JPH04203605A - パイロット型流量制御ロジック弁 - Google Patents
パイロット型流量制御ロジック弁Info
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- JPH04203605A JPH04203605A JP33073790A JP33073790A JPH04203605A JP H04203605 A JPH04203605 A JP H04203605A JP 33073790 A JP33073790 A JP 33073790A JP 33073790 A JP33073790 A JP 33073790A JP H04203605 A JPH04203605 A JP H04203605A
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- pressure
- solenoid valve
- speed solenoid
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、油圧アクチュエータを駆動制御するパイロッ
ト型流量制御ロジック弁に関する。
ト型流量制御ロジック弁に関する。
[従来の技術]
従来型のロジック弁を第3図および第4図を参照して説
明する5第3図は高速電磁弁で直接にパイロット流量を
制御する方式を採用したロジック弁の断面図であり、特
開昭60−196745号公報等にも記載されている。
明する5第3図は高速電磁弁で直接にパイロット流量を
制御する方式を採用したロジック弁の断面図であり、特
開昭60−196745号公報等にも記載されている。
図中、lはパイロット型流量制御ロジック弁(以下、単
にロジック弁という)、2は油圧ポンプ、3は油圧ポン
プ2から流出される圧油の最高圧を規定するリリーフ弁
、4は油圧ポンプ2からの圧油が供給される供給ポート
、5はロジック弁1から圧油を出力する出力ポート、6
は供給ポート4と出力ポート5とを連通もしくは遮断す
るポペット、7はポペットうで構成されるフィードバッ
ク絞り、8はフィードバツク絞り7を介して供給ポート
4からの圧油が流入しポペット6の移動を制御する制御
室、9aは制御室8に連通された第1の通路、9bは出
力ポート5に連通された第2の通路である。10は第1
および第2の通路9a、9bを連通ずる通路を有し、制
御室8内のパイロット流量を制御する高速電磁弁、11
は高速電磁弁10内において開閉駆動し、制御室8、第
1および第2の通路9b、9aを通るパイロット流量を
制御するパイロットスプール、12はロジック弁により
駆動制御される油圧アクチュエータである。なお、上記
高速電磁弁10は、パルス幅変調(PWM)手段により
駆動される。
にロジック弁という)、2は油圧ポンプ、3は油圧ポン
プ2から流出される圧油の最高圧を規定するリリーフ弁
、4は油圧ポンプ2からの圧油が供給される供給ポート
、5はロジック弁1から圧油を出力する出力ポート、6
は供給ポート4と出力ポート5とを連通もしくは遮断す
るポペット、7はポペットうで構成されるフィードバッ
ク絞り、8はフィードバツク絞り7を介して供給ポート
4からの圧油が流入しポペット6の移動を制御する制御
室、9aは制御室8に連通された第1の通路、9bは出
力ポート5に連通された第2の通路である。10は第1
および第2の通路9a、9bを連通ずる通路を有し、制
御室8内のパイロット流量を制御する高速電磁弁、11
は高速電磁弁10内において開閉駆動し、制御室8、第
1および第2の通路9b、9aを通るパイロット流量を
制御するパイロットスプール、12はロジック弁により
駆動制御される油圧アクチュエータである。なお、上記
高速電磁弁10は、パルス幅変調(PWM)手段により
駆動される。
この構成によるロジック弁1は、高速電磁弁10が閉じ
ている状態にある場合、供給ポート4と制御室8とがフ
ィードバック絞り7を介して互いに等しい圧力で連通ず
るため、ポペット6を受圧面積差により最下端に位置さ
せる。このため供給ポート4と出力ポート5との連通は
遮断された状態となり油圧アクチュエータ12は駆動さ
れない。
ている状態にある場合、供給ポート4と制御室8とがフ
ィードバック絞り7を介して互いに等しい圧力で連通ず
るため、ポペット6を受圧面積差により最下端に位置さ
せる。このため供給ポート4と出力ポート5との連通は
遮断された状態となり油圧アクチュエータ12は駆動さ
れない。
一方、高速電磁弁10がPWM駆動により開いた状態に
なった場合には、制御室8内のパイロット圧油は第1お
よび第2の通路9a、9bを介して出力ポート5へと流
出されるため、制御室8内が減圧され、これによりポペ
ット6は圧力バランスがとれる位置まで移動して停止す
る。このため供給ポート4と出力ポート5とが直に連通
され、これを通る圧油の流量と、フィードバック絞り7
、制御室8、第1および第2の通路9a、9bを通過す
るパイロット流量とが同時に油圧アクチュエータ12に
出力され、油圧アクチュエータ12が駆動されることに
なる。
なった場合には、制御室8内のパイロット圧油は第1お
よび第2の通路9a、9bを介して出力ポート5へと流
出されるため、制御室8内が減圧され、これによりポペ
ット6は圧力バランスがとれる位置まで移動して停止す
る。このため供給ポート4と出力ポート5とが直に連通
され、これを通る圧油の流量と、フィードバック絞り7
、制御室8、第1および第2の通路9a、9bを通過す
るパイロット流量とが同時に油圧アクチュエータ12に
出力され、油圧アクチュエータ12が駆動されることに
なる。
第4図は2つの高速電磁弁でパイロットスプールのスト
ローク量を規制してパイロット流量を間接的に制御する
方式の油圧回路図であり、特開平2−46162号公報
等にも記載されている。図中、第3図に示す部分と同一
部分には同一符号を付して説明を省略する。15は第1
および第2の通路9a、9b連通する通路を有するパイ
ロット流量制御弁、16はパイロット室、17はパイロ
ット室工6内の圧油の圧力に応じて駆動され制御室8内
のパイロット流量を制御するパイロットスプール、18
はパイロットスプール17に復帰力を与えるバネ、19
は油圧ポンプ2とパイロット室16の通路間に介設され
る第1の高速電磁弁、20はタンク21とパイロット室
16の通路間に介設された第2の高速電磁弁、22は第
1および第2の高速電磁弁19.20を駆動するPWM
駆動回路である。
ローク量を規制してパイロット流量を間接的に制御する
方式の油圧回路図であり、特開平2−46162号公報
等にも記載されている。図中、第3図に示す部分と同一
部分には同一符号を付して説明を省略する。15は第1
および第2の通路9a、9b連通する通路を有するパイ
ロット流量制御弁、16はパイロット室、17はパイロ
ット室工6内の圧油の圧力に応じて駆動され制御室8内
のパイロット流量を制御するパイロットスプール、18
はパイロットスプール17に復帰力を与えるバネ、19
は油圧ポンプ2とパイロット室16の通路間に介設され
る第1の高速電磁弁、20はタンク21とパイロット室
16の通路間に介設された第2の高速電磁弁、22は第
1および第2の高速電磁弁19.20を駆動するPWM
駆動回路である。
この構成によるロジック弁lは、PWM駆動回路22の
駆動により第1の高速電磁弁19が閉じ第2の高速電磁
弁20が開いている状態にある場合、パイロット室16
はタンク圧となりパイロットスプール17は駆動しない
ので供給ポート4と出力ポート5との連通は遮断された
状態となり油圧アクチュエータ12は駆動されない。一
方、PWM駆動回路22の駆動により第1の高速電磁弁
19が開いて第2の高速電磁弁20が閉じた状態になっ
た場合には、パイロット室16の圧力が油圧ポンプ2の
吐出圧となりパイロットスプール17が駆動され、制御
室8内のパイロット圧油が第1および第2の通路9a、
9bを介して出力ポート5へと流出される。このためポ
ペット6が移動し、供給ポート4と出力ポート5とが連
通され、その圧油と、フィードバック絞り7、制御室8
、第1および第2の通路9a、9bを通過するパイロッ
ト圧油とが同時に油圧アクチュエータ12に出力される
ことになり、油圧アクチュエータ12が駆動されること
になる。
駆動により第1の高速電磁弁19が閉じ第2の高速電磁
弁20が開いている状態にある場合、パイロット室16
はタンク圧となりパイロットスプール17は駆動しない
ので供給ポート4と出力ポート5との連通は遮断された
状態となり油圧アクチュエータ12は駆動されない。一
方、PWM駆動回路22の駆動により第1の高速電磁弁
19が開いて第2の高速電磁弁20が閉じた状態になっ
た場合には、パイロット室16の圧力が油圧ポンプ2の
吐出圧となりパイロットスプール17が駆動され、制御
室8内のパイロット圧油が第1および第2の通路9a、
9bを介して出力ポート5へと流出される。このためポ
ペット6が移動し、供給ポート4と出力ポート5とが連
通され、その圧油と、フィードバック絞り7、制御室8
、第1および第2の通路9a、9bを通過するパイロッ
ト圧油とが同時に油圧アクチュエータ12に出力される
ことになり、油圧アクチュエータ12が駆動されること
になる。
[発明が解決しようとする課題]
第3図に示したロジック弁1の場合、高速電磁弁10は
本来の特性上から流量制御に対して限界があり、したが
って、制御室8の圧油を直接流量制御するのに限界があ
り、ポペット6の大きさも限定される。また高速電磁弁
は供給ボー・ト4からの圧油を直接に受けるので、高圧
用のものでなければならない。
本来の特性上から流量制御に対して限界があり、したが
って、制御室8の圧油を直接流量制御するのに限界があ
り、ポペット6の大きさも限定される。また高速電磁弁
は供給ボー・ト4からの圧油を直接に受けるので、高圧
用のものでなければならない。
一方、第4図に示したロジック弁1の場合、第1および
第2の高速電磁弁19.20はパイロット室の圧力制御
用であるから容量的には小さくてすむが、2つ必要であ
るのでコスト高である。そしてこの場合も高速電磁弁1
9.2oは供給ポート4からの圧力を直接受けるので高
圧用にしなければならず、また供給ポート4の圧力変動
の影響を受けるので、実用的ではない。
第2の高速電磁弁19.20はパイロット室の圧力制御
用であるから容量的には小さくてすむが、2つ必要であ
るのでコスト高である。そしてこの場合も高速電磁弁1
9.2oは供給ポート4からの圧力を直接受けるので高
圧用にしなければならず、また供給ポート4の圧力変動
の影響を受けるので、実用的ではない。
本発明の目的は、上記従来技術における課題を解決し、
低圧かつ小容量の高速電磁弁を用いることができるパイ
ロット型流量制御ロジック弁を提供することあにある。
低圧かつ小容量の高速電磁弁を用いることができるパイ
ロット型流量制御ロジック弁を提供することあにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本発明は、油圧ポンプに接
続された供給ポートと、前記油圧ポンプの圧油により駆
動される油圧アクチュエータに接続された出力ポートと
、前記供給ポートと前記出力ポートとの間を開閉するポ
ペットと、このポペットに対する圧力を発生する制御室
と、この制御室と前記出力ポートとの間に介在して前記
制御室の圧力を制御するパイロットスプールとを備えた
パイロット型流量制御ロジック弁において、前記パイロ
ットスプールのパイロットポートとタンクとの間に介在
する固定絞りと、前記パイロットポートとパイロットポ
ンプとの間に介在するとともに前記固定絞りと共働して
前記パイロットポートの圧力を制御する高速電磁弁とを
設けたことを特徴とする。
続された供給ポートと、前記油圧ポンプの圧油により駆
動される油圧アクチュエータに接続された出力ポートと
、前記供給ポートと前記出力ポートとの間を開閉するポ
ペットと、このポペットに対する圧力を発生する制御室
と、この制御室と前記出力ポートとの間に介在して前記
制御室の圧力を制御するパイロットスプールとを備えた
パイロット型流量制御ロジック弁において、前記パイロ
ットスプールのパイロットポートとタンクとの間に介在
する固定絞りと、前記パイロットポートとパイロットポ
ンプとの間に介在するとともに前記固定絞りと共働して
前記パイロットポートの圧力を制御する高速電磁弁とを
設けたことを特徴とする。
[作用]
高速電磁弁を閉じた状態に制御した場合には、パイロッ
トポートは固定絞りを介してタンク圧となりパイロット
スプールが作動しない状態にあり、制御室内の圧力が減
圧されることなくパイロット流量がゼロの状態に制御さ
れることになる。これによりポペットが最下端に位置し
て出力ポートからの圧油が遮断される。一方、高速電磁
弁を開いた状態に制御した場合には、固定絞りによりパ
イロットポンプからの圧油がパイロットポートに作用し
てパイロットスプールが作動した状態となる。
トポートは固定絞りを介してタンク圧となりパイロット
スプールが作動しない状態にあり、制御室内の圧力が減
圧されることなくパイロット流量がゼロの状態に制御さ
れることになる。これによりポペットが最下端に位置し
て出力ポートからの圧油が遮断される。一方、高速電磁
弁を開いた状態に制御した場合には、固定絞りによりパ
イロットポンプからの圧油がパイロットポートに作用し
てパイロットスプールが作動した状態となる。
これにより制御室内の圧油が出力ポートへと流出されて
制御室が減圧され、ポペットが移動するとともに供給ポ
ートからの圧油が出力ポートへと出力される。
制御室が減圧され、ポペットが移動するとともに供給ポ
ートからの圧油が出力ポートへと出力される。
[実施例コ
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第1図は本発明の実施例に係るパイロット型流量制御ロ
ジック弁の油圧回路図である。図中、第4図に示す部分
と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。30
はパイロットポンプ、31は;ペイロット回路の最高圧
を規定するリリーフ弁、32はパイロットポンプ30と
パイロット室16との通路間に配設されパイロットポン
プ30からの圧油を当該パイロット室16へ流したり止
めたりする高速電磁弁、33は高周波パルス信号を高速
電磁弁32のスプール端に出力してこの高速電磁弁32
を駆動制御するPWM駆動回路、34はパイロット室1
6とタンク35との通路間に配設された固定絞りである
。 。
ジック弁の油圧回路図である。図中、第4図に示す部分
と同一部分には同一符号を付して説明を省略する。30
はパイロットポンプ、31は;ペイロット回路の最高圧
を規定するリリーフ弁、32はパイロットポンプ30と
パイロット室16との通路間に配設されパイロットポン
プ30からの圧油を当該パイロット室16へ流したり止
めたりする高速電磁弁、33は高周波パルス信号を高速
電磁弁32のスプール端に出力してこの高速電磁弁32
を駆動制御するPWM駆動回路、34はパイロット室1
6とタンク35との通路間に配設された固定絞りである
。 。
上記高速電磁弁32は、PWM駆動回路33による高周
波パルスのPWM駆動により開閉せしめられるが、当該
高周波の1周期における開閉時間の割合(デユーティ−
)を変えることにより高速電磁弁32の開口面積を等価
的に変えることかでき、これを一種の可変絞りとするこ
とができる。
波パルスのPWM駆動により開閉せしめられるが、当該
高周波の1周期における開閉時間の割合(デユーティ−
)を変えることにより高速電磁弁32の開口面積を等価
的に変えることかでき、これを一種の可変絞りとするこ
とができる。
これにより、固定絞り34と高速電磁弁32の可変絞り
との開口面積比によって決まるパイロット室16の圧力
制御を実行し、さらにはパイロットスプール17の変位
制御を実行するものである。
との開口面積比によって決まるパイロット室16の圧力
制御を実行し、さらにはパイロットスプール17の変位
制御を実行するものである。
第2図(A)、(B)、(C)は固定絞り34の開口面
積を高速電磁弁32の開口面積の半分に設定した場合の
特性線図を示す。第2図(A)は縦軸にパイロット室圧
をとり、横軸に高速電磁弁32のデユーティ−(弁開度
)をとっである。a、bは高速電磁弁32の応答時間に
よる不感帯である。図で明らかなように、pWM駆動に
おけるデユーティ−を変化させることにより、パイロッ
ト室16の圧力をタンク圧からリリーフ弁31で規定さ
れる圧力の80%まで変化させることが可能である。
積を高速電磁弁32の開口面積の半分に設定した場合の
特性線図を示す。第2図(A)は縦軸にパイロット室圧
をとり、横軸に高速電磁弁32のデユーティ−(弁開度
)をとっである。a、bは高速電磁弁32の応答時間に
よる不感帯である。図で明らかなように、pWM駆動に
おけるデユーティ−を変化させることにより、パイロッ
ト室16の圧力をタンク圧からリリーフ弁31で規定さ
れる圧力の80%まで変化させることが可能である。
第2図(B)は縦軸にポペット6およびパイロットスプ
ール17の変位をとり、横軸に第2図(A)で得られる
パイロット室圧をとっである。
ール17の変位をとり、横軸に第2図(A)で得られる
パイロット室圧をとっである。
パイロット室11の圧力はバネ18によりパイロットス
プール12の変位X、に置き換えられる。
プール12の変位X、に置き換えられる。
そして当該変位X、により制御室8が減圧されポペット
6に変位XMが生じる。ポペット変位XMおよびパイロ
ットスプール変位X、は両者ともにパイロット室圧の上
昇に比例して増加する。
6に変位XMが生じる。ポペット変位XMおよびパイロ
ットスプール変位X、は両者ともにパイロット室圧の上
昇に比例して増加する。
第2図(C)は縦軸にポペット変位をとり、横軸にデユ
ーティ−(弁開度)をとっである。この図により、PW
M駆動によりデユーティ−を変化させればポペット6の
変位を制御できる二とが明らかである。またその制御範
囲は不感帯a、bを除く範囲となる。
ーティ−(弁開度)をとっである。この図により、PW
M駆動によりデユーティ−を変化させればポペット6の
変位を制御できる二とが明らかである。またその制御範
囲は不感帯a、bを除く範囲となる。
次にこのように構成されたロジック弁lの動作について
説明する。PWM駆動回路33で高速電磁弁32の開閉
時間の割合を第2図(C)に示す制御範囲内の任意の値
に設定した場合、パイロット室16の圧力は、当該任意
の値と固定絞り34とで決定される値となり、当該圧力
に応じてパイロットスプール17がバネ18の反力に抗
して変位する。そしてこのパイロットスプール17の変
位により第1および第2の通路9a、9bが導通されて
制御室8内の圧油が出力ポート5へと排出される。これ
により、制御室8が減圧してポペット6が変位し、フィ
ードバック絞り7を通る制御室8への供給流量が増加す
る。ポペット6はパイロットスプール17の開口面積と
フィードバック絞り7の開口面積との比がある一定値と
なる位置まで移動する。ポペット6の移動は供給ポート
4と出力ポート5とを直接に連通させることになり、そ
の出力ポート5からは前記パイロット流量とメインポン
プ2からの流量とが同時に油圧アクチュエータ12へと
排出されることになる。
説明する。PWM駆動回路33で高速電磁弁32の開閉
時間の割合を第2図(C)に示す制御範囲内の任意の値
に設定した場合、パイロット室16の圧力は、当該任意
の値と固定絞り34とで決定される値となり、当該圧力
に応じてパイロットスプール17がバネ18の反力に抗
して変位する。そしてこのパイロットスプール17の変
位により第1および第2の通路9a、9bが導通されて
制御室8内の圧油が出力ポート5へと排出される。これ
により、制御室8が減圧してポペット6が変位し、フィ
ードバック絞り7を通る制御室8への供給流量が増加す
る。ポペット6はパイロットスプール17の開口面積と
フィードバック絞り7の開口面積との比がある一定値と
なる位置まで移動する。ポペット6の移動は供給ポート
4と出力ポート5とを直接に連通させることになり、そ
の出力ポート5からは前記パイロット流量とメインポン
プ2からの流量とが同時に油圧アクチュエータ12へと
排出されることになる。
一方、PWM駆動回路33の非作動により高速電磁弁3
2が閉状態に設定された場合、まずパイロットポンプ3
0からパイロット室16の圧力は固定絞り34を介して
タンク圧となり、パイロットスプール17の変位がバネ
18の反力にしたがって元の状態に戻る。パイロットス
プール17の復帰にしたがって第1および第2の通路9
a、9bが遮断され、制御室8内のパイロット圧油が排
出されない状態になるので制御室8の圧力が上昇し、ポ
ペット6が最下端の位置まで戻り、出力ポート5から油
圧アクチュエータ12へと排出されていた前記パイロッ
ト圧油と油圧ポンプ2からの流量も遮断される。
2が閉状態に設定された場合、まずパイロットポンプ3
0からパイロット室16の圧力は固定絞り34を介して
タンク圧となり、パイロットスプール17の変位がバネ
18の反力にしたがって元の状態に戻る。パイロットス
プール17の復帰にしたがって第1および第2の通路9
a、9bが遮断され、制御室8内のパイロット圧油が排
出されない状態になるので制御室8の圧力が上昇し、ポ
ペット6が最下端の位置まで戻り、出力ポート5から油
圧アクチュエータ12へと排出されていた前記パイロッ
ト圧油と油圧ポンプ2からの流量も遮断される。
このように本実施例では、パイロットスプールを制御す
る高速電磁弁をパイロットポンプラインに設置し、パイ
ロットスプールを駆動するためのパイロット室とタンク
との間に固定絞りを設置するように構成したから、その
高速電磁弁は低圧化かつ小容量のものを用いることがで
き、またロジック弁1の流量を制御するのに1つの高速
電磁弁で対応することができ、ひいては構造を簡素化で
き、コストを低減することができる。
る高速電磁弁をパイロットポンプラインに設置し、パイ
ロットスプールを駆動するためのパイロット室とタンク
との間に固定絞りを設置するように構成したから、その
高速電磁弁は低圧化かつ小容量のものを用いることがで
き、またロジック弁1の流量を制御するのに1つの高速
電磁弁で対応することができ、ひいては構造を簡素化で
き、コストを低減することができる。
[発明の効果コ
本発明によれば、パイロットポンプとパイロットポート
との通路間に高速電磁弁を設けるとともに、タンクとパ
イロットポートとの通路間に固定絞りを設けたので、低
圧かつ小容量の高速電磁弁を用いてパイロット型流量制
御ロジック弁を構成することができる。
との通路間に高速電磁弁を設けるとともに、タンクとパ
イロットポートとの通路間に固定絞りを設けたので、低
圧かつ小容量の高速電磁弁を用いてパイロット型流量制
御ロジック弁を構成することができる。
第1図は本発明の実施例に係るパイロット型流量制御ロ
ジック弁の油圧回路図、第2図(A)、(B)、(C)
はパイロット室圧、パイロットスプールおよびポペット
変位を示す特性図、第3図および第4図は従来のパイロ
ット型流量制御ロジック弁の断面図および油圧回路図で
ある。 l・・・ロジック弁、2・・・油圧ポンプ、4・・・供
給ポート、5・・・出力ポート、6・・・ポペット、7
・・・フィードバック絞り、8・・・制御室、9a・・
・第1の通路、9b・・・第2の通路、12・・・油圧
アクチュエータ。 16・・・パイロットスプール、17・・・パイロット
スプール、18・・・バネ、30・・パイロットポンプ
、32・・・高速電磁弁、33・・・PWM駆動回路、
34・・・固定絞り。 第2図 デ;−ティー(弁開度) 第3図
ジック弁の油圧回路図、第2図(A)、(B)、(C)
はパイロット室圧、パイロットスプールおよびポペット
変位を示す特性図、第3図および第4図は従来のパイロ
ット型流量制御ロジック弁の断面図および油圧回路図で
ある。 l・・・ロジック弁、2・・・油圧ポンプ、4・・・供
給ポート、5・・・出力ポート、6・・・ポペット、7
・・・フィードバック絞り、8・・・制御室、9a・・
・第1の通路、9b・・・第2の通路、12・・・油圧
アクチュエータ。 16・・・パイロットスプール、17・・・パイロット
スプール、18・・・バネ、30・・パイロットポンプ
、32・・・高速電磁弁、33・・・PWM駆動回路、
34・・・固定絞り。 第2図 デ;−ティー(弁開度) 第3図
Claims (2)
- (1)油圧ポンプに接続された供給ポートと、前記油圧
ポンプの圧油により駆動される油圧アクチュエータに接
続された出力ポートと、前記供給ポートと前記出力ポー
トとの間を開閉するポペットと、このポペットに対する
圧力を発生する制御室と、この制御室と前記出力ポート
との間に介在して前記制御室の圧力を制御するパイロッ
トスプールとを備えたパイロット型流量制御ロジック弁
において、前記パイロットスプールのパイロットポート
とタンクとの間に介在する固定絞りと、前記パイロット
ポートとパイロットポンプとの間に介在するとともに前
記固定絞りと共働して前記パイロットポートの圧力を制
御する高速電磁弁とを設けたことを特徴とするパイロッ
ト型流量制御ロジック弁。 - (2)請求項(1)において、前記高速電磁弁は、パル
ス幅変調により制御されることを特徴とするパイロット
型流量制御ロジック弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33073790A JPH04203605A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | パイロット型流量制御ロジック弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33073790A JPH04203605A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | パイロット型流量制御ロジック弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04203605A true JPH04203605A (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=18235997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33073790A Pending JPH04203605A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | パイロット型流量制御ロジック弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04203605A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019181607A (ja) * | 2018-04-06 | 2019-10-24 | 株式会社荏原製作所 | 研磨パッドの表面温度の調整方法、および研磨装置 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33073790A patent/JPH04203605A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019181607A (ja) * | 2018-04-06 | 2019-10-24 | 株式会社荏原製作所 | 研磨パッドの表面温度の調整方法、および研磨装置 |
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