JPH04204332A - 半導体振動センサ - Google Patents
半導体振動センサInfo
- Publication number
- JPH04204332A JPH04204332A JP33940590A JP33940590A JPH04204332A JP H04204332 A JPH04204332 A JP H04204332A JP 33940590 A JP33940590 A JP 33940590A JP 33940590 A JP33940590 A JP 33940590A JP H04204332 A JPH04204332 A JP H04204332A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- semiconductor
- semiconductor light
- emitting element
- metal ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 65
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、機械的な振動を検知する振動センサに関し、
特に、光半導体素子によって振動を検知し、電気信号と
して出力する半導体振動センサに関する。
特に、光半導体素子によって振動を検知し、電気信号と
して出力する半導体振動センサに関する。
従来の振動センサは流動体や、他の物体の重心の移動に
よって機械的に振動を伝達していた。このため電気信号
への変換がむずかしく、マイクロコンピュータ等への接
続が困難であった。
よって機械的に振動を伝達していた。このため電気信号
への変換がむずかしく、マイクロコンピュータ等への接
続が困難であった。
上述した従来の振動センサは、重心の移動等によって検
知した振動を機械的な接続によって伝達する構造となっ
ているので、センサが大型になり、信号伝達距離を伸ば
すことが出来す、また電気信号への変換が困難であり、
マイクロコンピュータ等により制御系への接続が出来な
いという欠点がある。
知した振動を機械的な接続によって伝達する構造となっ
ているので、センサが大型になり、信号伝達距離を伸ば
すことが出来す、また電気信号への変換が困難であり、
マイクロコンピュータ等により制御系への接続が出来な
いという欠点がある。
本発明の半導体振動センサは４つあり、その１つは、同
一光軸上に、互いに向かい合うように設置された半導体
発光素子と半導体受光素子とを具備し、すりばち状の底
を有する光透過性容器を、すりばち状底部の最も低い部
分が前記素子の光軸上にあるようにして前記発光素子と
受光素子との間に設置し、１つまたは複数の光不透過性
の球体を移動自在にして前記容器の底部に載置したこと
を特徴とする構成になっている。２つ目は、同一光軸上
に、互いに向かい合うように設置された半導体発光素子
と半導体受光素子とを具備し、光不透過性の物体を、弾
性を有する支持体で支持して前記光軸上に配置したこと
を特徴とする構成である。３つ目は、すりばち状の底を
有する容器力底部に球状の反射体を移動自在に載！し、
平衡位置にある前記反射体に光を照射する位！に半導体
発光素子を設置し、前記半導体発光素子から出て、平衡
位置にある前記反射体で反射した光を受光する位置に半
導体受光素子を配置したことを特徴とする半導体振動セ
ンサである。４つ目は、弾性を有する支持体で反射体を
支持し、当該反射体に光を照射する位置に半導体発光素
子を配置し、前記半導体発光素子から出て、平衡位置に
ある前記反射体で反射した光を受光する位置に半導体受
光素子を配置したことを特徴とする半導体振動センサで
ある。
一光軸上に、互いに向かい合うように設置された半導体
発光素子と半導体受光素子とを具備し、すりばち状の底
を有する光透過性容器を、すりばち状底部の最も低い部
分が前記素子の光軸上にあるようにして前記発光素子と
受光素子との間に設置し、１つまたは複数の光不透過性
の球体を移動自在にして前記容器の底部に載置したこと
を特徴とする構成になっている。２つ目は、同一光軸上
に、互いに向かい合うように設置された半導体発光素子
と半導体受光素子とを具備し、光不透過性の物体を、弾
性を有する支持体で支持して前記光軸上に配置したこと
を特徴とする構成である。３つ目は、すりばち状の底を
有する容器力底部に球状の反射体を移動自在に載！し、
平衡位置にある前記反射体に光を照射する位！に半導体
発光素子を設置し、前記半導体発光素子から出て、平衡
位置にある前記反射体で反射した光を受光する位置に半
導体受光素子を配置したことを特徴とする半導体振動セ
ンサである。４つ目は、弾性を有する支持体で反射体を
支持し、当該反射体に光を照射する位置に半導体発光素
子を配置し、前記半導体発光素子から出て、平衡位置に
ある前記反射体で反射した光を受光する位置に半導体受
光素子を配置したことを特徴とする半導体振動センサで
ある。
〔実施例１〕
第１図は本発明の一実施例の斜視図であり、第２図は第
１図ＡＡ′における縦断面図である。半導体発光素子１
の半導体受光素子２は互いの光軸１０を一致させ、その
発光面と受光面を対向させてハウジングケース３内に収
納・画定されている。半導体発光素子と半導体受光素子
の開には、すりばち状の底を有する光透過性樹脂でてき
た容器５があり、この容器５の底部に金属球４が載置し
である。この金属球４は、すりばち状底部の最も低い位
置にあって静止状態にあるときは光軸１０上にあって、
半導体発光素子からの光を遮っている。
１図ＡＡ′における縦断面図である。半導体発光素子１
の半導体受光素子２は互いの光軸１０を一致させ、その
発光面と受光面を対向させてハウジングケース３内に収
納・画定されている。半導体発光素子と半導体受光素子
の開には、すりばち状の底を有する光透過性樹脂でてき
た容器５があり、この容器５の底部に金属球４が載置し
である。この金属球４は、すりばち状底部の最も低い位
置にあって静止状態にあるときは光軸１０上にあって、
半導体発光素子からの光を遮っている。
振動のないときは半導体発光素子と半導体受光素子の光
軸上に遮光性の金属球があるため、半導体受光素子には
光電流が流れないが振動を与えると、光軸上にあって半
導体発光素子からの光を遮光していた金属球が動き、半
導体受光素子に光が入射し、光電流か流れて振動が検知
できる。
軸上に遮光性の金属球があるため、半導体受光素子には
光電流が流れないが振動を与えると、光軸上にあって半
導体発光素子からの光を遮光していた金属球が動き、半
導体受光素子に光が入射し、光電流か流れて振動が検知
できる。
金属球の大きさや、光透過性容器の底面の傾斜角度を変
える事によって検知する振動の強さを変えることが出来
る。
える事によって検知する振動の強さを変えることが出来
る。
〔実施例２〕
第３図は本発明の実施例２の縦断面図、第４図は第３図
のＡ−Ａ’線断面区である。半導体発光素子１の光軸上
に１個の半導体受光素子２ａと、その半導体受光素子２
ａの廻りに複数の半導体受光素子２ｂ〜２ｅを設置し、
半導体発光素子１と半導体受光素子２ａ間に、容易に動
くような金属球４を光透過性容器５に収納している。
のＡ−Ａ’線断面区である。半導体発光素子１の光軸上
に１個の半導体受光素子２ａと、その半導体受光素子２
ａの廻りに複数の半導体受光素子２ｂ〜２ｅを設置し、
半導体発光素子１と半導体受光素子２ａ間に、容易に動
くような金属球４を光透過性容器５に収納している。
この実施例では半導体受光素子が複数個あるために、そ
れぞれの半導体受光素子に流れる電流の変化によって、
本体の振動だけでなく傾きの方向を検知出来るという利
点がある。また、半導体受光素子の数を増やすことによ
り、傾きを検知する精度を上げることが出来る。
れぞれの半導体受光素子に流れる電流の変化によって、
本体の振動だけでなく傾きの方向を検知出来るという利
点がある。また、半導体受光素子の数を増やすことによ
り、傾きを検知する精度を上げることが出来る。
〔実施例３〕
第５図に本発明の第３の実施例を示す。この例は、光軸
を一致させて対向配置した半導体発光素子１と半導体受
光素子２の間に、ばね６で支持された金属球４を設置し
た構造になっている。
を一致させて対向配置した半導体発光素子１と半導体受
光素子２の間に、ばね６で支持された金属球４を設置し
た構造になっている。
この実施例は、前後、左右、上下の３方向の振動を検知
できる。なお、検知特性を安定にするために、重り等の
ダンパーをばね６に設けると更によい。
できる。なお、検知特性を安定にするために、重り等の
ダンパーをばね６に設けると更によい。
〔実施例４〕
第６図に本発明の第４の実施例を示す。この実施例は半
導体発光素子１からの光を金属球４で反射して半導体受
光素子２で検出する構造になっている。この他の部分、
すなわち、光透過性容器５、金属球４の配置、ハウジン
グケース３等は先の実施例と同じ構成にした。
導体発光素子１からの光を金属球４で反射して半導体受
光素子２で検出する構造になっている。この他の部分、
すなわち、光透過性容器５、金属球４の配置、ハウジン
グケース３等は先の実施例と同じ構成にした。
この実施例の半導体振動センサは、金属球が僅かに動い
ても反射光の反射角が大きく変化するため、高感度のも
のとなる。
ても反射光の反射角が大きく変化するため、高感度のも
のとなる。
〔実施例５〕
第７図に本発明の第４の実施例を示す。この実施例も第
３の実施例と同様、半導体発光素子１からの光を金属球
４で反射し、この反射光を半導体受光素子２で検出する
反射型で、金属球４をばね６で支持している点を除けば
、第３の実施例と同じである。
３の実施例と同様、半導体発光素子１からの光を金属球
４で反射し、この反射光を半導体受光素子２で検出する
反射型で、金属球４をばね６で支持している点を除けば
、第３の実施例と同じである。
以上説明したように本発明は、半導体発光素子と半導体
受光素子との組み合わせと、受光素子に流れる電流の変
化によって振動を検知するという方式を採用しているの
で信号伝達距離を延ばすことが可能となり、また、マイ
クロコンピュータ等の制御系への接続も容易になる。
受光素子との組み合わせと、受光素子に流れる電流の変
化によって振動を検知するという方式を採用しているの
で信号伝達距離を延ばすことが可能となり、また、マイ
クロコンピュータ等の制御系への接続も容易になる。
第１図は本発明の半導体振動センサの一実施例の斜視面
、第２図は第１図の縦断面図、第３図は実施例２の縦断
面図、第４図は第３図のＡ−Ａ′線断面図、第５図、第
６図、第７図は他の実施例を示す図である。 １・・・半導体発光素子、２・・・半導体受光素子、３
・・・ハウジングケース、４・・・金属球、５・・・光
透過性容器、６・・・ばね。 代理人′ 弁理士 内 原 音 裏 １ 反 第 ２ 以 １１ル休発÷鼻干 ノ′ り甲５ ３ ［上弓 〕甲５ ４ 口石 箪 ５ 図 方 ６ 図 蔦７図
、第２図は第１図の縦断面図、第３図は実施例２の縦断
面図、第４図は第３図のＡ−Ａ′線断面図、第５図、第
６図、第７図は他の実施例を示す図である。 １・・・半導体発光素子、２・・・半導体受光素子、３
・・・ハウジングケース、４・・・金属球、５・・・光
透過性容器、６・・・ばね。 代理人′ 弁理士 内 原 音 裏 １ 反 第 ２ 以 １１ル休発÷鼻干 ノ′ り甲５ ３ ［上弓 〕甲５ ４ 口石 箪 ５ 図 方 ６ 図 蔦７図
Claims (4)
- １．同一光軸上に、互いに向かい合うように設置された
半導体発光素子と半導体受光素子とを具備し、すりばち
状の底を有する光透過性容器を、すりばち状底部の最も
低い部分が前記素子の光軸上にあるようにして前記発光
素子と受光素子との間に設置し、１つまたは複数の光不
透過性の球体を移動自在にして前記容器の底部に載置し
たことを特徴とする半導体振動センサ。 - ２．同一光軸上に、互いに向かい合うように設置された
半導体発光素子と半導体受光素子とを具備し、光不透過
性の物体を、弾性を有する支持体で支持して前記光軸上
に配置したことを特徴とする半導体振動センサ。 - ３．すりばち状の底を有する容器の底部に球状の反射体
を移動自在に載置し、平衡位置にある前記反射体に光を
照射する位置に半導体発光素子を設置し、前記半導体発
光素子から出て、平衡位置にある前記反射体で反射した
光を受光する位置に半導体受光素子を配置したことを特
徴とする半導体振動センサ。 - ４．弾性を有する支持体で反射体を支持し、当該反射体
に光を照射する位置に半導体発光素子を配置し、前記半
導体発光素子から出て、平衡位置にある前記反射体で反
射した光を受光する位置に半導体受光素子を配置したこ
とを特徴とする半導体振動センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33940590A JPH04204332A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 半導体振動センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33940590A JPH04204332A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 半導体振動センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04204332A true JPH04204332A (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=18327169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33940590A Pending JPH04204332A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 半導体振動センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04204332A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002012842A1 (en) * | 2000-07-24 | 2002-02-14 | Venturi Co., Ltd. | Vibration sensor and burglar alarm for notebook computer using the same |
| JP2009036519A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Rohm Co Ltd | 振動センサ |
| CN109667108A (zh) * | 2018-06-26 | 2019-04-23 | 中山东菱威力电器有限公司 | 一种洗衣机震动检测装置及其洗衣机 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33940590A patent/JPH04204332A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002012842A1 (en) * | 2000-07-24 | 2002-02-14 | Venturi Co., Ltd. | Vibration sensor and burglar alarm for notebook computer using the same |
| JP2009036519A (ja) * | 2007-07-31 | 2009-02-19 | Rohm Co Ltd | 振動センサ |
| CN109667108A (zh) * | 2018-06-26 | 2019-04-23 | 中山东菱威力电器有限公司 | 一种洗衣机震动检测装置及其洗衣机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4770514A (en) | Collimating compound catoptric immersion lens | |
| US3842263A (en) | Molded opto-electronic transducer | |
| US4479053A (en) | Focal plane array optical proximity sensor | |
| JP2019532312A (ja) | 飛行時間法に基づくレーザレーダシステム | |
| KR940011981A (ko) | 광학 인코더 | |
| CN101849251A (zh) | 用于检测器的辐射导向器、散射辐射检测器 | |
| JPH08107235A (ja) | 光電センサーの投光器 | |
| JPH04204332A (ja) | 半導体振動センサ | |
| JP3080630B2 (ja) | 半導体振動センサー | |
| JPS6085311A (ja) | 傾斜検知スイツチ | |
| US5902999A (en) | Acceleration sensor | |
| CN207081839U (zh) | 多功能传感器 | |
| JP2006317171A (ja) | 傾斜センサ | |
| JPH10227635A (ja) | 傾斜センサ | |
| JPH08293234A (ja) | 液位検出器 | |
| JPH09280858A (ja) | 傾き検知装置 | |
| JPS6348037Y2 (ja) | ||
| JP2007178391A (ja) | 傾斜角検出装置 | |
| RU220602U1 (ru) | Сигнализатор наклона | |
| JP2722048B2 (ja) | 液面センサ | |
| CN115825916B (zh) | 一种光学接收装置及光学传感装置 | |
| JPS607498Y2 (ja) | 光電変換素子 | |
| JPS626295B2 (ja) | ||
| CN120427150A (zh) | 一种宽量程集成拉力和压力传感器 | |
| JP2002243442A (ja) | 傾き検知装置 |