JPH04204510A - 導波路型光部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、入出力用の光ファイバを簡便に精度良く且つ
経済的に接続することのできる導波路型光部品に関する
ものである。

〈従来の技術〉 光ファイバ通信を初めとする光産業の進展に□伴い、各
種の光部品か要求されている。これらの光部品の実現形
態としては、（１）バルク形、（２）ファイバ形、（３
）導波路型か知られている。

このなかで導波路形光部品では、この光回路への光入力
用及び該光回路からの光出力用の光ファイバを接続する
必要がある。

近年、導波路型光部品の小型であるという特徴を生かす
ため、光入出力の多いもの或いは複数の光回路を一つの
導波路形部品に形成することが実施されている。

このように、一つの導波路形光部品に数多くの入出力を
必要とする場合或いは複数の光回路を形成する場合には
多条の入出力用光ファイバが必要となる。

従来、多条の光ファイバを接続するに当たり、０１本１
本の光ファイバを個別に接続する方法、■複数の光ファ
イバを予め整列して光ファイバアレイを形成し、これら
を−括して接続する方法等が考案されている。

第２図に従来実施されている上記■の接続方法の一例を
示す。

同図に示すように、基板上にはコア部２を有する光導波
膜１か形成され、この光導波膜１には図示しない光回路
が構成されている。光導波膜１にはエツチング等により
、ガイド溝３か加工されている。ガイド溝３は、光回路
の光入出力部となるコア部２の位置に配置され、このガ
イド溝３に光ファイバ４を挿入して固定することで、光
ファイバ４の軸心とコア部２か位置決めされるようにな
っている。従って、このような構造によれば、１本１本
毎に光ファイバを調心することなく、光ファイバ４とコ
ア部２とを簡便に接続することができる。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかし、上記従来技術では、ガイド溝３をエツチング或
いは切削により加工する為、光ファイバ４に対するコア
部２の接続面を垂直に加工することか困難であった。

この為、光回路の光入出力部であるコア部２の接続面と
光ファイバ４の先端面とか密着せず傾いて、それらの間
に隙間か介在してしまい、接続特性が悪化するという欠
点かあった。また、光ファイバ４を接続する為に接着剤
を使用すると、塗布した接着剤かガイド溝３に流れ出し
て広い範囲に広がってしまうので、接着剤か均一に収縮
せず、接続特性及び信頼性が低下する問題かあった。

本発明は、上記従来技術に鑑みて成されたものてあり、
ガイド溝を利用した従来技術を改良し、更に、その利点
を生かして光回路の入出力部と光ファイバとを精度良く
接続した導波路型光部品を提供することを目的とするも
のである。

つまり、ガイド溝の加工では不十分である光回路側の接
続面を別工程により、精度良く加工すること共に同時に
使用する接着剤の塗布を局部的に留め、硬化収縮を均一
に行わせることを目的とするものである。

〈課題を解決するための手段〉 斯かる目的を達成する本発明の構成は基板上に形成した
光導波膜に光回路を構成すると共に該光導波膜に光ファ
イバ端部を収納するガイド溝を形成して前記光回路の光
入出力部となるコア部と前記光ファイバ先端面とを接続
してなる導波路型光部品において、前記光導波膜に前記
ガイド溝に対して直角方向に延びる直交方向溝を少なく
とも１本形成し、前記直交方向溝の何れかは前記コア部
の接続面を垂直面に加工してなるものであることを特徴
とする。

く作用〉 光導波膜に形成された少なくとも１本の直交方向溝は、
光回路の光入出力部となるコア部の接続面を垂直面に加
工するので、ガイド溝に収納される光ファイバの先端面
と、そのコア部の垂直面か隙間無く密着し、この為、そ
れらの接続損失か低減し接続損失特性が改善される。

また、光ファイバを固定する為に接着剤を塗布すると、
接着剤はこれらの直交方向溝に充填されて局部的に集中
する。この為、接着剤は広く流れ出すことかなく、硬化
収縮が均一となる利点がある。

〈実施例〉 以下、本発明について、図面に示す実施例を参照して詳
細に説明する。

第１図に本発明の一実施例を示す。本実施例は、石英系
ガラス導波膜における直線導波路に本発明を適用したも
のである。

即ち、シリコン基板上には光導波膜１が形成され、この
光導波路ｌには図示しない光回路か構成されている。光
導波膜１は、クラッド部、コア部、更に上部クラッド部
を積層してなるものであり、これらは、シリコン基板に
多孔質状態の石英系ガラス微粒子を堆積させ、それを加
熱することで透明膜としたものである。また、コア部２
はフォトリソグラフィーによるエツチングを実施して形
成したものである。

更に、この光導波膜１には、フォトリソグラフィにより
ガイド溝３が形成されている。ガイド溝３は、光入出力
部となるコア部２の位置に配置されており、光ファイバ
４が挿入されるものである。

ここて、コア部２の接続面かエツチングにより加工され
た曲面のままであると、光ファイバ４との接続か精度の
低いものとなる。

この為、本発明は、このガイド溝３に対して直角な方向
に直交方向溝溝５，６を形成している。

即ち、本実施例では、ブレート幅１　ｍｍの溝加工機に
より平行に３回重ね切りを行うことにより、ガイド溝４
に対する直交方向溝５として、幅２．８ｍｍ、深さ０．
２ｍｍの溝を形成した。また、本実施例においては、こ
の接続面の溝から更に手前に０．５ｍｍ離れた位置に、
同じブレードを使用して、ガイド溝３に対する直交方向
溝６として幅１　ｍｍ、深さ０．２ｍｍの溝を形成した
。これらの直交方向溝５，６に紫外線硬化形の接着剤を
充填して光ファイバ４を固定した。また、光ファイバ４
の先端には、屈折率整合用の樹脂を塗布した。この屈折
率整合用の樹脂については、場合に応じて、省略するこ
ともてきるし、紫外線硬化形の接着剤により代用するこ
ともてきる。

上記構成を有する本実施例では、ガイド溝３に対する直
交方向溝５を加工したので、光回路の光入出力部である
コア部２の接続面が垂直に加工される為、光ファイバの
先端面とコア部２の接続面とが隙間無く密着し、この為
、接続損失が低下する。

例えば、本実施例の石英系導波膜における直線導波路の
場合、接続損失は０．３ｄＢであり、直交方向溝を設け
ていない従来のガイド溝の場合の接続損失の０．５ｄＢ
の場合に比較し、良好な結果か得られた。

また、光ファイバ４の接続に使用した紫外線硬化形の接
着剤は、直交方向溝５，６に充填されて局部的に集中す
るので、ガイド溝３に誘導されて広い範囲に流れること
かない。この為、接着剤の硬化収縮が均一となり、その
不均一な収縮による信頼性の低下を回避することかでき
る。

尚、上記実施例では、石英系ガラス導波膜における直線
導波路に本発明を適用したものであるが、本発明は、他
の実際の種々の光導波回路にも適用可能なものである。

〈発明の効果〉 以上、実施例に基づいて具体的に説明したように、本発
明はガイド溝に対して直交方向溝を加工したので、光フ
ァイバに対する接続損失を低減して接続損失特性を改善
することができた。

これにより、ガイド溝を利用した無調芯接続技術か実用
的となり、光回路モジュールの作成における経済化にも
寄与するものである。また、接着剤を使用して光ファイ
バを固定する場合には、この接着剤か直交方向溝に充填
されるので、硬化収縮か均一となり信頼性を向上させる
利点もある。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は従来
の技術に関する説明図である。 図面中、 １は光導波膜、 ２はコア部、 ３はガイド溝、 ４は光ファイバ、 ５．６は直交方向溝である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上に形成した光導波膜に光回路を構成すると共に該
   光導波膜に光ファイバ端部を収納するガイド溝を形成し
   て前記光回路の光入出力部となるコア部と前記光ファイ
   バ先端面とを接続してなる導波路型光部品において、前
   記光導波膜に前記ガイド溝に対して直角方向に延びる直
   交方向溝を少なくとも１本形成し、前記直交方向溝の何
   れかは前記コア部の接続面を垂直面に加工してなるもの
   であることを特徴とする導波路型光部品。