的方法
JP3975197B2 (ja) スクリュー圧縮機
JP4159183B2 (ja) 多段容積式ポンプのガスバラスト装置
KR20170063839A (ko) 진공-발생 펌핑 시스템 및 이 펌핑 시스템을 사용한 펌핑 방법
US6817839B2 (en) Device for delivering moist gases
US11504650B2 (en) Fluid degassing system with reduced pressure pulsatility
KR100645406B1 (ko) 추기 장치
IL94866A (en) Method of and means for purging noncondensable gases from condensors or the like
USH928H (en) Liquid compressing gas system
US3446422A (en) Ultra-high vacuum device
JP3528057B2 (ja) 脱気装置
JPH03169302A (ja) 脱気膜分離装置における真空ポンプの運転方法
JP2024510727A5 (ja)
CN110975850A (zh) 抽真空装置、方法与油气回收系统
US12036507B2 (en) Compressible fluid separator pump
US4054401A (en) Vacuum pump with lubricant control system to interrupt lubricant flow upon loss of pump pressure
SU1460410A1 (ru) Вакуумна система
SU1523714A1 (ru) Вакуумна ловушка

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081022

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081022

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101022

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees