JPH04203995A - 検出素子の感度補正方法とｘ線検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は　医療用Ｘ線診断装置　骨密度定量装置　非破
壊検査装置　Ｘ線分析装置におけるＸ線等の検出素子の
感度補正方法とＸ線検出装置に関すム 従来の技術 複数のＸ線検出素子を用いたＸ線検出装置においては　
一般に計測開始前に素子間の感度ばらつきを知るためく
　−度計測を行（＼　演算装置により素子間の補正係数
を得も　その後、実際の計測を行し＼　そこで得た各素
子のＸ線強度を示す値に補正係数を乗算して測定結果と
すム また　異常を示すＸ線検出素子について（戴　あらかじ
めその素子について記憶させておき、両隣の素子の計測
結果の平均をとり、補間していも発明が解決しようとす
る課題 従来の方法によれば　Ｘ線検出素子に異常が発生しても
測定を行（（測定結果が表示されるまでまたは測定者が
知るまで異常素子を検出できな（〜また　異常な素子を
含むままに補正係数を算出するための測定を行１．％　
　補正係数を求めると、各素子の感度に対する正しい補
正係数を得ることができず、その結果　補正の効果を十
分に発揮できなｔ、Ｘｏ　　さらに異常検出素子につい
て、補間等によりデータの修正を行なうにしてＬ　操作
者が異常検出素子がいずれかを認識したの板　この処理
を行なうように演算装置に指令を送らなければならなｔ
℃ 本発明は上記課題を解決するもので、異常検出素子を早
期に発見し　その異常検出素子を除いた補正係数の算出
を補間処理を効率的に行うことができる検出素子の感度
補正方法とＸ線検出装置を提供することを目的としてい
も 課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために　複数の検出素子か
らなる検出部のデータを転送部で転送して、演算部で感
度補正係数を予め求めて記憶部で記憶させその記憶させ
た感度補正係数と新しく測定開始前に計測した感度補正
係数とを前記演算部で比較して検出素子の異常部を検出
し　自動的にその異常の検出素子の補間修正を行う構成
よりなム 作用 本発明は上記構成により、予め測定記憶させた感度補正
係数と測定開始前に計測した感度補正係数とを比較して
検出素子の異常を前もって知ることができ、再度異常検
出素子を除いて感度補正係数が求められているので、自
動的に測定精度が向上する。

実施例 以下に　本発明の一実施例について第１図を参照しなが
ら説明すも 第１図に本発明の一実施例のＸ線検出装置の構成図を示
す。Ｘ線検出部１は５１２個の検出素子からなるＣｄＴ
ｅセンサアレイ２である。このＣｄＴｅセンサアレイ２
１；ＡＸ線ファンビームを放射するＸ線発生装置３と連
動し移動する。これによりＸ線強度の２次元情報を得る
ことができも　測定された情報１よ　データ転送部４に
より演算部５および記憶部６に転送されも　７は表示部
であムＣｄＴｅセンサアレイ２の素子間のばらつきを補
正するたべ　測定前に補正係数算出のための測定を行う
。Ｘ線の透過率が一定になるよう均一な材質、厚さの吸
収体　例えば厚さ１５ｃｍのアクリル板を設置ＬＸ線発
生装置３とセンサアレイ２を走査して各検出素子につい
て、５１２個のデータを得も　これにより得られた５１
２Ｘ　５１２全データの平均値ＡＶを求めも　ｎ番目の
検出素子のｍラインのカウント数データをＣｎ（ｍ）と
す４Ｃｎ（１）からＣｎ（５１２）までの５１２個のデ
ータの平均値Ｃｎａｖを計算し　各検出素子ごとに補正
係数ＣｎＨを ＣｎＨ＝ＡＶ／Ｃｎａｖ （ｎ＝１から５１２） として求め池 このようにして算出する補正係数ＣｎＨを検出素子がす
べて正常に動作している時にあらかじめ求めておき、記
憶部６に保存しておいたこの抵　検査対象を測定前に補
正係数を同じ方法で求めた　この際の各検出素子の補正
係数を、記憶部６に保存しである値と演算部５により比
較Ｌ　　１０％の差が見られる検出素子を異常が発生し
たも°のとする。　２５番目の検出素子のあらかじめ保
管しである補正係数が０．９７５であったのに対し　計
測した結果が０．８６７であっ九　これを異常検出素子
とじへ　同時＆へ　表示部７に異常が発生したことを表
示し　また異常検出素子の番号を示し　操作者に異常検
出素子の発生を認識させた　これにより、操作者は測定
を行なう前に検出素子の異常を知ることができ、測定精
度を損なうことがなくなった さら区　演算部５に次の補正方法を自動的に実行させた
　異常検出素子がある場合　これを含めて補正係数を算
出すると、異常検出素子だけでなく、全体の補正係数が
素子間の感度ばらつきを正確に表わしたものでなくなる
。　したがって、記憶部６に保管されていた補正係数と
大きく異なり、異常検出素子として認識された素子を除
いて、平均値ＡＶｓを再計算した　このＡＶｓにより、
さきほどと同様に各検出素子の補正係数ＣｎＨｓを算出
した この補正係数を記憶させておき、検出物体を設置し　測
定を行なっ九　各検出素子で得た測定データＤｎ　（ｍ
）　　（ｎ、　　ｍ＝　１〜５１２）に対しさきに求め
た補正係数ＣｎＨｓを乗算しＤｒｎ　（ｍ）＝Ｄｎ　（
ｍ）ｘＣｎＨｓ（ｍ＝１〜５１２） を検出素子間のばらつきを補正した測定データとした ま？Ｑ２５番目の検出素子が異常であったので、この場
合、各ラインについて、　２４番目と２６番目のデータ
の平均をとり、 Ｄ　ｒ２５　（ｍ）　＝（Ｄ　ｒ２４　（ｍ）　＋Ｄ　
ｒ２６　（ｍ）　）　／２を２５番目の検出素子のデー
タとした 異常検出素子が、　１番目の場合には　２番目と３番目
の平均を、　５１２１２番目合に＋１５１０番目と５１
１１１番目均をとり、補間処理し島以上により、検出素
子に異常がある場合Ｌ　正確な測定が行えた な耘　あらかじめ保管しである補正係数との差は　Ｘ線
検出部１により任意に設定することができるようにしｋ
　５〜２０％が好適である。

また　記憶部６に保存しである補正係数を得た時の計測
条件と、必ずしも同条件で行なう必要はない力丈　同条
件で行なうのが最適である。各種計測条件下での補正係
数を検出素子が正常なときに記憶させておき、測定条件
ごとに比較する補正係数を変えてもよりｔ 上記の方法１ｔｃｄＴｅセンサアレイのほかにＣｄＳセ
ンサアレイ、　ＣｄＳｅセンサアレイ、　ＨｇＩ２セン
サアレイ、ＧａＡｓセンサアレイなどの半導体Ｘ線検出
部１でも行えた な耘　本実施例ではＸ線検出素子として記述した力＼　
それ以外の波長の光検出素子等　検出素子全般に適用で
きも 発明の効果 以上の実施例から明らかなように本発明によれば　複数
の検出素子からなる検出部のデータを転送部で転送して
、演算部で感度補正係数を予め求めて記憶部で記憶させ
、その記憶させた感度補正係数と新しく測定開始前に計
測した感度補正係数とを前記演算部で比較して前記検出
素子の異常部を検出し　自動的にその異常の検出素子の
補間修正を行う構成によるので、測定者は検査対象物の
測定前の補正係数を求める段階で、異常検出素子を知る
ことができ、異常を従来より早期に発見し対処できる。

また異常検出素子を除いた補正係数の算出や補間処理が
、　１度の補正係数算出のための測定のみで行え　再度
の測定が不要になり、測定が効率的に行える検出素子の
感度補正方法とＸ線検出装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の検出素子の感度補正方法を
説明するためのブロック図である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の検出素子からなる検出部のデータを転送部
   で転送して、演算部で感度補正係数を予め求めて記憶部
   で記憶させ、その記憶させた感度補正係数と新しく測定
   開始前に計測した感度補正係数と前記演算部で比較して
   前記検出素子の異常部を検出し、自動的にその異常の検
   出素子の補間修正を行うことを特徴とする検出素子の感
   度補正方法。
2. （２）複数の検出素子が、ＣｄＴｅセンサアレイ、Ｃｄ
   Ｓセンサアレイ、ＣｄＳｅセンサアレイ、ＨｇＩ＿２セ
   ンサアレイまたはＧａＡｓセンサアレイであることを特
   徴とする請求項１記載の検出素子の感度補正方法。
3. （３）複数の検出素子が、複数のＸ線検出素子である請
   求項（１）または（２）記載の検出素子の感度補正方法
   。
4. （４）複数のＸ線検出素子を搭載したＸ線検出部と、そ
   のＸ線検出部による計測結果を転送するデータ転送部と
   、その転送されたデータ等を演算比較補正処理する演算
   部と、その補正処理されたデータを記憶する記憶部と、
   その記憶部で記憶された前記各Ｘ線検出素子の補正係数
   と新しく転送されてきたデータの補正係数とを前記演算
   部で比較し、異常のＸ線検出素子を表示する表示部とを
   有するＸ線検出装置。