JPH0420726B2 - - Google Patents
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- JPH0420726B2 JPH0420726B2 JP60060125A JP6012585A JPH0420726B2 JP H0420726 B2 JPH0420726 B2 JP H0420726B2 JP 60060125 A JP60060125 A JP 60060125A JP 6012585 A JP6012585 A JP 6012585A JP H0420726 B2 JPH0420726 B2 JP H0420726B2
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- JP
- Japan
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- electrolyte
- polishing
- workpiece
- tool
- contact
- Prior art date
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D13/00—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor
- B24D13/14—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor acting by the front face
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D13/00—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor
- B24D13/14—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor acting by the front face
- B24D13/147—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor acting by the front face comprising assemblies of felted or spongy material; comprising pads surrounded by a flexible material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B29/00—Machines or devices for polishing surfaces on work by means of tools made of soft or flexible material with or without the application of solid or liquid polishing agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D13/00—Wheels having flexibly-acting working parts, e.g. buffing wheels; Mountings therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、自由曲面の鏡面研磨に対しても適用
可能な電解砥粒複合鏡面研磨装置用電極工具に関
するものである。
可能な電解砥粒複合鏡面研磨装置用電極工具に関
するものである。
［従来の技術］
従来、電解により被加工物表面に生じる不働態
皮膜を砥粒で除去し、それによつて被加工物表面
を鏡面研磨するようにした電解砥粒複合研磨は、
平面や円筒面などの回転面を対象とし、電極工具
と被加工物がほぼ一定の姿勢を保持した状態で加
工されるのが通例であり、例えば電解研磨装置に
おける所定の位置に被加工物を固定し、これに電
極工具を対向配置して研磨を行うようにしてい
る。
皮膜を砥粒で除去し、それによつて被加工物表面
を鏡面研磨するようにした電解砥粒複合研磨は、
平面や円筒面などの回転面を対象とし、電極工具
と被加工物がほぼ一定の姿勢を保持した状態で加
工されるのが通例であり、例えば電解研磨装置に
おける所定の位置に被加工物を固定し、これに電
極工具を対向配置して研磨を行うようにしてい
る。
しかしながら、かかる従来の電解研磨装置は、
電極工具の加工面を、一般に平面や円筒面など特
定の研磨対象面に合わせてそれらに広い面積で全
面的に摺接させるように構成しているため、凹凸
を有する被加工物の表面を高精度に表面加工する
ことは困難であり、また、任意に湾曲する自由曲
面の加工に適用することはできない。
電極工具の加工面を、一般に平面や円筒面など特
定の研磨対象面に合わせてそれらに広い面積で全
面的に摺接させるように構成しているため、凹凸
を有する被加工物の表面を高精度に表面加工する
ことは困難であり、また、任意に湾曲する自由曲
面の加工に適用することはできない。
しかも、効率的な加工を目指して、通常は切込
み量も数μmのオーダになるため、研磨に伴う取
り代が比較的大きく、それに伴う電解生成物を排
除するために加工部位に多量の電解液を安定的に
供給する必要があることから、この電解液を圧送
するための設備が必要となり、さらにこの電解液
の圧力によつて被加工物に対面した電極工具が非
常に大きな反力を受け、その反力を支持する必要
があるため、装置が大型化、複雑化するのが避け
られない。
み量も数μmのオーダになるため、研磨に伴う取
り代が比較的大きく、それに伴う電解生成物を排
除するために加工部位に多量の電解液を安定的に
供給する必要があることから、この電解液を圧送
するための設備が必要となり、さらにこの電解液
の圧力によつて被加工物に対面した電極工具が非
常に大きな反力を受け、その反力を支持する必要
があるため、装置が大型化、複雑化するのが避け
られない。
即ち、従来の電解研磨装置では、電極工具の加
工域全面を被加工面に対向させ、加工能率等を考
慮して電流密度を設定すると同時に、それに必要
な大量の電解液を高圧で圧送するようにしてい
る。そのため、電解液の圧力によつて工具が受け
る反力も100キロのオーダ以上に達することにな
り、それを支持する必要があるため、装置が大型
化すると同時に、それを自由曲面に適用しようと
しても、大量の電解液が周辺に流出するばかりで
なく、加工域全面に電解液を供給することはでき
ない。
工域全面を被加工面に対向させ、加工能率等を考
慮して電流密度を設定すると同時に、それに必要
な大量の電解液を高圧で圧送するようにしてい
る。そのため、電解液の圧力によつて工具が受け
る反力も100キロのオーダ以上に達することにな
り、それを支持する必要があるため、装置が大型
化すると同時に、それを自由曲面に適用しようと
しても、大量の電解液が周辺に流出するばかりで
なく、加工域全面に電解液を供給することはでき
ない。
また、前述したように、切込み量が数μmのオ
ーダになると、被加工物表面の工具が通過したあ
とには、数μmの深さの溝が生じることになる。
従つて、工具径よりも大きい巾の被加工物表面の
研磨を行うと、その表面に工具の通過経路に応じ
た段差が生じ、この段差は容易に消去できないと
いう問題もある。
ーダになると、被加工物表面の工具が通過したあ
とには、数μmの深さの溝が生じることになる。
従つて、工具径よりも大きい巾の被加工物表面の
研磨を行うと、その表面に工具の通過経路に応じ
た段差が生じ、この段差は容易に消去できないと
いう問題もある。
このように、従来の電解研磨装置は、平面研磨
のみを対象とし、本質的に任意大きさの自由曲面
の研磨には利用できない構成を有していたと言え
る。そして、電解研磨を自由曲面の鏡面研磨に適
用するためには、その研磨に適した研磨技術が必
要になる。
のみを対象とし、本質的に任意大きさの自由曲面
の研磨には利用できない構成を有していたと言え
る。そして、電解研磨を自由曲面の鏡面研磨に適
用するためには、その研磨に適した研磨技術が必
要になる。
［発明が解決しようとする問題点］
上述した問題に対処し、本発明者らは、長期に
わたる基礎的研究の結果、電流密度が通常の電解
加工よりも著しく低く、且つ極めて少量の電解液
を用いて電解砥粒複合研磨を行うことにより、微
小な突出部の先端のみを除去して鏡面研磨を行う
ことが可能であることを見出し、しかもそれを自
由曲面の研磨に適用するのが有効であることを確
認して、本発明をなすに至つたものである。
わたる基礎的研究の結果、電流密度が通常の電解
加工よりも著しく低く、且つ極めて少量の電解液
を用いて電解砥粒複合研磨を行うことにより、微
小な突出部の先端のみを除去して鏡面研磨を行う
ことが可能であることを見出し、しかもそれを自
由曲面の研磨に適用するのが有効であることを確
認して、本発明をなすに至つたものである。
従つて、本発明の技術的課題は、電解砥粒複合
鏡面研磨装置用の電極工具を、低い電流密度、少
量の電解液で動作させ、それによつて多少の凹凸
を有する被加工物の表面や、任意の自由曲面の鏡
面加工にも適用することができ、またその研磨を
簡単で小型の装置により実現可能にすることにあ
る。
鏡面研磨装置用の電極工具を、低い電流密度、少
量の電解液で動作させ、それによつて多少の凹凸
を有する被加工物の表面や、任意の自由曲面の鏡
面加工にも適用することができ、またその研磨を
簡単で小型の装置により実現可能にすることにあ
る。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明の電解砥粒複
合鏡面研磨装置用電極工具においては、通常の電
解加工よりも十分に低い電流密度及び少量の電解
液の供給により被加工物の表面を鏡面研磨するた
めの電極工具であつて、回転駆動機の回転軸の先
端に取付けられる導電性工具基盤を、円板状の表
面板とその表面板の背面周囲に液溜めを形成する
背板とを周縁において一体的に接合することによ
り構成し、この導電性工具基盤における背板に給
電用摺接子の接触部及び電解液供給用開口を形成
して、その接触部に給電用摺接子を接触させると
共に、電解液供給用開口内に電解液供給管を大気
に開放した状態で開口させ、上記表面板における
周縁から若干内側寄りの位置に多数の電解液流出
口を開設し、この表面板に通液性のある粘弾性研
磨体を取付けて、この粘弾性研磨体における周辺
部分を、砥粒を保持し且つ被加工物の表面に倣つ
て変形可能な加工面とする、という技術手段を講
じている。
合鏡面研磨装置用電極工具においては、通常の電
解加工よりも十分に低い電流密度及び少量の電解
液の供給により被加工物の表面を鏡面研磨するた
めの電極工具であつて、回転駆動機の回転軸の先
端に取付けられる導電性工具基盤を、円板状の表
面板とその表面板の背面周囲に液溜めを形成する
背板とを周縁において一体的に接合することによ
り構成し、この導電性工具基盤における背板に給
電用摺接子の接触部及び電解液供給用開口を形成
して、その接触部に給電用摺接子を接触させると
共に、電解液供給用開口内に電解液供給管を大気
に開放した状態で開口させ、上記表面板における
周縁から若干内側寄りの位置に多数の電解液流出
口を開設し、この表面板に通液性のある粘弾性研
磨体を取付けて、この粘弾性研磨体における周辺
部分を、砥粒を保持し且つ被加工物の表面に倣つ
て変形可能な加工面とする、という技術手段を講
じている。
［作 用］
大気に開放した導電性工具基盤内に電解液供給
管から電解液供給用開口を通じて電解液を供給
し、且つ工具基盤に給電用摺接子を接触させて電
極工具と被加工物との間に電流を流し、上記回転
駆動機でこの電極工具を回転させながら、粘弾性
研磨体を全面的に、あるいはその周辺部を被加工
物の表面に圧接した状態で、被加工物表面を鏡面
研磨する。
管から電解液供給用開口を通じて電解液を供給
し、且つ工具基盤に給電用摺接子を接触させて電
極工具と被加工物との間に電流を流し、上記回転
駆動機でこの電極工具を回転させながら、粘弾性
研磨体を全面的に、あるいはその周辺部を被加工
物の表面に圧接した状態で、被加工物表面を鏡面
研磨する。
この場合、通常の電解加工よりも十分に低い電
流密度、及びその場合の電解生成物を排除できる
程度の少量の電解液の供給によつて、被加工物の
表面を鏡面研磨するため、被加工物表面に多少の
凹凸があつても、電解液が大量に流出することが
なく、粘弾性研磨体をその凹凸形状に倣わせて変
形させ、被加工物表面への研磨体のフイツトによ
り高精度に鏡面研磨が行われる。
流密度、及びその場合の電解生成物を排除できる
程度の少量の電解液の供給によつて、被加工物の
表面を鏡面研磨するため、被加工物表面に多少の
凹凸があつても、電解液が大量に流出することが
なく、粘弾性研磨体をその凹凸形状に倣わせて変
形させ、被加工物表面への研磨体のフイツトによ
り高精度に鏡面研磨が行われる。
また、粘弾性研磨体と被加工物表面との接触面
における凹凸を平均化した曲面に対して電極工具
の回転軸を傾斜させ、その状態で粘弾性研磨体の
周辺部分のみを被加工物に接触させて加工を行う
ことにより、任意の自由曲面の鏡面加工が可能に
なる。
における凹凸を平均化した曲面に対して電極工具
の回転軸を傾斜させ、その状態で粘弾性研磨体の
周辺部分のみを被加工物に接触させて加工を行う
ことにより、任意の自由曲面の鏡面加工が可能に
なる。
一方、上述のように電解液は圧力を掛けて圧送
することなく、大気に開放された工具基盤内に一
時的に貯えられたあと、電解液供給口から逐次流
出し、電極工具の周辺における粘弾性研磨体と被
加工物との接触部分に供給される。従つて、電極
工具に電解液の背圧による反力が作用せず、それ
によつて、電解液の高圧圧送及び反力支持の必要
がないことから、装置の簡単化、小型化が達成さ
れる。
することなく、大気に開放された工具基盤内に一
時的に貯えられたあと、電解液供給口から逐次流
出し、電極工具の周辺における粘弾性研磨体と被
加工物との接触部分に供給される。従つて、電極
工具に電解液の背圧による反力が作用せず、それ
によつて、電解液の高圧圧送及び反力支持の必要
がないことから、装置の簡単化、小型化が達成さ
れる。
［実施例］
第１図に示す電解砥粒複合研磨装置１０は、ピ
ストル型をなす装置本体１１内に、モータからな
る回転駆動機１２及びその出力側に設けた減速装
置１３とを備え、それらによつて回転する回転軸
１４を装置本体１１から導出して、その先端に本
発明の電極工具２０を取付けている。
ストル型をなす装置本体１１内に、モータからな
る回転駆動機１２及びその出力側に設けた減速装
置１３とを備え、それらによつて回転する回転軸
１４を装置本体１１から導出して、その先端に本
発明の電極工具２０を取付けている。
上記電極工具２０は、第１図及び第２図からわ
かるように、導電性を有する銅その他の材料によ
り形成した略円板状の工具基盤２１と、その表面
に取付ける粘弾性研磨体２２とを主体として構成
されている。上記工具基盤２１は、回転軸１４の
先端に取付ける円板上の表面板２４と、その表面
板の背面周囲に液溜め２６を形成する背板２５と
を、周縁において一体的に接合することにより構
成したもので、上記表面板２４には、その中央に
回転軸１４に取付けるためのねじ２８の頭部が没
入する凹部２９を設けると共に、周縁から若干内
側寄りの位置に多数の電解液流出口３０を開設
し、また上記背板２５にはその中心に回転軸１４
との間に電解液供給用開口３１を形成すると共
に、その開口３１の周囲に、後述の電解用電流を
供給する給電用摺接子３３を接触させるための摺
接面３２を形成している。
かるように、導電性を有する銅その他の材料によ
り形成した略円板状の工具基盤２１と、その表面
に取付ける粘弾性研磨体２２とを主体として構成
されている。上記工具基盤２１は、回転軸１４の
先端に取付ける円板上の表面板２４と、その表面
板の背面周囲に液溜め２６を形成する背板２５と
を、周縁において一体的に接合することにより構
成したもので、上記表面板２４には、その中央に
回転軸１４に取付けるためのねじ２８の頭部が没
入する凹部２９を設けると共に、周縁から若干内
側寄りの位置に多数の電解液流出口３０を開設
し、また上記背板２５にはその中心に回転軸１４
との間に電解液供給用開口３１を形成すると共
に、その開口３１の周囲に、後述の電解用電流を
供給する給電用摺接子３３を接触させるための摺
接面３２を形成している。
上記工具基盤２１の表面に取付ける粘弾性研磨
体２２は、発泡ポリウレタンその他の合成樹脂発
泡体等のスポンジ状部材、あるいはナイロン不織
布のような、通液性を有する粘弾性体によつて構
成し、それを導電性工具基盤の表面に取付けるよ
うにしたもので、図示したようなスポンジ状部材
によつて形成した場合には、その内部に凹所３４
を形成してそれを工具基盤２１に被着し、さらに
粘弾性研磨体２２とその中心部に当接した当板３
５を、工具基盤２１と共に回転軸１４にねじ２８
で固定することにより、それらを回転軸に取付け
ることができる。また、ナイロン不織布のような
粘弾性研磨体２２を用いる場合には、その周辺部
分を工具基盤２１の表面に接着し、あるいは適宜
手段で固定し、そのうえで上記当板３５を当接し
て回転軸１４にねじ２８で固定すればよい。
体２２は、発泡ポリウレタンその他の合成樹脂発
泡体等のスポンジ状部材、あるいはナイロン不織
布のような、通液性を有する粘弾性体によつて構
成し、それを導電性工具基盤の表面に取付けるよ
うにしたもので、図示したようなスポンジ状部材
によつて形成した場合には、その内部に凹所３４
を形成してそれを工具基盤２１に被着し、さらに
粘弾性研磨体２２とその中心部に当接した当板３
５を、工具基盤２１と共に回転軸１４にねじ２８
で固定することにより、それらを回転軸に取付け
ることができる。また、ナイロン不織布のような
粘弾性研磨体２２を用いる場合には、その周辺部
分を工具基盤２１の表面に接着し、あるいは適宜
手段で固定し、そのうえで上記当板３５を当接し
て回転軸１４にねじ２８で固定すればよい。
また、上記粘弾性研磨体２２は、その表面また
は内部全体に砥粒を分散保持させておくことがで
き、その場合には、アルミナ等の砥粒を混合した
合成樹脂ボンドにより、ナイロン不織布等に砥粒
を接着状態に保持させ、あるいはそのような砥粒
の固定を行うことなく、遊離状態の砥粒を不織布
の網目に支持させるようにすることもできる。
は内部全体に砥粒を分散保持させておくことがで
き、その場合には、アルミナ等の砥粒を混合した
合成樹脂ボンドにより、ナイロン不織布等に砥粒
を接着状態に保持させ、あるいはそのような砥粒
の固定を行うことなく、遊離状態の砥粒を不織布
の網目に支持させるようにすることもできる。
上記表面板２４に開設した多数の電解液流出口
３０は、上記工具基盤２１の周縁から若干内側寄
りに設けることにより、電極工具２０の工具基盤
２１内周辺部に電解液の液溜め２６を形成し、こ
の液溜め２６に電解液を一時的に貯えて、多数の
電解液流出口３０から電解液を安定的に供給でき
るようにするものである。従つて、電極工具２０
が回転する間に電解液流出口３０から電解液が逐
次流出し、その電解液が、電極工具の回転に伴う
遠心力で、電極工具２０の周辺における粘弾性研
磨体２２と被加工物との接線触部分に供給され
る。そのため、電解液を圧送するための設備を殆
ど必要とせず、しかも電極工具２０が電解液の保
有性にすぐれるため、水平な自由曲面ばかりでな
く、垂直に近い曲面でも電解液を安定的に供給し
て研磨することができる。
３０は、上記工具基盤２１の周縁から若干内側寄
りに設けることにより、電極工具２０の工具基盤
２１内周辺部に電解液の液溜め２６を形成し、こ
の液溜め２６に電解液を一時的に貯えて、多数の
電解液流出口３０から電解液を安定的に供給でき
るようにするものである。従つて、電極工具２０
が回転する間に電解液流出口３０から電解液が逐
次流出し、その電解液が、電極工具の回転に伴う
遠心力で、電極工具２０の周辺における粘弾性研
磨体２２と被加工物との接線触部分に供給され
る。そのため、電解液を圧送するための設備を殆
ど必要とせず、しかも電極工具２０が電解液の保
有性にすぐれるため、水平な自由曲面ばかりでな
く、垂直に近い曲面でも電解液を安定的に供給し
て研磨することができる。
電解液供給管３８は、電極工具２０の周辺にお
ける研磨作用部分に対して電解液を供給するため
のもので、装置本体１１の一端に送給口４０を開
口させ、また装置本体内を通じて、上記工具基盤
２１の背板２５の中心に設けた回転軸１４のまわ
りの電解液供給用開口３１内に、他端の送出口４
１を開口させている。
ける研磨作用部分に対して電解液を供給するため
のもので、装置本体１１の一端に送給口４０を開
口させ、また装置本体内を通じて、上記工具基盤
２１の背板２５の中心に設けた回転軸１４のまわ
りの電解液供給用開口３１内に、他端の送出口４
１を開口させている。
前記粘弾性研磨体２２に砥粒を保持させる代
り、あるいはそれに加えて、この電解液供給管３
８を通じて送給する電解液中に砥粒を混入させる
こともできる。
り、あるいはそれに加えて、この電解液供給管３
８を通じて送給する電解液中に砥粒を混入させる
こともできる。
装置本体１１の一端の給電端子４３は、給電用
摺接子３３及びそれに接触する摺接面３２を通じ
て電極工具２０に電解用の電流を供給するための
もので、被加工物をプラス極、電極工具２０をマ
イナス極として、それらを図示しない電源に接続
できるように構成している。
摺接子３３及びそれに接触する摺接面３２を通じ
て電極工具２０に電解用の電流を供給するための
もので、被加工物をプラス極、電極工具２０をマ
イナス極として、それらを図示しない電源に接続
できるように構成している。
なお、図中、４４は回転駆動機１２を回転させ
るスイツチ操作子を示している。
るスイツチ操作子を示している。
かかる構成の電解砥粒複合研磨装置は、それを
携帯用として被加工物表面の適宜位置に手動で軽
く圧接し、あるいは、水平面内においてXY方向
に自由に移動できる移動台を備えた図示しない自
動送り装置に取付けて、その研磨を行うもので、
第３図に示すように、被加工物４５における自由
曲面の研磨に際しては、電解液供給管３８を通じ
て電極工具２０にNaNO3またはKNO3等の水溶
液を供給しながら、電極工具２０と被加工物４５
との間に数ボルトないし10数ボルトの電圧で数ア
ンペアの電流を流し、しかも回転駆動機１２によ
り電極工具２０を回転させながら、電極工具２０
における粘弾性研磨体２２の周辺部分を被加工物
４５の自由曲面に圧接した状態で加工する。
携帯用として被加工物表面の適宜位置に手動で軽
く圧接し、あるいは、水平面内においてXY方向
に自由に移動できる移動台を備えた図示しない自
動送り装置に取付けて、その研磨を行うもので、
第３図に示すように、被加工物４５における自由
曲面の研磨に際しては、電解液供給管３８を通じ
て電極工具２０にNaNO3またはKNO3等の水溶
液を供給しながら、電極工具２０と被加工物４５
との間に数ボルトないし10数ボルトの電圧で数ア
ンペアの電流を流し、しかも回転駆動機１２によ
り電極工具２０を回転させながら、電極工具２０
における粘弾性研磨体２２の周辺部分を被加工物
４５の自由曲面に圧接した状態で加工する。
この場合、電極工具２０の回転軸１４を粘弾性
研磨体２２と被加工物４５との接触面における凹
凸を平均化した平面に対して傾斜させた状態で、
その粘弾性研磨体の周辺部分のみを被加工物に接
触させて加工を行うことになるが、一般的に、上
記接触面に対する回転軸の傾斜角度は、５〜60゜
程度の範囲に保つことが必要であり、さらに好ま
しくは、10〜45゜の範囲に保つことが有効である。
研磨体２２と被加工物４５との接触面における凹
凸を平均化した平面に対して傾斜させた状態で、
その粘弾性研磨体の周辺部分のみを被加工物に接
触させて加工を行うことになるが、一般的に、上
記接触面に対する回転軸の傾斜角度は、５〜60゜
程度の範囲に保つことが必要であり、さらに好ま
しくは、10〜45゜の範囲に保つことが有効である。
上記電極工具２０は、その直径を12cm程度にし
た場合、回転駆動機１２による数100rpm以下の
回転速度において、多少の凹凸を有する被加工物
表面に圧接しても、その粘弾性研磨体２２の周辺
部分が被加工物表面形状に倣つて変形し、その表
面にフイツトすることにより、それを鏡面研磨す
ることができる。この場合、粘弾性研磨体２２と
被加工物４５との接触面における被加工物表面の
凸部に対する電極工具２０の押付け圧は、当然に
その接触面中の凹部に対する圧よりも大きく、従
つてその凸部においては砥粒等による除去量が大
きくなる。しかし、表面粗さとしては、比較的大
きな凹部及び凸部において両者同程度の仕上りに
することができるので、形状精度を問題にしない
場合に能率的な研磨を行うことができる。
た場合、回転駆動機１２による数100rpm以下の
回転速度において、多少の凹凸を有する被加工物
表面に圧接しても、その粘弾性研磨体２２の周辺
部分が被加工物表面形状に倣つて変形し、その表
面にフイツトすることにより、それを鏡面研磨す
ることができる。この場合、粘弾性研磨体２２と
被加工物４５との接触面における被加工物表面の
凸部に対する電極工具２０の押付け圧は、当然に
その接触面中の凹部に対する圧よりも大きく、従
つてその凸部においては砥粒等による除去量が大
きくなる。しかし、表面粗さとしては、比較的大
きな凹部及び凸部において両者同程度の仕上りに
することができるので、形状精度を問題にしない
場合に能率的な研磨を行うことができる。
また、上記電解研磨は、電流密度が非常に低い
状態において、NaNO3やKNO3等の電解液を用
いて行うため、被加工物表面に不働態皮膜が生じ
易い。しかるに、被加工物表面においては、上記
砥粒によつて微小な凸部が機械的に研磨される確
率が大きいため、不働態皮膜が除去されて電気的
な活性化が高まり、これによつて被加工物の表面
粗さが改善される。
状態において、NaNO3やKNO3等の電解液を用
いて行うため、被加工物表面に不働態皮膜が生じ
易い。しかるに、被加工物表面においては、上記
砥粒によつて微小な凸部が機械的に研磨される確
率が大きいため、不働態皮膜が除去されて電気的
な活性化が高まり、これによつて被加工物の表面
粗さが改善される。
このような電解砥粒複合研磨は、各種金属材料
製品の自由曲面の研磨に適用することができ、特
にステンレス鋼等の表面研磨に適したものであ
る。
製品の自由曲面の研磨に適用することができ、特
にステンレス鋼等の表面研磨に適したものであ
る。
［発明の効果］
上記構成を有する本発明の電極工具によれば、
通常の電解加工よりも十分に低い電流密度及び少
量の電解液の供給により被加工物の表面を鏡面研
磨するため、多少の凹凸を有する被加工物の表面
や、任意の自由曲面の鏡面加工にも適用すること
ができ、またその研磨を簡単で小型の装置により
実現することができる。
通常の電解加工よりも十分に低い電流密度及び少
量の電解液の供給により被加工物の表面を鏡面研
磨するため、多少の凹凸を有する被加工物の表面
や、任意の自由曲面の鏡面加工にも適用すること
ができ、またその研磨を簡単で小型の装置により
実現することができる。
即ち、上述の低い電流密度及び少量の電解液を
用いて電解砥粒複合研磨を行うことにより、微小
な突出部の先端のみを除去して鏡面研磨を行うこ
とが可能であり、この場合に、特に電解液の供給
を電流密度に応じて少量にすることができるた
め、工具基盤内の大気に開放した液溜めに少量を
供給して一時的に貯留し、その液溜めから電解液
を逐次流出させるだけでよく、電解液流出口を導
電性工具基盤の表面板における周縁から若干内側
寄りに設けて電解液を流出させるようにしたこと
とも関連し、電解液を粘弾性研磨体の中心側で均
一に分散して浸出させ、しかる後に粘弾性研磨体
の中心側から遠心力で周辺部に向かつて均一に流
出させ、粘弾性研磨体に電解液を全面的に均一に
保有させることができる。しかも、電解液の圧送
設備が不要になるばかりでなく、電解液の圧力に
よつて工具基盤に作用する反力（通常、100キロ
のオーダ以上）がないため、電極工具をハンドツ
ールのような簡単で小型のものとすることができ
る。
用いて電解砥粒複合研磨を行うことにより、微小
な突出部の先端のみを除去して鏡面研磨を行うこ
とが可能であり、この場合に、特に電解液の供給
を電流密度に応じて少量にすることができるた
め、工具基盤内の大気に開放した液溜めに少量を
供給して一時的に貯留し、その液溜めから電解液
を逐次流出させるだけでよく、電解液流出口を導
電性工具基盤の表面板における周縁から若干内側
寄りに設けて電解液を流出させるようにしたこと
とも関連し、電解液を粘弾性研磨体の中心側で均
一に分散して浸出させ、しかる後に粘弾性研磨体
の中心側から遠心力で周辺部に向かつて均一に流
出させ、粘弾性研磨体に電解液を全面的に均一に
保有させることができる。しかも、電解液の圧送
設備が不要になるばかりでなく、電解液の圧力に
よつて工具基盤に作用する反力（通常、100キロ
のオーダ以上）がないため、電極工具をハンドツ
ールのような簡単で小型のものとすることができ
る。
また、回転駆動機の回転軸の先導電性工具基盤
に粘弾性研磨体を取付け、この粘弾性研磨体の全
面または周辺部分を、砥粒を保持し且つ被加工物
の表面に倣つて変形可能な加工面としたので、被
加工物の表面に多少の凹凸があつても粘弾性研磨
体の周辺部分がその凹凸形状に倣つて変形し、そ
れにフイツトするため、その表面を精度良く鏡面
研磨することができる。
に粘弾性研磨体を取付け、この粘弾性研磨体の全
面または周辺部分を、砥粒を保持し且つ被加工物
の表面に倣つて変形可能な加工面としたので、被
加工物の表面に多少の凹凸があつても粘弾性研磨
体の周辺部分がその凹凸形状に倣つて変形し、そ
れにフイツトするため、その表面を精度良く鏡面
研磨することができる。
さらに、電解液の流出について考慮する必要が
ないため、粘弾性研磨体と被加工物表面との接触
面における凹凸を平均化した曲面に対して電極工
具の回転軸を傾斜させ、その状態で粘弾性研磨体
を被加工物に接触させて加工を行うことができ、
そのため、任意の自由曲面の鏡面加工が可能にな
る。
ないため、粘弾性研磨体と被加工物表面との接触
面における凹凸を平均化した曲面に対して電極工
具の回転軸を傾斜させ、その状態で粘弾性研磨体
を被加工物に接触させて加工を行うことができ、
そのため、任意の自由曲面の鏡面加工が可能にな
る。
第１図は本発明の１実施例を示す要部断面図、
第２図は電極工具の一部破断正面図、第３図は上
記電極工具による研磨の態様を示す要部断面図で
ある。 １２……回転駆動機、１４……回転軸、２０…
…電極工具、２１……工具基盤、２２……粘弾性
研磨体、２４……表面板、２５……背板、２６…
…液溜め、３０……電解液流出口、３１……電解
液供給用開口、３２……摺接面、３３……給電用
摺接子。
第２図は電極工具の一部破断正面図、第３図は上
記電極工具による研磨の態様を示す要部断面図で
ある。 １２……回転駆動機、１４……回転軸、２０…
…電極工具、２１……工具基盤、２２……粘弾性
研磨体、２４……表面板、２５……背板、２６…
…液溜め、３０……電解液流出口、３１……電解
液供給用開口、３２……摺接面、３３……給電用
摺接子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 通常の電解加工よりも十分に低い電流密度及
び少量の電解液の供給により被加工物の表面を鏡
面研磨するための電極工具であつて、 回転駆動機の回転軸の先端に取付けられる導電
性工具基盤を、円板状の表面板とその表面板の背
面周囲に液溜めを形成する背板とを周縁において
一体的に接合することにより構成し、 この導電性工具基盤における背板に給電用摺接
子の接触部及び電解液供給用開口を形成して、そ
の接触部に給電用摺接子を接触させると共に、電
解液供給用開口内に電解液供給管を大気に開放し
た状態で開口させ、 上記表面板における周縁から若干内側寄りの位
置に多数の電解液流出口を開設し、この表面板に
通液性のある粘弾性研磨体を取付けて、この粘弾
性研磨体における周辺部分を、砥粒を保持し且つ
被加工物の表面に倣つて変形可能な加工面とし
た、 ことを特徴とする電解砥粒複合鏡面研磨装置用電
極工具。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60060125A JPS61219526A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 電解砥粒複合研磨装置用電極工具 |
| EP86302062A EP0196832B1 (en) | 1985-03-25 | 1986-03-20 | Mirror finish polisher |
| DE8686302062T DE3685360D1 (de) | 1985-03-25 | 1986-03-20 | Hochglanzpoliergeraet. |
| KR1019860002162A KR930004543B1 (ko) | 1985-03-25 | 1986-03-24 | 경면 가공용 연마장치 |
| HK16595A HK16595A (en) | 1985-03-25 | 1995-02-06 | Mirror finish polisher |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60060125A JPS61219526A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 電解砥粒複合研磨装置用電極工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61219526A JPS61219526A (ja) | 1986-09-29 |
| JPH0420726B2 true JPH0420726B2 (ja) | 1992-04-06 |
Family
ID=13133097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60060125A Granted JPS61219526A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 電解砥粒複合研磨装置用電極工具 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0196832B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61219526A (ja) |
| KR (1) | KR930004543B1 (ja) |
| DE (1) | DE3685360D1 (ja) |
| HK (1) | HK16595A (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4962562A (en) * | 1989-01-18 | 1990-10-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Compounding, glazing or polishing pad |
| US5396737B1 (en) * | 1989-01-18 | 1997-12-23 | Minnesota Mining & Mfg | Compound glazing or polishing pad |
| US5185964A (en) * | 1989-01-18 | 1993-02-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Compounding, glazing or polishing pad |
| JP2966235B2 (ja) * | 1993-06-04 | 1999-10-25 | 古舘 忠夫 | 可塑性柔軟砥石 |
| EP0619165A1 (en) * | 1993-04-07 | 1994-10-12 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Abrasive article |
| US5716259A (en) * | 1995-11-01 | 1998-02-10 | Miller; Paul David | Surface polishing method and system |
| US6081959A (en) * | 1996-07-01 | 2000-07-04 | Umbrell; Richard | Buffer centering system |
| US6241579B1 (en) | 1997-01-10 | 2001-06-05 | Auto Wax Company, Inc. | Surface polishing applicator system and method |
| DE19723987A1 (de) * | 1997-06-06 | 1998-12-10 | Engelbert Gmeilbauer | Schleifwerkzeug, insbesondere für Hand-Oszillationsgeräte |
| US6298518B1 (en) | 1998-04-14 | 2001-10-09 | Richard T. Umbrell | Heat dissipating buffing pad |
| US6105197A (en) * | 1998-04-14 | 2000-08-22 | Umbrell; Richard T. | Centering system for buffing pad |
| JP4782214B2 (ja) | 2009-04-01 | 2011-09-28 | ジョイボンド株式会社 | 研磨用および表面保護材塗布用可塑性柔軟組成物 |
| DE202011004912U1 (de) | 2011-04-06 | 2011-08-10 | Deckel Maho Seebach Gmbh | Polierwerkzeug |
| CN108714824B (zh) * | 2018-06-08 | 2023-06-02 | 辽宁科技大学 | 一种便携式磁力除锈抛光机及使用方法 |
| CN110587460A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-20 | 合肥嘉东光学股份有限公司 | 一种角度可调式平面斜轴精磨机 |
| CN111531450B (zh) * | 2020-06-19 | 2021-07-30 | 湘潭大学 | 一种带断屑槽硬质合金刀片化学机械抛光设备 |
| CN117067077B (zh) * | 2023-09-27 | 2024-04-02 | 晟高新能源(江苏)有限公司 | 一种光伏组件的边缘修整装置 |
| CN117226696B (zh) * | 2023-11-14 | 2024-01-23 | 山西富兴通重型环锻件有限公司 | 一种法兰盘抛光装置 |
| CN118699883B (zh) * | 2024-06-12 | 2025-09-23 | 同济大学 | 一种电流变抛光设备及抛光方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR420551A (fr) * | 1909-09-20 | 1911-02-02 | August Puggel | Machine à polir ou vernir pour le travail du bois |
| US2309819A (en) * | 1941-04-18 | 1943-02-02 | Carborundum Co | Art of grinding and polishing glass and apparatus therefor |
| US3089287A (en) * | 1961-07-11 | 1963-05-14 | Lukens Steel Co | Slab grinder, hydraulic counterbalance and lift control |
| FR1374441A (fr) * | 1962-08-15 | 1964-10-09 | Micromatic Hone Corp | Perfectionnements apportés aux procédés et dispositifs pour la rectification électrolytique |
| US3353305A (en) * | 1965-01-27 | 1967-11-21 | Bliss E W Co | Tilted spindle grinder |
| US3619401A (en) * | 1968-04-03 | 1971-11-09 | Norton Co | Apparatus for electrodeposition |
| US3706650A (en) * | 1971-03-26 | 1972-12-19 | Norton Co | Contour activating device |
| US3779887A (en) * | 1972-03-14 | 1973-12-18 | Sifco Ind Inc | Vibratory applicator for electroplating solutions |
| JPS4913992U (ja) * | 1972-05-06 | 1974-02-05 | ||
| US4140598A (en) * | 1976-06-03 | 1979-02-20 | Hitachi Shipbuilding & Engineering Co., Ltd. | Mirror finishing |
| JPS5914113U (ja) * | 1982-07-14 | 1984-01-28 | アルプス電気株式会社 | 磁気ヘツド |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP60060125A patent/JPS61219526A/ja active Granted
-
1986
- 1986-03-20 DE DE8686302062T patent/DE3685360D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-03-20 EP EP86302062A patent/EP0196832B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-03-24 KR KR1019860002162A patent/KR930004543B1/ko not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-02-06 HK HK16595A patent/HK16595A/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| HK16595A (en) | 1995-02-10 |
| KR860007060A (ko) | 1986-10-06 |
| EP0196832A2 (en) | 1986-10-08 |
| EP0196832B1 (en) | 1992-05-20 |
| DE3685360D1 (de) | 1992-06-25 |
| KR930004543B1 (ko) | 1993-06-01 |
| DE3685360T (ja) | 1992-06-25 |
| EP0196832A3 (en) | 1988-05-25 |
| JPS61219526A (ja) | 1986-09-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |