JPH04204297A - 多波長分光素子 - Google Patents
多波長分光素子Info
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- JPH04204297A JPH04204297A JP33724790A JP33724790A JPH04204297A JP H04204297 A JPH04204297 A JP H04204297A JP 33724790 A JP33724790 A JP 33724790A JP 33724790 A JP33724790 A JP 33724790A JP H04204297 A JPH04204297 A JP H04204297A
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- Japan
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- crystal layer
- spectroscopic element
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は２波長以上のＸ線光束を同時に取り出すことの
できる多波長分光素子に関する。
できる多波長分光素子に関する。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕Ｘ線分
光素子（モノクロメータ）は、入射Ｘ線をブラック反射
させ、単色化したＸ線光束を取り出すものであり、この
素子には単結晶（平板あるいはわん曲結晶）、モザイク
結晶などが用いられる。
光素子（モノクロメータ）は、入射Ｘ線をブラック反射
させ、単色化したＸ線光束を取り出すものであり、この
素子には単結晶（平板あるいはわん曲結晶）、モザイク
結晶などが用いられる。
これらの分光素子には種々のタイプのものが提案されて
いるが、従来の分光素子はすべて１波長のみのＸ線光束
を取り出す作用をするものであった。
いるが、従来の分光素子はすべて１波長のみのＸ線光束
を取り出す作用をするものであった。
一方、結晶および非晶質の構造解析では、異常分散法は
有力な手段である。各原子の散乱因子（Ｘ線の散乱能）
は、それぞれの吸収端の波長で大きく変化する（異常分
散）。このため、測定するＸ線の波長として、物質を構
成する各原子の吸収端近傍の波長を用い、複数回の測定
を行うことにより。
有力な手段である。各原子の散乱因子（Ｘ線の散乱能）
は、それぞれの吸収端の波長で大きく変化する（異常分
散）。このため、測定するＸ線の波長として、物質を構
成する各原子の吸収端近傍の波長を用い、複数回の測定
を行うことにより。
物質内での各原子の位置を解析するのに充分な情報を得
ることできる。
ることできる。
しかしながら、異なる２波長のＸ線を用いて回折測定を
行う場合には、同様なＸ線回折測定を、Ｘ線源を換えて
２度行わなければならない。また、微弱な回折強度を測
定するためにＸ線回折測定に長時間を必要とし、測定中
に物質が変化するなど種々の困難がある。
行う場合には、同様なＸ線回折測定を、Ｘ線源を換えて
２度行わなければならない。また、微弱な回折強度を測
定するためにＸ線回折測定に長時間を必要とし、測定中
に物質が変化するなど種々の困難がある。
またＸ線を微細加工などのフォトリソグラフィーに用い
ることも試みられている。このＸ線を用いたフォトリソ
グラフィーにおいても所望の２波長以上のＸ線を含む光
束を用いると非常に効率を向上させることが可能となる
。
ることも試みられている。このＸ線を用いたフォトリソ
グラフィーにおいても所望の２波長以上のＸ線を含む光
束を用いると非常に効率を向上させることが可能となる
。
しかしながら、公知のＸ線分光素子を用いたのでは、白
色Ｘ線光束が照射されても、このＸ線分光素子からのブ
ラック反射により取り出されるＸ線光束は１波長のもの
であるため、何らかの手段により上記の問題を解決する
ことが望まれていた。
色Ｘ線光束が照射されても、このＸ線分光素子からのブ
ラック反射により取り出されるＸ線光束は１波長のもの
であるため、何らかの手段により上記の問題を解決する
ことが望まれていた。
本発明はこのような従来技術の実情に鑑みなされたもの
で、１つの素子で２波長以上のＸ線を含む光束を同時に
取出す二とのできる多波長分光素子を提供することを目
的とする。
で、１つの素子で２波長以上のＸ線を含む光束を同時に
取出す二とのできる多波長分光素子を提供することを目
的とする。
上記目的を達成するため、本発明によれば、ブラック反
射を起こす結晶面が平面な複数の結晶層より構成され、
各結晶層は同一組成の多型の関係にあるかまたは一部原
子の置換による超格子構造の関係にあることを特徴とす
る多波長分光素子が提供される。
射を起こす結晶面が平面な複数の結晶層より構成され、
各結晶層は同一組成の多型の関係にあるかまたは一部原
子の置換による超格子構造の関係にあることを特徴とす
る多波長分光素子が提供される。
白色Ｘ線が素子表面に入射すると、多型の関係もしくは
一部原子の置換による超格子構造の関係にある各結晶層
の表面においてブラックの条件を満足した波長のＸＪｉ
が回折され、結晶層の数に応じた数の波長のＸ線が混合
した平行光束が取出される。
一部原子の置換による超格子構造の関係にある各結晶層
の表面においてブラックの条件を満足した波長のＸＪｉ
が回折され、結晶層の数に応じた数の波長のＸ線が混合
した平行光束が取出される。
以下本発明を実施例により詳述する。
第１図は本発明の一実施例の多波長（３波長）分光素子
の概念図であり、表面側から、格子定数ｄ、の第１結晶
層１、格子定数ｄ２の第２結晶層２及び格子定数ｄ３の
第３結晶層３を順次積層した構成を有する。
の概念図であり、表面側から、格子定数ｄ、の第１結晶
層１、格子定数ｄ２の第２結晶層２及び格子定数ｄ３の
第３結晶層３を順次積層した構成を有する。
ｄ、、ｄ２及びｄ３はｄ、＞ｄ２＞ｄ３なる関係にある
ことが望ましい。各結晶層１，２．３には多型（ポリタ
イプ）の関係にある結晶構造を有するものを用いる。多
型には、ＳｉＣ，Ｃｄｌ□、 ＺｎＳなどで良く知られ
ており、基本となる層状構造を積み重ねて結晶構造を作
る場合に、積み重ねる時の規則により積み重ね方向の同
期（格子定数）に種々のものが出現できる現象であり、
ジダーノフ、ラムスプールら研究により知られている。
ことが望ましい。各結晶層１，２．３には多型（ポリタ
イプ）の関係にある結晶構造を有するものを用いる。多
型には、ＳｉＣ，Ｃｄｌ□、 ＺｎＳなどで良く知られ
ており、基本となる層状構造を積み重ねて結晶構造を作
る場合に、積み重ねる時の規則により積み重ね方向の同
期（格子定数）に種々のものが出現できる現象であり、
ジダーノフ、ラムスプールら研究により知られている。
）
ここで説明の簡潔化のために、−例としてＺｎＳの多型
を２波長分光素子に用いた場合につき説明する。これは
ＺｎＳ四面体のつくる層の積み重ねにより構成される分
光素子であるが、分光素子の第１層は＾ＢＣＡＢＣ・、
第２層はＡＢＡＢ＾６・の積み重ねの各結晶層となって
いるとする。すなわち、ラムスプールの記号により各結
晶層の構造を記述すれば、３Ｃ及び２Ｈである。この場
合、第１層の格子定数ｄ。
を２波長分光素子に用いた場合につき説明する。これは
ＺｎＳ四面体のつくる層の積み重ねにより構成される分
光素子であるが、分光素子の第１層は＾ＢＣＡＢＣ・、
第２層はＡＢＡＢ＾６・の積み重ねの各結晶層となって
いるとする。すなわち、ラムスプールの記号により各結
晶層の構造を記述すれば、３Ｃ及び２Ｈである。この場
合、第１層の格子定数ｄ。
と第２図の格子定数ｄ２との比はｄ＋／ｄｔ＝３／２と
なり、２波長分光素子が構成されたことになる。
なり、２波長分光素子が構成されたことになる。
第１図に示す実施例の分光素子は上記の２波長分光素子
の原理を第１結晶層１と第２結晶層２、第２結晶層２と
第３結晶層３に応用したもので、このような構成とする
ことで、白色Ｘ線が本実施例の分光素子の表面に入射す
ると、２ｄｌｓｉｎ ＩＪ ＝λ１．２ｄ２．ｓｉｎθ
：＾２．２ｄ３＋ｉｎθ二λ３のブラックの条件により
分光された波長人１、λ２、λ３のＸ線が混合した光束
が射出されることになる。
の原理を第１結晶層１と第２結晶層２、第２結晶層２と
第３結晶層３に応用したもので、このような構成とする
ことで、白色Ｘ線が本実施例の分光素子の表面に入射す
ると、２ｄｌｓｉｎ ＩＪ ＝λ１．２ｄ２．ｓｉｎθ
：＾２．２ｄ３＋ｉｎθ二λ３のブラックの条件により
分光された波長人１、λ２、λ３のＸ線が混合した光束
が射出されることになる。
なお、上記実施例では３波長の分光素子を例示したが、
本発明は２波長あるいは４波長以上の分光素子にも同様
な原理で適用される。
本発明は２波長あるいは４波長以上の分光素子にも同様
な原理で適用される。
また、上記実施例ではＺｎＳの多型を例示したが、Ｓｉ
ＣやＣ（１１２、雲母などの多型を利用することもでき
、これらによりさまざまな格子定数の組合せをもつ多波
長分光素子の設計が可能である。
ＣやＣ（１１２、雲母などの多型を利用することもでき
、これらによりさまざまな格子定数の組合せをもつ多波
長分光素子の設計が可能である。
さらに、上記実施例では各結晶層に多型の関係にある結
晶構造のものを用いたが、これに代えて、一部原子の置
換による超格子構造の関係にあるものを用いても所期の
目的を達成することができる。
晶構造のものを用いたが、これに代えて、一部原子の置
換による超格子構造の関係にあるものを用いても所期の
目的を達成することができる。
〔発明の効果３
本発明によれば、的記構成としたので多波長の分光がで
きるため、線スペクトルで構成されたＸ線光束が得られ
、結晶の評価、物性測定への応用 □が可能であり、ま
た光化学反応の効率化などで）オドリソグラフィーにも
応用可能である。
きるため、線スペクトルで構成されたＸ線光束が得られ
、結晶の評価、物性測定への応用 □が可能であり、ま
た光化学反応の効率化などで）オドリソグラフィーにも
応用可能である。
また、多層構造を多型あるいは一部原子の置換による超
格子構造を利用して層界面の形成を行っているので層界
面は連続しており分光素子として優れたものとなる。
格子構造を利用して層界面の形成を行っているので層界
面は連続しており分光素子として優れたものとなる。
第１図は本発明の一実施例に係る多波長分光素子の構成
を示す断面図である。 １・・・第１結晶層 ２・・・第２結晶層 ３・・第３
結晶層特許出願人 株式会社 リ コ −代理人
弁理士 池浦敏明（ほか１名）第１図
を示す断面図である。 １・・・第１結晶層 ２・・・第２結晶層 ３・・第３
結晶層特許出願人 株式会社 リ コ −代理人
弁理士 池浦敏明（ほか１名）第１図
Claims (3)
- （１）ブラック反射を起こす結晶面が平面な複数の結晶
層より構成され、各結晶層は同一組成の多型の関係にあ
るかまたは一部原子の置換による超格子構造の関係にあ
ることを特徴とする多波長分光素子。 - （２）結晶層界面での格子定数のミスフィットは存在し
ないが、界面に垂直方向ではそれぞれの結晶層の格子定
数が変化していることを特徴とする請求項１に記載の多
波長分光素子。 - （３）表面側の結晶層の格子定数が内部側の結晶層の格
子定数より順次大きくなるように構成されていることを
特徴とする請求項１又は２に記載の多波長分光素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33724790A JP2968995B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 多波長分光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33724790A JP2968995B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 多波長分光素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04204297A true JPH04204297A (ja) | 1992-07-24 |
| JP2968995B2 JP2968995B2 (ja) | 1999-11-02 |
Family
ID=18306826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33724790A Expired - Fee Related JP2968995B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 多波長分光素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2968995B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007011403A (ja) * | 1999-11-29 | 2007-01-18 | X-Ray Optical Systems Inc | 徐々に変化する原子面を有する二重に湾曲した光学素子 |
| JP2008170236A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | High Energy Accelerator Research Organization | Ｘ線及び中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 |
| JP2008528959A (ja) * | 2005-01-21 | 2008-07-31 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク | Ｘ線モノクロメーターまたは中性子モノクロメーター |
| WO2008061221A3 (en) * | 2006-11-16 | 2008-10-09 | X Ray Optical Sys Inc | X-ray focusing optic having multiple layers with respective crystal orientations |
| CN103940837A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-07-23 | 中国科学院物理研究所 | 一种SiC晶体单色器 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33724790A patent/JP2968995B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007011403A (ja) * | 1999-11-29 | 2007-01-18 | X-Ray Optical Systems Inc | 徐々に変化する原子面を有する二重に湾曲した光学素子 |
| JP2008528959A (ja) * | 2005-01-21 | 2008-07-31 | コミサリヤ・ア・レネルジ・アトミク | Ｘ線モノクロメーターまたは中性子モノクロメーター |
| WO2008061221A3 (en) * | 2006-11-16 | 2008-10-09 | X Ray Optical Sys Inc | X-ray focusing optic having multiple layers with respective crystal orientations |
| JP2010510494A (ja) * | 2006-11-16 | 2010-04-02 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | それぞれの結晶方位を持つ多層を有するｘ線集束光学系 |
| US7738629B2 (en) | 2006-11-16 | 2010-06-15 | X-Ray Optical Systems, Inc. | X-ray focusing optic having multiple layers with respective crystal orientations |
| JP2008170236A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | High Energy Accelerator Research Organization | Ｘ線及び中性子線の反射率曲線測定方法及び測定装置 |
| CN103940837A (zh) * | 2014-04-01 | 2014-07-23 | 中国科学院物理研究所 | 一种SiC晶体单色器 |
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|---|---|
| JP2968995B2 (ja) | 1999-11-02 |
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