JPH04205911A - Magnetic recording medium for horizontal magnetization - Google Patents

Magnetic recording medium for horizontal magnetization

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JPH04205911A
JPH04205911A JP33706290A JP33706290A JPH04205911A JP H04205911 A JPH04205911 A JP H04205911A JP 33706290 A JP33706290 A JP 33706290A JP 33706290 A JP33706290 A JP 33706290A JP H04205911 A JPH04205911 A JP H04205911A
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JP
Japan
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magnetic
layer
cobalt
recording medium
horizontal magnetization
Prior art date
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Pending
Application number
JP33706290A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Junichi Horikawa
順一 堀川
Shoji Matsuda
松田 昌二
Yoichi Yamaguchi
洋一 山口
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Hoya Corp
Original Assignee
Hoya Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic recording medium for horizontal magnetization having superior magnetic characteristics and hardly undergoing the deterioration of the magnetic characteristics with the lapse of time by successively forming a layer of a first magnetic body contg. Co and a layer of a second magnetic body which is the oxide of the first magnetic body. CONSTITUTION:A layer 3 of a first magnetic body contg. Co is formed on a glass substrate 1 and a layer 4 of a second magnetic body which is the oxide of the first magnetic body is formed on the layer 3 to obtain a magnetic recording medium for horizontal magnetization. A change of the magnetic characteristics of the layer 3 due to oxidation can be prevented and the layer 4 also has magnetic characteristics and ensures superior magnetic characteristics of the vicinity of the surface of the medium required at the time of high density recording. The medium has high magnetic flux density and high coercive force and hardly undergoes the deterioration of the saturation magnetization with the lapse of time.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野】[Industrial application field]

本発明は、磁気ディスク、磁気テープ等の水平磁化用磁
気記録媒体に関するものである。
The present invention relates to magnetic recording media for horizontal magnetization such as magnetic disks and magnetic tapes.

【従来の技術】[Conventional technology]

近年、金属磁性薄膜を磁性層とする連続薄膜型の水平磁
化用磁気記録媒体の実用化に向けた開発が進んでいる。 この磁性層はスパッタリングあるいは真空蒸着により製
造される。 このような連続薄膜型の水平磁化用磁気記録媒体は、磁
性薄膜としてコバルト及びコバルト系合金を用いたもの
が知られている。このような水平磁化用磁気記録媒体は
、良好な保磁力と角形比とを示すことが知られている。 さらに、最近では、コバルト酸化物およびコバルト合金
系酸化物を磁性薄膜として用いることが注目されている
。このような磁性薄膜を用いる目的は、磁性層であるコ
バルトあるいはコバルト系合金の酸化により磁気特性が
経時的に劣化される不安定性を防ぎ、さらに磁気ヘッド
との接触による金属薄膜の機械的劣化を防ぐためである
。 このようなコバルト酸化物およびコバルト合金系酸化物
は、基体上または基体上に形成された下地層の上に、コ
バルトあるいはコバルト系合金をO2雰囲気中にてスパ
ッタリングあるいは蒸着することにより形成される。
In recent years, progress has been made toward the practical application of continuous thin film type magnetic recording media for horizontal magnetization in which a magnetic layer is a metal magnetic thin film. This magnetic layer is manufactured by sputtering or vacuum deposition. Such continuous thin film magnetic recording media for horizontal magnetization are known to use cobalt and cobalt-based alloys as the magnetic thin film. It is known that such magnetic recording media for horizontal magnetization exhibit good coercive force and squareness ratio. Furthermore, recently, the use of cobalt oxides and cobalt alloy-based oxides as magnetic thin films has attracted attention. The purpose of using such a magnetic thin film is to prevent instability in which the magnetic properties deteriorate over time due to oxidation of the cobalt or cobalt-based alloy that makes up the magnetic layer, and to prevent mechanical deterioration of the metal thin film due to contact with the magnetic head. This is to prevent it. Such cobalt oxides and cobalt alloy-based oxides are formed by sputtering or vapor-depositing cobalt or a cobalt-based alloy in an O2 atmosphere on the substrate or on an underlayer formed on the substrate.

【発明が解決しようとする課1i1 しかしながら、コバルト酸化物及びコバルト合金系酸化
物は、コバルトおよびコバルト系合金に比べ、磁束密度
及び保磁力が低くなるという欠点があり、磁気記録媒体
として劣っていた。 また、上述したように、コバルト酸化物及びコバルト合
金系酸化物を製造する場合、基体または下地層が02雰
囲気中にさらされた状態でスパッタリングあるいは蒸着
が行われるため、基体表面に荒れが発生したり、下地層
の酸化により良好な薄膜の磁性層が得られなかったり、
磁性層と下地層の層間の接着力が低下するという欠点が
ある。 特に、下地層を用いた磁性薄膜媒体の場合、下地層上に
磁性薄膜層を成長させることにより良好な磁気特性、特
に高い保磁力を得ることができたが、下地層の表面酸化
が発生すると、下地層の効果が著しく損なわれるという
欠点がある。 本発明の目的は、高い磁束密度及び保磁力を有し、飽和
磁化の経時変化の劣化の少ない水平磁化用磁気記録媒体
を提供することにある。 【3題を解決するための手段】 本発明による水平磁化用磁気記録媒体を以下に述べる。 (1)基体と、該基体上に形成され、コバルトを含む第
1の磁性体から成る第1の磁性体層と、該第1の磁性体
層上に形成され、前記第1の磁性体の酸化物である第2
の磁性体から成る第2の磁性体層とを有することを特徴
とする水平磁化用磁気記録媒体。 (2)前記基体と前記第1の磁性体層との間に、クロム
を含む非磁性体の下地層を有することを特徴とする(1
)に記載の水平磁化用磁気記録媒体。 (3)前記第1の磁性体としては、コバルト−M合金(
ただし、Mは鉄、ニッケル、クロム、タンタル、白金ま
たはパラジウムの内から選ばれた少くも一種類の元素を
含む)を用いることができる。 (4)前記第2の磁性体としては、コバルト−M−酸化
物(ただし、Mは鉄、ニッケル、クロム、タンタル、白
金またはパラジウムの内から選ばれた少くも一種類の元
素を含む)を用いることができる。 (5)前記非磁性体としては、ニッケルークロム合金を
用いることができる。 このような水平磁化用磁気記録媒体は、次のようにして
製造される。まず、基体上、または基体上に形成された
下地層上に、コバルトあるいはコバルト系合金よりなる
第1の磁性体層をスパッタリング等により形成する。引
き続いて、この第1の磁性体層上に、コバルト酸化物あ
るいはコバルト系合金酸化物よりなる第2の磁性体層を
スパッタリング等により形成する。
[Issue to be solved by the invention 1i1 However, cobalt oxides and cobalt alloy-based oxides have the disadvantage that magnetic flux density and coercive force are lower than cobalt and cobalt-based alloys, and are inferior as magnetic recording media. . Furthermore, as mentioned above, when producing cobalt oxides and cobalt alloy-based oxides, sputtering or vapor deposition is performed with the substrate or underlayer exposed to the 02 atmosphere, so roughness may occur on the surface of the substrate. Or, a good thin magnetic layer cannot be obtained due to oxidation of the underlayer.
There is a drawback that the adhesive force between the magnetic layer and the underlayer is reduced. In particular, in the case of magnetic thin film media using an underlayer, it has been possible to obtain good magnetic properties, especially high coercive force, by growing the magnetic thin film layer on the underlayer, but when surface oxidation of the underlayer occurs, However, there is a drawback that the effect of the underlayer is significantly impaired. An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium for horizontal magnetization that has high magnetic flux density and coercive force, and has little deterioration due to changes in saturation magnetization over time. [Means for Solving the Three Problems] A magnetic recording medium for horizontal magnetization according to the present invention will be described below. (1) a base, a first magnetic layer formed on the base and made of a first magnetic substance containing cobalt; and a first magnetic layer formed on the first magnetic layer and made of a first magnetic substance containing cobalt; The second which is an oxide
1. A magnetic recording medium for horizontal magnetization, comprising a second magnetic layer made of a magnetic material. (2) A non-magnetic underlayer containing chromium is provided between the base and the first magnetic layer (1)
) The magnetic recording medium for horizontal magnetization described in . (3) The first magnetic material is a cobalt-M alloy (
However, M may contain at least one element selected from iron, nickel, chromium, tantalum, platinum, or palladium. (4) As the second magnetic substance, cobalt-M-oxide (M includes at least one element selected from iron, nickel, chromium, tantalum, platinum, or palladium). Can be used. (5) A nickel-chromium alloy can be used as the non-magnetic material. Such a magnetic recording medium for horizontal magnetization is manufactured as follows. First, a first magnetic layer made of cobalt or a cobalt-based alloy is formed by sputtering or the like on a substrate or an underlayer formed on the substrate. Subsequently, a second magnetic layer made of cobalt oxide or cobalt-based alloy oxide is formed on the first magnetic layer by sputtering or the like.

【作用】[Effect]

(1)の水平磁化用磁気記録媒体では、第1の磁性体層
上に第2の磁性体層を形成しているので、第1の磁性体
層の酸化による磁気特性の経時変化を防ぐことができる
。しかも、第2の磁性体層も、磁気記録媒体として磁気
特性を有するため、高密度記録時に必要な媒体の表面付
近の磁気特性が優れたものとなる。さらに、第1の磁性
体層上と第2の磁性体層との層界面付近では、コバルト
粒子の表面をより磁気特性の劣るコバルト酸化物によっ
て被覆することにより、第1の磁性体層のコバルト粒子
の磁気的孤立性を促進し、磁気特性も向上するという長
所もある。 (2)の水平磁化用磁気記録媒体では、例えば、チタン
、クロム、モリブデン、タングステン、タンタルの内の
少なくとも一種類の元素よりなる下地層の上に、コバル
トを含む第1の磁性体層を成長させることにより、第1
の磁性体層の良好な磁気特性を得ることができ、しかも
基体に対する第1の磁性体層の付着力を高めることがで
きる。 また、第1の磁性体層及び第2の磁性体層として、コバ
ルト−M合金のMとして鉄を用いれば、媒体の磁束密度
を向上させることができる。また、Mとしてニッケル、
クロム、またはタンタルを用いれば、媒体の耐食性を向
上させることができる。 さらに、Mとして白金またはパラジウムを用いることに
より、基体を加熱しない場合でも高い保磁力を得ること
ができる。 また、下地層としてニッケルークロム合金を用いること
により、その耐食性を向上させることができる。
In the magnetic recording medium for horizontal magnetization (1), since the second magnetic layer is formed on the first magnetic layer, it is possible to prevent the magnetic properties from changing over time due to oxidation of the first magnetic layer. I can do it. Moreover, since the second magnetic layer also has magnetic properties as a magnetic recording medium, the magnetic properties near the surface of the medium necessary for high-density recording are excellent. Furthermore, near the layer interface between the first magnetic layer and the second magnetic layer, the surface of the cobalt particles is coated with cobalt oxide, which has inferior magnetic properties, so that the cobalt of the first magnetic layer is coated with cobalt oxide, which has inferior magnetic properties. It also has the advantage of promoting magnetic isolation of particles and improving magnetic properties. In the magnetic recording medium for horizontal magnetization (2), for example, a first magnetic layer containing cobalt is grown on an underlayer made of at least one element selected from titanium, chromium, molybdenum, tungsten, and tantalum. By letting
Good magnetic properties of the first magnetic layer can be obtained, and the adhesion of the first magnetic layer to the substrate can be increased. Furthermore, if iron is used as M in the cobalt-M alloy for the first magnetic layer and the second magnetic layer, the magnetic flux density of the medium can be improved. Also, M is nickel,
The corrosion resistance of the medium can be improved by using chromium or tantalum. Furthermore, by using platinum or palladium as M, a high coercive force can be obtained even when the substrate is not heated. Furthermore, by using a nickel-chromium alloy as the underlayer, its corrosion resistance can be improved.

【実施例】【Example】

以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。 第1図は本発明の一実施例による水平磁化用磁気記録媒
体を示す断面図である。以下、第1図を参照して、本実
施例の水平磁化用磁気記録媒体の製造方法について説明
する。 ガラス基体1を洗浄、乾燥した後、RFス/々・ツタリ
ング装置の容器内にガラス基体1を設置した。 この容器内を10−’Torr以上の高真空にした。 この状態において、この容器内にスパッタリング用のア
ルゴンガスを導入し、容器内圧力10mTorrにてク
ロムターゲットをRF出力200Wでスパッタリングし
て、ガラス基体1上に厚さ3000Aのクロム@2をに
形成した。 さらに、容器内のガス導入、容器内圧力を一定ニ保った
状態で、コバルトターゲットをRF出力200Wでスパ
ッタリングして、クロム層2の上に厚さ600Aのコバ
ルト層3を形成した。 かかる後、容器内圧力が12mTorrとなるように0
2ガスを導入し、コバルトターゲットをRF出力300
Wでスパッタリングして、コバルト層3の上に厚さ40
0Aのコバルト酸化物層4を形成した。 第1図に示す本実施例の水平磁化用磁気記録媒体の効果
を確認するために、第2図に比較用として作成した水平
磁化用磁気記録媒体の断面図を示す。 第2図に示された水平磁化用磁気記録媒体は、第1図に
示した本実施例のものと同様に処理されたガラス基体1
の上に、本実施例の同一の条件で、クロム層6及びコバ
ルト層7が形成されている。 第3図は第1図及び第2図に示した水平磁化用磁気記録
媒体を、常温、常湿の環境下にて放置したときの磁気特
性の経時変化を示したグラフである。横軸は放置時間、
縦軸は1時間経過後の飽和磁化MS  (T)と初期飽
和磁化Ms(0)の比(Ms  (T)/Ms  (0
))である。曲線8は第1図に示した水平磁化用磁気記
録媒体の特性を、曲線9は第2図に示した水平磁化用磁
気記録媒体の特性を示す。 第1図及び第2図に示した水平磁化用磁気記録媒体の両
方は、時間経過とともに飽和磁化が減少しているので、
磁性体層の劣化が起きているのが分かる。しかしながら
、第2図に示した水平磁化用磁気記録媒体に比べて、第
1図に示した本実施例の水平磁化用磁気記録媒体の劣化
が著しく少ないことが分かる。 尚、上記の成膜条件に関して、アルゴンガス導入後の容
器内圧力、クロムターゲットのスパッタリング時のRF
比出力びクロム層の厚さ、コバルトターゲットのスパッ
タリング時のRF比出力びコバルト層の厚さ、コバルト
酸化物層形成時の酸素分圧とコバルトターゲットのスパ
ッタリング時のRF比出力びコバルト酸化物層の厚さ等
を変化させたところ、磁気特性に対しては違いがあるが
、第3図に示す磁気特性の傾向は第3図の曲線8と同し
であった。 また、上記実施例では、第1の磁性体層であるコバルト
層3とガラス基体1との間に下地層としてクロム層2が
挿入されているが、下地層は必ずしも必要ではない。第
1の磁性体層もコバルト層3に限定せず、コバルトを含
むmlの磁性体、例えば、コバルト−M合金(ただし、
Mは鉄、ニッケル、クロム、タンタル、白金またはパラ
ジウムの内から選ばれた少くも一種類の元素を含む)か
ら成るものであれば良い。また、第2の磁性体層もコバ
ルト酸化物層4に限定せず、第1の磁性体の酸化物であ
る第2の磁性体、例えば、コバルト−M−酸化物(ただ
し、Mは鉄、ニッケル、クロム、タンタル、白金または
パラジウムの内から選ばれた少くも一種類の元素を含む
)から成るものであれば良い。さらに、下地層もクロム
層2に限定せず、クロムを含む非磁性体、例えば、ニッ
ケルークロム合金から成るものでも良い。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a magnetic recording medium for horizontal magnetization according to an embodiment of the present invention. Hereinafter, with reference to FIG. 1, a method of manufacturing the magnetic recording medium for horizontal magnetization of this embodiment will be described. After cleaning and drying the glass substrate 1, the glass substrate 1 was placed in a container of an RF filtering device. The inside of this container was brought to a high vacuum of 10-' Torr or more. In this state, argon gas for sputtering was introduced into the container, and a chromium target was sputtered with an RF output of 200 W at an internal pressure of 10 mTorr to form chromium@2 with a thickness of 3000 A on the glass substrate 1. . Furthermore, a cobalt target was sputtered with an RF output of 200 W to form a cobalt layer 3 with a thickness of 600 A on the chromium layer 2 while gas was introduced into the container and the pressure inside the container was kept constant. After this, the pressure inside the container was reduced to 12 mTorr.
2 gases are introduced and the cobalt target is RF output 300.
Sputtered with W to a thickness of 40 mm on top of the cobalt layer 3.
A cobalt oxide layer 4 of 0A was formed. In order to confirm the effect of the magnetic recording medium for horizontal magnetization of this example shown in FIG. 1, FIG. 2 shows a sectional view of a magnetic recording medium for horizontal magnetization prepared for comparison. The magnetic recording medium for horizontal magnetization shown in FIG.
A chromium layer 6 and a cobalt layer 7 are formed thereon under the same conditions as in this example. FIG. 3 is a graph showing changes in magnetic properties over time when the magnetic recording medium for horizontal magnetization shown in FIGS. 1 and 2 is left in an environment of normal temperature and normal humidity. The horizontal axis is the standing time,
The vertical axis is the ratio (Ms (T)/Ms (0) of the saturation magnetization MS (T) after 1 hour and the initial saturation magnetization Ms (0)
)). Curve 8 shows the characteristics of the magnetic recording medium for horizontal magnetization shown in FIG. 1, and curve 9 shows the characteristics of the magnetic recording medium for horizontal magnetization shown in FIG. In both of the horizontal magnetization magnetic recording media shown in FIGS. 1 and 2, the saturation magnetization decreases over time, so
It can be seen that the magnetic layer has deteriorated. However, it can be seen that the deterioration of the horizontal magnetization magnetic recording medium of this embodiment shown in FIG. 1 is significantly less than that of the horizontal magnetization magnetic recording medium shown in FIG. Regarding the above film forming conditions, the pressure inside the container after introducing argon gas, the RF during sputtering of the chromium target,
Specific power and chromium layer thickness, RF specific power and cobalt layer thickness during cobalt target sputtering, oxygen partial pressure during cobalt oxide layer formation, RF specific power and cobalt oxide layer during cobalt target sputtering Although there were differences in the magnetic properties by changing the thickness, etc., the tendency of the magnetic properties shown in FIG. 3 was the same as curve 8 in FIG. 3. Further, in the above embodiment, the chromium layer 2 is inserted as an underlayer between the cobalt layer 3, which is the first magnetic layer, and the glass substrate 1, but the underlayer is not necessarily required. The first magnetic layer is also not limited to the cobalt layer 3, and may be made of a magnetic material containing cobalt, such as a cobalt-M alloy (however,
M may contain at least one element selected from iron, nickel, chromium, tantalum, platinum, or palladium. Further, the second magnetic layer is not limited to the cobalt oxide layer 4, but may be a second magnetic material that is an oxide of the first magnetic material, for example, cobalt-M-oxide (where M is iron, Any material containing at least one element selected from nickel, chromium, tantalum, platinum, or palladium may be used. Further, the underlayer is not limited to the chromium layer 2, and may be made of a nonmagnetic material containing chromium, such as a nickel-chromium alloy.

【発明の効果】【Effect of the invention】

以上の説明で明らかなように、本発明によれば、磁性体
層が良好で、優れた磁気特性を有し、しかも磁気特性の
経時変化の劣化の少ない水平磁化用磁気記録媒体が得ら
れる。 さらに、酸化物層を設ける二とによりヘッドに対する耐
摩耗性も著しく向上する。
As is clear from the above description, according to the present invention, it is possible to obtain a magnetic recording medium for horizontal magnetization that has a good magnetic layer, excellent magnetic properties, and less deterioration of the magnetic properties over time. Furthermore, by providing the oxide layer, the wear resistance of the head is also significantly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例による水平磁化用磁気記録媒
体を示す断面図、第2図は従来の水平磁化用磁気記録媒
体を示す断面図、第3図は第1図及び第2図に示した水
平磁化用磁気記録媒体を、常温、常温の環境下にて放置
したときの磁気特性の経時変化を示したブラフである。 1・・・ガラス基体、2・・・クロム層、3・・・コバ
/I、 h層、4・・・コバルト酸化物層。 第2図 rtI T
FIG. 1 is a sectional view showing a magnetic recording medium for horizontal magnetization according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing a conventional magnetic recording medium for horizontal magnetization, and FIG. This is a bluff showing changes in magnetic properties over time when the magnetic recording medium for horizontal magnetization shown in Figure 1 is left in an environment at room temperature. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Glass base, 2...Chromium layer, 3...Coba/I, h layer, 4...Cobalt oxide layer. Figure 2 rtIT

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、基体と、該基体上に形成され、コバルトを含む第1
の磁性体から成る第1の磁性体層と、該第1の磁性体層
上に形成され、前記第1の磁性体の酸化物である第2の
磁性体から成る第2の磁性体層とを有することを特徴と
する水平磁化用磁気記録媒体。 2、前記基体と前記第1の磁性体層との間に、クロムを
含む非磁性体の下地層を有することを特徴とする請求項
1記載の水平磁化用磁気記録媒体。
[Claims] 1. A base, and a first base formed on the base and containing cobalt.
a first magnetic layer made of a magnetic material; and a second magnetic layer formed on the first magnetic layer and made of a second magnetic material that is an oxide of the first magnetic material. A magnetic recording medium for horizontal magnetization, characterized in that it has: 2. The magnetic recording medium for horizontal magnetization according to claim 1, further comprising a non-magnetic underlayer containing chromium between the base and the first magnetic layer.
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